專利名稱：有機溶劑的提純方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對顯示器的制造工序等中生成的廢有機溶劑進行提純(Purify)，以高回收率回收丙二醇甲醚醋酸酯(Propylene glycol monomethyl ether acetate)的方法。
背景技術(shù)：
在像半導體和TFT-1XD等顯示器的制造工序中，為了制作電子電路、像素等，廣泛使用光刻(lithography)。這種光刻是用于在基板上生成微圖案的方法，其是這樣的工序:借助印刷有所期望的圖案的掩膜，在涂布有感光性物質(zhì)-光刻膠(photoresist)的基板上照射光，將掩膜的電路圖案轉(zhuǎn)移到基板上，光刻膠一般由作為結(jié)合劑(binder)成分的樹脂類、光引發(fā)劑、有機溶劑、各種顏料、分散劑及其它添加劑等構(gòu)成。這樣，在進行利用光刻膠的光刻工序時，雖然會在不想要的部分即光刻膠涂布工序中光刻膠涂布噴嘴、涂布周邊設(shè)備或基板的邊緣等部分上涂上光刻膠，但這些部分可能會在其后進行的光刻膠涂布工序中誘發(fā)不良情況而必須除去。此時，利用有機溶劑，除去不想要的光刻膠。因此，除去光刻膠留下的廢有機溶劑包含光刻膠的成分即樹脂類、光引發(fā)劑、顏料、有機溶劑、添加劑等雜質(zhì)。這樣，對于被雜質(zhì)污染的廢有機溶劑，存在燃燒處理的情況，因為在燃燒過程中，不但生成有害化學物質(zhì)，而且廢有機溶劑自身的利用價值下降，所以近些日子，將產(chǎn)生的廢有機溶劑再生處理為高純度的有機溶劑，以便可以在顯示器制造工序中再度使用。這種廢有機溶劑的再生通常與一般的有機溶劑的提純方法相似，其利用不同成分的沸點差，分別蒸餾進行分離。但是，廢有機溶劑中所含其它有機溶劑的雜質(zhì)中，有許多與要回收的有機溶劑沸點接近。對于這種具有接近沸點的雜質(zhì)，不容易通過蒸餾將其與要回收的有機溶劑的成分進行分離，需要非常多的單蒸餾塔，生產(chǎn)率低，且要回收的有機溶劑的損失大，難以高純度化。 最近，為了對顯示器的制造工序等中經(jīng)常作為有機溶劑而被采用的丙二醇甲醚醋酸酯(Propylene glycol monomethyl ether acetate,以下簡稱「PGMEA」)的廢有機溶劑進行提純而得到高純度的PGMEA，必須除去廢有機溶劑中所含各種固體成分、醇類、酯類及酮類等有機溶劑。但是，如下表I所示，其中特別是3-甲氧基丙酸甲酯(Methyl 3-MethoxyPropionate,以下簡稱「MMP」)及環(huán)己酮(cyclohexanone),與PGMEA沸點相差不大,不容易蒸餾除去。因此，為了得到高純度的PGMEA，與MMP等一并除去的PGMEA損失部分大，整體的PGMEA的回收率低，有些情況下從經(jīng)濟方面看不可能獲得高純度的PGMEA。表I
權(quán)利要求
1.一種有機溶劑的提純方法，其特征在于，包括以下過程:在含有丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)、及作為雜質(zhì)的丙酸類和酮類的化合物中至少一者的有機溶劑混合物內(nèi)，添加C^2tl的醇鹽類化合物，使其發(fā)生反應，除去所述雜質(zhì)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機溶劑的提純方法，其特征在于，除去所述雜質(zhì)的過程包括分別蒸餾工序。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機溶劑的提純方法，其特征在于，所述有機溶劑混合物源于半導體或顯示器的制造工序生成的廢有機溶劑。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機溶劑的提純方法，其特征在于，所述CV2tl的醇鹽類化合物采用一種以上的下述化學式I表示的化合物: 化學式I M- (OR，) η上式，M 為 Na, K, Co, Ga, Ge, Hf, Fe, Ni, Nb, Mo, La, Re, Sc, Si, Ti, Ta, W，Y 或 Zr ;R’ 為碳數(shù)m的直鏈，支鏈或環(huán)狀的烷基；n為I 6的整數(shù)；m X η為I 20的整數(shù)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的有機溶劑的提純方法，其特征在于，所述C1J的醇鹽類化合物選自由甲醇鈉，乙醇鈉，丙醇鈉，異丙醇鈉，丁醇鈉，叔丁醇鈉，甲醇鉀，乙醇鉀，丙醇鉀，異丙醇鉀，正丁醇鉀，叔丁醇鉀，甲醇鈦，乙醇鈦，丙醇鈦，異丙醇鈦，丁醇鈦，異丁醇鈦，異辛醇鈦，乙醇鋁，丙醇鋁，異丙醇鋁，丁醇鋁，叔丁醇鋁，及這些混合物構(gòu)成的群組。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機溶劑的提純方法，其特征在于，在將除去的雜質(zhì)的含量設(shè)為100重量份時，以I 500重量份的量添加所述CV2tl的醇鹽類化合物。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機溶劑的提純方法，其特征在于，所述反應以-10 200°C的溫度實施0.1 100的時間。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機溶劑的提純方法，其特征在于，所述丙酸類化合物為3-甲氧基丙酸甲酯。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機溶劑的提純方法，其特征在于，所述酮類化合物為環(huán)己酮，2-庚酮，或它們的混合物。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種廢有機溶劑的提純方法。在含有顯示器的制造工藝等中生成的丙二醇甲醚醋酸酯的廢有機溶劑中添加醇鹽類化合物，得到的混合物發(fā)生反應，使得丙酸類及酮類等的雜質(zhì)的沸點改變，能夠以高回收率回收高純度的提純物。
文檔編號C07C67/60GK103080067SQ201080068890
公開日2013年5月1日 申請日期2010年9月8日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月8日
發(fā)明者鄭玄鐵, 文載雄, 丁鎮(zhèn)培, 裵恩亨, 姜度順, 李明鎬 申請人:易安愛富科技有限公司