專利名稱：拋光墊的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及可以穩(wěn)定且以高拋光效率進(jìn)行反射鏡等光學(xué)材料及硅晶片、硬盤用玻璃襯底、鋁襯底以及一般的金屬拋光加工等要求高度表面平坦性的材料的平坦化加工的(層壓)拋光墊及其制造方法。本發(fā)明的(層壓)拋光墊，特別適合用于對(duì)硅晶片及其上形成了氧化物層、金屬層等的器件在進(jìn)ー步層壓和形成這些氧化物層、金屬層之前進(jìn)行平坦化的エ序(粗拋光エ序)。另外，本發(fā)明的(層壓)拋光墊也適合在對(duì)所述材料的表面進(jìn)行精拋光時(shí)使用，特別是對(duì)硅晶片及玻璃的精拋光有用。
背景技術(shù)：
制造半導(dǎo)體裝置時(shí)，進(jìn)行在晶片表面形成導(dǎo)電膜，并通過(guò)進(jìn)行光刻、蝕刻等形成布線層的エ序、在布線層上形成層間絕緣膜的エ序等，通過(guò)這些エ序在晶片表面產(chǎn)生由金屬等導(dǎo)電體及絕緣體構(gòu)成的凹凸。近年來(lái)，為了實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體集成電路的高密度化，正在進(jìn)行布線的微細(xì)化及多層布線化，但是，與此相伴，將晶片表面的凹凸平坦化的技術(shù)變得重要。作為將晶片表面的凹凸平坦化的方法，一般采用化學(xué)機(jī)械拋光(以下，稱為CMP)。CMP是在將晶片的被拋光面壓在拋光墊的拋光面上的狀態(tài)下，使用磨粒分散的漿狀拋光劑(以下稱為漿料)進(jìn)行拋光的技木。CMP中一般使用的拋光裝置，例如，如圖I所示，具有用于支撐拋光墊I的拋光平臺(tái)2、用于支撐被拋光材料(半導(dǎo)體晶片)4的支撐臺(tái)(拋光頭)5和用于進(jìn)行晶片的均勻加壓的襯材、及拋光劑的供給機(jī)構(gòu)。拋光墊1，例如，通過(guò)雙面膠帶粘貼而安裝在拋光平臺(tái)2上。拋光平臺(tái)2和支撐臺(tái)5以使其分別支撐的拋光墊I與被拋光材料4相対的方式設(shè)置，并分別具有旋轉(zhuǎn)軸6、7。另外，支撐臺(tái)5—側(cè)，設(shè)置了用于使被拋光材料4壓在拋光墊I上的加壓機(jī)構(gòu)。以往，這樣的拋光墊通過(guò)I)將樹脂材料注入模具制作樹脂塊，用切片機(jī)將該樹脂塊切片的制造方法、2)通過(guò)將樹脂材料注入模具并進(jìn)行擠壓而制成薄片狀的制造方法、3)將原料樹脂溶解并從T形模擠出成形而直接形成片狀的制造方法等間歇方式制造。例如，專利文獻(xiàn)I中，通過(guò)反應(yīng)注射成形法制造拋光用墊。另外，層壓拋光墊的情況下，將通過(guò)上述方法得到的拋光層、緩沖層等多個(gè)樹脂片通過(guò)膠粘劑或雙面膠帶粘貼而進(jìn)行制造，因此具有制造エ序多、生產(chǎn)率差的問(wèn)題。為了解決該問(wèn)題，在專利文獻(xiàn)2中使用擠出機(jī)制造層壓拋光用墊。另外，為了防止間歇方式的制造方法造成的硬度和氣泡尺寸等的偏差，提出了連續(xù)制造聚氨酯聚脲拋光片材的方法(專利文獻(xiàn)3)。具體而言，將聚氨酯原料與具有300 μ m以下粒徑的微粉末和有機(jī)發(fā)泡劑混合，將該混合物在ー對(duì)無(wú)限軌道面帶間排出并使之流延。之后，通過(guò)加熱裝置進(jìn)行該混合物的聚合反應(yīng)，將生成的片狀成形物從面帶分離而得到拋光片材的方法。另ー方面，在拋光墊與被拋光材料接觸的拋光表面上，通常設(shè)置用于保持和更新漿料的溝。在由發(fā)泡體構(gòu)成的拋光墊的情況下，拋光表面具有許多開ロ，具有保持和更新漿料的功能，通過(guò)在拋光表面設(shè)置溝，可以更有效地進(jìn)行漿料的保持和更新，而且可以防止與被拋光材料的吸附所造成的被拋光材料的破壞。以往，所述溝是通過(guò)在制造拋光片后對(duì)其拋光表面進(jìn)行機(jī)械磨削或激光加工而形成的。但是，以往的溝加工エ序存在費(fèi)時(shí)、生產(chǎn)率差的問(wèn)題。另外，作為高精度拋光所使用的拋光墊，一般使用聚氨酯發(fā)泡體片。但是，聚氨酯發(fā)泡體片雖然局部平坦化能力優(yōu)良，但是緩沖性不足，因此，難以在晶片整個(gè)面上提供均勻的壓力。因此，通常在聚氨酯發(fā)泡體片的背面另外設(shè)置柔軟的緩沖層，作為層壓拋光墊用于拋光加工。作為層壓拋光墊，例如，開發(fā)了如下拋光墊。公開了ー種拋光墊，其中將比較硬的第一層與比較軟的第二層層壓，并且在該第一層的拋光面上設(shè)置規(guī)定間距的溝或規(guī)定形狀的突起(專利文獻(xiàn)4)。另外，公開了ー種拋光布，其具有第一片狀構(gòu)件和第二片狀構(gòu)件，所述第一片狀構(gòu)件具有弾性并且表面上形成凹凸，所述第二片狀構(gòu)件設(shè)置在所述第一片狀構(gòu)件的形成凹凸的面上，具有與被處理襯底的被拋光面相對(duì)的面(專利文獻(xiàn)5)。另外，公開了ー種拋光墊，其具有拋光層以及被層壓在所述拋光層的ー個(gè)面上、并且壓縮率比所述拋光層大的發(fā)泡體支撐層(專利文獻(xiàn)6)。但是，上述以往的層壓拋光墊，是通過(guò)將拋光層與緩沖層利用雙面膠帶(粘合劑層)粘貼而制造的，因此存在的問(wèn)題是拋光中漿料侵入拋光層與緩沖層之間，導(dǎo)致雙面膠帶的粘合力變?nèi)酰Y(jié)果拋光層與緩沖層剝離。另外，公開了ー種連續(xù)制造形狀規(guī)則的拋光劑復(fù)合體粘接在基材上的拋光物品的方法(專利文獻(xiàn)7)。另外，為了減小拋光墊間的差異，公開了連續(xù)制造具有下墊層和拋光層的拋光墊(專利文獻(xiàn)8)。另外，進(jìn)行CMP時(shí)存在晶片表面的平坦度判斷的問(wèn)題。即，需要檢測(cè)達(dá)到所需的表面特性和表面狀態(tài)的時(shí)刻。以往，關(guān)于氧化膜的膜厚和拋光速度等，定期處理試驗(yàn)晶片并確認(rèn)結(jié)果后對(duì)成為制品的晶片進(jìn)行拋光處理。但是，該方法中，處理試驗(yàn)晶片的時(shí)間和成本是浪費(fèi)的，另外，預(yù)先完全未進(jìn)行加エ的試驗(yàn)晶片和制品晶片，拋光效果隨CMP特有的加載效果而不同，如果制品晶片不嘗試實(shí)際進(jìn)行加工，則難以正確地預(yù)測(cè)加工結(jié)果。因此，最近為了解決上述問(wèn)題，希望在CMPエ藝時(shí)可以就地檢測(cè)得到希望的表面特性和厚度的時(shí)刻的方法。關(guān)于這樣的檢測(cè)，可以使用各種方法，但從測(cè)定精度及非接觸測(cè)定的空間分辨率的觀點(diǎn)考慮，在旋轉(zhuǎn)臺(tái)板上安裝利用激光的膜厚監(jiān)測(cè)機(jī)構(gòu)的光學(xué)檢測(cè)方法(專利文獻(xiàn)9、專利文獻(xiàn)10)正在成為主流。所述光學(xué)檢測(cè)方法，具體而言，是通過(guò)窗(光透過(guò)區(qū)域)越過(guò)拋光墊向晶片照射光束，通過(guò)監(jiān)測(cè)其反射產(chǎn)生的干渉信號(hào)而檢測(cè)拋光終點(diǎn)的方法。目前，作為光束，一般使用使用具有600nm附近的波長(zhǎng)光的He-Ne激光或在380 800nm具有波長(zhǎng)光的鹵燈的白光。這樣的方法中，監(jiān)測(cè)晶片表面層的厚度變化，由此獲知近似于表面凹凸的深度，從、而確定終點(diǎn)。在這樣的厚度變化等于凹凸深度的時(shí)刻，使CMPエ藝結(jié)束。另外，關(guān)于通過(guò)這樣的光學(xué)手段檢測(cè)拋光終點(diǎn)的方法及該方法中使用的拋光墊，提出了各種各樣的方法及拋光墊。例如，公開了ー種拋光墊,其至少一部分具有透過(guò)190nm 3500nm的波長(zhǎng)光的固體且均質(zhì)的透明聚合物片(專利文獻(xiàn)11)。另外，公開了ー種拋光墊，其中插入了帶臺(tái)階的透明塞(專利文獻(xiàn)12)。另外，公開了ー種拋光墊，其具有與拋光面為同一面的透明塞(專利文獻(xiàn)13) ο另ー方面，還提出了不便漿料從拋光區(qū)域與光透過(guò)區(qū)域的邊界(接縫)漏出的方案(專利文獻(xiàn)14、15)。但是，即使在設(shè)置這些透明防漏片的情況下，漿料也從拋光區(qū)域與光透過(guò)區(qū)域的邊界(接縫)漏出到拋光層下部，漿料在該防漏片上堆積，使得光學(xué)終點(diǎn)檢測(cè)產(chǎn)生問(wèn)題。
今后，在半導(dǎo)體制造的高集成化和超小型化中，預(yù)計(jì)集成電路的布線寬度會(huì)越來(lái) 越小，此時(shí)需要高精度的光學(xué)終點(diǎn)檢測(cè)，但是，以往的終點(diǎn)檢測(cè)用窗尚不能充分解決上述漏漿問(wèn)題。專利文獻(xiàn)I :日本特開2004-42189號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開2003-220550號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 日本特開2004-169038號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4 日本特開2003-53657號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)5 日本特開平10-329005號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)6 日本特開2004-25407號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)7 :日本特表平11-512874號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)8 :日本特表2003-516872號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)9 :美國(guó)專利第5069002號(hào)說(shuō)明書專利文獻(xiàn)10 :美國(guó)專利第5081421號(hào)說(shuō)明書專利文獻(xiàn)11 :日本特表平11-512977號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)12 日本特開平9-7985號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)13 日本特開平10-83977號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)14 :日本特開2001-291686號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)15 :日本特表2003-510826號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
第一本發(fā)明的目的在于提供制造エ序少、生產(chǎn)率優(yōu)良的拋光墊的制造方法。另外，本發(fā)明的目的在于提供制造エ序少、生產(chǎn)率優(yōu)良、拋光層和緩沖層之間不產(chǎn)生剝離的層壓拋光墊的制造方法。第二本發(fā)明的目的在于提供生產(chǎn)率優(yōu)良、厚度精度高的拋光墊的制造方法。另外，本發(fā)明的目的在于提供生產(chǎn)率優(yōu)良、厚度精度高、拋光層和緩沖層之間不產(chǎn)生剝離的層壓拋光墊的制造方法。第三本發(fā)明的目的在于提供高生產(chǎn)率制造能夠防止拋光區(qū)域和光透過(guò)區(qū)域之間漏漿的拋光墊的方法。另外，本發(fā)明的目的在于提供高生產(chǎn)率制造拋光層和緩沖層之間不產(chǎn)生剝離、能夠防止拋光區(qū)域和光透過(guò)區(qū)域之間漏漿的層壓拋光墊的方法。第四本發(fā)明的目的在于提供制造エ序少、生產(chǎn)率優(yōu)良的帶溝拋光墊(以下也僅稱為“拋光墊”)的制造方法、以及通過(guò)該制造方法得到的帶溝拋光墊。另外，本發(fā)明的目的在于提供制造エ序少、生產(chǎn)率優(yōu)良、拋光層和緩沖層之間不產(chǎn)生剝離的帶溝層壓拋光墊(以下也僅稱為“層壓拋光墊”)的制造方法、以及通過(guò)該制造方法得到的帶溝層壓拋光墊。本發(fā)明人為了解決上述問(wèn)題進(jìn)行了廣泛深入的研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過(guò)以下所示的(層壓)拋光墊的制造方法可以實(shí)現(xiàn)上述目的，并且完成了本發(fā)明。
第一本發(fā)明的拋光墊的制造方法，包括通過(guò)機(jī)械發(fā)泡法制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；在送出面材的同時(shí)向其上連續(xù)地排出氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；在該氣泡分散的氨基甲酸酯組合物上層壓另一面材的エ序；通過(guò)在將厚度調(diào)節(jié)均勻的同時(shí)使氣泡分散的氨基甲酸酯組合物固化而形成由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的拋光層的エ序；通過(guò)與面平行地將該拋光層一切為ニ而同時(shí)制造兩片由拋光層和面材構(gòu)成的長(zhǎng)拋光層的エ序；和切割長(zhǎng)拋光層的エ序。根據(jù)上述制造方法，可以同時(shí)制造兩片由拋光層和面材構(gòu)成的長(zhǎng)拋光層，因此可以以極高生產(chǎn)率制造拋光墊。得到的拋光層既可以單獨(dú)作為拋光墊，也可以在其單面上層壓緩沖層制成層壓拋光墊。另外，第一本發(fā)明的層壓拋光墊的制造方法，包括通過(guò)機(jī)械發(fā)泡法制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；在送出緩沖層的同時(shí)向其上連續(xù)地排出氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；在該氣泡分散的氨基甲酸酯組合物上層壓另一緩沖層的エ序；通過(guò)在將厚度調(diào)節(jié)均勻的同時(shí)使氣泡分散的氨基甲酸酯組合物固化而形成由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的拋光層的エ序；通過(guò)與面平行地將該拋光層一切為ニ而同時(shí)制造兩片由拋光層和緩沖層構(gòu)成的長(zhǎng)層壓片的エ序；和切割長(zhǎng)層壓片的エ序。根據(jù)上述制造方法，可以同時(shí)制造兩片由拋光層和緩沖層構(gòu)成的長(zhǎng)層壓片。另外，由于可以省略將拋光層和緩沖層粘貼的エ序，因此可以減少制造エ序，可以以極高生產(chǎn)率制造層壓拋光墊。通過(guò)該制造方法得到的層壓拋光墊，因?yàn)椴皇褂秒p面膠帶(粘合劑層)而將拋光層和緩沖層直接層壓，因此具有在拋光過(guò)程中拋光層和緩沖層不產(chǎn)生剝離的優(yōu)點(diǎn)。第二本發(fā)明的拋光墊的制造方法，包括通過(guò)機(jī)械發(fā)泡法制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；在送出面材的同時(shí)在該面材的兩端部和/或內(nèi)部設(shè)置墊片的エ序；向未設(shè)置墊片的所述面材上連續(xù)地排出所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；在排出的所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物上層壓另一面材的エ序；通過(guò)在將厚度調(diào)節(jié)均勻的同時(shí)使氣泡分散的氨基甲酸酯組合物固化而制作由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的長(zhǎng)拋光層的エ序；和切割長(zhǎng)拋光層的エ序。根據(jù)上述制造方法，可以連續(xù)地制造長(zhǎng)拋光層，可以高生產(chǎn)率制造拋光墊。另外，在向面材上排出氣泡分散的氨基甲酸酯組合物之前，在面材的兩端部設(shè)置墊片，由此可以防止氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的滴落、并且可以提高長(zhǎng)拋光層的厚度精度。另外，通過(guò)在面材內(nèi)部設(shè)置墊片，可以解決長(zhǎng)拋光層的中央部厚度變薄的問(wèn)題，可以進(jìn)一歩提高長(zhǎng)拋光層的厚度精度。另外，內(nèi)部設(shè)置的墊片構(gòu)成拋光層的一部分，因此必須是對(duì)拋光特性不產(chǎn)生不良影響的墊片。得到的拋光層既可以單獨(dú)作為拋光墊，也可以在其單面上層壓緩沖層而制成層壓拋光墊。
