專利名稱：：拋光墊及拋光墊的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種拋光墊，詳細(xì)地說(shuō)，涉及用于拋光半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體元件、硅晶片、硬盤、玻璃基板、光學(xué)產(chǎn)品或者各種金屬等的拋光墊及其制造方法。
背景技術(shù)：
：近年來(lái)，隨著集成電路的高集成化及多層布線化，要求形成有集成電路的半導(dǎo)體晶片具有高精度的平坦性。作為用于拋光半導(dǎo)體晶片的拋光法，已知的是化學(xué)機(jī)械拋光(ChemicalMechanicalPolishing,CMP)。CMP是一邊滴下顆粒性漿誶牛一邊利用拋光墊來(lái)拋光纟皮拋光基材表面的方法。下述專利文獻(xiàn)1至4公開(kāi)了由高分子發(fā)泡體構(gòu)成的用于CMP的拋光墊，該高分子發(fā)泡體是通過(guò)將雙液硬化型聚氨酯(polyurethane)發(fā)泡成形而制成并具備獨(dú)立氣泡結(jié)構(gòu)。此類拋光墊與后述的無(wú)紡布拋光墊相比剛性較強(qiáng)，因而用于要求高精度的平坦性的半導(dǎo)體晶片的拋光等比較理想。由具備獨(dú)立氣泡結(jié)構(gòu)的高分子發(fā)泡體構(gòu)成的拋光墊，例如是通過(guò)將雙液硬化型聚氨酯鑄沖莫發(fā)泡成形而制成。此類拋光墊因具有相對(duì)較高的剛性，所以在拋光時(shí)容易選才奪性地對(duì)^皮拋光基材的凸部施加負(fù)荷，結(jié)果導(dǎo)致拋光速率(拋光速度)變得相對(duì)較高。但是，如果拋光面上存在團(tuán)聚的磨粒，由于負(fù)荷也會(huì)被選擇性地施加到團(tuán)聚的磨粒上，因此容易對(duì)拋光面造成劃傷(劃痕)。尤其，如非專利文獻(xiàn)l中所記載的，在對(duì)具有易被劃傷的銅布線的基材或者界面的粘結(jié)性較弱的低介電常數(shù)材料進(jìn)行拋光時(shí)，劃痕或界面剝離特別容易產(chǎn)生。而且，在鑄模發(fā)泡成形時(shí)，由于難以使高分子彈性體均勻地發(fā)泡，被拋光基材的平坦性和拋光時(shí)的拋光速率易不穩(wěn)定。進(jìn)而，在具有獨(dú)立孔的拋光墊中，磨?；驋伖庑紩?huì)粘附于源于獨(dú)立孔的空隙。這導(dǎo)致在長(zhǎng)時(shí)間使用時(shí)，隨著拋光的進(jìn)行拋光速率會(huì)降低(此種特性也稱作拋光穩(wěn)定性)。另一方面，作為其他類型的拋光墊，專利文獻(xiàn)5至14公開(kāi)了通過(guò)使聚氨酯樹(shù)脂含浸在無(wú)紡布中并使之濕式凝固而獲得的無(wú)紡布拋光墊。無(wú)紡布拋光墊柔性優(yōu)異。因此抑制了當(dāng)在被拋光基材的拋光面上存在團(tuán)聚的磨粒時(shí)，因拋光墊變形導(dǎo)致負(fù)荷選擇性地施加在團(tuán)聚的磨粒上。但是，無(wú)紡布拋光墊較柔軟，因而拋光速率低。而且，拋光墊會(huì)迎合^皮拋光基材的表面形狀而變形，因此無(wú)法獲得較高的平坦化性能(使被拋光基材變得平坦的特性)。關(guān)于此種無(wú)紡布拋光墊，近年來(lái)已知的有以獲得更高的平坦化性能等為目的且使用由超細(xì)纖維束形成的無(wú)紡布而獲得的無(wú)紡布拋光墊(例如，下述專利文獻(xiàn)15至18)。具體而言，例如，專利文獻(xiàn)15記載了基于由無(wú)紡布和高分子彈性體構(gòu)成的片狀物而形成的拋光墊，其中該無(wú)紡布是由將平均纖度為0.0001dtex至0.01dtex的聚酯超細(xì)纖維束絡(luò)合而成，該高分子彈性體以該無(wú)紡布內(nèi)部空間存在的聚氨酯為主成分。根據(jù)記載，基于此種拋光墊實(shí)現(xiàn)了比以往更高精度的拋光加工。但是，專利文獻(xiàn)15至18中所記載的拋光墊，由于使用了通過(guò)對(duì)纖度較小的短纖維的超細(xì)纖維進(jìn)行針刺處理而獲得的無(wú)紡布，所以表觀密度低，空隙率也高。因此只能獲得易彎曲且剛性低的拋光墊，從而易迎合表面形狀而變形，這導(dǎo)致無(wú)法充分獲得較高的平坦化性能。專利文獻(xiàn)1:日本專利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)2000-178374號(hào)專利文獻(xiàn)2:日本專利申請(qǐng)公開(kāi)7>報(bào)特開(kāi)2000-248034號(hào)專利文獻(xiàn)3:日本專利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)2001-89548號(hào)專利文獻(xiàn)4:日本專利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)平11-322878號(hào)專利文獻(xiàn)5:日本專利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)2002-9026號(hào)專利文獻(xiàn)6:日本專利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)平11-99479號(hào)專利文獻(xiàn)7:日本專利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)2005-212055號(hào)專利文獻(xiàn)8:日本專利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)平3-234475號(hào)專利文獻(xiàn)9:日本專利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)平10-128674號(hào)專利文獻(xiàn)10:日本專利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)2004-311731號(hào)專利文獻(xiàn)ll:日本專利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)平10-225864號(hào)專利文獻(xiàn)12:日本專利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào)特表2005-518286號(hào)專利文獻(xiàn)13:日本專利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)2003-201676號(hào)專利文獻(xiàn)14:日本專利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)2005-334997號(hào)專利文獻(xiàn)15:日本專利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)2007-54910號(hào)日本專利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)2003-170347號(hào)曰本專利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)2004-130395號(hào)日本專利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)2002-172555號(hào)非專利文獻(xiàn)l:柏木正弘等人，《CMP的科學(xué)》，抹式會(huì)社科學(xué)論壇，1997年8月20日，113至119頁(yè)專利文獻(xiàn)16專利文獻(xiàn)17專利文獻(xiàn)18
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種不易產(chǎn)生劃痕且具有優(yōu)異的平坦化性能的拋光墊。本發(fā)明所涉及的拋光墊，包括纖維絡(luò)合體與高分子彈性體，其中，所述纖維絡(luò)合體由采用平均剖面積為0.01pm2至30iLim2的超細(xì)單纖維而構(gòu)成的纖維束形成；所述高分子彈性體的一部分存在于所述纖維束的內(nèi)部以使所述超細(xì)單纖維集束起來(lái)；存在于厚度方向剖面上的單位面積的纖維數(shù)目為600束/mn^以上；空隙以外的部分的體積比率為55%至95%。本發(fā)明的目的、特征、方案及優(yōu)點(diǎn)可通過(guò)以下的詳細(xì)說(shuō)明而進(jìn)一步明確。圖1是本實(shí)施方式的拋光墊10的放大示意圖。圖2是本實(shí)施方式的拋光墊10的厚度方向剖面的局部放大示意圖。圖3是超細(xì)單纖維通過(guò)高分子彈性體集束而成的纖維束的垂直方向的剖面示意圖。圖4是使用拋光墊10的化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)的示意說(shuō)明圖。圖5是實(shí)施例1中所得拋光墊的厚度方向剖面的SEM照片(100倍)。圖6是實(shí)施例1中所得拋光墊的厚度方向剖面的SEM照片(500倍)。圖7是比較例6中所得拋光墊的厚度方向剖面的SEM照片(100倍)。具體實(shí)施例方式6以下，基于實(shí)施方式詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。另外，本發(fā)明并不局限于以下說(shuō)明的實(shí)施方式。超細(xì)纖維由于非常柔軟，所以以往已知的通過(guò)使由超細(xì)纖維構(gòu)成的無(wú)紡布含浸高分子彈性體所得的拋光墊的剛性較低。本發(fā)明的發(fā)明者著眼于纖維的彎曲彈性與纖維直徑的四次冪成比例。并且考慮，通過(guò)使構(gòu)成纖維束的超細(xì)單纖維集束起來(lái)而以一根粗纖維的狀態(tài)存在，可獲得具有高剛性的拋光墊。這樣，通過(guò)使超細(xì)單纖維集束起來(lái)而獲得的纖維束以一根粗纖維的狀態(tài)存在，可獲得具有高剛性的拋光墊。而且，由此可降低拋光墊的空隙率，因而拋光墊的剛性將變高。另一方面，在拋光墊的表面上，在拋光時(shí)通過(guò)纖維束分離或者原纖化而形成高纖維密度的超細(xì)單纖維。通過(guò)由此形成于拋光墊表面的超細(xì)單纖維，與被拋光基材的接觸面積變大，同時(shí)保持磨粒漿料的能力變高，結(jié)果拋光速率提高。以下參照本實(shí)施方式的拋光墊的結(jié)構(gòu)、制造方法及其使用方法。圖1表示本實(shí)施方式的拋光墊10的示意圖。圖2表示將拋光墊10放大的局部放大示意圖。圖3表示纖維束的剖面示意圖。圖1、圖2及圖3中，1是由超細(xì)單纖維形成的纖維束，2是高分子彈性體，3是超細(xì)單纖維，4是空隙，4a是基于空隙4而形成的連通孔。