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      一種不傷坩堝的余料處理方法與流程

      文檔序號:39346235發(fā)布日期:2024-09-10 12:10閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種不傷坩堝的余料處理方法,其特征在于,包括以下步驟:

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種不傷坩堝的余料處理方法,其特征在于:步驟s1中加熱至1000-1100℃,保溫15-30min。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種不傷坩堝的余料處理方法,其特征在于:步驟s2中晶體料產(chǎn)生明顯裂紋具體為:以坩堝余料中部為中心,裂紋向外半徑擴散至少40mm時,停止加熱,取出晶體料。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種不傷坩堝的余料處理方法,其特征在于:步驟s2中每次倒入液氮量為250±20ml。

      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種不傷坩堝的余料處理方法,其特征在于:步驟s2的具體操作為:向鉑筒內(nèi)首次倒入液氮后,然后等待1-2min,若無裂紋則等待10-15分鐘以上再次倒入液氮,如此循環(huán),直至產(chǎn)生裂紋;

      6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種不傷坩堝的余料處理方法,其特征在于:步驟s2中產(chǎn)生裂紋但是裂紋不夠明顯時,等待10-15min后先加入純水至與晶體料平面齊平,然后再加入液氮,如此循環(huán),直至裂紋明顯。

      7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種不傷坩堝的余料處理方法,其特征在于:步驟s3中具體操作為:

      8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種不傷坩堝的余料處理方法,其特征在于:步驟s2中敲晶體料通過采用頭部呈半球形的冰柱或與坩堝同材質(zhì)的金屬棒實現(xiàn)。

      9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種不傷坩堝的余料處理方法,其特征在于:步驟s1中鉑筒直徑為坩堝直徑的1/4-1/2。

      10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種不傷坩堝的余料處理方法,其特征在于:步驟s1中,將裝有余料的坩堝于大氣環(huán)境下放入感應線圈內(nèi),開啟電源對坩堝及坩堝內(nèi)余料一起加熱。


      技術(shù)總結(jié)
      本申請涉及晶體生長領(lǐng)域,具體公開了一種不傷坩堝的余料處理方法,包括以下步驟:S1、在坩堝內(nèi)余料中心區(qū)域放置中空鉑筒,對坩堝及坩堝內(nèi)的余料一起加熱后保溫;S2、向步驟S1中的鉑筒內(nèi)若干次倒入液氮,直至坩堝中心區(qū)域晶體料產(chǎn)生明顯裂紋,停止加熱,輕敲晶體料,并取出,形成通道;S3、再次通過液氮冷卻后使得通道與坩堝側(cè)邊之間形成裂紋。本申請具有使得坩堝內(nèi)余料形成裂紋再進行熔料或清料,降低對坩堝的損害提高坩堝使用壽命的特點。

      技術(shù)研發(fā)人員:楊德江
      受保護的技術(shù)使用者:咸陽旭光晶圓材料科技有限公司
      技術(shù)研發(fā)日:
      技術(shù)公布日:2024/9/9
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