所述墊片，優(yōu)選由熱塑性樹脂或熱固性樹脂形成。通過(guò)用熱塑性樹脂形成墊片，可以在卷繞的狀態(tài)下保存及向面材上供給，也可以減少對(duì)拋光特性的影響，因此優(yōu)選。另外，在用熱固性樹脂形成墊片的情況下，墊片不容易變形，因此可以進(jìn)ー步提高長(zhǎng)拋光層的厚度精度。另外，內(nèi)部設(shè)置的墊片優(yōu)選在波長(zhǎng)400 700nm整個(gè)范圍內(nèi)的光透過(guò)率為20%以上。通過(guò)使用光透過(guò)率高的墊片，可以作為用于光學(xué)終點(diǎn)檢測(cè)及光學(xué)膜厚檢測(cè)的光透過(guò)區(qū)域(窗)使用。另外，根據(jù)本發(fā)明的制造方法，墊片(光透過(guò)區(qū)域)在拋光層內(nèi)部無(wú)間隙地一體地形成，因此漿料也不會(huì)從光透過(guò)區(qū)域與拋光區(qū)域的間隙漏出。另外，所述墊片也可以由與所述氣泡分散的氨基甲酸酯 組合物相同組成的聚氨酯發(fā)泡體形成。此時(shí)，由于墊片與拋光區(qū)域的物性相同，因此可以使拋光墊整面的拋光特性更加均勻。另外，由于墊片與拋光區(qū)域完全形成一體，因此可以完全防止?jié){料的漏出。另外，內(nèi)部設(shè)置的墊片，也可以由2片以上樹脂片以可剝離方式層壓而成。此時(shí)，通過(guò)在制造長(zhǎng)拋光層后將一部分樹脂片剝離，可以使墊片比拋光層的厚度薄。由此，可以減少對(duì)拋光特性的影響，或者可以形成用于保持和更新漿料的凹結(jié)構(gòu)。另外，該墊片作為光透過(guò)區(qū)域使用吋，為了提高光透過(guò)率優(yōu)選將一部分樹脂片剝離。此時(shí)，優(yōu)選將拋光背面?zhèn)鹊臉渲瑒冸x。因?yàn)樵趯伖獗砻鎮(zhèn)鹊臉渲瑒冸x的情況下，漿料積存在形成的凹結(jié)構(gòu)中，光透過(guò)率有可能下降。另外，第二本發(fā)明的層壓拋光墊的制造方法，包括通過(guò)機(jī)械發(fā)泡法制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；在送出緩沖層的同時(shí)在該緩沖層的兩端部和/或內(nèi)部設(shè)置墊片的エ序；向未設(shè)置墊片的所述緩沖層上連續(xù)地排出所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；在排出的所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物上層壓面材的エ序；通過(guò)在將厚度調(diào)節(jié)均勻的同時(shí)使氣泡分散的氨基甲酸酯組合物固化而形成由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的拋光層，從而制作長(zhǎng)層壓片的エ序；和切割長(zhǎng)層壓片的エ序。根據(jù)上述制造方法，可以連續(xù)地制造由拋光層和緩沖層構(gòu)成的層壓拋光墊。另外，可以省略將拋光層和緩沖層粘貼的エ序，因此可以減少制造エ序，可以高生產(chǎn)率制造層壓拋光墊。通過(guò)該制造方法得到的層壓拋光墊，因?yàn)椴皇褂秒p面膠帶(粘合劑層)而直接層壓拋光層和緩沖層，因此具有在拋光過(guò)程中拋光層和緩沖層不產(chǎn)生剝離的優(yōu)點(diǎn)。另外，在向緩沖層上排出氣泡分散的氨基甲酸酯組合物之前，在緩沖層的兩端部和/或內(nèi)部設(shè)置墊片，由此可以得到與第一發(fā)明同樣的效果。所述墊片由干與前述同樣的理由，優(yōu)選由熱塑性樹脂或熱固性樹脂形成。另外，內(nèi)部設(shè)置的墊片，優(yōu)選插入緩沖層的貫通孔內(nèi)并且從緩沖層伸出。通過(guò)在緩沖層上設(shè)置貫通孔并且向其中插入地設(shè)置墊片，可以將該墊片作為用于光學(xué)終點(diǎn)檢測(cè)和光學(xué)膜厚檢測(cè)的光透過(guò)區(qū)域(窗)使用。此時(shí)，內(nèi)部設(shè)置的墊片優(yōu)選在波長(zhǎng)400 700nm整個(gè)范圍內(nèi)的光透過(guò)率為20%以上。根據(jù)本發(fā)明的制造方法，墊片(光透過(guò)區(qū)域)在拋光層內(nèi)部無(wú)間隙地一體地形成，因此漿料不會(huì)從光透過(guò)區(qū)域與拋光區(qū)域的間隙漏到緩沖層ー側(cè)。另外，所述墊片，由干與前述同樣的理由，也可以由與所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物相同組成的聚氨酯發(fā)泡體形成。另外，內(nèi)部設(shè)置的墊片，由干與前述同樣的理由，也可以由2片以上的樹脂片以可剝離方式層壓而成。
第三本發(fā)明的拋光墊的制造方法，包括通過(guò)機(jī)械發(fā)泡法制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；在送出面材的同時(shí)向該面材上的規(guī)定位置連續(xù)或間斷地排出光透過(guò)區(qū)域形成材料的エ序；向未設(shè)置光透過(guò)區(qū)域形成材料的所述面材上連續(xù)地排出所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；在排出的所述光透過(guò)區(qū)域形成材料及氣泡分散的氨基甲酸酯組合物上層壓另一面材的エ序；通過(guò)在將厚度調(diào)節(jié)均勻的同時(shí)使光透過(guò)區(qū)域形成材料及氣泡分散的氨基甲酸酯組合物固化而制作光透過(guò)區(qū)域和拋光區(qū)域一體成形的長(zhǎng)拋光層的エ序；和切割長(zhǎng)拋光層的エ序。根據(jù)上述制造方法，可以連續(xù)地制造具有光透過(guò)區(qū)域的長(zhǎng)拋光層，可以高生產(chǎn)率制造拋光墊。另外，由于光透過(guò)區(qū)域和拋光區(qū)域一體成形，因此拋光時(shí)漿料不會(huì)從光透過(guò)區(qū)域與拋光區(qū)域的間隙漏出。得到的拋光層既可以單獨(dú)作為拋光墊，也可以在其單面上層壓緩沖層而制成層壓拋光墊。所述光透過(guò)區(qū)域形成材料，優(yōu)選排出時(shí)的粘度為I 30Pa .S。排出時(shí)的粘度如果小于IPa · S，則流動(dòng)性高，因此容易在面材上鋪展。結(jié)果，具有難以僅僅在面材的規(guī)定位置設(shè)置光透過(guò)區(qū)域形成材料、或者不能確保所需光透過(guò)區(qū)域形成材料的設(shè)置高度的傾向。另一方面，如果超過(guò)30Pa · s，則具有難以控制間歇的排出的傾向。所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物，優(yōu)選排出時(shí)的粘度為I 20Pa-S0排出時(shí)的粘度如果小于IPa · S，則流動(dòng)性高，因此容易在面材上鋪展。結(jié)果，具有不能確保所需氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的設(shè)置高度的傾向。另ー方面，如果超過(guò)20Pa · s，則具有難以在面材上均勻設(shè)置氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的傾向。所述光透過(guò)區(qū)域優(yōu)選由熱固性樹脂形成，特別優(yōu)選熱固性聚氨酯樹脂。通過(guò)用同樣的材料形成光透過(guò)區(qū)域和拋光區(qū)域，可以提高兩區(qū)域的密合性。另外，可以使光透過(guò)區(qū)域形成材料和氣泡分散的氨基甲酸酯組合物同時(shí)熱固化，因此制造エ序簡(jiǎn)便。另外，第三本發(fā)明的層壓拋光墊的制造方法，包括通過(guò)機(jī)械發(fā)泡法制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；在送出具有連續(xù)或間斷設(shè)置的貫通孔的緩沖層的同時(shí)排出光透過(guò)區(qū)域形成材料使其在該貫通孔內(nèi)及貫通孔上堆積的エ序；向未設(shè)置光透過(guò)區(qū)域形成材料的所述緩沖層上連續(xù)地排出所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；在排出的所述光透過(guò)區(qū)域形成材料及氣泡分散的氨基甲酸酯組合物上層壓面材的エ序；通過(guò)在將厚度調(diào)節(jié)均勻的同時(shí)使光透過(guò)區(qū)域形成材料及氣泡分散的氨基甲酸酯組合物固化而制作光透過(guò)區(qū)域和拋光區(qū)域一體成形的長(zhǎng)層壓片的エ序；和切割長(zhǎng)層壓片的エ序。根據(jù)上述制造方法，可以連續(xù)地制造由拋光層和緩沖層構(gòu)成的層壓拋光墊。另外，可以省略將拋光層和緩沖層粘貼的エ序，因此可以減少制造エ序，可以高生產(chǎn)率制造層壓拋光墊。通過(guò)該制造方法得到的層壓拋光墊，因?yàn)椴皇褂秒p面膠帶(粘合劑層)而直接層壓拋光層和緩沖層，因此具有在拋光過(guò)程中拋光層和緩沖層不產(chǎn)生剝離的優(yōu)點(diǎn)。另外，因?yàn)楣馔高^(guò)區(qū)域與拋光區(qū)域一體成形，所以在拋光時(shí)漿料也不會(huì)從光透過(guò)區(qū)域與拋光區(qū)域的間隙漏出。所述光透過(guò)區(qū)域形成材料，優(yōu)選排出時(shí)的粘度為I 30Pa .S。排出時(shí)的粘度如果 小于IPa · S，則流動(dòng)性高，因此容易在緩沖層上鋪展。結(jié)果，具有難以以在貫通孔上高度堆積的方式設(shè)置光透過(guò)區(qū)域形成材料的傾向。另ー方面，如果超過(guò)30Pa · s，則具有難以在貫通孔內(nèi)完全填充光透過(guò)區(qū)域形成材料的傾向。
所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物，優(yōu)選排出時(shí)的粘度為I 20Pa-S0排出時(shí)的粘度如果小于IPa · S，則流動(dòng)性高，因此容易在緩沖層上鋪展。結(jié)果，具有不能確保所需氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的設(shè)置高度的傾向。另ー方面，如果超過(guò)20Pa · s，則具有難以在緩沖層上均勻設(shè)置氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的傾向。所述光透過(guò)區(qū)域，由干與前述同樣的理由，優(yōu)選由熱固性樹脂形成，特別優(yōu)選熱固性聚氨酯樹脂。 第四本發(fā)明的帶溝拋光墊的制造方法，包括通過(guò)機(jī)械發(fā)泡法制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；向具有凹結(jié)構(gòu)的傳送帶上連續(xù)地排出氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；在排出的氣泡分散的氨基甲酸酯組合物上層壓面材的エ序；通過(guò)在將厚度調(diào)節(jié)均勻的同時(shí)使氣泡分散的氨基甲酸酯組合物固化而制作由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的帶溝長(zhǎng)拋光層的エ序；從傳送帶剝離帶溝長(zhǎng)拋光層的エ序；和切割帶溝長(zhǎng)拋光層的エ序。另外，第四本發(fā)明的帶溝拋光墊的制造方法，包括通過(guò)機(jī)械發(fā)泡法制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；在送出具有凹結(jié)構(gòu)的脫模片的同時(shí)向其上連續(xù)地排出氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；在排出的氣泡分散的氨基甲酸酯組合物上層壓面材的エ序；通過(guò)在將厚度調(diào)節(jié)均勻的同時(shí)使氣泡分散的氨基甲酸酯組合物固化而制作由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的帶溝長(zhǎng)拋光層的エ序；從帶溝長(zhǎng)拋光層剝離脫模片的エ序；和切割帶溝長(zhǎng)拋光層的エ序。根據(jù)上述制造方法，可以連續(xù)地制造帶溝長(zhǎng)拋光層，可以高生產(chǎn)率制造帶溝拋光墊。另外，在形成拋光層時(shí)，可以將在傳送帶或脫模片的表面形成的凹結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到拋光層表面，因此可以省略以往的通過(guò)機(jī)械磨削等進(jìn)行溝加工的エ序。