另外，5是由以超細(xì)單纖維3構(gòu)成的纖維束1所形成的纖維絡(luò)合體(fibermesh)。纖維束1是由具有平均剖面積為0.01jam2至30|um2的一組超細(xì)單纖維3所形成。而且，超細(xì)單纖維3如圖3所示，通過(guò)存在于纖維束l的內(nèi)部空間的高分子彈性體2而集束起來(lái)。而且，優(yōu)選多個(gè)纖維束l彼此通過(guò)高分子彈性體2粘合起來(lái)。纖維絡(luò)合體5通過(guò)纖維束1互相纏繞以便具有高纖維密度而形成。并且，任意厚度方向剖面上的纖維束1的束密度為600束/mn^以上。而且，優(yōu)選纖維束1含有剖面積達(dá)到40jam2以上的纖維束。而且，在拋光墊10中，空隙4以除空隙以外部分的體積比率(以下，也稱作拋光墊填充率)為55%至95%,即空隙率為5%至45%而存在。優(yōu)選空隙4的一部分形成連通拋光墊10內(nèi)部的連通孔4a。本實(shí)施方式的拋光墊包括由超細(xì)單纖維的纖維束構(gòu)成的纖維絡(luò)合體，而且具備高纖維密度和低空隙率。進(jìn)而，構(gòu)成纖維束的超細(xì)單纖維通過(guò)高分子彈性體而集束起來(lái)。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，通過(guò)纖維束帶來(lái)的增強(qiáng)效果和高拋光墊填充率(即低空隙率)帶來(lái)的增強(qiáng)效果，可獲得在拋光時(shí)能夠維持高剛性的拋光墊。而且，在拋光時(shí)通過(guò)拋光墊表面存在的纖維束分離或者原纖化，形成高纖維密度的超細(xì)單纖維。該超細(xì)單纖維引起與被拋光基材的接觸面積變高，可保持大量的磨粒漿料。進(jìn)而，拋光時(shí)露出的超細(xì)單纖維使拋光墊的表面變軟，因此可抑制當(dāng)存在磨粒的團(tuán)聚物時(shí)對(duì)該凝聚物選擇性地施加負(fù)荷的情況，由此使得被拋光基材不易產(chǎn)生劃痕。超細(xì)單纖維的平均剖面積為0.01|um2至30)um2，優(yōu)選O.ljim2至20|um2。如果上述超細(xì)單纖維的平均剖面積不足O.OljLim2,拋光墊表面附近的超細(xì)單纖維將無(wú)法充分分離，結(jié)果保持磨粒漿料的能力降低。另一方面，如果上述超細(xì)單纖維的平均剖面積超過(guò)30ium2,拋光墊的表面將變得過(guò)粗糙而導(dǎo)致拋光速率降低，而且，磨粒變得容易團(tuán)聚在纖維表面上，從而劃痕也容易產(chǎn)生。本實(shí)施方式中的纖維束是由超細(xì)單纖維形成，構(gòu)成纖維束的超細(xì)單纖維通過(guò)高分子彈性體而集束起來(lái)。對(duì)于纖維束的平均長(zhǎng)度并無(wú)特別限定，但是，從可易于提高超細(xì)單纖維的纖維密度、易于提高拋光墊的剛性的觀點(diǎn)以及可抑制纖維脫落的7見(jiàn)點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選100mm以上，進(jìn)一步優(yōu)選200mm以上。如果上述纖維束的長(zhǎng)度過(guò)短，將難以實(shí)現(xiàn)超細(xì)單纖維的高密度化，而且無(wú)法充分獲得高剛性，進(jìn)而存在拋光中超細(xì)單纖維容易脫落的傾向。對(duì)于纖維束的平均長(zhǎng)度的上限并無(wú)特別限定，例如含有由利用后述的紡粘法(spun-bondmethod)制造的無(wú)紡布而來(lái)的纖維絡(luò)合體時(shí)，只要物理學(xué)上看未斷開(kāi)，也可包括數(shù)米、數(shù)百米、數(shù)千米或更長(zhǎng)的纖維。優(yōu)選本實(shí)施方式中的纖維束含有剖面積為40lun^以上的纖維束。通過(guò)含有這樣的粗纖維束，可提高拋光墊的剛性。另外，所謂纖維束的剖面積，是指由纖維束剖面的構(gòu)成纖維束的超細(xì)單纖維及纖維束內(nèi)部存在的高分子彈性體構(gòu)成的剖面的總面積。作為存在于厚度方向剖面上的剖面積為40|um2以上的纖維束的比例，優(yōu)選相對(duì)于厚度方向剖面的單元剖面積的纖維束的合計(jì)束數(shù)為25%以上。而且，在用于要求具有特別高的平坦性的硅晶片、半導(dǎo)體晶片、8半導(dǎo)體器件的拋光墊中，優(yōu)選40%以上，進(jìn)一步優(yōu)選50%以上，特別優(yōu)選100%。如果上述40pn^以上的纖維束的比例過(guò)低，有拋光速率降低或者難以獲得平坦化性能足夠高的拋光墊的傾向。而且，作為存在于厚度方向剖面上的纖維束的平均剖面積，從可獲得剛性足夠高的拋光墊的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選80^11112以上，進(jìn)一步優(yōu)選100lum2以上，特別優(yōu)選120pm2以上。如果上述平均剖面積過(guò)低，將存在無(wú)法充分維持高剛性的傾向。在本實(shí)施方式的拋光墊中，厚度方向剖面上存在的、單位面積的纖維數(shù)目為600束/mm2以上。通過(guò)纖維束這樣地以高密度存在，在拋光時(shí)露出到拋光墊表面的纖維束分離或者原纖化而形成超細(xì)單纖維，由此，保持磨粒漿料的能力提高，同時(shí)表面變得柔軟，劃痕的產(chǎn)生得到抑制。作為纖維束的束密度，其厚度方向剖面上的單位面積的纖維數(shù)目為600束/mm2以上，優(yōu)選1000束/mm2以上；為4000束/mm2以下，優(yōu)選3000束/mm2以下。如果上述束密度不足600束/mm2，形成于拋光墊表面上的超細(xì)單纖維的纖維密度將變低，拋光速率將降低，平坦化性能將降低。而且，如果上述束密度過(guò)高，拋光墊表面將變得過(guò)于致密而對(duì)磨粒的保持性將變得不充分，存在拋光速率會(huì)降低的傾向。另外，在本實(shí)施方式的拋光墊中，/人拋光穩(wěn)定性)!見(jiàn)點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選在厚度方向及面方向上纖維束的纖維密度的偏差較小。本實(shí)施方式中的纖維絡(luò)合體是纖維束相互纏繞而成的，密度比一般的無(wú)紡布高。具體而言，纖維絡(luò)合體除其空隙以外部分的體積比率(以下，也稱作纖維絡(luò)合體填充率)優(yōu)選35%以上、進(jìn)一步優(yōu)選50%以上，優(yōu)選90%以下、進(jìn)一步優(yōu)選80%以下。如果上述纖維絡(luò)合體填充率過(guò)4氐，纖維絡(luò)合體的表面形狀會(huì)變粗糙，由此存在所得拋光墊的表面變得過(guò)于粗糙而平坦化性能低下的傾向，而且，存在拋光墊表面的纖維密度變低的傾向。另一方面，如果上述纖維絡(luò)合體填充率過(guò)高，纖維絡(luò)合體將變得過(guò)于致密，從而導(dǎo)致纖維束內(nèi)部變得難以充分含浸高分子彈性體。結(jié)果，超細(xì)單纖維不再充分集束，從而存在纖維脫落而拋光的穩(wěn)定性下降，或者磨粒會(huì)團(tuán)聚在脫落的纖維上的傾向。作為構(gòu)成本實(shí)施方式的拋光墊的超細(xì)單纖維的具體例，例如有由聚對(duì)苯二曱酸乙二酯(PET)、間苯二甲酸改性聚對(duì)苯二曱酸乙二酯(isophthalicacid-modifiedpolyethyleneterephthalate)、石黃酸基間苯二曱酸改性聚對(duì)苯二甲酸乙二酯、聚對(duì)苯二曱酸丁二酯、聚對(duì)苯二曱酸己二酯(polyhexamethyleneterephthalate)等形成的芳香族聚酯纖維；由聚乳酸、聚丁二酸乙二醇酯、聚丁二酸丁二醇酯、聚丁二酸己二酸丁二酯、聚羥基丁酸酯-聚羥基戊酸酯共聚物等形成的脂肪族聚酯纖維；由聚酰胺6、聚酰胺66、聚酰胺IO、聚酰胺ll、聚酰胺12、聚酰胺6-12等形成的聚酰胺纖維；聚丙烯、聚乙烯、聚丁烯、聚甲基戊烯、氯系聚烯烴等聚烯烴纖維；由含有25molQ/o至70moP/。的乙烯單元的變性聚乙烯醇等形成的改性聚乙烯醇纖維；以及由聚氨酯系彈性體、聚酰胺系彈性體、聚酯系彈性體等彈性體等形成的彈性體纖維等。這些材料既可分別單獨(dú)使用，也可將兩種以上組合4吏用。上述超細(xì)單纖維中，尤其優(yōu)選由玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(Tg)為50。C以上、進(jìn)而6(TC以上，且吸水率為4質(zhì)量。/Q(mass。/o)以下、進(jìn)而2質(zhì)量％以下的熱塑性樹(shù)脂構(gòu)成的纖維。如果上述熱塑性樹(shù)脂的玻璃轉(zhuǎn)變溫度處于上述范圍，可維持更高的剛性，因而平坦化性能更高，而且在拋光時(shí)剛性也不會(huì)隨時(shí)間下降，可獲得拋光穩(wěn)定性及拋光均勻性優(yōu)異的拋光墊。對(duì)于玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的上限并無(wú)特別限定，^旦工業(yè)制造時(shí)，優(yōu)選300。C以下，進(jìn)一步優(yōu)選15CTC以下。而且，如果上述熱塑性樹(shù)脂的吸水率為4質(zhì)量％以下，在拋光時(shí)也會(huì)因拋光墊不會(huì)過(guò)度吸收磨粒漿料而進(jìn)一步抑制剛性隨時(shí)間經(jīng)過(guò)的下降。在這樣的情況下，平坦化性能隨時(shí)間經(jīng)過(guò)的下降得到遏制，并且可獲得拋光速率及拋光均勻性不易波動(dòng)的拋光墊。作為此種熱塑性樹(shù)脂的具體例，例如有由聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET,Tg為77。C,吸水率為1質(zhì)量％)、間苯二甲酸改性聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(Tg為67。C至77°C,吸水率為1質(zhì)量％)、磺酸基間苯二曱酸改性聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(Tg為67。C至77。C，吸水率為1質(zhì)量％至4質(zhì)量％)、聚萘二曱酸丁二酯(Tg為85°C,吸水率為1質(zhì)量％)、聚萘二甲酸乙二酯(Tg為124。C，吸水率為1質(zhì)量％)等形成的芳香族聚酯系纖維；由對(duì)苯二曱酸、壬二醇及曱基辛二醇共聚聚酰胺(Tg為125。C至140°C,吸水率為1質(zhì)量％至4質(zhì)量％)等形成的半芳香族聚酰胺系纖維等。由于在后述的由以海島型復(fù)合纖維構(gòu)成的網(wǎng)絡(luò)合片(webentangledsheet)形成超細(xì)單纖維的濕熱處理工序中會(huì)大幅度地巻曲，從能夠致密地形成高密度的纖維絡(luò)合體、易提高拋光片的剛性及在拋光時(shí)不易因水分而隨時(shí)間發(fā)生變化等觀點(diǎn)出發(fā)，尤其優(yōu)選PET及間苯二曱酸改性PET等改性PET絡(luò)合。