得到的帶溝長(zhǎng)拋光層，既可以単獨(dú)作為帶溝拋光墊，也可以通過(guò)在其單面上層壓緩沖層而制成帶溝層壓拋光墊。另外，第四本發(fā)明的帶溝層壓拋光墊的制造方法，包括通過(guò)機(jī)械發(fā)泡法制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；向具有凹結(jié)構(gòu)的傳送帶上連續(xù)地排出氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；在排出的氣泡分散的氨基甲酸酯組合物上層壓緩沖層的エ序；通過(guò)在將厚度調(diào)節(jié)均勻的同時(shí)使氣泡分散的氨基甲酸酯組合物固化而形成由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的帶溝長(zhǎng)拋光層，從而制作帶溝長(zhǎng)層壓片的エ序；從傳送帶剝離帶溝長(zhǎng)層壓片的エ序；和切割帶溝長(zhǎng)層壓片的エ序。另外，第四本發(fā)明的帶溝層壓拋光墊的制造方法，包括通過(guò)機(jī)械發(fā)泡法制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；在送出具有凹結(jié)構(gòu)的脫模片的同時(shí)向其上連續(xù)地排出氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；在排出的氣泡分散的氨基甲酸酯組合物上層壓緩沖層的エ序；通過(guò)在將厚度調(diào)節(jié)均勻的同時(shí)使氣泡分散的氨基甲酸酯組合物固化而形成由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的帶溝長(zhǎng)拋光層，從而制作帶溝長(zhǎng)層壓片的エ序；從帶溝長(zhǎng)層壓片剝離脫模片的エ序；和切割帶溝長(zhǎng)層壓片的エ序。根據(jù)上述制造方法，可以連續(xù)地制造由帶溝拋光層和緩沖層構(gòu)成的帶溝層壓拋光墊。另外，可以省略將帶溝拋光層和緩沖層粘貼的エ序，因此可以減少制造エ序，可以高生產(chǎn)率制造帶溝層壓拋光墊。通過(guò)該制造方法得到的帶溝層壓拋光墊，由于不使用雙面膠帶(粘合劑層)而直接層壓拋光層和緩沖層，因此具有在拋光過(guò)程中拋光層和緩沖層不產(chǎn)生剝離的優(yōu)點(diǎn)。另外，在形成拋光層時(shí)，傳送帶或脫模片的表面形成的凹結(jié)構(gòu)可以轉(zhuǎn)印到拋光層表面，因此可以省略以往的通過(guò)機(jī)械磨削進(jìn)行溝加工的エ序。
另外，本發(fā)明涉及通過(guò)前述方法制造的(層壓)拋光墊、以及包括使用該(層壓)拋光墊對(duì)半導(dǎo)體晶片表面進(jìn)行拋光的エ序的半導(dǎo)體器件制造方法。


圖I是表示CMP拋光中使用的拋光裝置一例的簡(jiǎn)略構(gòu)成圖。圖2是表示第一本發(fā)明的長(zhǎng)拋光層或 長(zhǎng)層壓片的制造エ序的示意圖。圖3是表示第二本發(fā)明的長(zhǎng)拋光層或長(zhǎng)層壓片的制造エ序的示意圖。圖4是表示第二本發(fā)明的長(zhǎng)拋光層或長(zhǎng)層壓片的制造エ序另一例的示意圖。圖5是表示第二本發(fā)明的長(zhǎng)拋光層或長(zhǎng)層壓片的制造エ序另一例的示意圖。圖6是表示第二本發(fā)明的長(zhǎng)拋光層或長(zhǎng)層壓片的制造エ序另一例的示意圖。圖7是表示第三本發(fā)明的拋光墊的制造エ序一例的示意圖。圖8是表不第二本發(fā)明的拋光塾的制造エ序另一例的不意圖。圖9是表示第三本發(fā)明的層壓拋光墊的制造エ序一例的示意圖。圖10是表示第三本發(fā)明的層壓拋光墊的制造エ序另一例的示意圖。圖11是表示第四本發(fā)明的帶溝(層壓)拋光墊的制造エ序一例的示意圖。圖12是表示第四本發(fā)明的帶溝(層壓)拋光墊的制造エ序另一例的示意圖。標(biāo)號(hào)說(shuō)明I (層壓)拋光墊2:拋光臺(tái)板3 :拋光劑(漿料)4 :被拋光材料(半導(dǎo)體晶片)5 :支撐臺(tái)(拋光頭)6、7 :旋轉(zhuǎn)軸8 :氣泡分散的氨基甲酸酯組合物9 :混合頭IOaUOb :面材(基材、單面膠帶)或緩沖層11 :傳送器12 :輥13、13’ 拋光層14 :切割刃15 :長(zhǎng)拋光層或長(zhǎng)層壓片16 :面材或緩沖層17 :墊片18 :面材19 :緩沖層20 :貫通孔21 :光透過(guò)區(qū)域形成材料22:排出頭[O川]23 :傳送帶
24:脫模片25:型輥
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的(層壓)拋光墊的拋光層(或拋光區(qū)域)，由具有獨(dú)立氣泡的聚氨酯發(fā)泡體(粗拋光用)、或者具有連續(xù)氣泡的聚氨酯發(fā)泡體(粗拋光用或精拋光用)構(gòu)成。聚氨酯耐磨損性優(yōu)良，通過(guò)對(duì)原料組成進(jìn)行各種變化可以容易地得到具有所需物性的聚合物，因此是作為拋光層形成材料的優(yōu)選材料。所述聚氨酷，由異氰酸酯成分、多元醇成分(高分子量多元醇、低分子量多元醇等)及增鏈劑形成。作為異氰酸酯成分，可以沒(méi)有特別限定地使用聚氨酯領(lǐng)域中的公知化合物。作為異氰酸酯成分，可以列舉2，4_甲苯ニ異氰酸酷、2，6_甲苯ニ異氰酸酷、2，2’ - ニ苯基甲烷·ニ異氰酸酷、2，4’ - ニ苯基甲烷ニ異氰酸酷、4，4’ - ニ苯基甲烷ニ異氰酸酯、聚合MDI、碳ニ亞胺改性MDI (例如，商品名ミリォネー卜MTL，日本聚氨酯エ業(yè)制造)、1，5_萘ニ異氰酸酷、對(duì)苯ニ異氰酸酷、間苯ニ異氰酸酷、對(duì)亞ニ甲苯基ニ異氰酸酷、間亞ニ甲苯基ニ異氰酸酯等芳族ニ異氰酸酯亞こ基ニ異氰酸酷、2，2，4_三甲基亞己基ニ異氰酸酷、1，6_亞己基ニ異氰酸酯等脂肪族ニ異氰酸酯；1，4_環(huán)己烷ニ異氰酸酷、4，4’_ ニ環(huán)己基甲烷ニ異氰酸酯、異佛爾酮ニ異氰酸酷、降冰片烷ニ異氰酸酯等脂環(huán)式ニ異氰酸酷。這些物質(zhì)可以使用一種也可以兩種以上混合使用。作為異氰酸酯成分，除上述ニ異氰酸酯化合物以外，也可以使用三官能以上的多官能多異氰酸酯化合物。作為多官能異氰酸酷化合物，有市售的商品名デスモジュール_N(バイュル公司制造)及商品名デュラネート(旭化成エ業(yè)公司制造)的一系列ニ異氰酸酯加合物。上述異氰酸酷成分中，在制作具有微細(xì)獨(dú)立氣泡的聚氨酯發(fā)泡體的情況下，優(yōu)選將芳族ニ異氰酸酯與脂環(huán)式ニ異氰酸酯組合使用，特別優(yōu)選將甲苯ニ異氰酸酯與ニ環(huán)己基甲烷ニ異氰酸酯組合使用。另ー方面，在制作具有微細(xì)連續(xù)氣泡的聚氨酯發(fā)泡體的情況下，優(yōu)選使用4，4’ - ニ苯基甲烷ニ異氰酸酯或碳ニ亞胺改性MDI。作為高分子量多元醇，可以列舉聚氨酯技術(shù)領(lǐng)域中通常使用的化合物。例如，以聚四亞甲基醚ニ醇為代表的聚醚多元醇、以聚己ニ酸亞丁酯為代表的聚酯多元醇、聚己內(nèi)酷多元醇、以聚己內(nèi)酯等聚酯ニ醇與碳酸亞烷基酯的反應(yīng)物等為例的聚酯聚碳酸酯多元醇、使碳酸亞こ酯與多元醇反應(yīng)然后使得到的反應(yīng)混合物與有機(jī)ニ元羧酸反應(yīng)而得到的聚酯聚碳酸酯多元醇、以及通過(guò)多羥基化合物與碳酸芳酯的酯交換反應(yīng)得到的聚碳酸酯多元醇、使聚合物粒子分散的聚醚多元醇即聚合物多元醇等。這些物質(zhì)可以単獨(dú)使用也可以兩種以上組合使用。為了使聚氨酯發(fā)泡體形成連續(xù)氣泡結(jié)構(gòu)，優(yōu)選使用聚合物多元醇，特別優(yōu)選使用使由丙烯腈和/或苯こ烯-丙烯腈共聚物構(gòu)成的聚合物粒子分散的聚合物多元醇。該聚合物多元醇，優(yōu)選在使用的全部高分子量多元醇中以20 100重量％的量含有，更優(yōu)選30 60重量％。所述高分子量聚合物(含有聚合物多元醇)優(yōu)選以60 85重量％的量包含在含有活性氫的化合物中，更優(yōu)選70 80重量％。通過(guò)使用特定量的所述高分子量多元醇，氣泡膜容易破裂，從而容易形成連續(xù)氣泡結(jié)構(gòu)。連續(xù)氣泡結(jié)構(gòu)的聚氨酯發(fā)泡體的情況下，上述高分子量多元醇中，優(yōu)選使用羥值20 100mgK0H/g的高分子量多元醇。更優(yōu)選羥值為25 60mgK0H/g。羥值如果小于20mgK0H/g,則聚氨酯的硬鏈段量變小，具有耐久性下降的傾向，如果超過(guò)100mgK0H/g，則聚氨酯發(fā)泡體的交聯(lián)度變得過(guò)高，具有變脆的傾向。獨(dú)立氣泡結(jié)構(gòu)的聚氨酯發(fā)泡體的情況下，高分子量多元醇的數(shù)均分子量沒(méi)有特別限定，從得到的聚氨酯樹脂的弾性特性等觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選500 2000。數(shù)均分子量如果小于500，則使用它的聚氨酯樹脂弾性特性不充分，成為脆的聚合物。因此，由該聚氨酯樹脂制造的拋光墊變得過(guò)硬，成為晶片表面劃痕的原因。另外，由于容易磨損，因此從墊壽命的觀點(diǎn)考慮也不優(yōu)選。另ー方面，數(shù)均分子量如果超過(guò)2000，則使用它的聚氨酯樹脂變得過(guò)軟，因此由該聚氨酯樹脂制造的拋光層具有平坦化特性變差的傾向。連續(xù)氣泡結(jié)構(gòu)的聚氨酯發(fā)泡體的情況下，高分子量多元醇的數(shù)均分子量沒(méi)有特別限制，從得到的聚氨酯的弾性特性等觀點(diǎn)考慮優(yōu)選為1500 6000。數(shù)均分子量如果小于 1500，則使用它的聚氨酯彈性特性不充分，容易成為脆的聚合物。因此，由該聚氨酯構(gòu)成的發(fā)泡體變得過(guò)硬，在晶片表面容易產(chǎn)生劃痕。另ー方面，數(shù)均分子量如果超過(guò)6000，則使用它的聚氨酯樹脂變得過(guò)軟，因此由該聚氨酯構(gòu)成的發(fā)泡體具有耐久性變差的傾向?？梢詫⒁韵碌头肿恿慷嘣寂c高分子量多元醇組合使用こニ醇、1，2-丙ニ醇、1，3-丙ニ醇、1，2-丁ニ醇、1，3-丁ニ醇、1，4-丁ニ醇、2，3-丁ニ醇、1，6-己ニ醇、新戊ニ醇、1，4_環(huán)己烷ニ甲醇、3-甲基-1，5_戊ニ醇、ニこニ醇、三こニ醇、1，4_雙(2-羥基こ氧基)苯、三羥甲基丙烷、甘油、1，2，6_己三醇、季戊四醇、四羥甲基環(huán)己烷、甲基葡糖苷、山梨糖醇、甘露醇、衛(wèi)矛醇、蔗糖、2，2，6，6_四(羥甲基)環(huán)己醇、ニこ醇胺、N-甲基ニこ醇胺及三こ醇胺等。另外，也可以組合使用こニ胺、甲苯ニ胺、ニ苯基甲烷ニ胺及ニこ撐三胺等低分子量多胺。另外，也可以組合使用一こ醇胺、2-(2-氨基こ氨基)こ醇、以及ー丙醇胺等醇胺。這些低分子量多元醇、低分子量多胺等可以單獨(dú)使用ー種，也可以兩種以上組合使用。多元醇成分中的高分子量多元醇與低分子量多元醇等的比，根據(jù)由它們制造的拋光層所要求的特性進(jìn)行確定。連續(xù)氣泡結(jié)構(gòu)的聚氨酯發(fā)泡體的情況下，優(yōu)選使用羥值為400 1830mgK0H/g的低分子量多元醇和/或胺值為400 1870mgK0H/g的低分子量多胺。更優(yōu)選羥值為700 1250mgK0H/g,更優(yōu)選胺值為400 950mgK0H/g。如果羥值小于400mgK0H/g或者胺值小于400mgK0H/g，則具有不能充分得到連續(xù)氣泡化的提高效果的傾向。另ー方面，如果羥值超過(guò)1830mgK0H/g或者胺值超過(guò)1870mgK0H/g，則具有晶片表面容易產(chǎn)生劃痕的傾向。特別優(yōu)選使用ニこニ醇、三こニ醇或者1，4_ 丁ニ醇。另外，為了使聚氨酯發(fā)泡體形成連續(xù)氣泡結(jié)構(gòu)，優(yōu)選在含有活性氫的化合物中總計(jì)含有2 15重量％低分子量多元醇、低分子量多胺及醇胺，更優(yōu)選含有5 10重量％。通過(guò)使用特定量的上述低分子量多元醇等，氣泡膜容易破裂，不僅容易形成連續(xù)氣泡，而且聚氨酯發(fā)泡體的機(jī)械特性良好。在通過(guò)預(yù)聚物法制造聚氨酯發(fā)泡體的情況下，預(yù)聚物的固化中使用增鏈劑。增鏈劑是具有至少兩個(gè)以上活性氫基團(tuán)的有機(jī)化合物，作為活性氫基團(tuán)，可以例示羥基、伯氨基或仲氨基、巰基(SH)等。具體而言，可以列舉4，4’ -亞甲基雙(鄰氯苯胺)(MOCA)、2，6-ニ氯對(duì)苯ニ胺、4，4’-亞甲基雙(2，3-ニ氯苯胺)、3，5-雙(甲硫基)-2，4-甲苯ニ胺、3，5-雙(甲硫基)-2,6-甲苯ニ胺、3, 5_ ニこ基甲苯-2,4_ ニ胺、3, 5- ニこ基甲苯-2,6- ニ胺、三こニ醇ニ對(duì)氨基苯甲酸酷、1，2_雙(2-氨基苯基硫基)こ烷、4，4’_ ニ氨基-3，3’_ ニこ基-5，5’ - ニ甲基ニ苯基甲烷、N，N’ - ニ仲丁基-4，4’ - ニ氨基ニ苯基甲烷、3，3’ - ニこ基-4，4’ - ニ氨基ニ苯基甲烷、間亞ニ甲苯基ニ胺、N, N’ - ニ仲丁基對(duì)苯ニ胺、間苯ニ胺及對(duì)亞ニ甲苯基ニ胺等例示的多胺類、或者上述低分子量多元醇及低分子量多胺等。這些物質(zhì)可以単獨(dú)使用一種也可以兩種以上混合使用。異氰酸酯成分、多元醇成分和增鏈劑的比，可以根據(jù)各自的分子量及拋光層的所需物性進(jìn)行各種改變。為了得到具有所需拋光特性的拋光層，異氰酸酯成分的異氰酸酯基數(shù)相對(duì)于多元醇成分與增鏈劑的總活性氫基團(tuán)(羥基+氨基)數(shù)優(yōu)選為O. 80 I. 20，進(jìn)ー步優(yōu)選O. 99 I. 15。異氰酸酯基數(shù)如果在所述范圍以外，則產(chǎn)生固化不良，從而得不到所要求的比重及硬度，具有拋光特性下降的傾向。聚氨酯發(fā)泡體的制造可以采用預(yù)聚物法、單步法等任何ー種方法，但事先由異氰酸酷成分和多元醇成分合成異氰酸酯末端預(yù)聚物并使增鏈劑與其反應(yīng)的預(yù)聚物法，由于所得到的聚氨酯的物理特性優(yōu)良而優(yōu)選。
·
另外，分子量為約800 約5000的異氰酸酯末端預(yù)聚物加工性、物理特性等優(yōu)良，因此優(yōu)選。本發(fā)明中使用的面材沒(méi)有特別限制，可以列舉例如紙、布、無(wú)紡布、及樹脂膜等，特別優(yōu)選具有耐熱性并且具有可撓性的樹脂膜。作為形成面材的樹脂，可以列舉例如聚對(duì)苯ニ甲酸こニ醇酯、聚酷、聚こ烯、聚丙烯、聚苯こ烯、聚酰亞胺、聚こ烯醇、聚氯こ烯、聚氟こ烯等含氟樹脂、尼龍、纖維素等。面材的厚度沒(méi)有特別限制，從強(qiáng)度和卷繞等觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選約20 約200μπι。另夕卜，面材的寬度也沒(méi)有特別限制，考慮所要求的拋光層的大小，優(yōu)選為約60 約250cm。在制作粗拋光用拋光墊的情況下，面材的表面優(yōu)選進(jìn)行脫模處理。由此，制作長(zhǎng)拋光層后可以容易地進(jìn)行面材的剝離操作。在制作精加工用拋光墊的情況下，使用基材作為面材。基材沒(méi)有特別限制，可以列舉例如尼龍、聚丙烯、聚こ烯、聚酯及聚氯こ烯等的塑料膜，聚酯無(wú)紡布、尼龍無(wú)紡布、丙烯酸無(wú)紡布等纖維無(wú)紡布，浸滲聚氨酯的聚酯無(wú)紡布等樹脂浸滲的無(wú)紡布，聚氨酯泡沫、聚こ烯泡沫等高分子樹脂發(fā)泡體，丁ニ烯橡膠、異戊ニ烯橡膠等橡膠性樹脂，感光性樹脂等。其中，優(yōu)選使用尼龍、聚丙烯、聚こ烯、聚酯及聚氯こ烯等的塑料膜，聚氨酯泡沫、聚こ烯泡沫等高分子樹脂發(fā)泡體。另外，也可以使用單面膠帶作為面材。作為單面膠帶的基材，可以列舉聚對(duì)苯ニ甲酸こニ醇酯及聚丙烯等的塑料膜，特別優(yōu)選使用聚對(duì)苯ニ甲酸こニ醇酷。另夕卜，單面膠帶的基材厚度優(yōu)選為約20 約200 μ m。膠粘層的組成可以列舉例如橡膠類膠粘齊U、丙烯酸類膠粘劑等。為了賦予精加工用拋光墊韌性，優(yōu)選基材具有與聚氨酯發(fā)泡體同等的硬度或者比其更硬。另外，基材的厚度沒(méi)有特別限制，從強(qiáng)度、可撓性等的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選20 1000 μ m,更優(yōu)選 50 800 μ m。另ー方面，本發(fā)明中的緩沖層補(bǔ)充拋光層的特性。緩沖層必須同時(shí)滿足在CMP中處于權(quán)衡關(guān)系的平面性和均勻性兩者。平面性是指對(duì)具有圖案形成時(shí)產(chǎn)生的微小凹凸的被拋光材料進(jìn)行拋光時(shí)圖案部的平坦性，均勻性是指被拋光材料整體的均勻性。通過(guò)拋光層的特性改善平面性，通過(guò)緩沖層的特性改善均勻性。本發(fā)明的層壓拋光墊中，使用比拋光層更柔軟的緩沖層。緩沖層的形成材料只要比拋光層柔軟則沒(méi)有特別限制?？梢粤信e例如聚酯無(wú)紡布、尼龍無(wú)紡布、丙烯酸無(wú)紡布等纖維無(wú)紡布以及浸滲聚氨酯的聚酯無(wú)紡布等樹脂浸滲的無(wú)紡布、聚氨酯泡沫、聚乙烯泡沫等高分子樹脂發(fā)泡體、丁二烯橡膠、異戊二烯橡膠等橡膠性樹脂、感光性樹脂等。緩沖層的厚度沒(méi)有特別限制，通常為約0. 5 約I. 5mm，優(yōu)選0. 5 I. 0mm。另外，緩沖層的寬度也沒(méi)有特別限制，如果考慮所要求的層壓拋光墊的大小，優(yōu)選為約60 約250cm。
緩沖層的硬度以ASKER A硬度計(jì)為10 75度，更優(yōu)選20 65度。如果在上述范圍以外，則具有被拋光材料的均勻性(面內(nèi)均勻性)下降的傾向。第二本發(fā)明中使用的墊片原料沒(méi)有特別限制，可以列舉例如聚氨酯樹脂、聚酯樹月旨、聚酰胺樹脂、纖維素類樹脂、丙烯酸樹脂、聚碳酸酯樹脂、鹵素類樹脂(聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚偏二氟乙烯等)、聚苯乙烯及烯烴類樹脂(聚乙烯、聚丙烯等)等熱塑性樹脂；丙烯酸樹脂、聚氨酯樹脂、丙烯酸氨基甲酸酯樹脂、酚醛樹脂及環(huán)氧樹脂等熱固性樹脂；天然橡膠、異戊二烯橡膠、丁二烯橡膠、氯丁二烯橡膠、苯乙烯-丁二烯橡膠、再生橡膠、聚異丁烯橡膠、苯乙烯-異戊二烯-苯乙烯橡膠及苯乙烯-丁二烯-苯乙烯橡膠等橡膠；二甲基聚硅氧烷及二苯基聚硅氧烷等硅氧烷樹脂等。這些物質(zhì)中，優(yōu)選使用熱塑性樹脂或熱固性樹月旨，特別優(yōu)選使用熱塑性聚氨酯樹脂(TPU)或者熱固性聚氨酯樹脂。另外，墊片既可以是發(fā)泡體也可以是非發(fā)泡體。使用內(nèi)部設(shè)置的墊片作為光透過(guò)區(qū)域的情況下，該墊片的光透過(guò)率在波長(zhǎng)400 700nm的整個(gè)范圍內(nèi)優(yōu)選為20%以上，更優(yōu)選為50%以上。作為表現(xiàn)出該光透過(guò)率的材料，可以列舉例如氨基甲酸酯類、烯烴類、苯乙烯類以及酯類的熱塑性樹脂，丙烯酸類、氨基甲酸酯類、丙烯酸氨基甲酸酯類、苯酚類以及環(huán)氧類等熱固性樹脂等。使用墊片作為光透過(guò)區(qū)域使用的情況下，從提高光透過(guò)率的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選制成非發(fā)泡體。墊片的形狀沒(méi)有特別限制，但優(yōu)選截面為矩形。此時(shí)，考慮到維持尺寸穩(wěn)定性以及盡可能大地確保實(shí)質(zhì)上參與拋光的拋光區(qū)域，寬度優(yōu)選為約0. 5 約2. Ocm ;如果考慮拋光層的厚度，高度優(yōu)選為約0. I 約0.4cm。單層型墊片可以通過(guò)例如利用擠出成形形成為帶狀的方法、將擠出成形為圓筒狀的樹脂塊切割為螺旋狀并形成為帶狀的方法等制造。另夕卜，墊片也可以是將兩個(gè)以上可以剝離的樹脂片層壓而形成的層壓型墊片。層壓型墊片可以通過(guò)例如在擠出成形的樹脂片上依次擠出樹脂進(jìn)行層壓來(lái)制造。墊片的硬度沒(méi)有特別限制，以ASKER D硬度計(jì)優(yōu)選為30 70度，更優(yōu)選40 60度。如果小于30度則平坦化特性變差，如果超過(guò)70度則具有被拋光表面容易產(chǎn)生劃痕的傾向。第三本發(fā)明中使用的光透過(guò)區(qū)域形成材料沒(méi)有特別限制，優(yōu)選使用可以在進(jìn)行拋光的狀態(tài)下進(jìn)行高精度的光學(xué)終點(diǎn)檢測(cè)、并且在波長(zhǎng)400 700nm整個(gè)范圍內(nèi)光透過(guò)率為20%以上的材料，更優(yōu)選光透過(guò)率為50%以上的材料。作為這樣的材料，可以列舉例如■ 聚氨酯樹脂、聚酯樹脂、酚醛樹脂、脲樹脂、三聚氰胺樹脂、環(huán)氧樹脂及丙烯酸樹脂等熱固性樹脂；聚氨酯樹脂、聚酯樹脂、聚酰胺樹脂、纖維素類樹脂、丙烯酸樹脂、聚碳酸酯樹脂、齒素類樹脂(聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚偏二氟乙烯等)、聚苯乙烯及烯烴類樹脂(聚乙烯、聚丙烯等)等熱塑性樹脂；利用紫外線或電子射線等的光進(jìn)行固化的光固性樹脂；以及感光性樹脂等。這些樹脂可以單獨(dú)使用也可以兩種以上組合使用。另外，優(yōu)選在比較低的溫度下固化的熱固性樹脂。使用光固性樹脂的情況下，優(yōu)選組合使用光聚合引發(fā)劑。這些材料中優(yōu)選使用熱固性樹脂，特別優(yōu)選使用熱固性聚氨酯樹脂。第四本發(fā)明中使用的傳送帶及脫模片用于連續(xù)地形成帶溝長(zhǎng)拋光層。另外，傳送帶及脫模片表面具有凹結(jié)構(gòu)，具有將該凹結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到拋光層表面從而在拋光層表面形成溝的功能。傳送帶的形成材料沒(méi)有特別限制，可以列舉例如聚氨酯、聚氯乙烯、氟樹脂、橡膠及金屬等。從耐磨損性、柔軟性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選使用聚氨酯。另外，從柔軟性、脫模性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選使用氟樹脂。
脫模片的形成材料沒(méi)有特別限制，可以列舉例如聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚酯、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚氯乙烯、氟樹脂、尼龍及纖維素等。從強(qiáng)度、柔軟性、脫模性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選使用聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚丙烯。傳送帶及脫模片的表面優(yōu)選進(jìn)行脫模處理。特別是在使用聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯的情況下需要脫模處理。由此，可以容易進(jìn)行制作的帶溝長(zhǎng)拋光層的剝離操作。傳送帶及脫模片表面的凹結(jié)構(gòu)，只要可以在拋光層表面形成能夠保持和更新漿料的形狀則沒(méi)有特別限制，可以列舉例如矩形、多角形、三角形、圓形、同心圓形、螺旋形、偏心圓形、放射狀以及這些形狀組合而成的形狀。另外，這些凹結(jié)構(gòu)通常是具有規(guī)則性的凹結(jié)構(gòu)，為了得到期望的漿料保持和更新性，也可以使間距、寬度、深度等在某個(gè)范圍內(nèi)進(jìn)行變化。以下，對(duì)制造第一本發(fā)明的(層壓)拋光墊的方法進(jìn)行說(shuō)明。圖2是表示本發(fā)明的長(zhǎng)拋光層或長(zhǎng)層壓拋光片的制造工序的示意圖。氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8，只要是通過(guò)機(jī)械發(fā)泡法(包括機(jī)械起泡法)制備的即可，其它沒(méi)有特別限制。例如，氣泡分散的氨基甲酸酯組合物可以通過(guò)以下方法制備。(I)將在使異氰酸酯成分和高分子量多元醇等反應(yīng)得到的異氰酸酯末端預(yù)聚物中添加硅氧烷類表面活性劑而得到的第一成分，在非反應(yīng)性氣體存在下進(jìn)行機(jī)械攪拌，使非 反應(yīng)性氣體作為微細(xì)氣泡分散，從而得到氣泡分散液。而且，在該氣泡分散液中添加包含高分子量多元醇、低分子量多元醇等含有活性氫的化合物的第二成分，并進(jìn)行混合，制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物。第二成分中，可以添加適當(dāng)?shù)拇呋瘎?、炭黑等填料?2)在包含異氰酸酯成分(或者異氰酸酯末端預(yù)聚物)的第一成分以及包含含有活性氫的化合物的第二成分的至少一個(gè)中添加硅氧烷類表面活性劑，將添加有硅氧烷類表面活性劑的成分在非反應(yīng)性氣體的存在下進(jìn)行機(jī)械攪拌，使非反應(yīng)性氣體作為微細(xì)氣泡分散，從而得到氣泡分散液。而且，在該氣泡分散液中添加其余的成分，并進(jìn)行混合，制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物。(3)在包含異氰酸酯成分(或者異氰酸酯末端預(yù)聚物)的第一成分以及包含含有活性氫的化合物的第二成分的至少一個(gè)中添加硅氧烷類表面活性劑，在非反應(yīng)性氣體的存在下對(duì)所述第一成分及第二成分進(jìn)行機(jī)械攪拌，使非反應(yīng)性氣體作為微細(xì)氣泡分散，從而制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物。氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8，可以通過(guò)機(jī)械起泡法制備。所謂機(jī)械起泡法，是指將原料成分置于混合頭9的混合室內(nèi)，同時(shí)混入非反應(yīng)性氣體，通過(guò)用Oakes攪拌器等進(jìn)行混合攪拌，使非反應(yīng)性氣體呈微細(xì)氣泡狀態(tài)并分散到原料混合物中的方法。機(jī)械起泡法通過(guò)調(diào)節(jié)非反應(yīng)性氣體的混入量而可以容易地調(diào)節(jié)聚氨酯發(fā)泡體的密度，因此是優(yōu)選的方法。另外，根據(jù)需要，可以在氨基甲酸酯組合物中加入中空微球。其中，中空微球的添加量?jī)?yōu)選為氨基甲酸酯組合物體積的5重量％以下，更優(yōu)選3重量％以下。中空微球的添加量如果超過(guò)5重量％，則含有中空微球的氨基甲酸酯組合物粘度變高，具有聚氨酯發(fā)泡體的成形性變差的傾向。為了形成微細(xì)氣泡而使用的非反應(yīng)性氣體優(yōu)選為非可燃性氣體，具體地可以列舉氮?dú)?、氧氣、二氧化碳?xì)怏w、氦氣或氬氣等稀有氣體以及它們的混合氣體，使用經(jīng)干燥除去水分的空氣在成本方面是最優(yōu)選的。 制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物時(shí)，優(yōu)選預(yù)先在原料成分中添加作為聚烷基硅氧烷與聚醚的共聚物并且不含有活性氫基團(tuán)的硅氧烷類表面活性劑。作為所述的硅氧烷類表面活性劑，可以例示SH-190、SH-192、L-5340(東 > 夕' 々^ 一二 > 7公司制造)等作為優(yōu)選的化合物。硅氧烷類表面活性劑的添加量?jī)?yōu)選在聚氨酯發(fā)泡體中為0. 05 5重量％。硅氧烷類表面活性劑的量如果小于0.05重量％，則具有得不到微細(xì)氣泡的發(fā)泡體的傾向。另一方面，如果超過(guò)5重量％，則由于表面活性劑的增塑效果而具有難以得到高硬度的聚氨酯發(fā)泡體的傾向。另外，根據(jù)需要，可以添加抗氧化劑等穩(wěn)定劑、潤(rùn)滑劑、顏料、填充劑、防靜電劑、以及其它添加劑。另外，也可以使用叔胺類等公知的促進(jìn)聚氨酯反應(yīng)的催化劑。催化劑的種類和添加量考慮將氣泡分散的氨基甲酸酯組合物排出到面材(基材)或者緩沖層上后的流動(dòng)時(shí)間而進(jìn)行適當(dāng)選擇。作為使非反應(yīng)性氣體呈微細(xì)氣泡狀分散的攪拌裝置，可以沒(méi)有特別限制地使用公知的攪拌裝置，具體可以例示均化器、高速分散機(jī)、雙軸行星式混合器(planetary mixer)、機(jī)械起泡發(fā)泡機(jī)等。攪拌裝置的攪拌葉片的形狀也沒(méi)有特別限制，使用攪打機(jī)型的攪拌葉片可以得到微細(xì)的氣泡，因此優(yōu)選。為了得到目標(biāo)聚氨酯發(fā)泡體，攪拌葉片的轉(zhuǎn)速優(yōu)選為500 2000rpm,更優(yōu)選800 1500rpm。另外,攪拌時(shí)間根據(jù)目標(biāo)密度適當(dāng)調(diào)節(jié)。另外，發(fā)泡工序中制備氣泡分散液的攪拌和將第一成分與第二成分混合的攪拌，優(yōu)選的方式是使用不同的攪拌裝置。混合工序中的攪拌可以不是形成氣泡的攪拌，優(yōu)選使用不卷入大氣泡的攪拌裝置。作為這樣的攪拌裝置，行星式混合器是優(yōu)選的。制備氣泡分散液的發(fā)泡工序和將各成分混合的混合工序的攪拌裝置也可以使用相同的攪拌裝置，也優(yōu)選根據(jù)需要進(jìn)行攪拌葉片的旋轉(zhuǎn)速度調(diào)節(jié)等攪拌條件的調(diào)節(jié)后使用。由輥送出的面材(基材)或緩沖層IOa在傳送帶11上移動(dòng)，氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8從混合頭9的排出噴嘴向該面材或緩沖層IOa上連續(xù)地排出。面材或緩沖層IOa的移動(dòng)速度及氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8的排出量考慮拋光層13的厚度而進(jìn)行適當(dāng)調(diào)節(jié)。