本實(shí)施方式的拋光墊具有高分子彈性體被填充于在上述并與其進(jìn)行了復(fù)合的結(jié)構(gòu)。作為本實(shí)施方式所用的高分子彈性體的具體例，例如有由聚氨酯系樹(shù)脂、聚酰胺系樹(shù)脂、(甲基)丙烯酸酯系樹(shù)脂、(曱基)丙烯酸酯-苯乙烯系樹(shù)脂、(曱基)丙烯酸酯-丙烯腈系樹(shù)脂、(甲基)丙烯酸酯-烯烴系樹(shù)脂、(曱基)丙烯酸系酯-(氬化)異戊二烯系樹(shù)脂、(曱基)丙烯酸酯-丁二烯系樹(shù)脂、苯乙烯-丁二烯系樹(shù)脂、苯乙烯-氫化異戊二烯系樹(shù)脂、丙烯腈-丁二烯系樹(shù)脂、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯系樹(shù)脂、乙酸乙烯系樹(shù)脂、(曱基)丙烯酸酯-乙酸乙烯系樹(shù)脂、乙烯-乙酸乙烯系樹(shù)脂、乙烯-烯烴系樹(shù)脂、硅樹(shù)脂、氟樹(shù)脂及聚酯樹(shù)脂等構(gòu)成的彈性體。作為上述高分子彈性體，優(yōu)選吸水率為0.5質(zhì)量％至8質(zhì)量％,尤其進(jìn)一步優(yōu)選1質(zhì)量％至6質(zhì)量％的高分子彈性體。如果高分子彈性體的吸水率處于上述范圍，可在拋光時(shí)維持磨粒漿料對(duì)拋光墊的高膨潤(rùn)性，同時(shí)可進(jìn)一步抑制剛性隨時(shí)間經(jīng)過(guò)的下降。由此，可維持高拋光速率、拋光均勻性及拋光穩(wěn)定性。另外，所謂高分子彈性體的吸水率，是指將經(jīng)過(guò)干燥處理的高分子彈性體薄膜浸漬到室溫的水中使之膨潤(rùn)達(dá)到飽和時(shí)的吸水率。而且，當(dāng)含有2種以上的高分子彈性體時(shí)，理論上也可以將各高分子彈性體的吸水率乘以質(zhì)量比所得值的相加而計(jì)算出。具有上述吸水率的高分子彈性體，可通過(guò)調(diào)整構(gòu)成高分子彈性體的高分子的交聯(lián)密度，或者導(dǎo)入親水性的官能基等而獲得。具體而言，例如通過(guò)向高分子彈性體導(dǎo)入從由親水性基羧基、磺酸基及碳數(shù)為3以下的聚烷撐二醇基(polyalkyleneglycolgroup)構(gòu)成的組中選擇的至少其中之一，可調(diào)整吸水率及親水性。由此，可提高拋光時(shí)磨粒漿料對(duì)拋光墊的膨潤(rùn)性。上述親水性基，可通過(guò)將作為制造高分子彈性體時(shí)的單體成分來(lái)使用的具有上述親水性基的單體成分共聚，而被導(dǎo)入高分子彈性體。作為具有此類親水性基的單體成分的共聚比例，從既可將吸水引起的膨潤(rùn)軟化抑制到最小限度又可提高吸水率及膨潤(rùn)性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選O.l質(zhì)量%至20質(zhì)量％,進(jìn)一步優(yōu)選0.5質(zhì)量％至10質(zhì)量％。高分子彈性體既可分別單獨(dú)使用也可將兩種以上組合使用。這些材料中，從將超細(xì)單纖維集束起來(lái)或者將纖維束彼此粘合起來(lái)的粘結(jié)性優(yōu)異，而且可提高拋光墊的硬度，拋光的經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性優(yōu)異的觀點(diǎn)出點(diǎn)，優(yōu)選聚氨酯系樹(shù)脂。而且，從可使拋光墊的剛性、膨潤(rùn)性及拋光的經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性較高的觀點(diǎn)出發(fā)，特別優(yōu)選具有從由親水性基羧基、磺酸基及碳數(shù)為3以下的聚烷撐二醇基構(gòu)成的組中選擇的至少其中之一的聚氨酯系樹(shù)脂。優(yōu)選高分子彈性體的15(TC的溫度之下的儲(chǔ)能模量[E'(150。C,dry)]為0.1MPa至100MPa,進(jìn)一步優(yōu)選為1MPa至80MPa。此種高分子模量可通過(guò)使高分子彈性體形成交聯(lián)結(jié)構(gòu)而獲得。一般來(lái)講，如果高分子彈性體具有親水性基，存在容易被水膨潤(rùn)而吸水率變得過(guò)高的傾向。在這樣的情況下，通過(guò)調(diào)整交聯(lián)密度，可控制吸水率。另外，當(dāng)含有兩種以上的高分子彈性體時(shí)，理論上高分子彈性體的[E'(150°C,dry)]也可通過(guò)將各高分子彈性體的[E'(150°C,dry)]乘以質(zhì)量比所得的值相加而算出。本實(shí)施方式的拋光墊與以往已知的一^:的無(wú)紡布拋光墊相比，空隙以外的部分的體積比率(拋光墊填充率)高，即空隙率低。具體而言，拋光墊填充率為55%至95%,優(yōu)選60%至90%。如果上述拋光墊填充率不足55%,表面會(huì)變得過(guò)于粗糙而拋光速率降低，而且平坦化性能降低。而且，拋光中硬度會(huì)發(fā)生變化而拋光穩(wěn)定性降低。另一方面，如果拋光墊填充率超過(guò)95%,保持磨粒漿料的能力會(huì)降低，由此會(huì)導(dǎo)致拋光速率降低。而且，拋光墊的剛性變得過(guò)高將導(dǎo)致難以迎合被拋光基材表面的翹曲或起伏，結(jié)果會(huì)導(dǎo)致更多劃痕產(chǎn)生，或者被拋光基材整個(gè)表面的平坦性(整體平坦性)降低。另外，上述拋光墊填充率可以通過(guò)求出拋光墊的表觀密度，接著由拋光墊的各構(gòu)成材料的構(gòu)成比和各自的密度算出空隙率為0%時(shí)的密度(理論密度)，再根據(jù)公式即"拋光墊的表觀密度/理論密度x100(%)"算出。在本實(shí)施方式的拋光墊中，形成纖維束的超細(xì)單纖維是通過(guò)高分子彈性體集束起來(lái)。這樣，通過(guò)使超細(xì)單纖維集束起來(lái)，拋光墊的剛性變高。如果不將超細(xì)單纖維集束起來(lái)，因?yàn)槌?xì)單纖維具有柔軟性，所以無(wú)法獲得高平坦化性能。而且，纖維的脫落會(huì)變多，磨粒容易聚集在脫落的纖維上，由此導(dǎo)致劃痕容易產(chǎn)生。這里，所謂超細(xì)單纖維集束起來(lái)，12的高分子彈性體粘結(jié)而束集起來(lái)的狀態(tài)。而且，優(yōu)選多根纖維束彼此通過(guò)存在于纖維束的外側(cè)的高分子彈性體而粘合，以塊(bulk)狀存在。這樣，通過(guò)將纖維束彼此粘合起來(lái)，拋光墊的形狀穩(wěn)定性提高，拋光穩(wěn)定性提高。超細(xì)單纖維的集束狀態(tài)及纖維束彼此的粘合狀態(tài)，可通過(guò)拋光墊的剖面的電子顯微鏡照片來(lái)確認(rèn)。選優(yōu)的是，將超細(xì)單纖維集束起來(lái)的高分子彈性體及將超細(xì)纖維束彼此粘合起來(lái)的高分子彈性體，為非多孔質(zhì)狀。另外，所謂非多孔質(zhì)狀，是指實(shí)質(zhì)上不具備多孔質(zhì)狀或者海綿狀(以下也簡(jiǎn)稱作多孔質(zhì)狀)的高分子彈性體所具有的空隙(獨(dú)立氣泡)的狀態(tài)。具體而言，例如是指并非是通過(guò)使溶劑基(solvent-based)聚氨酯凝固而獲得的具有大量微細(xì)氣泡的高分子彈性體。如果集束或者粘合起來(lái)的高分子彈性體是非多孔質(zhì)狀時(shí)，拋光穩(wěn)定性將變高，拋光時(shí)的漿料屑或墊屑不易堆積在空隙內(nèi)，因而不易磨耗，而且，由于拋光時(shí)的漿料屑或墊屑不易堆積在空隙內(nèi)，所以能夠長(zhǎng)時(shí)間維持較高的拋光速率。進(jìn)而，由于對(duì)超細(xì)單纖維的粘結(jié)強(qiáng)度變高，因而能夠抑制因纖維脫落引起的劃痕的產(chǎn)生。進(jìn)而，因可獲得更高的剛性，故而可獲得平坦化性能優(yōu)異的拋光墊。本實(shí)施方式的拋光墊中的纖維絡(luò)合體與高分子彈性體的比率，以質(zhì)量比計(jì)優(yōu)選為90/10至55/45，進(jìn)一步優(yōu)選85/15至65/35。如果纖維絡(luò)合體與高分子彈性體的質(zhì)量比率處于上述范圍，則容易使纖維束的剖面積增大，而且，能夠充分提高露出到拋光墊表面的超細(xì)單纖維的密度。結(jié)果能進(jìn)一步提高拋光穩(wěn)定性、拋光速率及平坦性性能。如果上述比率過(guò)高，將難以向纖維束的內(nèi)部充分填充高分子彈性體；如果過(guò)低，會(huì)存在纖維密度變得不充分的傾向。而且，優(yōu)選本實(shí)施方式的拋光墊的5(TC的溫度之下的儲(chǔ)能模量[E'(50°C,dry)]為100MPa至800MPa,進(jìn)一步優(yōu)選200MPa至600MPa。在利用CMP進(jìn)行的拋光中，隨著拋光的進(jìn)行，存在拋光墊的溫度會(huì)因摩擦熱而升高至5(TC左右的傾向。因此，如果拋光墊在50。C的溫度之下的儲(chǔ)能模量過(guò)低，隨著拋光的進(jìn)行，拋光墊的剛性會(huì)降低。結(jié)果存在拋光速率、被拋光基材的平坦性降低的傾向。而且，如果拋光墊的上述儲(chǔ)能模量過(guò)高，拋光時(shí)的剛性會(huì)變得過(guò)高，存在容易產(chǎn)生劃痕的傾向。而且，就本實(shí)施方式的拋光墊而言，優(yōu)選在以50。C的溫水^f吏之膨潤(rùn)達(dá)到飽和時(shí)的吸水率為5質(zhì)量％至45質(zhì)量％,進(jìn)一步優(yōu)選10質(zhì)量％至30質(zhì)量％。如果上述吸水率過(guò)低，存在保持磨粒漿料的能力降低，拋光速率降低，而且平坦化性能降低的傾向。如果上述吸水率過(guò)高，將無(wú)法獲得高拋光速率，而且，拋光中硬度等特性容易發(fā)生變化，因而存在平坦化性能會(huì)隨時(shí)間的經(jīng)過(guò)而降低的傾向。從容易調(diào)整吸水率的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選本實(shí)施方式的拋光墊具有連通孔。如果只有獨(dú)立氣泡結(jié)構(gòu)，拋光墊將難以吸水，所以難以使吸水率達(dá)到5質(zhì)量％至45質(zhì)量％。這里，所謂連通孔，是指貫通拋光墊的表面與背面的孔。另外，由于連通孔結(jié)構(gòu)下的吸水率與拋光墊的空隙相關(guān)，所以通過(guò)調(diào)整拋光墊中的空隙的比例也可以調(diào)整吸水率。連通孔的存在可以通過(guò)滴到拋光墊表面的水通過(guò)拋光墊的連通孔而露出到拋光墊背面來(lái)確認(rèn)。