之后，在該氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8上層壓另一面材或緩沖層10b。而且，通過(guò)在將厚度調(diào)節(jié)均勻的同時(shí)使氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8固化而形成由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的拋光層13。作為將厚度調(diào)節(jié)均勻的裝置，可以列舉例如夾持輥、涂輥等輥12等。另外，氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8的固化可以通過(guò)例如在將厚度調(diào)節(jié)均勻后使其通過(guò)傳送器上設(shè)置的加熱烘箱內(nèi)進(jìn)行(未圖示)。加熱溫度為約40 約100°C，加熱時(shí)間為約5分鐘 約60分鐘。將反應(yīng)后的氣泡分散的氨基甲酸酯組合物加熱和后固化至不流動(dòng)，具有使聚氨酯發(fā)泡體的物理特性提高的效果。之后，平行于面地將形成的拋光層13—切為二，由此同時(shí)制作兩片由拋光層13’與面材(基材)IOa或IOb構(gòu)成的長(zhǎng)拋光層15。通過(guò)同樣的方法，同時(shí)制作兩片由拋光層13’與緩沖層IOa或IOb構(gòu)成的長(zhǎng)層壓片15。將拋光層13 —切為二的方法可以列舉例如使由面材10a、拋光層13、及面材IOb構(gòu)成的層壓體在傳送器11上移動(dòng)的同時(shí)使用切割刃14將拋光層13切割的方法。切割也可以在將拋光層13預(yù)熱而使硬度降低后進(jìn)行。制作粗拋光用拋光墊的情況下，聚氨酯發(fā)泡體的平均氣泡直徑優(yōu)選為30 80 u m,更優(yōu)選30 60 y m。在脫離該范圍的情況下，具有拋光速度下降，或者拋光后的被拋光材料(晶片)的平面性(平坦性)下降的傾向。 制作精加工用拋光墊的情況下，聚氨酯發(fā)泡體的平均氣泡直徑優(yōu)選為35 300 u m,更優(yōu)選35 100 u m,特別優(yōu)選40 80 y m。在脫離該范圍的情況下，具有拋光速度下降、或者耐久性下降的傾向。另外，聚氨酯發(fā)泡體由于連續(xù)氣泡結(jié)構(gòu)而具有適當(dāng)?shù)谋Ｋ浴５玫降拈L(zhǎng)拋光層或長(zhǎng)層壓片15，例如，可以通過(guò)切割機(jī)一次切割為比所需的形狀(例如，圓形、正方形、矩形等)稍大的形狀。在制作粗拋光用拋光墊的情況下，之后，經(jīng)后固化及剝離面材的工序等，制作拋光墊或?qū)訅簰伖馄?。另外，可以在剝離面材前進(jìn)行后固化，也可以在剝離面材后進(jìn)行后固化，但是，由于通常面材與拋光層的熱收縮率不同，因此從防止拋光層變形的觀點(diǎn)考慮優(yōu)選在剝離面材后進(jìn)行后固化。另一方面，精加工用拋光墊的情況下，在不剝離基材的情況下制作拋光層與基材形成一體的拋光片。后固化后，根據(jù)所需的形狀將拋光層、拋光層與基材形成一體的拋光片、或者層壓拋光片進(jìn)行二次切割。切割成圓形的情況下，直徑為約50 約200cm，更優(yōu)選50 100cm。切割成正方形的情況下，一個(gè)邊為約50 約200cm,優(yōu)選50 150cm。切割成矩形的情況下，寬度為約50 約200cm,優(yōu)選50 100cm，長(zhǎng)度為寬度的約I. I倍 約2倍。之后，拋光層、拋光層與基材形成一體的拋光片、或者層壓拋光片經(jīng)過(guò)在拋光表面形成凹凸結(jié)構(gòu)的工序等而得到拋光墊或?qū)訅簰伖鈮|。制作粗拋光用拋光墊的情況下，拋光層13’的厚度沒(méi)有特別限制，通常為約0. 8 約4mm,優(yōu)選I 2. 5mm。另一方面，精加工用拋光墊的情況下，拋光層13’的厚度沒(méi)有特別限制，通常為約0. 2 約 2mm,優(yōu)選 0. 5 I. 5mm。另外，制作粗拋光用拋光墊的情況下，拋光層13’的比重優(yōu)選為0. 5 I. O。比重如果小于0. 5，則具有拋光層的表面強(qiáng)度下降、被拋光材料的平面性(平坦性)變差的傾向。另一方面，如果大于I. 0，則拋光層表面的微細(xì)氣泡數(shù)變少，平坦化特性良好，但是具有拋光速度變差的傾向。另一方面，精加工用拋光墊的情況下，拋光層13’的比重優(yōu)選為0. 2 0. 5。比重如果小于0. 2，則具有拋光層的耐久性下降的傾向。另外，如果大于0. 5，則為了得到某一定的彈性模量必須使材料為低交聯(lián)密度。此時(shí)，具有永久變形增大、耐久性變差的傾向。另外，在制作粗拋光用拋光墊的情況下，拋光層13’的硬度根據(jù)ASKER D硬度計(jì)優(yōu)選為45 65度。D硬度如果小于45，則具有被拋光材料的平面性(平坦性)變差的傾向。另一方面，如果大于65，則平面性良好，但是，具有被拋光材料的均勻性變差的傾向。另一方面，精加工用拋光墊的情況下，拋光層13’的硬度根據(jù)ASKER C硬度計(jì)優(yōu)選為10 80度，更優(yōu)選20 60度。ASKER C硬度如果小于10度，則具有拋光層的耐久性下降或者拋光后的被拋光材料的表面光滑性變差的傾向。另一方面，如果超過(guò)80度，則被拋光材料的表面容易產(chǎn)生劃痕。另外，拋光層13’的厚度偏差優(yōu)選為IOOiim以下。厚度偏差如果超過(guò)100 ym，則拋光層具有大的起伏，可以成為與被拋光材料的接觸狀態(tài)不同的部分，對(duì)拋光特性產(chǎn)生不良影響。另外，為了消除拋光層的厚度偏差，一般在拋光初期使用將金剛石磨粒電沉積或熔合而形成的修飾劑對(duì)拋光層表面進(jìn)行修飾，但是，超過(guò)上述范圍會(huì)使修飾時(shí)間延長(zhǎng)，使生產(chǎn)效率下降。 作為抑制拋光層的厚度偏差的方法，可以列舉用磨光機(jī)將長(zhǎng)拋光層或長(zhǎng)層壓片的表面磨光的方法。另外，也可以在將長(zhǎng)拋光層或長(zhǎng)層壓片切割后進(jìn)行磨光來(lái)抑制拋光層的厚度偏差。另外，磨光時(shí)，優(yōu)選使用粒度等不同的拋光材料分階段進(jìn)行。另外，平行于面地將形成的拋光層13 —切為二后，通過(guò)將長(zhǎng)拋光層或長(zhǎng)層壓片的表面再次切削也可以抑制厚度偏差。以下，對(duì)于第二本發(fā)明的(層壓)拋光墊的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。圖3 6是表示第二本發(fā)明的(層壓)拋光墊的制造工序的例子的示意圖。氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8，通過(guò)與前述同樣的方法制備。由輥送出的面材或緩沖層16在傳送器11上移動(dòng)。首先，在該面材或緩沖層16的兩端部和/或內(nèi)部規(guī)定位置通過(guò)由輥送出而設(shè)置墊片17。在內(nèi)部設(shè)置的墊片17，既可以如圖4所示在面材或緩沖層16的大致中央處設(shè)置I個(gè)，也可以以規(guī)定間隔設(shè)置2個(gè)以上。但是，如果墊片17的數(shù)目過(guò)多則參與拋光的拋光區(qū)域的面積相對(duì)變小，因此從拋光特性的觀點(diǎn)考慮不優(yōu)選。因此，例如，在使用寬度約60 約IOOcm的面材或緩沖層16的情況下，在內(nèi)部設(shè)置的墊片17的數(shù)目?jī)?yōu)選為I 3個(gè)。另外，在內(nèi)部設(shè)置多個(gè)墊片17時(shí)，優(yōu)選其間隔恒定。另外，在內(nèi)部設(shè)置的墊片17，既可以如圖4所示連續(xù)設(shè)置，也可以如圖6所示間斷設(shè)置。通過(guò)間斷地設(shè)置墊片17，可以進(jìn)一步增大參與拋光的拋光區(qū)域的面積。之后，從混合頭9的排出噴嘴向未設(shè)置墊片17的面材或緩沖層16上連續(xù)地排出所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物。面材或緩沖層16的移動(dòng)速度及氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8的排出量考慮拋光層的厚度而進(jìn)行適當(dāng)調(diào)節(jié)。之后，在排出的所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8上層壓面材18，在將厚度調(diào)節(jié)均勻的同時(shí)使氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8固化，由此形成由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的拋光層，得到長(zhǎng)拋光層或長(zhǎng)層壓片。作為將厚度調(diào)節(jié)均勻的裝置，可以列舉例如夾持輥、涂輥等輥12、刮刀等。另外，氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的固化，例如，通過(guò)在將厚度調(diào)節(jié)均勻后通過(guò)設(shè)置在傳送器上的加熱烘箱(未圖示)內(nèi)部而進(jìn)行。加熱溫度為約40 約100°C，加熱時(shí)間為約5 約10分鐘。將反應(yīng)后的氣泡分散的氨基甲酸酯組合物加熱和后固化至不流動(dòng)，具有使聚氨酯發(fā)泡體的物理特性提高的效果。
得到的長(zhǎng)拋光層或長(zhǎng)層壓片，與前述同樣地經(jīng)切割、后固化、在拋光表面形成凹凸結(jié)構(gòu)的工序等，得到拋光墊或?qū)訅簰伖鈮|。聚氨酯發(fā)泡體的平均氣泡直徑、拋光層的厚度、比重、硬度以及厚度偏差等與前述同樣。以下，對(duì)第三本發(fā)明的(層壓)拋光墊的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。圖7、8是表示第三本發(fā)明的拋光墊制造工序的例子的示意圖。圖9、10是表示第三本發(fā)明的層壓拋光墊制造工序的例子的不意圖。氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8通過(guò)與前述同樣的方法制備。由輥送出的面材18或緩沖層19在傳送器11上移動(dòng)。緩沖層19上連續(xù)或間斷地設(shè)置了用于形成光透過(guò)區(qū)域的貫通孔20。貫通孔20的寬度沒(méi)有特別限制，通常為約0.5 約2cm，優(yōu)選約0. 6 約I. 5cm。另外，間斷地設(shè)置貫通孔20的情況下，各貫通孔的長(zhǎng)度為約I 約10cm，優(yōu)選約3 約8cm。另外，其形狀也沒(méi)有特別限制，可以列舉例如矩形、多角形、圓形、橢圓形等。另外，貫通孔20在緩沖層19上可以設(shè)置兩行以上。如圖7和8所示，光透過(guò)區(qū)域形成材料21從排出頭22的噴嘴向面材18上連續(xù)或間斷地排出。與此同時(shí)或者稍遲，氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8從混合頭9的排出噴嘴向該面材18上連續(xù)地排出。面材18的移動(dòng)速度、光透過(guò)區(qū)域形成材料21及氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8的排出量，考慮光透過(guò)區(qū)域的厚度及面積、拋光區(qū)域的厚度而進(jìn)行適當(dāng)調(diào)節(jié)。所述光透過(guò)區(qū)域形成材料21，排出時(shí)的粘度優(yōu)選為I 30Pa*s，更優(yōu)選2 20Pa*s。另外，所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8，排出時(shí)的粘度優(yōu)選為I 20Pa *s，更優(yōu)選2 IOPa S。另一方面，如圖9和10所示，由排出頭22的噴嘴連續(xù)或間斷地排出光透過(guò)區(qū)域形成材料21，以使其在緩沖層19上設(shè)置的貫通孔20內(nèi)及其上堆積。與此同時(shí)或稍遲，氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8從混合頭9的排出噴嘴向該緩沖層19上連續(xù)地排出。緩沖層19的移動(dòng)速度、光透過(guò)區(qū)域形成材料21及氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8的排出量，考慮光透過(guò)區(qū)域的厚度及面積、拋光區(qū)域的厚度而進(jìn)行適當(dāng)調(diào)節(jié)。所述光透過(guò)區(qū)域形成材料21，排出時(shí)的粘度優(yōu)選為I 30Pa s，更優(yōu)選2 20Pa S。另外，所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8，排出時(shí)的粘度優(yōu)選為I 20Pa s，更優(yōu)選2 IOPa S。之后，在光透過(guò)區(qū)域形成材料21及氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8上層壓面材18。而且，通過(guò)在將厚度調(diào)節(jié)均勻的同時(shí)使光透過(guò)區(qū)域形成材料21及氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8固化，制作光透過(guò)區(qū)域與拋光區(qū)域一體成形的長(zhǎng)拋光層或長(zhǎng)層壓片。作為將厚度調(diào)節(jié)均勻的裝置，可以列舉例如夾持輥、涂輥等輥12等。另外，光透過(guò)區(qū)域形成材料21及氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8的固化，例如，通過(guò)在將厚度調(diào)節(jié)均勻后通過(guò)設(shè)置在傳送器上的加熱烘箱(未圖示)內(nèi)部而進(jìn)行。加熱溫度為約40 約100°C，加熱時(shí)間為約5 約10分鐘。將反應(yīng)后的氣泡分散的氨基甲酸酯組合物加熱和后固化至不流動(dòng)，具有使聚氨酯發(fā)泡體的物理特性提高的效果。另外，光透過(guò)區(qū)域形成材料為熱塑性樹脂的情況下，在使氣泡分散的氨基甲酸酯組合物熱固化后，通過(guò)將光透過(guò)區(qū)域形成材料冷卻使其固化。另外，光透過(guò)區(qū)域形成材料為光固性樹脂的情況下，通過(guò)照射紫外線或電子射線等光而使其固化。所述光透過(guò)區(qū)域從提高光透過(guò)率的觀點(diǎn)考慮優(yōu)選盡可能不含氣泡。得到的長(zhǎng)拋光層或長(zhǎng)層壓片，與前述同樣地經(jīng)切割、后固化、在拋光表面形成凹凸、結(jié)構(gòu)的工序等，得到拋光墊或?qū)訅簰伖鈮|。聚氨酯發(fā)泡體的平均氣泡直徑、拋光層的厚度、比重、硬度以及厚度偏差等與前述同樣。以下，對(duì)第四本發(fā)明的帶溝(層壓)拋光墊的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。圖11是表示使用傳送帶的帶溝(層壓)拋光墊制造工序的示意圖。圖12是表示使用脫模片的帶溝(層壓)拋光墊制造工序的示意圖。氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8通過(guò)與前述同樣的方法制備。圖11中，傳送帶23在傳送器11上旋轉(zhuǎn)移動(dòng)。首先，從混合頭9的排出噴嘴向傳送帶23上連續(xù)地排出氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8。傳送帶23的移動(dòng)速度及氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8的排出量考慮拋光層的厚度而進(jìn)行適當(dāng)調(diào)節(jié)。 在向傳送帶23上排出氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8前，優(yōu)選在傳送帶23的兩端部設(shè)置墊片17。由此，可以防止氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8的滴落，并且可以提高拋光層的厚度精度。作為墊片的原料，可以列舉例如聚氨酯樹脂、聚酯樹脂、聚酰胺樹脂、纖維素類樹脂、丙烯酸樹脂、聚碳酸酯樹脂、鹵素類樹脂、聚苯乙烯、及烯烴類樹脂(聚乙烯、聚丙烯等)等熱塑性樹脂；天然橡膠、異戊二烯橡膠、丁二烯橡膠、氯丁二烯橡膠、苯乙烯-丁二烯橡膠、再生橡膠、及聚異丁烯橡膠等橡膠；二甲基聚硅氧烷及二苯基聚硅氧烷等娃氧燒樹脂等。之后，在排出的所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8上層壓面材或緩沖層16，通過(guò)在將厚度調(diào)節(jié)均勻的同時(shí)使氣泡分散的氨基甲酸酯組合物8固化而制作由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的帶溝長(zhǎng)拋光層或具有該帶溝長(zhǎng)拋光層的帶溝長(zhǎng)層壓片。作為將厚度調(diào)節(jié)均勻的裝置，可以列舉例如夾持輥、涂輥等輥12、刮刀等等。另外，氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的固化，例如，通過(guò)在將厚度調(diào)節(jié)均勻后通過(guò)設(shè)置在傳送器上的加熱烘箱(未圖示)內(nèi)部而進(jìn)行。加熱溫度為約40 約100°C，加熱時(shí)間為約5 約10分鐘。將反應(yīng)后的氣泡分散的氨基甲酸酯組合物加熱和后固化至不流動(dòng)，具有使聚氨酯發(fā)泡體的物理特性提高的效果。另一方面，在圖12中，脫模片24在傳送器11上移動(dòng)。脫模片24既可以使用預(yù)先形成凹結(jié)構(gòu)的脫模片，也可以使用型輥25在向傳送器上供給的同時(shí)形成凹結(jié)構(gòu)。通過(guò)其它與上述同樣的方法，可以制作帶溝長(zhǎng)拋光層或帶溝長(zhǎng)層壓片。之后，從傳送帶上剝離所得到的帶溝長(zhǎng)拋光層或帶溝長(zhǎng)層壓片，并與前述同樣地經(jīng)切割和后固化等，得到帶溝拋光墊或帶溝層壓拋光墊。另一方面，使用脫模片的情況下，從得到的帶溝長(zhǎng)拋光層或帶溝長(zhǎng)層壓片上剝離脫模片。之后，通過(guò)與前述同樣的方法進(jìn)行切割和后固化等，可以制作帶溝(層壓)拋光墊。聚氨酯發(fā)泡體的平均氣泡直徑、拋光層的厚度、比重、硬度、以及厚度偏差等與前述同樣。通過(guò)上述方法制作的第四本發(fā)明的帶溝(層壓)拋光墊，在與被拋光材料接觸的拋光表面上具有用于保持和更新漿料的溝。由發(fā)泡體構(gòu)成的拋光層，在拋光表面具有許多開口，具有保持和更新漿料的作用，通過(guò)在拋光表面形成溝，可以更有效地進(jìn)行漿料的保持和更新，并且可以防止由于與被拋光材料的吸附導(dǎo)致的被拋光材料的破壞。形成的溝具體而言可以是XY格子溝、同心圓形溝、多角棱柱、圓柱、螺旋形溝、偏心圓形溝、放射狀溝、以及這些形狀組合成的形狀等。
第一至第三本發(fā)明的(層壓)拋光墊中，與被拋光材料(晶片)接觸的拋光表面也可以具有用于保持和更新漿料的凹凸結(jié)構(gòu)。由發(fā)泡體構(gòu)成的拋光層，在拋光表面具有許多開口，具有保持和更新漿料的作用，通過(guò)在拋光表面形成凹凸結(jié)構(gòu)，可以更有效地進(jìn)行漿料的保持和更新，并且可以防止由于與被拋光材料的吸附導(dǎo)致的被拋光材料的破壞。凹凸結(jié)構(gòu)，只要具有保持和更新漿料的形狀則沒(méi)有特別限制，可以列舉例如XY格子溝、同心圓形溝、貫通孔、不貫通的孔、多角棱柱、圓柱、螺旋形溝、偏心圓形溝、放射狀溝、以及將這些溝組合而成的結(jié)構(gòu)。另外，一般這些凹凸結(jié)構(gòu)具有規(guī)則性，但是，為了得到所期望的漿料保持和更新性，也可以使溝間距、溝寬度、溝深等在某個(gè)范圍內(nèi)進(jìn)行變化。所述凹凸結(jié)構(gòu)的制作方法沒(méi)有特別限制，例如，可以列舉使用規(guī)定尺寸的車刀等夾具進(jìn)行機(jī)械切削的方法、使用具有規(guī)定表面形狀的壓板按壓樹脂的方法、通過(guò)光刻法制作的方法、使用印刷法制作的方法、通過(guò)使用二氧化碳激光等激光制作的方法等。第一至第四本發(fā)明的(層壓)拋光墊，在拋光層、基材或緩沖層的與臺(tái)板接觸的面?zhèn)瓤梢栽O(shè)置雙面膠帶。另外，使用單面膠帶作為面材時(shí)，在基材上設(shè)置用于與臺(tái)板粘合的膠粘劑層，因此不必另外設(shè)置雙面膠帶。作為該雙面膠帶，可以使用具有在基材層的兩面設(shè)置 膠粘層的一般結(jié)構(gòu)的雙面膠帶。作為基材層，可以列舉例如無(wú)紡布、膜等。如果考慮(層壓)拋光墊使用后從臺(tái)板上的剝離，則基材層優(yōu)選使用膜。另外，作為膠粘層的組成，可以列舉例如橡膠類膠粘劑、丙烯酸類膠粘劑等。如果考慮金屬離子的含量，則優(yōu)選丙烯酸類膠粘劑，因?yàn)榻饘匐x子含量小。半導(dǎo)體器件，經(jīng)使用所述(層壓)拋光墊對(duì)半導(dǎo)體晶片的表面進(jìn)行拋光的工序而進(jìn)行制造。半導(dǎo)體晶片，一般是指在硅晶片上層壓布線金屬及氧化膜而形成的材料。半導(dǎo)體晶片的拋光方法、拋光裝置沒(méi)有特別限制，例如，可以使用如圖I所示具有支撐(層壓)拋光墊I的拋光平臺(tái)2、支撐半導(dǎo)體晶片4的支撐臺(tái)(拋光頭)5和用于對(duì)晶片進(jìn)行均勻加壓的背襯材料、和拋光劑3的供給機(jī)構(gòu)的拋光裝置等進(jìn)行。(層壓)拋光墊I例如通過(guò)用雙面膠帶粘貼而安裝在拋光平臺(tái)2上。拋光平臺(tái)2和支撐臺(tái)5，以使各自支撐的(層壓)拋光墊I和半導(dǎo)體晶片4相對(duì)的方式設(shè)置，分別具有旋轉(zhuǎn)軸6、7。另外，支撐臺(tái)5側(cè)設(shè)置用于將半導(dǎo)體晶片4壓在(層壓)拋光墊I上的加壓機(jī)構(gòu)。拋光時(shí)，使拋光平臺(tái)2和支撐臺(tái)5旋轉(zhuǎn)的同時(shí)將半導(dǎo)體晶片4壓在(層壓)拋光墊I上，一邊供給漿料一邊進(jìn)行拋光。漿料的流量、拋光載荷、拋光平臺(tái)轉(zhuǎn)速、以及晶片轉(zhuǎn)速?zèng)]有特別限制，可以適當(dāng)進(jìn)行調(diào)節(jié)。由此，將半導(dǎo)體晶片4的表面的突出部分除去而拋光為平坦?fàn)?。之后，通過(guò)切片、焊接、包裝等制作半導(dǎo)體器件。半導(dǎo)體器件用于運(yùn)算處理裝置及存儲(chǔ)器等。實(shí)施例以下，列舉實(shí)施例說(shuō)明本發(fā)明，但是，本發(fā)明不限于這些實(shí)施例。[第I發(fā)明]制造例I將甲苯二異氰酸酯(2，4_形式/2，6_形式=80/20的混合物)32重量份、4，4’ - 二環(huán)己基甲烷二異氰酸酯8重量份、聚丁二醇(數(shù)均分子量1006) 54重量份及二乙二醇6重量份混合，在80°C下加熱攪拌120分鐘，制作異氰酸酯末端預(yù)聚物(異氰酸酯當(dāng)量2. lmeq/g)。制作將該異氰酸酯末端預(yù)聚物100重量份和硅氧烷類表面活性劑(東 > 夕'々- 一二、y >/ 'y -j ^ >公司制造、SH-192)3重量份混合并調(diào)節(jié)溫度至80°C的混合物A。將該混合物A 80重量份、以及在120°C下熔融的4，4’ -亞甲基雙(鄰氯苯胺)(人)、W $ *>公司制造，^ ^ 7 ^ T MT) 20重量份在混合室內(nèi)混合，同時(shí)通過(guò)在混合物中進(jìn)行機(jī)械攪拌而使空氣分散，制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物A。實(shí)施例I在送出由PET膜構(gòu)成并且進(jìn)行了剝離處理的面材(厚度188iim、寬度100cm)的同時(shí)向該面材上連續(xù)地排出所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物A。而且，用PET膜構(gòu)成并且進(jìn)行了剝離處理的另一面材(厚度lSSym、寬度100cm)覆蓋氣泡分散的氨基甲酸酯組合物A，使用夾持輥將厚度調(diào)節(jié)均勻。之后，通過(guò)加熱至80°C而使該組合物固化，形成由獨(dú)立氣泡結(jié)構(gòu)的聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的拋光層，制成層壓體。將制作的層壓體的拋光層用帶鋸機(jī)型切割機(jī)’ >公司制造，Gl)平行于面地一切為二，由此同時(shí)制作兩片由拋光層(厚度1. 5mm)和面材構(gòu)成的長(zhǎng)拋光層。而且，以80cm見方將長(zhǎng)拋光層一次切割后,剝離面材，在80°C下后固化6小時(shí)，進(jìn)一步二次切割為直徑70cm的大小，制作拋光層。然后，使用磨光機(jī)公司制造)對(duì)該拋光層的表面進(jìn)行磨光處理，調(diào)節(jié)厚度精度至厚度為 1.27_。而且，使用溝加工機(jī)(東邦鋼機(jī)公司制造)在該拋光層的拋光表面進(jìn)行溝加工，在背面層壓緩沖層，制作層壓拋光墊。實(shí)施例2在送出由進(jìn)行表面磨光調(diào)節(jié)為厚度0.8mm的聚乙烯泡沫(東 >公司制造，卜一 >^ ^ )構(gòu)成的緩沖層(寬度90cm)的同時(shí)向該緩沖層上連續(xù)地排出所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物A。然后，用另一緩沖層(寬度90cm)覆蓋氣泡分散的氨基甲酸酯組合物A，使用夾持輥將厚度調(diào)節(jié)均勻。之后，通過(guò)加熱至80°C而使該組合物固化，形成由獨(dú)立氣泡結(jié)構(gòu)的聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的拋光層，制成層壓體。將制作的層壓體的拋光層用帶鋸機(jī)型切割機(jī)(7 二:y > >公司制造，Cl)平行于面地一切為二，由此同時(shí)制作兩片由拋光層(厚度1.5mm)和緩沖層構(gòu)成的長(zhǎng)層壓片。然后，以80cm見方將該長(zhǎng)層壓片一次切割后，在80°C下后固化6小時(shí)，進(jìn)一步二次切割為直徑70cm的大小，制作層壓拋光片。然后，使用磨光機(jī)(7 ^ r ^公司制造)對(duì)該拋光片的表面進(jìn)行磨光處理，調(diào)節(jié)厚度精度至厚度為I. 27_。而且，使用溝加工機(jī)(東邦鋼機(jī)公司制造)在該層壓拋光片的拋光表面進(jìn)行溝加工，制作層壓拋光墊。制造例2在容器內(nèi)放入P0P36/28(三井化學(xué)株式會(huì)社制造，聚合物多元醇，羥值28mgK0H/g)45重量份、ED-37A(三井化學(xué)株式會(huì)社制造，聚醚多元醇，羥值38mgK0H/g)40重量份、PCL305 (Daicel化學(xué)(株)制造，聚酯多元醇，羥值305mgK0H/g) 10重量份、二乙二醇5重量份、硅氧烷類表面活性劑(東 > 夕' 々^ 一二 > 7 U ^ >公司制造、SH-192)5. 5重量份及催化劑(No. 25，花王制造)0.25重量份，并混合。然后，使用攪拌葉片，以轉(zhuǎn)速900rpm進(jìn)行4分鐘劇烈攪拌以將氣泡帶入反應(yīng)體系內(nèi)。之后，添加S 才+ —卜MTL(日本>夕 >工業(yè)制造)31. 57重量份，并攪拌約I分鐘，制作氣泡分散的氨基甲酸酯組合物B。實(shí)施例3在送出基材(東洋紡織公司制造，東洋紡二 ^ ^ >E5001，聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯，厚度0. 188mm、寬度100cm)的同時(shí)向該基材上連續(xù)地排出所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物B。然后，用另一所述基材覆蓋氣泡分散的氨基甲酸酯組合物B，使用夾持輥將厚度調(diào)節(jié)均勻。之后，通過(guò)加熱至70°C而使該組合物固化，形成由連續(xù)氣泡結(jié)構(gòu)的聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的拋光層，制成層壓體。將制作的層壓體的拋光層用帶鋸機(jī)型切割機(jī)’ >公司制造，Gl)平行于面地一切為二，由此同時(shí)制作兩片由拋光層(厚度1.2mm)和基材構(gòu)成的長(zhǎng)拋光層。而且，以80cm見方將長(zhǎng)拋光層一次切割后，在70°C下后固化6小時(shí)，進(jìn)一步二次切割為直徑70cm的大小，制作拋光片。然后，使用磨光機(jī)(r H y々公司制造)對(duì)該拋光片的表面進(jìn)行磨光處理，調(diào)節(jié)厚度精度至厚度為1.0mm。而且，使用溝加工機(jī)(東邦鋼機(jī)公司制造)在該拋光片的拋光表面進(jìn)行溝加工，制作拋光墊。實(shí)施例4除了使用在聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(厚度0. 188mm、寬度100mm)的單面上具有丙烯酸類膠粘劑層的單面膠帶代替實(shí)施例3中的基材(東洋紡- E5001)以外，通過(guò)與實(shí)施例3同樣的方法制作拋光墊。