具體而言，由于在拋光時(shí)拋光墊的對(duì)漿料潤(rùn)濕能力良好，因此可獲得高拋光速率，而且拋光均勻性及拋光穩(wěn)定性容易提高的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選拋光墊依照J(rèn)ISLl卯7-1994的白雷克法(Byreckmethod)吸水高度試驗(yàn)所測(cè)試的、60分鐘后的吸水高度為5mm以上，進(jìn)一步優(yōu)選10mm以上。為了獲得這樣良好的滲透性，例如優(yōu)選在拋光墊表面存在高密度的超細(xì)單纖維，使用吸水率為0.5質(zhì)量％以上的具有親水性基的高分子彈性體，以及在拋光墊內(nèi)部具有連通孔。進(jìn)而，作為連通孔的存在程度，優(yōu)選在依照J(rèn)ISL1907-1994的芯吸法(wickingmethod)吸水測(cè)試中，40mg的水的吸水速度為0.1秒至10分鐘左右。而且，就本實(shí)施方式的拋光墊而言，優(yōu)選在以5(TC的溫水〗吏之膨潤(rùn)達(dá)到飽和時(shí)在5CTC的溫度之下的儲(chǔ)能模量[E'(50°C,wet)]為100MPa至800MPa,進(jìn)一步優(yōu)選200MPa至600MPa。在利用CMP進(jìn)行的拋光中，隨著拋光的進(jìn)行，拋光墊的溫度會(huì)因摩擦熱升高至50。C左右。而且，拋光是在磨粒漿料存在下，濕潤(rùn)狀態(tài)下進(jìn)行的。如果在以50。C的溫水使拋光墊膨潤(rùn)達(dá)到飽和時(shí)，拋光墊在50。C的溫度之下的儲(chǔ)能一莫量不足100MPa,隨著拋光的進(jìn)行，拋光墊的剛性會(huì)降低。結(jié)果存在拋光速率及平坦化性能降低的傾向。而且，如果上述拋光墊的儲(chǔ)能模量[E'(50。C,wet)]超過(guò)800MPa,拋光時(shí)的剛性會(huì)變得過(guò)高而導(dǎo)致劃痕容易產(chǎn)生。進(jìn)而，就本實(shí)施方式的拋光墊而言，優(yōu)選在以50。C的溫水〗吏之膨潤(rùn)14達(dá)到飽和時(shí)的在50。C的損失模量[E"(5(TC,wet)]為13MPa至130MPa,進(jìn)一步優(yōu)選為30MPa至lOOMPa。如果上述損失模量[E"(50°C,wet)]過(guò)低，拋光墊在拋光中會(huì)因塑性變形(永久變形)導(dǎo)致形狀發(fā)生變化，存在拋光速率隨時(shí)間經(jīng)過(guò)而降低的傾向。另一方面，如果上述損失模量[E"(50。C,wet)]過(guò)高，因難以發(fā)生塑性變形，故拋光墊的柔軟性(緩沖性)降低而導(dǎo)致與被拋光基材的密接性降低，由此存在平坦化性能降j氐的傾向。進(jìn)而，就本實(shí)施方式的拋光墊而言，優(yōu)選5(TC的溫度之下的儲(chǔ)能沖莫量[E'(50°C,dry)]與以50°C的溫水膨潤(rùn)達(dá)到飽和時(shí)的在SO。C的溫度之下的儲(chǔ)能模量[E'(50°C,wet)]之比[E'(50°C,dry)/F(50°C，wet)〗為2.5以下，進(jìn)一步優(yōu)選為1.8以下，另外優(yōu)選為0.5以上。如果上述[E'(50°C,dry)/E'(50°C，wet)]超過(guò)2.5，由于在拋光時(shí)拋光墊會(huì)逐漸吸取磨粒漿料的水份，從而存在剛性逐漸降低的傾向，因此，拋光速率及拋光均勻性發(fā)生波動(dòng)，由此存在拋光穩(wěn)定性容易降低的傾向。進(jìn)而，對(duì)于本實(shí)施方式的拋光墊而言，優(yōu)選在以50。C的溫水膨潤(rùn)達(dá)到飽和時(shí)的在23。C的儲(chǔ)能模量[E'(23。C,wet)]與在以50。C的溫水膨潤(rùn)達(dá)到飽和時(shí)的在50。C的儲(chǔ)能模量[E'(50°C,wet)]之比[E'(23°C,wet)/E'(50。C,wet)]為2.5以下，進(jìn)一步優(yōu)選為1.8以下，另外優(yōu)選為0.5以上。在拋光時(shí)，拋光墊的表面有可能會(huì)局部性或整體性地波動(dòng)到23°C至50。C左右。在這樣的情況下，如果上述[E'(23°C,wet)/E'(50°C，wet)]超過(guò)2.5,存在拋光時(shí)會(huì)因局部性的溫度上升而導(dǎo)致拋光墊的剛性局部降低的傾向。由此存在拋光速率及拋光均勻性發(fā)生波動(dòng)，或者拋光穩(wěn)定性降低的傾向。例如，聚氨酯彈性體的儲(chǔ)能模量的溫度依存性較大，而且該溫度依存性會(huì)因吸水發(fā)生變化，但一般來(lái)講，聚氨酯彈性體的[E'(23°C，wet)/E'(50°C,wet)]較大(例如，2.5至20左右)。在本實(shí)施方式的拋光墊中，例如通過(guò)以高比率填充由玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為5CTC以上且吸水率為4質(zhì)量％以下的熱塑性樹(shù)脂構(gòu)成的超細(xì)單纖維，可降低拋光墊的[E'(23。C,wet)/E'(50°C,wet)]。從剛性優(yōu)異的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選本實(shí)施方式的拋光墊的表觀密度為0.7g/cm3至1.2g/cm3,進(jìn)一步優(yōu)選為0.8g/cm3至1.2g/cm3。硬度[D(23。C，dry)]過(guò)高，劃痕將易產(chǎn)生；如果過(guò)低則存在平坦化性能會(huì)降低的傾向。另外，本實(shí)施方式的拋光墊由于在表面以高纖維密度形成有超細(xì)單纖維，所以與不含超細(xì)單纖維的拋光墊相比表面較柔軟。因此，即使提高D硬度也不易產(chǎn)生劃痕。進(jìn)而，優(yōu)選本實(shí)施方式的拋光墊的D硬度[D(23°C，wet)]為50至70,其中D硬度[D(23°C,wet)]是在以50°C的溫水使拋光墊膨潤(rùn)達(dá)到飽和后，拋光墊在23。C的溫度之下的D硬度。另外，當(dāng)拋光墊的[E'(50°C,wet)]為130Mpa至800Mpa左右時(shí)，可使[D(23°C,wet)]為50至70。而且，以5(TC的溫水^f吏拋光墊膨潤(rùn)達(dá)到々包和后的拋光墊在23。C的溫度之下的D硬度[D(23°C，wet)],與拋光墊在23。C的溫度之下的D硬度[D(23°C，dry)]的比率([D(23°C,wet)]/[D(23°C，dry)]),優(yōu)選0.9至1.1左右。當(dāng)拋光墊的[E'(50°C,dry)]/[E'(50°C,wet)]為2.5以下左右時(shí)，該拋光墊的上述比率為0.9以上。另外，如果在以50。C的溫水-使拋光墊膨潤(rùn)達(dá)到飽和后的拋光墊在23。C的溫度之下的D硬度[D(23°C，wet)]為47至70，則在以50。C的溫水4吏其膨潤(rùn)達(dá)到飽和后的C硬度[C(23°C,wet)]大致為92至99,在以50。C的溫水使其膨潤(rùn)達(dá)到飽和后的A硬度[A(23°C,wet)]大致為91至99左右。而且，本實(shí)施方式的拋光墊優(yōu)選在泰伯磨耗(taberwear)(磨輪H-22,負(fù)荷500g,IOOO次)下的磨耗減量為10mg至150mg,進(jìn)一步優(yōu)選為20mg至100mg。如果摩4察減量過(guò)小，在拋光中的打磨(dressing)處理等時(shí)表面結(jié)構(gòu)將難以自行更新，容易引起堵塞現(xiàn)象(clogging),拋光速率會(huì)降低，或者拋光墊壽命容易變短。另一方面，如果磨耗減量過(guò)大，纖維將變得易脫落，因此，拋光穩(wěn)定性會(huì)降低，或者容易因脫落的纖維產(chǎn)生劃痕。而且，拋光墊的壽命也會(huì)縮短。根據(jù)本實(shí)施方式的拋光墊，可通過(guò)調(diào)整由不易磨耗的集束起來(lái)的高纖維密度的超細(xì)單纖維的纖維束構(gòu)成的纖維絡(luò)合體與高分子彈性體的比率來(lái)適當(dāng)調(diào)整磨耗減量。根據(jù)本實(shí)施方式的拋光墊，通過(guò)實(shí)施打光等墊平坦化處理、在進(jìn)行使用金剛石等墊打磨的拋光前實(shí)施時(shí)效(seasomng)處理(調(diào)整處理)及在拋光時(shí)實(shí)施打磨處理，將存在于表面附近的纖維束分離或原纖化，由此可使拋光墊的表面形成超細(xì)單纖維。作為拋光墊表面的超細(xì)單纖維的纖維密度，優(yōu)選600根/mn^以上，進(jìn)一步優(yōu)選1000根/mm2以上，特別優(yōu)選2000根/mi^以上。如果上述纖維密度過(guò)低，存在保持磨粒的能力將不充分的傾向。對(duì)于上述纖維密度的上限并無(wú)特別限定，從生產(chǎn)率方面考慮，上限為1000000根/mn^左右。而且，拋光墊表面的超細(xì)單纖維既可直立(raise),也可不直立。如果超細(xì)單纖維是直立，拋光墊的表面將變得更柔軟，所以劃痕的降低效果將更高。另一方面，如果超細(xì)單纖維的直立程度較低，對(duì)于重視微觀平坦性的用途將有利。優(yōu)選根據(jù)用途來(lái)適當(dāng)選擇表面狀態(tài)。[拋光墊的制造方法]接著，對(duì)本實(shí)施方式的拋光墊的制造方法的一例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。本實(shí)施方式的拋光墊例如可通過(guò)如下所述的拋光墊的制造方法而獲得，該制造方法包括網(wǎng)制造工序，用于制造由將水溶性熱塑性樹(shù)脂與非水溶性熱塑性樹(shù)脂熔體紡絲所得的海島型復(fù)合纖維構(gòu)成的長(zhǎng)纖維網(wǎng)；網(wǎng)絡(luò)合工序，用于通過(guò)將多張上述長(zhǎng)纖維網(wǎng)重疊使之纏結(jié)從而形成網(wǎng)絡(luò)合片；濕熱收縮處理工序，用于通過(guò)對(duì)上述網(wǎng)絡(luò)合片進(jìn)行濕熱收縮處理而使其收縮成面積收縮率為35%以上；纖維絡(luò)合體形成工序，用于通過(guò)使上述網(wǎng)絡(luò)合片中的上述水溶性熱塑性樹(shù)脂在熱水中溶解而形成由超細(xì)單纖維構(gòu)成的纖維絡(luò)合體；以及高分子彈性體填充工序，用于使高分子彈性體的水性液含浸在上述纖維絡(luò)合體中并使之干燥凝固。在上述制造方法中，經(jīng)過(guò)了使含有長(zhǎng)纖維的網(wǎng)絡(luò)合片濕熱收縮的工序，從而與使含有短纖維的網(wǎng)絡(luò)合片濕熱收縮的情況相比，可使網(wǎng)絡(luò)合片大幅度地收縮，因此，超細(xì)單纖維的纖維密度變得致密。并且，通過(guò)溶解抽出網(wǎng)絡(luò)合片的水溶性熱塑性樹(shù)脂，形成由超細(xì)纖維束構(gòu)成的纖維絡(luò)合體。此時(shí)，在水溶性熱塑性樹(shù)脂被溶解抽取的部分形成空隙。接著，使高分子彈性體的水性液含浸在該空隙內(nèi)并使之干燥凝固，由此使得構(gòu)成超細(xì)纖維束的超細(xì)單纖維集束起來(lái)，同時(shí)超細(xì)纖維束彼此也集束起來(lái)。通過(guò)這樣的方式，獲得纖維密度高、空隙率低、超細(xì)單纖維被集束起來(lái)的高剛性的拋光墊。以下對(duì)各工序進(jìn)4亍詳細(xì)i兌明。(1)網(wǎng)制造工序在本工序中，首先制造由將水溶性熱塑性樹(shù)脂與非水溶性熱塑性樹(shù)脂熔體紡絲所得的海島型復(fù)合纖維構(gòu)成的長(zhǎng)纖維網(wǎng)。17上述海島型復(fù)合纖維是通過(guò)將水溶性熱塑性樹(shù)脂及與上述水溶性熱塑性樹(shù)脂的溶混性低的非水溶性熱塑性樹(shù)脂分別熔體紡絲之后使之復(fù)合(compound)而獲得。接著，從這樣的海島型復(fù)合纖維中將水溶性熱塑性樹(shù)脂溶解除去或者分解除去，由此形成超細(xì)單纖維。從工業(yè)方面考慮，海島型復(fù)合纖維的厚度(thickness)優(yōu)選0.5分特(decitex)至3分特。另外，在本實(shí)施方式中，詳細(xì)說(shuō)明了海島型復(fù)合纖維作為用于形成超細(xì)單纖維的復(fù)合纖維，但也可使用多層疊層型剖面纖維等公知的超細(xì)纖維發(fā)生型纖維取代海島型纖維。作為上述水溶性熱塑性樹(shù)脂，優(yōu)選使用可利用水、堿性水溶液、酸性水溶液等溶解除去或者分解除去且可熔體紡絲的熱塑性樹(shù)脂。作為此類水溶性熱塑性樹(shù)脂的具體例，例如有聚乙烯醇、聚乙烯醇共聚物等聚乙烯醇系樹(shù)脂(PVA系樹(shù)脂)；含有聚乙二醇及/或磺酸堿金屬鹽作為共聚成分的改性聚酯；聚氧化乙烯等。這些材料中，基于以下理由，特別優(yōu)選使用PVA系樹(shù)脂。當(dāng)使用以PVA系樹(shù)脂作為水溶性熱塑性樹(shù)脂成分的海島型復(fù)合纖維時(shí)，通過(guò)溶解PVA系樹(shù)脂而形成的超細(xì)單纖維會(huì)大幅巻曲。由此可獲得高纖維密度的纖維絡(luò)合體。而且，當(dāng)使用以PVA系樹(shù)脂作為水溶性熱塑性樹(shù)脂成分的海島型復(fù)合纖維時(shí)，在使PVA系樹(shù)脂溶解時(shí)，所形成的超細(xì)單纖維及高分子彈性體在實(shí)質(zhì)上不會(huì)被分解或者溶解，因此不易引起超細(xì)單纖維及高分子彈性體的物性下降。而且對(duì)環(huán)境的負(fù)荷也小。PVA系樹(shù)脂可通過(guò)將以乙烯酯單元為主體的共聚物皂化而獲得。作為用于形成乙烯酯單元的乙烯單體的具體例，例如有乙酸乙烯酯、甲酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、戊酸乙烯酯、癸酸乙烯酯、月桂酸乙烯酯、硬脂酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯、新戊酸乙烯酯及叔碳酸乙烯酯等。這些材料既可單獨(dú)使用也可將兩種以上組合使用。這些材料中，從工業(yè)出發(fā)考慮，優(yōu)選乙酸乙烯酯。PVA系樹(shù)脂既可為只由乙烯酯單元構(gòu)成的均聚乙烯醇(homo-PVA),從)控制熔體紡絲性、水溶性r^維物性的觀點(diǎn):發(fā),'進(jìn)一步優(yōu)選改性PVA。作為乙烯酯單元以外的共聚單體單元的具體例，例如有乙烯、丙烯、1-丁烯、異丁烯等碳數(shù)為4以下的a-烯烴類；甲基乙烯基醚、乙基乙烯基醚、n-丙基乙烯基醚、異丙基乙烯基醚、n-丁基乙烯基醚等乙烯基醚類等。作為乙烯酯單元以外的共聚單體單元的含有比例，優(yōu)選lmol。/o至20mol%,進(jìn)一步優(yōu)選4mol。/。至15mol%,特別優(yōu)選6mol。/o至13mol%。這些PVA中，從海島型復(fù)合纖維的物性變高的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選含有4mol。/。至15mol%、進(jìn)一步優(yōu)選6mol。/。至13mol。/o的乙烯單元的乙烯改性PVA。從可形成穩(wěn)定的海島結(jié)構(gòu)、熔體紡絲性可呈現(xiàn)優(yōu)異的熔融粘度、以及溶解時(shí)的溶解速度較快的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選PVA系樹(shù)脂的粘度平均聚合度為200至500,進(jìn)一步優(yōu)選為230至470,特別優(yōu)選為250至450。另外，上述聚合度是依照J(rèn)IS-K6726而測(cè)定。即，將PVA樹(shù)脂再皂化、精制后，基于在30。C的水中測(cè)定出的極限粘度[Ti]，通過(guò)下式算出。粘度平均聚合度P-([Tj]x103/8.29)(1/0.62)作為PVA系樹(shù)脂的急化度，優(yōu)選90mol。/。至99.99mo10/(),進(jìn)一步優(yōu)選93mol。/o至99.98mol%，特別優(yōu)選94mol。/。至99.97mol%，進(jìn)一步特別優(yōu)選96mol。/。至99.96mol%。當(dāng)上述皂化度處于這樣的范圍時(shí)，可獲得水溶性優(yōu)異、熱穩(wěn)定性良好、熔體紡絲性優(yōu)異、而且生物降解性也優(yōu)異的PVA系樹(shù)脂。作為上述PVA系樹(shù)脂的融點(diǎn)，從機(jī)械性能及熱穩(wěn)定性優(yōu)異以及熔體紡絲性優(yōu)異的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選16(TC至25(TC,進(jìn)一步優(yōu)選17(TC至227°C，特別優(yōu)選175。C至224°C,進(jìn)一步特別優(yōu)選180。C至220°C。另外，如果上述PVA系樹(shù)脂的融點(diǎn)過(guò)高，由于融點(diǎn)與分解溫度接近，所以在熔體紡絲時(shí)會(huì)發(fā)生分解，由此存在熔體紡絲性降低的傾向。而且，如果上述PVA系樹(shù)脂的融點(diǎn)與上述非水溶性熱塑性樹(shù)脂的融點(diǎn)相比過(guò)低時(shí)，熔體紡絲性會(huì)降低，因而不理想?；谶@樣的觀點(diǎn)，優(yōu)選PVA系樹(shù)脂的融點(diǎn)不低于上述非水溶性熱塑性樹(shù)脂的融點(diǎn)60。C以上，進(jìn)一步優(yōu)選不低于上述非水溶性熱塑性樹(shù)脂的融點(diǎn)低30。C以上。作為上述非水溶性熱塑性樹(shù)脂，優(yōu)選使用不能通過(guò)水、堿性水溶液、酸性水溶液等溶解除去或者分解除去且可熔體紡絲的熱塑性樹(shù)脂。作為上述非水溶性熱塑性樹(shù)脂的具體例，可使用如上所述的用于形成構(gòu)成拋光墊的超細(xì)單纖維的各種熱塑性樹(shù)脂。上述非水溶性熱塑性樹(shù)脂也可含有各種添加劑。作為上述添加材的19具體例，例如有催化劑、著色抑制劑、耐熱劑、阻燃劑、潤(rùn)滑劑、防污劑、熒光增白劑、消光劑、著色劑、光澤改良劑、抗靜電劑、芳香劑、除臭劑、抗菌劑、防虱劑、無(wú)機(jī)微粒子等。接著詳細(xì)說(shuō)明將上述水溶性熱塑性樹(shù)脂與上述非水溶性熱塑性樹(shù)脂熔體紡絲而形成海島型復(fù)合纖維，再由所得海島型復(fù)合纖維形成長(zhǎng)纖維網(wǎng)的方法。上述長(zhǎng)纖維網(wǎng)例如可通過(guò)將上述水溶性熱塑性樹(shù)脂與上述非水溶性熱塑性樹(shù)脂熔體紡絲而復(fù)合化之后，利用紡粘法延伸后堆積而獲得。這樣，藉由通過(guò)紡粘法形成網(wǎng)，可獲得由纖維脫落少、纖維密度高、形態(tài)穩(wěn)定性良好的海島型復(fù)合纖維構(gòu)成的長(zhǎng)纖維網(wǎng)。另外，所謂長(zhǎng)纖維，是指不經(jīng)過(guò)制造短纖維時(shí)的切斷工序而制造的纖維。在海島型復(fù)合纖維的制造中，將水溶性熱塑性樹(shù)脂與非水溶性熱塑性樹(shù)脂分別熔體紡絲而復(fù)合化。作為水溶性熱塑性樹(shù)脂與非水溶性熱塑性樹(shù)脂的質(zhì)量比，優(yōu)選5/95至50/50,進(jìn)一步優(yōu)選10/90至40/60。如果水溶性熱塑性樹(shù)脂與非水溶性熱塑性樹(shù)脂的質(zhì)量比處于這樣的范圍，可獲得高密度的纖維絡(luò)合體，而且，超細(xì)單纖維的形成性也優(yōu)異。以下詳細(xì)說(shuō)明將水溶性熱塑性樹(shù)脂與非水溶性熱塑性樹(shù)脂通過(guò)熔體紡絲而復(fù)合化之后，利用紡粘法形成長(zhǎng)纖維網(wǎng)的方法。首先，將水溶性熱塑性樹(shù)脂及非水溶性熱塑性樹(shù)脂分別通過(guò)不同的壓出4幾熔融混煉，使熔融樹(shù)脂的線股(strand)從各不相同的噴絲頭同時(shí)噴出。接著，使噴出的線股經(jīng)復(fù)合噴嘴復(fù)合之后從紡絲頭的噴嘴孔噴出，由此形成海島型復(fù)合纖維。在熔融復(fù)合紡絲中，從可縮小單纖維纖度，獲得高纖維密度的纖維束的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選海島型復(fù)合纖維中的島數(shù)為4島/纖維至4000島/纖維，進(jìn)一步優(yōu)選為10島/纖維至1000島/纖維。上述海島型復(fù)合纖維在經(jīng)冷卻裝置冷卻之后，使用噴氣嘴等吸引裝置，通過(guò)以相當(dāng)于1000m/分鐘至6000m/分鐘的收線(take-up)速度的速度流動(dòng)的高速氣流被延伸以便達(dá)到目標(biāo)纖度。隨后，通過(guò)將延伸后的復(fù)合纖維堆積到移動(dòng)式捕集面(trapsurface)上形成長(zhǎng)纖維網(wǎng)。另外，此時(shí)也可根據(jù)需要將堆積起來(lái)的長(zhǎng)纖維網(wǎng)局部地壓縮。纖維網(wǎng)的克重(basisweight)處于20g/m2至500g/m2的范圍內(nèi)可獲得均勻的纖維絡(luò)合體，而且從工業(yè)方面考慮較理想。(2)網(wǎng)絡(luò)合工序接著說(shuō)明通過(guò)使多張所得的上述長(zhǎng)纖維網(wǎng)重疊絡(luò)合而形成網(wǎng)絡(luò)合片的網(wǎng)絡(luò)合工序。網(wǎng)絡(luò)合片是通過(guò)使用針刺(needlepunching)或高壓水流處理等乂^知的無(wú)紡布制造方法對(duì)長(zhǎng)纖維網(wǎng)進(jìn)行絡(luò)合處理而形成。以下對(duì)作為代表例的基于針刺的絡(luò)合處理進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。