[第2發(fā)明]制造例將甲苯二異氰酸酯(2，4_形式/2，6_形式=80/20的混合物)32重量份、4，4’ - 二環(huán)己基甲烷二異氰酸酯8重量份、聚丁二醇(數(shù)均分子量1006) 54重量份及二乙二醇6重量份混合，在80°C下加熱攪拌120分鐘，制作異氰酸酯末端預(yù)聚物(異氰酸酯當(dāng)量2. lmeq/g)。制作將該異氰酸酯末端預(yù)聚物100重量份和硅氧烷類表面活性劑(東> 夕'々口一二'J 2 >公司制造、SH-192)3重量份混合并調(diào)節(jié)溫度至80°C的混合物A。將該混合物A 80重量份、以及在120°C下熔融的4，4’ -亞甲基雙(鄰氯苯胺)(彳7、9夕S力 > 公司制造，^ ^ 7 ^ T MT) 20重量份在混合室內(nèi)混合，同時(shí)通過(guò)在混合物中進(jìn)行機(jī)械攪拌而使空氣分散，制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物。實(shí)施例I通過(guò)將TPU(日本S 9夕卜9 >公司制造，S 9夕卜9 > E498)以寬度6mm、厚度2_擠出成形而制作帶狀墊片A。制作的墊片A的光透過(guò)率用分光光度計(jì)(日立制作所制，U-3210Spectro Photometer)在測(cè)定波長(zhǎng)范圍400 700nm進(jìn)行測(cè)定，在整個(gè)范圍為50%以上。在送出由聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)構(gòu)成的面材(厚度50 U m、寬度100cm)的同時(shí)在該面材的兩端部及中央部設(shè)置墊片A。之后，向未設(shè)置墊片A的面材上連續(xù)地排出所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物。而且，用PET構(gòu)成的另一面材(厚度50 iim、寬度100cm)覆蓋氣泡分散的氨基甲酸酯組合物，使用夾持輥將厚度調(diào)節(jié)均勻。之后，通過(guò)加熱至80°C而使該組合物固化，形成由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的長(zhǎng)拋光層。而且，以80cm見方將長(zhǎng)拋光層一次切割后，剝離兩面材，在80°C下后固化6小時(shí)，進(jìn)一步二次切割為直徑70cm的大小，得到拋光層。然后，使用磨光機(jī)U WJ々公司制造)對(duì)該拋光層的表面進(jìn)行磨光處理，調(diào)節(jié)厚度精度。而且，使用溝加工機(jī)(東邦鋼機(jī)公司制造)在該拋光層的拋光表面進(jìn)行溝加工，在背面層壓緩沖層，制作層壓拋光墊。實(shí)施例2通過(guò)將TPU(日本S 9夕卜9 >公司制造，S 9夕卜9 > E498)以寬度6mm、厚度2. 8mm擠出成形而制作帶狀墊片B。制作的墊片B的光透過(guò)率用分光光度計(jì)(日立制作所制，U-3210Spectro Photometer)在測(cè)定波長(zhǎng)范圍400 700nm進(jìn)行測(cè)定，在整個(gè)范圍為50%以上。在送出由進(jìn)行表面磨光調(diào)節(jié)為厚度0.8mm的聚乙烯泡沫(東 >公司制造，卜一 >^ ^ )構(gòu)成、并且在中央部具有寬度6mm的貫通孔的緩沖層(寬度90cm)的同時(shí)在該緩沖層的兩端部設(shè)置墊片A、在貫通孔中設(shè)置墊片B。之后，向未設(shè)置墊片的緩沖層上連續(xù)地排出所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物。然后，用PET構(gòu)成的面材(厚度50 iim、寬度90cm)覆蓋氣泡分散的氨基甲酸酯組合物，使用夾持輥將厚度調(diào)節(jié)均勻。之后，通過(guò)加熱至80°C而使該組合物固化，形成由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的拋光層，制成長(zhǎng)層壓片。然后，以80cm見方將該長(zhǎng)層壓片一次切割后，剝離面材，在80°C下后固化6小時(shí)，進(jìn)一步二次切割為直徑70cm的大小，制作層壓拋光片。然后，使用磨光機(jī)U WJ々公司制造)對(duì)該拋光片的表面進(jìn)行磨光處理，調(diào)節(jié)厚度精度。而且，使用溝加工機(jī)(東邦鋼機(jī)公司制造)在該層壓拋光片的拋光層表面進(jìn)行溝加工，制作層壓拋光墊。實(shí)施例3 通過(guò)與前述制造例同樣的方法制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物。在送出由PET膜構(gòu)成、并且進(jìn)行了剝離處理的面材的同時(shí)向該面材上連續(xù)地排出所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物。然后，用由PET膜構(gòu)成、并且進(jìn)行了剝離處理的另一面材覆蓋氣泡分散的氨基甲酸酯組合物，并使用夾持輥將厚度調(diào)節(jié)均勻。之后，通過(guò)加熱至80°C而使該組合物固化，制作聚氨酯發(fā)泡體片。從該聚氨酯發(fā)泡體片上剝離面材，并在80°C下后固化6小時(shí)。之后，將該聚氨酯發(fā)泡體片以寬度6mm、厚度2mm進(jìn)行切割，制作帶狀的墊片C。在送出由進(jìn)行表面磨光調(diào)節(jié)為厚度0.8mm的聚乙烯泡沫(東 >公司制造，卜一 >^ ^ )構(gòu)成的緩沖層(寬度90cm)的同時(shí)在該緩沖層的兩端部和中央部設(shè)置墊片C。之后，向未設(shè)置墊片的緩沖層上連續(xù)地排出所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物。然后，用PET構(gòu)成的面材(厚度50iim寬度90cm)覆蓋氣泡分散的氨基甲酸酯組合物，使用夾持輥將厚度調(diào)節(jié)均勻。之后，通過(guò)加熱至80°C而使該組合物固化，形成由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的拋光層，制成長(zhǎng)層壓片。然后，以80cm見方將該長(zhǎng)層壓片一次切割后，剝離面材，在80°C下后固化6小時(shí)，進(jìn)一步二次切割為直徑70cm的大小，制作層壓拋光片。然后，使用磨光機(jī){r WJ夂公司制造)對(duì)該拋光片的表面進(jìn)行磨光處理，調(diào)節(jié)厚度精度。而且，使用溝加工機(jī)(東邦鋼機(jī)公司制造)在該層壓拋光片的拋光層表面進(jìn)行溝加工，制作層壓拋光墊。實(shí)施例4通過(guò)將TPU(日本S 9夕卜9 >公司制造，S 9夕卜9 > E498)以寬度6mm、厚度0. 5mm擠出成形而制作帶狀第一墊片。之后,在該第一墊片上依次將TPU以寬度6mm、厚度0. 5mm擠出成形而進(jìn)行層壓，制成由可以剝離的4層TPU片構(gòu)成的帶狀層壓墊片D(寬度6mm、厚度 2mm、長(zhǎng)度 IOcm)。在送出由PET構(gòu)成的面材(厚度50iim、寬度100cm)的同時(shí)在該面材的兩端部以該面材的寬度方向20cm間隔、并且送出方向20cm間隔設(shè)置層壓墊片D(其中，以該墊片的長(zhǎng)邊與送出方向平行的方式進(jìn)行設(shè)置)。之后，向未設(shè)置層壓墊片D的面材上連續(xù)地排出所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物。然后，用PET構(gòu)成的另一面材(厚度50iim、寬度100cm)覆蓋氣泡分散的氨基甲酸酯組合物，并使用夾持輥將厚度調(diào)節(jié)均勻。之后，通過(guò)加熱至80°C而使該組合物固化，制作由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的長(zhǎng)拋光層。然后，以80cm見方將該長(zhǎng)拋光層一次切割后，剝離兩面材，在80°C下后固化6小時(shí)，進(jìn)一步二次切割為直徑70cm的大小，得到拋光層。然后，使用磨光機(jī)(7 S f 々公司制造)對(duì)該拋光層的表面進(jìn)行磨光處理，調(diào)節(jié)厚度精度。而且，將拋光表面?zhèn)鹊膶訅簤|片D的TPU片剝離一層，形成深度0. 5mm的溝。并且，在背面?zhèn)葘訅壕彌_層，制成拋光墊。實(shí)施例5通過(guò)將TPU(日本S 9夕卜9 >公司制造，S 9夕卜9 > E498)以寬度6mm、厚度2. 8mm擠出成形而制作帶狀墊片，并切割成IOcm的長(zhǎng)度,制成墊片E (寬度6_、厚度2. 8mm>長(zhǎng)度IOcm)。在送出由進(jìn)行表面磨光調(diào)節(jié)為厚度0.8mm的聚乙烯泡沫(東 >公司制造，卜一 >^ 7 )構(gòu)成、并且在中央部以送出方向20cm間隔具有寬度6mm、長(zhǎng)度(送出方向)IOcm的貫通孔的緩沖層(寬度90cm)的同時(shí)在該緩沖層的兩端部設(shè)置墊片A、在貫通孔中設(shè)置墊片E。之后，向未設(shè)置墊片的緩沖層上連續(xù)地排出所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物。然后， 用PET構(gòu)成的面材(厚度50 ii m寬度90cm)覆蓋氣泡分散的氨基甲酸酯組合物，使用夾持輥將厚度調(diào)節(jié)均勻。之后，通過(guò)加熱至80°C而使該組合物固化，形成由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的拋光層，制成長(zhǎng)層壓片。然后，以80cm見方將該長(zhǎng)層壓片一次切割后，剝離面材，在80°C下后固化6小時(shí)，進(jìn)一步二次切割為直徑70cm的大小，制作層壓拋光片。然后，使用磨光機(jī)
々公司制造)對(duì)該拋光片的表面進(jìn)行磨光處理，調(diào)節(jié)厚度精度。而且，使用溝加工機(jī)(東邦鋼機(jī)公司制造)在該層壓拋光片的拋光層表面進(jìn)行溝加工，制作層壓拋光墊。實(shí)施例6通過(guò)將TPU(日本S 9夕卜9 >公司制造，S 9夕卜9 > E498)以寬度6mm、厚度0.7mm擠出成形而制作帶狀第一墊片。之后，在第一墊片上依次將TPU以寬度6mm、厚度
0.7mm擠出成形而進(jìn)行層壓，制成由可以剝離的4層TPU片構(gòu)成的帶狀層壓墊片F(xiàn)(寬度6mm、厚度 2. 8mm、長(zhǎng)度 IOcm)。在送出由進(jìn)行表面磨光調(diào)節(jié)為厚度0.8mm的聚乙烯泡沫(東 >公司制造，卜一 >^ 7 )構(gòu)成、并且在中央部以送出方向20cm間隔具有寬度6mm、長(zhǎng)度(送出方向)IOcm的貫通孔的緩沖層(寬度90cm)的同時(shí)在該緩沖層的兩端部設(shè)置墊片A、在貫通孔中設(shè)置層壓墊片F(xiàn)。之后，向未設(shè)置墊片的緩沖層上連續(xù)地排出所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物。然后，用PET構(gòu)成的面材(厚度50 iim、寬度90cm)覆蓋氣泡分散的氨基甲酸酯組合物，使用夾持輥將厚度調(diào)節(jié)均勻。之后，通過(guò)加熱至80°C而使該組合物固化，形成由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的拋光層，制成長(zhǎng)層壓片。然后，以80cm見方將該長(zhǎng)層壓片一次切割后，剝離面材，在80°C下后固化6小時(shí)，進(jìn)一步二次切割為直徑70cm的大小，制作層壓拋光片。然后，使用磨光機(jī)
々公司制造)對(duì)該拋光片的表面進(jìn)行磨光處理，調(diào)節(jié)厚度精度。而且，使用溝加工機(jī)(東邦鋼機(jī)公司制造)在該層壓拋光片的拋光層表面進(jìn)行溝加工，并且將拋光背面?zhèn)鹊膶訅簤|片F(xiàn)的TPU片剝離一層，形成深度0. 7mm的溝，制作層壓拋光墊。[第3發(fā)明](氣泡分散的氨基甲酸酯組合物及光透過(guò)區(qū)域形成材料的粘度測(cè)定)制作的氣泡分散的氨基甲酸酯組合物及光透過(guò)區(qū)域形成材料的粘度根據(jù)JISK7117-1測(cè)定。測(cè)定裝置使用B型旋轉(zhuǎn)粘度計(jì)(東機(jī)產(chǎn)業(yè)公司制造，TV-10H)。測(cè)定條件為轉(zhuǎn)子H3，轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速2. 5 100分鐘-1，及組合物溫度調(diào)節(jié)為排出溫度。實(shí)施例I