首先，對(duì)長(zhǎng)纖維網(wǎng)涂抹用于防止針斷的油劑、抗靜電油劑、用于改善絡(luò)合的油劑等硅酮系油劑或者礦物油系油劑。另外，為了降低克重波動(dòng)，也可通過(guò)交叉鋪網(wǎng)才幾(cross-lapper)4吏兩張以上的纖維網(wǎng)重疊后再涂4末油劑。隨后，例如，通過(guò)針刺進(jìn)行使纖維三維絡(luò)合的絡(luò)合處理。通過(guò)進(jìn)行針刺處理，可獲得纖維密度高、不易發(fā)生纖維脫落的網(wǎng)絡(luò)合片。另外，網(wǎng)絡(luò)合片的克重可根據(jù)拋光墊的目標(biāo)厚度等適當(dāng)選擇，但從易操作的觀點(diǎn)出發(fā)，具體而言，例如優(yōu)選100g/m2至1500g/m2。油劑的種類及量，和針刺時(shí)的針形狀、針深度、針眼數(shù)等有關(guān)針的條件可適當(dāng)選擇，以便使網(wǎng)絡(luò)合片的層間剝離力較高。鉤(barb)數(shù)在不會(huì)發(fā)生斷針的范圍內(nèi)越多越好，具體而言，例如可從1至9個(gè)鉤中選擇。優(yōu)選設(shè)定針深度，以便使鉤貫通至重疊的網(wǎng)表面，并且，針刺后的圖案不會(huì)明顯顯露在網(wǎng)表面。而且，針針眼數(shù)根據(jù)針形狀、油劑的種類和佳:用量等而調(diào)整，具體而言優(yōu)選500針眼/cm2至5000針眼/cm2。而且，從可獲得高纖維密度的纖維絡(luò)合體，而且可減少纖維的脫落的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選進(jìn)行絡(luò)合處理，以便以質(zhì)量比計(jì)時(shí)使絡(luò)合處理后的基重為絡(luò)合處理前的基重的1.2倍以上，進(jìn)一步優(yōu)選為1.5倍以上。對(duì)于上限并無(wú)特別限定，但從可避免因處理速度的下降導(dǎo)致的制造成本的增大的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選4倍以下。從可獲得形態(tài)保持性良好且纖維的脫落少、纖維密度高的纖維絡(luò)合體的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選網(wǎng)絡(luò)合片的層間剝離力為2kg/2.5cm以上，進(jìn)一步優(yōu)選為4kg/2.5cm以上。另外，層間剝離力是三維絡(luò)合的程度的量度。如果層間剝離力過(guò)小，纖維絡(luò)合體的纖維密度將不夠高。而且，對(duì)于絡(luò)合無(wú)紡布的層間剝離力的上限并無(wú)特別限定，但從絡(luò)合處理效率考慮優(yōu)選30kg/2.5cm以下。而且，為了調(diào)節(jié)拋光墊的硬度，也可在不損害本發(fā)明效果的范圍內(nèi)，根據(jù)需要在以上述方式獲得的無(wú)紡布即網(wǎng)絡(luò)合片上進(jìn)一步重疊由超細(xì)單纖維構(gòu)成的針織物或者梭織物(編織物)，再通過(guò)針刺處理及/或者高壓水流處理進(jìn)行絡(luò)合處理，由此將編織物經(jīng)過(guò)絡(luò)合一體化成為絡(luò)合無(wú)紡布，例如編織物/絡(luò)合無(wú)紡布、絡(luò)合無(wú)紡布/編織物/絡(luò)合無(wú)紡布等疊層結(jié)構(gòu)體用作網(wǎng)絡(luò)合片。對(duì)于構(gòu)成上述編織物的超細(xì)單纖維并無(wú)特別限定。具體而言，例如優(yōu)選使用由聚對(duì)苯二曱酸乙二酯(PET)、聚對(duì)苯二曱酸丙二酯、聚對(duì)苯二甲酸丁二酯(PBT)、聚酯彈性體等形成的聚酯系纖維；由聚酰胺6、聚酰胺66、芳香族聚酰胺、聚酰胺彈性體等形成的聚酰胺系纖維；由氨酯系聚合物、烯烴系聚合物、丙烯腈系聚合物等構(gòu)成的纖維。這些纖維中，從工業(yè)方面考慮，優(yōu)選由PET、PBT、聚酰胺6、聚酰胺66等形成的纖維。而且，作為用于形成上述編織物的海島型復(fù)合纖維的去除成分的具體例，例如有聚苯乙烯及其共聚物、聚乙烯、PVA系樹(shù)脂、共聚聚酯、共聚聚酰胺等。這些材料中，從在溶解除去時(shí)會(huì)大幅度地收縮的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選使用PVA系樹(shù)脂。(3)濕熱收縮處理工序接著說(shuō)明用于通過(guò)使網(wǎng)絡(luò)合片濕熱收縮來(lái)提高網(wǎng)絡(luò)合片的纖維密度及絡(luò)合程度的濕熱收縮處理工序。另外，在本工序中，通過(guò)使含有長(zhǎng)纖維的網(wǎng)絡(luò)合片濕熱收縮，與使含有短纖維的網(wǎng)絡(luò)合片濕熱收縮的情況相比，可使網(wǎng)絡(luò)合片大幅度地收縮，因此，超細(xì)單纖維的纖維密度特別高。優(yōu)選濕熱收縮處理通過(guò)蒸汽加熱進(jìn)行。作為蒸汽加熱條件，優(yōu)選環(huán)境溫度為60。C至130。C，相對(duì)濕度為75%以上，進(jìn)一步優(yōu)選相對(duì)濕度為90%以上，進(jìn)行60秒至600秒的加熱處理。在這樣的加熱條件的情況下，可使網(wǎng)絡(luò)合片以高收縮率收縮，因而比較理想。另外，如果相對(duì)濕度過(guò)低，接觸到纖維的水分會(huì)迅速蒸干，由此存在收縮變得不充分的傾向。優(yōu)選以使上述網(wǎng)絡(luò)合片收縮至面積收縮率為35%以上，進(jìn)一步優(yōu)選40%以上來(lái)進(jìn)4亍濕熱收縮處理。通過(guò)這樣以高收縮率使之收縮，可獲得高纖維密度。對(duì)于上述面積收縮率的上限并無(wú)特別限定，但從收縮的限度及處理效率方面考慮，優(yōu)選約為80%以下。另外，面積收縮率(％)通過(guò)下述式(1):(收縮處理前的片材面的面積-收縮處理后的片材面的面積)/收縮處理前的片材面的面積x100......(l)來(lái)計(jì)算。上述面積是指片材表面面積與背面面積的平均面積。對(duì)于如上所述地經(jīng)過(guò)濕熱收縮處理的網(wǎng)絡(luò)合片，通過(guò)在海島型復(fù)合纖維的熱變形溫度以上的溫度進(jìn)行加熱滾軋或加熱施壓，纖維密度也可進(jìn)一步得到提高。而且，作為濕熱收縮處理前后的網(wǎng)絡(luò)合片的基重變化，優(yōu)選收縮處理后的克重與收縮處理前的克重相比為1.2倍(質(zhì)量比)以上，進(jìn)一步優(yōu)選1.5倍以上，且優(yōu)選4倍以下，進(jìn)一步優(yōu)選3倍以下。(4)纖維束粘合工序在進(jìn)行網(wǎng)絡(luò)合片的超細(xì)纖維化處理之前，為了提高網(wǎng)絡(luò)合片的形態(tài)穩(wěn)定性或降低所得拋光墊的空隙率，也可根據(jù)需要使高分子彈性體的水性液含浸在經(jīng)過(guò)收縮處理的網(wǎng)絡(luò)合片中并使之干燥凝固，由此使纖維束預(yù)先粘合起來(lái)。在本工序中，通過(guò)使上述高分子彈性體的水性液含浸在經(jīng)過(guò)收縮處理的網(wǎng)絡(luò)合片中并使之干燥凝固，來(lái)向網(wǎng)絡(luò)合片中填充高分子彈性體。通過(guò)使網(wǎng)絡(luò)合片含浸水性液狀態(tài)的高分子彈性體并使之干燥凝固，可形成高分子彈性體。高分子彈性體的水性液的濃度高而粘度低，含浸浸透性也優(yōu)異，因此容易實(shí)現(xiàn)高填充。而且對(duì)纖維的粘結(jié)性也優(yōu)異。因此，通過(guò)本工序而填充的高分子彈性體能牢固地集束長(zhǎng)纖維的海島型復(fù)合纖維。所謂高分子彈性體的水性液，是指將形成高分子彈性體的成分溶解于水系媒質(zhì)中所得到的水性溶液，或者使形成高分子彈性體的成分分散于水系媒質(zhì)而得到水性分散液。另外，水性分散液包括懸濁分散液及乳化分散液。從耐水性優(yōu)異的觀點(diǎn)出發(fā)，特別進(jìn)一步優(yōu)選使用水性分散液。作為高分子彈性體，從對(duì)超細(xì)單纖維的粘合性較高的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選氬4建結(jié)合性的高分子彈性體(hydrogen-bondablemacromolecularelastomer)。所謂形成氫鍵結(jié)合性高分子彈性體的樹(shù)脂，例如是指像聚氨酯系樹(shù)脂、聚酰胺系樹(shù)脂、聚乙烯醇系樹(shù)脂等一樣，利用氬鍵結(jié)合而結(jié)晶化或者凝聚的高分子彈性體。氬鍵結(jié)合性高分子彈性體的粘結(jié)性高，可提高纖維絡(luò)合體的形態(tài)保持性，而且可抑制纖維的脫落。以下，將使用聚氨酯系樹(shù)脂作為高分子彈性體的情況作為代表例進(jìn)^f亍-洋細(xì)i兌明。作為聚氨酯系樹(shù)脂，例如有使平均分子量為200至6000的高分子多元醇、有機(jī)聚異氰酸酯(organicpolyisocyanate)與鏈延長(zhǎng)劑以規(guī)定的摩爾比反應(yīng)而獲得的各種聚氨酯系樹(shù)脂。作為上述高分子多元醇的具體例，例如有聚乙二醇、聚丙二醇、聚丁二醇、聚(曱基丁二醇)等聚醚系多元醇及其共聚物；聚己二酸丁二醇酯、聚癸二酸丁二醇酯、聚己二酸己二醇酯、聚(3-曱基-1,5-癸二酸亞戊基酉旨)二醇(poly(3誦methyl-l,5-pentylenesebacate)diol)、聚(3-曱基-1,5-癸二酸亞戊基酯)二醇、聚己內(nèi)酯二醇等聚酯系多元醇及其共聚物；聚碳酸六甲基酯二醇、聚(3-甲基-1,5-碳酸亞戊基酯)二醇、聚碳酸戊撐酯二醇(polypentamethylenecarbonatediol)、聚碳酸四曱基酯二醇等聚碳酸酯系多元醇及其共聚物；聚酯碳酸酯多元醇等。而且，也可根據(jù)需要并用三羥曱基丙烷等三官能醇或季戊四醇等四官能醇等多官能醇，或者乙二醇、丙二醇、1,4-丁二醇、1,6-已二醇等短鏈醇。這些醇既可單獨(dú)使用也可將兩種以上組合使用。從可獲得耐水解性或耐氧化性等耐久性優(yōu)異的拋光片的觀點(diǎn)出發(fā)，特別優(yōu)選使用非晶性聚碳酸酯系多元醇、脂環(huán)式聚碳酸酯系多元醇、直鏈狀聚碳酸酯系多元醇、及這些聚碳酸酯系多元醇與聚醚系多元醇或聚酯系多元醇的混合物。而且，從對(duì)水潤(rùn)濕能力特別良好的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選含有碳數(shù)5以下，特別優(yōu)選含有碳數(shù)3以下的聚烯烴醇基(polyalkyleneglycolgroup)的聚氨酯樹(shù)脂。作為上述有機(jī)聚異氰酸酯的具體例，例如有六亞甲基二異氰酸酯、異佛爾酮二異氰酸酯、降水片烯二異氰酸酯、4,4'-二環(huán)己基甲烷二異氰酸酯等脂肪族或脂環(huán)族二異氰酸酯等的無(wú)黃變型二異氰酸酯；2,4-甲苯二異氰酸酯、2,6-甲苯二異氰酸酯、4,4'-二苯基曱烷二異氰酸酯、亞二甲苯基二異氰酸酯聚氨酯等芳香族二異氰酸酯等。而且，也可根據(jù)需要并用三官能異氰酸酯或四官能異氰酸酯等多官能異氰酸酯。這些酯既可單獨(dú)使用也可將兩種以上組合使用。這些酯中，從可獲得對(duì)纖維的粘結(jié)性高而且硬度高的拋光墊的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選4,4'-二環(huán)己基甲烷二異氰酸酯、2,4-甲苯二異氰酸酯、2,6-曱苯二異氰酸酯、4,4'-二苯基曱烷二異氰酸酯、亞二曱苯基二異氰酸酯。作為上述鏈延長(zhǎng)劑的具體例，例如有肼、乙二胺、丙二胺、己二胺、壬二胺(nonamethylenediamine)、間苯二甲胺(xylylenediamine)、異"f弗爾酮二胺、哌。泰及其衍生物、己二酸二酰肼、間苯二曱酸二酰肼等二胺類；二乙烯三胺等三胺類；三乙烯四胺等四胺類；乙二醇、丙二醇、1,4-丁二醇、1,6-已二醇、1,4-二(卩-鞋乙氧基)苯、1,4-環(huán)己二醇等二醇類；三羥曱基丙烷等三醇類；季戊四醇等四醇類；胺基乙醇、胺基丙醇等胺基醇類等。這些材料既可單獨(dú)使用也可將兩種以上組合使用。這些材料中，從可短時(shí)間地完成硬化反應(yīng)的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選從肼、哌。秦、己二胺、異佛爾酮二胺及其衍生物、乙三胺等三胺中組合兩種以上使用。而且，在鏈延長(zhǎng)反應(yīng)進(jìn)行時(shí)，也可與鏈延長(zhǎng)劑一起并用乙基胺、丙基胺、丁基胺等單胺類；4-胺基丁酸，6-胺基己酸等含羧基的單胺化合物；曱醇、乙醇、丙醇、丁醇等單醇(mono-ols)類。而且，通過(guò)并用2,2-二(輕曱基)丙酸、2,2-二(羥曱基)丁酸、2,2-二(羥甲基)戊酸等含羧基的二醇等，將羧基等離子性基導(dǎo)入聚氨酯系彈性體的骨架，由此可進(jìn)一步提高對(duì)水潤(rùn)濕能力。而且，為了控制高分子彈性體的吸水率及儲(chǔ)能模量，優(yōu)選的是，通過(guò)添加在分子內(nèi)含有2個(gè)以上能與形成聚氨酯的單體單元所具備的官能基反應(yīng)的官能基的交聯(lián)劑或者聚異氰酸酯系化合物、多官能封閉異氰酸酯系化合物等自交聯(lián)性的化合物，來(lái)形成交聯(lián)結(jié)構(gòu)。作為上述單體單元所具備的官能基與交聯(lián)劑的官能基的組合，有羧基與呃唑啉基、羧基與碳化二亞胺基、羧基與環(huán)氧基、羧基與環(huán)碳酸酯基、羧基與氮丙啶基、羰基與肼衍生物或酰肼衍生物等。這些組合中，從易交聯(lián)及所獲得的拋光墊的剛性及耐磨耗性優(yōu)異的觀點(diǎn)出發(fā)，特別優(yōu)選具有羧基的單體單元與具有呃唑啉基、碳化二亞胺基或者環(huán)氧基的交聯(lián)劑的組合，具有氫氧基或者氨基的單體單元與具有封閉異氰酸酯基的交聯(lián)劑的組合，以及具有羰基的單體單元與肼衍生物或者酰肼衍生物的組合。另外，從可維持高分子彈性體的水性液的穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選交聯(lián)結(jié)構(gòu)是在對(duì)纖維絡(luò)合體賦予聚氨酯樹(shù)脂之后的熱處理工序中形成。這些材料中，特別優(yōu)選交聯(lián)性能及水性液的適用期(potlife)特性優(yōu)異而且安全方面也沒(méi)有問(wèn)題的碳化二亞胺基及/或呃唑啉基。具有碳化二亞胺基的交聯(lián)劑，例如有日清紡織抹式會(huì)社(NisshinboIndustries,Inc.)制的"CarbodiliteE國(guó)01"、"CarbodiliteE陽(yáng)02"、"CarbodiliteV-02，，等的水分散碳化二亞胺系化合物。而且，具有呃唑啉基的交聯(lián)劑，例如有日本觸媒25抹式會(huì)社(NipponShokubai)制的"EpocrosK-2010E"、"EpocrosK-2020E"、"EpocrosWS-500"等水分散呃唑啉系化合物。作為交聯(lián)劑的配合量，優(yōu)選相對(duì)于聚氨酯樹(shù)脂，交聯(lián)劑的有效成分為1質(zhì)量％至20質(zhì)量％,進(jìn)一步優(yōu)選1.5質(zhì)量％至1質(zhì)量％，再進(jìn)一步優(yōu)選2質(zhì)量％至10質(zhì)量％。而且，作為聚氨酯樹(shù)脂中的高分子多元醇的成分的含有率，從可提高與超細(xì)單纖維的粘結(jié)性及提高纖維束的剛性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選65質(zhì)量％以下，進(jìn)一步優(yōu)選60質(zhì)量％以下。而且，/人可通過(guò)賦予適度的彈性抑制劃痕的產(chǎn)生的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選40質(zhì)量％以上，進(jìn)一步優(yōu)選45質(zhì)量%以上。而且，聚氨酯系樹(shù)脂也可進(jìn)一步含有滲透劑、消泡劑、潤(rùn)滑劑、防水劑、防油劑、增粘劑、增量劑(extender)、硬化促進(jìn)劑、抗氧化劑、紫外線吸收劑、熒光劑、防霉劑、發(fā)泡劑、聚乙烯醇、羧甲基纖維素等水溶性高分子化合物、染料、顏料、無(wú)機(jī)微粒子等。對(duì)于使聚氨酯系樹(shù)脂成為水性溶液或者水性分散液的方法并無(wú)特別限定，可使用公知的方法。具體而言，例如有通過(guò)使其含有具備羧基、磺酸基、氬氧基等親水性基的單體單元而向聚氨酯樹(shù)脂賦予在水性媒質(zhì)中的分散性的方法，或者，向聚氨酯樹(shù)脂中添加表面活性劑而使之乳化或懸濁的方法。而且，這樣的水性高分子彈性體的對(duì)水潤(rùn)濕能力優(yōu)異，由此，均勻且大量保持磨粒的特性優(yōu)異。作為用于上述乳化或懸濁的表面活性劑的具體例，例如有月桂基硫酸鈉、月桂基硫酸銨、聚氧乙烯十三烷基醚乙酸鈉、十二烷基苯磺酸鈉、烷基二苯醚二磺酸鈉、二辛基磺基琥珀酸鈉等陰離子表面活性劑；壬基朌聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚、月桂醇聚氧乙烯醚、聚氧乙烯十八烷基醚、聚氧乙烯-聚氧丙烯嵌段共聚物等陽(yáng)離子表面活性劑等。而且，表面活性劑的露點(diǎn)(dewpoint),也可使聚氨酯樹(shù)脂具有感熱凝膠化性。作為聚氨酯系樹(shù)脂在水性分散液的平均粒徑，優(yōu)選O.Oljam至l)uim，進(jìn)一步優(yōu)選0.03)Lim至0.5/im。在本工序中，為了形成高分子彈性體，使用高分子彈性體的水性液來(lái)取代以往一般所用的高分子彈性體的有機(jī)溶劑溶液。通過(guò)像這樣使用高分子彈性體的水性液，能以更高的濃度含浸含有高分子彈性體的樹(shù)脂液。并且，由此可充分降低所得拋光墊的空隙率。作為高分子彈性體的水性液的固體成分(solids)濃度，從可充分降低空隙率的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選15質(zhì)量％以上，進(jìn)一步優(yōu)選25質(zhì)量％以上。作為使上述網(wǎng)絡(luò)合片含浸高分子彈性體的水性液的方法，例如有使用刮刀涂布才幾、刮條涂布才幾或輥式涂布才幾的方法，或者進(jìn)4亍浸漬(dipping)的方法等。并且，通過(guò)對(duì)含浸有高分子彈性體的水性液的網(wǎng)絡(luò)合片進(jìn)行干燥，可使高分子彈性體凝固。作為干燥方法，有在5(TC至200。C的干燥裝置中進(jìn)行熱處理的方法，或者在紅外線加熱后在干燥機(jī)中進(jìn)行熱處理的方法等。另外，如果在使上述網(wǎng)絡(luò)合片含浸高分子彈性體的水性液之后進(jìn)行干燥時(shí)，有可能會(huì)因該水性液移動(dòng)(遷移)到網(wǎng)絡(luò)合片的表層而無(wú)法獲得均勻的填充狀態(tài)。在這樣的情況下，可以通過(guò)以下方式來(lái)抑制遷移，即調(diào)整水性液的高分子彈性體的粒徑；調(diào)整高分子彈性體的離子性基的種類或量，或者改變pH等以便調(diào)整其穩(wěn)定性；并用1價(jià)或者2價(jià)的堿金屬鹽或堿土類金屬鹽、非離子乳化劑、締合水溶性增粘劑、水溶性硅酮系化合物等締合型感熱凝膠化劑或者水溶性聚氨酯系化合物，以便降低4(TC至100。C左右時(shí)的水分散穩(wěn)定性等。另外，也可根據(jù)需要使其遷移，以使高分子彈性體更多地分布在表面。(5)超細(xì)纖維形成工序接著說(shuō)明通過(guò)使水溶性熱塑性樹(shù)脂在熱水中溶解而形成超細(xì)單纖維的工序即超細(xì)纖維形成工序。本工序是通過(guò)去除水溶性熱塑性樹(shù)脂而形成超細(xì)單纖維的工序。此時(shí)，在上述網(wǎng)絡(luò)合片的水溶性熱塑性樹(shù)脂被溶解抽取的部分形成空隙。并且，在之后的高分子彈性體填充工序中，向該空隙內(nèi)填充高分子彈性體，由此使超細(xì)單纖維集束起來(lái)。超細(xì)纖維化處理是通過(guò)將網(wǎng)絡(luò)合片、或者網(wǎng)絡(luò)合片與高分子彈性體的復(fù)合體，在水、堿性水溶液、酸性水溶液等中進(jìn)行熱水加熱處理而將水溶性熱塑性樹(shù)脂溶解除去或者分解除去的處理。作為熱水加熱處理?xiàng)l件的具體例，例如優(yōu)選的是，作為第l階段，在65。C至90。C的熱水中浸漬5秒鐘至300秒鐘之后，進(jìn)而作為第2階l殳，在85。C至100。C的熱水中進(jìn)^f亍100秒鐘至600秒鐘的處理。而且，為了提高溶解效率，也可根據(jù)需要進(jìn)行利用輥的擠壓處理、高壓水流處理、超聲波處理、浴處理、攪拌處理、打磨處理(mbbmg)等。在本工序中，在從海島型復(fù)合纖維中溶解水溶性熱塑性樹(shù)脂形成超細(xì)單纖維時(shí)，超細(xì)纖維將大幅度地巻曲。該巻曲引起纖維密度變得致密，因此可獲得高密度的纖維絡(luò)合體。(6)高分子彈性體填充工序接著說(shuō)明通過(guò)向由超細(xì)單纖維形成的超細(xì)纖維束內(nèi)部填充高分子彈性體而將上述超細(xì)單纖維集束起來(lái)，并且將纖維束彼此粘合起來(lái)的工序。在超細(xì)纖維形成工序(5)中，通過(guò)對(duì)海島型復(fù)合纖維實(shí)施超細(xì)纖維化處理，將水溶性熱塑性樹(shù)脂去除而在超細(xì)纖維束的內(nèi)部形成空隙。在本工序中，通過(guò)對(duì)這樣的空隙填充高分子彈性體，可將超細(xì)單纖維集束起來(lái)，并且降低拋光墊的空隙率。