將甲苯二異氰酸酯(2，4_形式/2，6_形式=80/20的混合物、TDI_80)32重量份、4，4’ - 二環(huán)己基甲烷二異氰酸酯(HDMI)S重量份、聚丁二醇(數(shù)均分子量1006，PTMG-1000) 54重量份及二乙二醇(DEG) 6重量份混合，在80°C下加熱攪拌120分鐘，制作異氰酸酯末端預(yù)聚物(異氰酸酯當(dāng)量2. lmeq/g)。制作將該異氰酸酯末端預(yù)聚物100重量份和硅氧烷類表面活性劑(東> 夕' 々^ 一二 > 7 U ^ >公司制造、SH_192)3重量份混合并調(diào)節(jié)溫度至60°C的混合物A。將該混合物A 80重量份、以及在120°C下熔融的4，4’_亞甲基雙(鄰氯苯胺)(八)、W U >公司制造，iMT) 20重量份在混合室內(nèi)混合，同時(shí)通過(guò)在混合物中進(jìn)行機(jī)械攪拌而使空氣分散，制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物A。光透過(guò)區(qū)域形成材料的制備將TDI-80 (28 重量份)、HMDI (3 重量份)、PTMG-1000 (67 重量份)及 DEG (2 重量份)混合，并在80°C下加熱攪拌120分鐘，制成異氰酸酯末端預(yù)聚物。將溫度調(diào)節(jié)為60°C的該異氰酸酯末端預(yù)聚物(100重量份)與在120°C下熔融的4八5矢工了矣> MT (19重量 份)混合，制備光透過(guò)區(qū)域形成材料B。在送出由PET膜構(gòu)成、并且進(jìn)行了剝離處理的面材(厚度188 iim、寬度100cm)的同時(shí)從排出頭向該面材的中央部連續(xù)地排出所述光透過(guò)區(qū)域形成材料B(65°C、粘度2. 5Pa* s)，從混合頭向面材的其它部分連續(xù)地排出所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物A(80°C、粘度lPa* S)。然后，用由PET膜構(gòu)成、并且進(jìn)行了剝離處理的另一面材(厚度188 um,寬度100cm)覆蓋光透過(guò)區(qū)域形成材料B和氣泡分散的氨基甲酸酯組合物A，并使用夾持輥將厚度調(diào)節(jié)均勻。之后，通過(guò)加熱至80°C而使兩組合物固化，制成光透過(guò)區(qū)域(寬度約Icm)和由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的拋光區(qū)域一體成形的長(zhǎng)拋光層(厚度2mm)。然后，以80cm見方將該長(zhǎng)拋光層一次切割后,剝離兩面材，在80°C下后固化6小時(shí),進(jìn)一步二次切割為直徑70cm的大小，得到拋光層。然后，使用磨光機(jī)(r H 'y々公司制造)對(duì)該拋光層的表面進(jìn)行磨光處理，調(diào)節(jié)厚度精度。而且，使用溝加工機(jī)(東邦鋼機(jī)公司制造)在該層壓拋光層的拋光表面進(jìn)行溝加工，并在背面層壓緩沖層，制作拋光墊。實(shí)施例2在送出由PET膜構(gòu)成、并且進(jìn)行了剝離處理的面材(厚度188 iim、寬度100cm)的同時(shí)從排出頭向該面材的中央部間斷地排出所述光透過(guò)區(qū)域形成材料B(65°C、粘度2. 5Pa* s)，從混合頭向面材的其它部分連續(xù)地排出所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物A(80°C、粘度lPa* S)。然后，用由PET膜構(gòu)成、并且進(jìn)行了剝離處理的另一面材(厚度188iim、寬度100cm)覆蓋光透過(guò)區(qū)域形成材料B和氣泡分散的氨基甲酸酯組合物A，并使用夾持輥將厚度調(diào)節(jié)均勻。之后，通過(guò)加熱至80°C而使兩組合物固化，制成多個(gè)光透過(guò)區(qū)域(寬度約I. 5cm、長(zhǎng)度約4cm)和由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的拋光區(qū)域一體成形的長(zhǎng)拋光層(厚度2mm)。然后，以80cm見方將該長(zhǎng)拋光層一次切割后,剝離兩面材,在80°C下后固化6小時(shí)，進(jìn)一步二次切割為直徑70cm的大小，得到拋光層。然后，使用磨光機(jī)
公司制造)對(duì)該拋光層的表面進(jìn)行磨光處理，調(diào)節(jié)厚度精度。而且，使用溝加工機(jī)(東邦鋼機(jī)公司制造)在該層壓拋光層的拋光表面進(jìn)行溝加工，并在背面層壓緩沖層，制作拋光墊。實(shí)施例3在送出由進(jìn)行表面磨光調(diào)節(jié)為厚度0.8mm的聚乙烯泡沫(東 >公司制造，卜一 >^ ^ )構(gòu)成、并且中央部具有寬度Icm的連續(xù)貫通孔的緩沖層(寬度IOOcm)的同時(shí)，從排出頭連續(xù)地排出所述光透過(guò)區(qū)域形成材料B(65°C、粘度2. 5Pa.s)使其堆積在該貫通孔內(nèi)及貫通孔上，從混合頭向緩沖層的其它部分連續(xù)地排出所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物八(801、粘度1 &^)。然后，用由PET膜構(gòu)成、并且進(jìn)行了剝離處理的面材(厚度188iim、寬度100cm)覆蓋光透過(guò)區(qū)域形成材料B及氣泡分散的氨基甲酸酯組合物A，并用夾持輥將厚度調(diào)節(jié)均勻。之后，通過(guò)加熱至80°C而使兩組合物固化，制成光透過(guò)區(qū)域(拋光表面?zhèn)鹊膶挾燃sI. 5cm)和由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的拋光區(qū)域一體成形的長(zhǎng)層壓片(拋光層厚度2mm)。然后，以80cm見方將該長(zhǎng)層壓片一次切割后,剝離面材,在80°C下后固化6小時(shí),進(jìn)一步二次切割為直徑70cm的大小，得到層壓拋光片。然后，使用磨光機(jī)(r H 'y々公司制造)對(duì)該拋光片的表面進(jìn)行磨光處理，調(diào)節(jié)厚度精度。而且，使用溝加工機(jī)(東邦鋼機(jī)公司制造)在該層壓拋光片的拋光層表面進(jìn)行溝加工，制作層壓拋光墊。實(shí)施例4在送出由進(jìn)行表面磨光調(diào)節(jié)為厚度0.8mm的聚乙烯泡沫(東 >公司制造，卜一 >^ ^ )構(gòu)成、并且中央部以恒定間隔具有多個(gè)寬度1cm、長(zhǎng)度4cm的貫通孔的緩沖層(寬度 100cm)的同時(shí)，從排出頭間斷地排出所述光透過(guò)區(qū)域形成材料B(65°C、粘度2. 5Pa*s)使其堆積在該貫通孔內(nèi)及貫通孔上，從混合頭向緩沖層的其它部分連續(xù)地排出所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物A(80°C、粘度lPa s)。然后，用由PET膜構(gòu)成、并且進(jìn)行了剝離處理的面材(厚度188 ym、寬度100cm)覆蓋光透過(guò)區(qū)域形成材料B及氣泡分散的氨基甲酸酯組合物A，并用夾持輥將厚度調(diào)節(jié)均勻。之后，通過(guò)加熱至80°C而使兩組合物固化，制成光透過(guò)區(qū)域(拋光表面?zhèn)鹊膶挾燃sI. 5cm、長(zhǎng)度約4cm)和由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的拋光區(qū)域一體成形的長(zhǎng)層壓片(拋光層厚度2mm)。然后，以80cm見方將該長(zhǎng)層壓片一次切割后，剝離面材，在80°C下后固化6小時(shí)，進(jìn)一步二次切割為直徑70cm的大小，得到層壓拋光片。然后，使用磨光機(jī)(r々公司制造)對(duì)該拋光片的表面進(jìn)行磨光處理，調(diào)節(jié)厚度精度。而且，使用溝加工機(jī)(東邦鋼機(jī)公司制造)在該層壓拋光片的拋光層表面進(jìn)行溝加工，制作層壓拋光墊。[第4發(fā)明]將甲苯二異氰酸酯(2，4_形式/2，6_形式=80/20的混合物)32重量份、4，4’ - 二環(huán)己基甲烷二異氰酸酯8重量份、聚丁二醇(數(shù)均分子量1006) 54重量份及二乙二醇6重量份混合，在80°C下加熱攪拌120分鐘，制作異氰酸酯末端預(yù)聚物(異氰酸酯當(dāng)量
2.lmeq/g)。制作將該異氰酸酯末端預(yù)聚物100重量份和硅氧烷類表面活性劑(東> 夕'々- 一二-J ^ >公司制造、SH-192)3重量份混合并調(diào)節(jié)溫度至80°C的混合物A。將該混合物A 80重量份、以及在120°C下熔融的4，4’ -亞甲基雙(鄰氯苯胺)(彳7、9夕S力 > 公司制造，^ ^ 7^ >MT)20重量份在混合室內(nèi)混合，同時(shí)通過(guò)在混合物中進(jìn)行機(jī)械攪拌而使空氣分散，制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物。在使表面具有規(guī)則的矩形凹結(jié)構(gòu)(寬度13mm、長(zhǎng)度13mm、深度0. 8mm)并且進(jìn)行了剝離處理的傳送帶(材料聚氨酯，寬度110cm)旋轉(zhuǎn)移動(dòng)的同時(shí)向其上連續(xù)地排出所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物。然后，用由PET膜構(gòu)成并且進(jìn)行了剝離處理的面材(厚度188iim、寬度100cm)覆蓋氣泡分散的氨基甲酸酯組合物，并使用夾持輥將厚度調(diào)節(jié)均勻。之后，通過(guò)加熱至80°C而使該組合物固化，制成由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的帶溝長(zhǎng)拋光層(厚度2mm)。之后，將該帶溝長(zhǎng)拋光層從傳送帶上剝離。然后，以80cm見方將該帶溝長(zhǎng)拋光層一次切割后，剝離面材，在80°C下后固化6小時(shí)，進(jìn)一步二次切割為直徑70cm的大小，得到帶溝拋光層。然后，使用磨光機(jī)U公司制造)對(duì)該拋光層的表面進(jìn)行磨光處理，
調(diào)節(jié)厚度精度。而且，在該帶溝拋光層的背面層壓緩沖層，制成帶溝層壓拋光墊。實(shí)施例2在送出表面具有規(guī)則的矩形凹結(jié)構(gòu)(寬度43mm、長(zhǎng)度43mm、深度0. 3mm)并且進(jìn)行了剝離處理的脫模片(材料PET，寬度100cm)的同時(shí)在該脫模片的兩端設(shè)置墊片。之后，向脫模片上連續(xù)地排出所述氣泡分散的氨基甲酸酯組合物。然后，用由聚乙烯泡沫(東>公司制造，卜一 > 7 )構(gòu)成的緩沖層(厚度0. 8mm,寬度100cm)覆蓋氣泡分散的氨基 甲酸酯組合物，并使用夾持輥將厚度調(diào)節(jié)均勻。之后，通過(guò)加熱至80°C而使該組合物固化，制成由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的帶溝長(zhǎng)層壓片(拋光層厚度1. 5mm)。之后，以80cm見方將該帶溝長(zhǎng)層壓片一次切割后，剝離脫模片，在80°C下后固化6小時(shí)，進(jìn)一步二次切割為直徑70cm的大小。然后，使用磨光機(jī)U WJ々公司制造)對(duì)該層壓片的表面進(jìn)行磨光處理，調(diào)節(jié)厚度精度，得到帶溝層壓拋光墊。
權(quán)利要求
1.一種帶溝拋光墊制造方法，包括通過(guò)機(jī)械發(fā)泡法制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；向具有凹結(jié)構(gòu)的傳送帶上連續(xù)地排出氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；在排出的氣泡分散的氨基甲酸酯組合物上層壓面材的エ序；通過(guò)在將厚度調(diào)節(jié)均勻的同時(shí)使氣泡分散的氨基甲酸酯組合物固化而制作由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的帶溝長(zhǎng)拋光層的エ序；從傳送帶剝離帶溝長(zhǎng)拋光層的エ序；和切割帶溝長(zhǎng)拋光層的エ序。
2.一種帶溝拋光墊制造方法，包括通過(guò)機(jī)械發(fā)泡法制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；在送出具有凹結(jié)構(gòu)的脫模片的同時(shí)向其上連續(xù)地排出氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；在排出的氣泡分散的氨基甲酸酯組合物上層壓面材的エ序；通過(guò)在將厚度調(diào)節(jié)均勻的同時(shí)使氣泡分散的氨基甲酸酯組合物固化而制作由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的帶溝長(zhǎng)拋光層的エ序；從帶溝長(zhǎng)拋光層剝離脫模片的エ序；和切割帶溝長(zhǎng)拋光層的エ序。
3.—種帶溝層壓拋光墊制造方法，包括通過(guò)機(jī)械發(fā)泡法制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；向具有凹結(jié)構(gòu)的傳送帶上連續(xù)地排出氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；在排出的氣泡分散的氨基甲酸酯組合物上層壓緩沖層的エ序；通過(guò)在將厚度調(diào)節(jié)均勻的同時(shí)使氣泡分散的氨基甲酸酯組合物固化而形成由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的帶溝長(zhǎng)拋光層，從而制作帶溝長(zhǎng)層壓片的エ序；從傳送帶剝離帶溝長(zhǎng)層壓片的エ序；和切割帶溝長(zhǎng)層壓片的エ序。
4.一種帶溝層壓拋光墊制造方法，包括通過(guò)機(jī)械發(fā)泡法制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；在送出具有凹結(jié)構(gòu)的脫模片的同時(shí)向其上連續(xù)地排出氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的エ序；在排出的氣泡分散的氨基甲酸酯組合物上層壓緩沖層的エ序；通過(guò)在將厚度調(diào)節(jié)均勻的同時(shí)使氣泡分散的氨基甲酸酯組合物固化而形成由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的帶溝長(zhǎng)拋光層，從而制作帶溝長(zhǎng)層壓片的エ序；從帶溝長(zhǎng)層壓片剝離脫模片的エ序；和切割帶溝長(zhǎng)層壓片的エ序。
5.一種帶溝拋光墊，通過(guò)權(quán)利要求I或2所述的方法制造。
6.ー種帶溝層壓拋光墊，通過(guò)權(quán)利要求3或4所述的方法制造。
7.一種半導(dǎo)體器件制造方法，包括使用權(quán)利要求5所述的帶溝拋光墊、或權(quán)利要求6所述的帶溝層壓拋光墊對(duì)半導(dǎo)體晶片表面進(jìn)行拋光的エ序。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供制造工序少、生產(chǎn)率優(yōu)良的拋光墊制造方法。另外，本發(fā)明的目的在于提供制造工序少、生產(chǎn)率優(yōu)良、拋光層和緩沖層之間不產(chǎn)生剝離的層壓拋光墊制造方法。本發(fā)明的拋光墊制造方法，包括通過(guò)機(jī)械發(fā)泡法制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的工序；在送出面材的同時(shí)向其上連續(xù)地排出氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的工序；在該氣泡分散的氨基甲酸酯組合物上層壓另一面材的工序；通過(guò)在將厚度調(diào)節(jié)均勻的同時(shí)使氣泡分散的氨基甲酸酯組合物固化而形成由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的拋光層的工序；通過(guò)與面平行地將該拋光層一切為二而同時(shí)制造兩片由拋光層和面材構(gòu)成的長(zhǎng)拋光層的工序；和切割長(zhǎng)拋光層的工序。
文檔編號(hào)C08J9/30GK102672630SQ201210073229
公開日2012年9月19日 申請(qǐng)日期2007年4月19日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月19日
發(fā)明者中村賢治, 堂浦真人, 廣瀨純司, 渡邊二夫, 福田武司 申請(qǐng)人:東洋橡膠工業(yè)株式會(huì)社