另外，在由超細(xì)單纖維形成纖維束時(shí)，在毛細(xì)管現(xiàn)象的作用下容易含浸高分子彈性體的水性液，所以超細(xì)單纖維更容易集束而限制在一起。就本工序中所用的高分子彈性體的水性液而言，可使用與纖維束粘合工序(4)中說(shuō)明的高分子彈性體的水性液同樣的水性液。就本工序中向由超細(xì)單纖維形成的超細(xì)纖維束內(nèi)部填充高分子彈性體的方法而言，可適用與纖維束粘合工序(4)中所用的方法同樣的方法。以此方式形成拋光墊。[拋光墊的后加工]對(duì)于所得拋光墊，也可根據(jù)需要實(shí)施成形處理、平坦化處理、起毛(napping)處理、疊層處理及表面處理等后加工處理。上述成形處理及平坦化處理是通過(guò)磨削將所得拋光墊熱壓制成形為規(guī)定的厚度，或者切割成規(guī)定外形的加工。優(yōu)先將拋光墊磨削加工成厚度為0.5mm至3mm左右的拋光墊。所謂上述起毛處理，是指利用砂紙、鋼絲布、金剛石等對(duì)拋光墊表面施加機(jī)械摩擦力或拋光力，將集束起來(lái)的超細(xì)單纖維分離的處理。通過(guò)這樣的起毛處理，使存在于拋光墊表層部的纖維束原纖化，從而在表面形成大量的超細(xì)單纖維。所謂上述疊層處理，是指通過(guò)將所得拋光墊貼到村底上疊層來(lái)調(diào)整28剛性的處理。例如，通過(guò)將拋光墊與硬度低的彈性體片材疊層，可使被拋光面的全局平坦性(被拋光基材整體的平坦性)進(jìn)一步提高。另外，疊層時(shí)的粘結(jié)既可以是熔融粘結(jié)，也可以是采用粘結(jié)劑或粘接劑的粘接。作為上述襯底的具體例，例如有由聚氨酯等構(gòu)成的彈性海綿體；含浸有聚氨酯的無(wú)紡布(例如，NITTAHAAS株式會(huì)社(NittaHaasIncorporated)制造，商品名為Suba400);由天然橡膠、丁腈橡膠、聚丁二烯橡膠、硅酮橡膠等橡膠或聚酯系熱可塑性彈性體、聚酰胺系熱可塑性彈性體、氟系熱可塑性彈性體等熱可塑性彈性體構(gòu)成的彈性樹(shù)脂薄膜；發(fā)泡塑料；針織物、梭織物等片狀基材。而且，上述表面處理是為了調(diào)整保持或者排出磨粒漿料的性能而在拋光墊表面形成^^各子狀、同心圓狀、渦狀等槽或孔的處理。以下，作為使用本實(shí)施方式的拋光墊進(jìn)行的拋光的一例，參照?qǐng)D4的示意說(shuō)明圖說(shuō)明化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)。圖4中，20是拋光裝置，21是轉(zhuǎn)臺(tái)，22是磨粒漿料提供管，23是調(diào)節(jié)器，24是被拋光基材。而且，在轉(zhuǎn)臺(tái)21的表面上貼有拋光墊10。轉(zhuǎn)臺(tái)21通過(guò)拋光裝置20所具備的馬達(dá)(圖略)被高速旋轉(zhuǎn)。在CMP中，從磨粒漿料提供管22向貼在高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)臺(tái)21上的拋光墊10每次少量地提供磨粒漿料25。接著，纟皮拋光基材24在拋光裝置20所具備的負(fù)荷機(jī)構(gòu)(圖略)的作用下凈皮施加負(fù)荷，由此使得其表面被拋光。而且，為了抑制拋光隨時(shí)間而發(fā)生變化，拋光墊10的表面通過(guò)調(diào)節(jié)器23被修整。磨粒漿料是在水或油等液狀媒質(zhì)中分散有二氧化硅、氧化鋁、氧化鈰、氧化鋯、碳化硅等拋光劑的漿料。而且，磨粒漿料也可根據(jù)需要含有鹽基、酸、表面活性劑等成分。而且，在進(jìn)行CMP時(shí)，也可根據(jù)需要，在提供拋光漿料時(shí)同時(shí)提供潤(rùn)滑油、冷卻劑等。作為上述調(diào)節(jié)器，優(yōu)選使用#50至#1000,進(jìn)一步優(yōu)選使用#100至#600的金剛石等修整器。另夕卜，調(diào)整既可在拋光被拋光基材24之前進(jìn)行，也可在拋光中進(jìn)行。而且，被拋光基材24的拋光與拋光墊10的調(diào)整也可交替進(jìn)行。如果金剛石修整器的磨粒粒度(gnt)過(guò)低，將存在表面會(huì)變粗糙的傾向，另一方面，如果過(guò)高，將存在調(diào)整會(huì)耗時(shí)的傾向。優(yōu)選將本實(shí)施方式的拋光墊用于拋光硅晶片、化合物半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體器件、液晶部件、光學(xué)元件、水晶、光學(xué)基板、電子電路基板、電子電路掩模(mask)基板、多層布線基板、硬盤、MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))基材等。作為半導(dǎo)體晶片和半導(dǎo)體器件的具體例，例如有在表面具有氧化硅、氟氧化硅、有機(jī)聚合物等絕緣膜；銅、鋁、鎢等布線金屬膜；鉭、鈦、氮化鉭、氮化鈦等阻擋金屬膜的基材。在拋光中，本實(shí)施方式的拋光墊可用于一次拋光、二次拋光(調(diào)整拋光)、精加工拋光、鏡面拋光等。而且，拋光部分為基材的表面、背面、端面的^f壬一面均可。以下，根據(jù)實(shí)施例具體說(shuō)明本發(fā)明。另外，本發(fā)明并不局限于實(shí)施例。實(shí)施例[實(shí)施例1]將水溶性熱可塑性聚乙烯醇系樹(shù)脂(以下，稱作PVA系樹(shù)脂)與改性度6molo/。的間苯二曱酸改性聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(以下，稱作改性PET:Tg為77°C,吸水率為1質(zhì)量％,公稱水分率為0.4質(zhì)量％)以20:80(質(zhì)量比)的比例從熔融復(fù)合紡絲用噴嘴噴出，由此形成海島型復(fù)合纖維。另外，熔融復(fù)合紡絲用噴嘴是島數(shù)為25島/纖維，噴嘴溫度為260°C。接著，調(diào)整噴射器壓力以便使紡絲速度為4000m/min,將平均纖度為2.0dtex的長(zhǎng)纖維捕集到網(wǎng)上，由此獲得克重為30g/n^的紡粘片(長(zhǎng)纖維網(wǎng))。通過(guò)交叉疊接(crosslapping)將16張所得的紡粘片重疊，制作總克重為480g/n^的重疊網(wǎng)。接著，向所得的重疊網(wǎng)上噴防針斷油劑。繼而，使用鉤數(shù)為1個(gè)且針型號(hào)為42號(hào)的針及鉤數(shù)為6個(gè)且針型號(hào)為42號(hào)的針，以1800針眼/cm2對(duì)重疊網(wǎng)進(jìn)行針刺處理而使之絡(luò)合，由此獲得網(wǎng)絡(luò)合片。所得網(wǎng)絡(luò)合片的克重為740g/m2,層間剝離力為10.0kg/2.5cm。而且，針刺處理所引起的面積收縮率為35%。接著，將所得網(wǎng)絡(luò)合片在7(TC、95%RH的條件下進(jìn)行90秒的蒸汽處理。此時(shí)的面積收縮率為50%。繼而，在140。C的烘箱中使之干燥、碳數(shù)為2至3的聚烷撐二醇與碳數(shù)為4的聚烷撐二醇而制備的。聚氨酯彈性體A的吸水率為5質(zhì)量％，150。C的溫度之下的儲(chǔ)能模量[E'(150°C，dry)]為60MPa。此時(shí)水性分散液的固體成分附著量相對(duì)于網(wǎng)絡(luò)合片的質(zhì)量為15質(zhì)量％。接著，將含浸有水性分散液的網(wǎng)絡(luò)合片在9(TC、50。/。RH的環(huán)境下進(jìn)行干燥凝固處理，再在14(TC進(jìn)行干燥處理。接著在140。C對(duì)其進(jìn)行熱壓制，由此獲得克重為1700g/m2、表觀密度為0.96g/cm3、厚度為1.78mm的片材。此時(shí)，熱壓制后的網(wǎng)絡(luò)合片的厚度為熱壓制前的厚度的0.88倍。接著進(jìn)行磨光(buffing)處理，從而將表面與背面平坦化。接著，一邊對(duì)填充有聚氨酯彈性體A的網(wǎng)絡(luò)合片進(jìn)行擠壓處理及高壓水流處理，一邊在95。C的熱水中浸漬IO分鐘，由此將PVA系樹(shù)脂溶解除去，再進(jìn)行干燥，獲得超細(xì)單纖維的平均纖度為O.ldtex、克重為1400g/m2、表觀密度為0.76g/cm3、厚度為1.85mm的、聚氨酯彈性體A與纖維絡(luò)合體的復(fù)合體。接著，使上述復(fù)合體含浸用作第2聚氨酯彈性體的聚氨酯彈性體B(固體成分濃度為35質(zhì)量％)的水性分散液。另外，聚氨酯彈性體B是向IOO質(zhì)量份的無(wú)黃變型聚氨酯樹(shù)脂中添加碳化二亞胺系交聯(lián)劑5質(zhì)量份，再進(jìn)行熱處理而形成交聯(lián)結(jié)構(gòu)的聚氨酯樹(shù)脂，其中所述無(wú)黃變型聚氨酯樹(shù)脂是從以將聚碳酸酯系多元醇與碳數(shù)為2至3的聚烷撐二醇以99.8:0.2(摩爾比)混合而成的混合物作為多元醇成分，并含有1.5質(zhì)量%的含羧基單體的組成物獲得。聚氨酯彈性體B的吸水率為2質(zhì)量％,150。C的溫度之下的儲(chǔ)能模量[E'(150°C,dry)]為40MPa。此時(shí)水性分散液的固體成分附著量相對(duì)于網(wǎng)絡(luò)合片的質(zhì)量為15質(zhì)量％。接著，對(duì)含浸有水性分散液的網(wǎng)絡(luò)合片在90°C、50%RH環(huán)境下進(jìn)行凝固處理，再在14(TC進(jìn)行干燥處理，由此獲得拋光墊前體。所得拋光墊前體的克重為1570g/m2、表觀密度為0.87g/cm3、厚度為1.8mm。對(duì)所得拋光墊前體進(jìn)行磨削加工，再切割成直徑為51cm的圓形，在表面以15.0mm的間隔呈格子狀地形成寬度為2.0mm、深度為1.0mm的凹槽，由此獲得克重為1220g/m、表觀密度為0.87g/cm、厚度為1.4mm的圓形的拋光墊。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表l中。而且，所得拋光墊的剖面的IO(H咅的SEM照片如圖5所示，500倍的SEM照片如圖6所示。將PVA系樹(shù)脂與改性PET以25:75(質(zhì)量比)的比例從熔融復(fù)合紡絲用噴嘴噴出，由此形成海島型復(fù)合纖維。另外，熔融復(fù)合紡絲用噴嘴是島數(shù)為25島/纖維，噴嘴溫度為260。C的噴嘴。接著，調(diào)整噴射器壓力以便使紡絲速度為4000m/min,將平均纖度為2.0dtex的長(zhǎng)纖維捕集到網(wǎng)上，由此獲得克重為30g/n^的紡粘片(長(zhǎng)纖維網(wǎng))。通過(guò)交叉疊接將18張所得的紡粘片重疊，制作總克重為540g/m2的重疊網(wǎng)。接著，向所得的重疊網(wǎng)上噴防針斷油劑。繼而，使用鉤數(shù)為1個(gè)且針型號(hào)為42號(hào)的針及鉤數(shù)為6個(gè)且針型號(hào)為42號(hào)的針，以1800針眼/cn^對(duì)重疊網(wǎng)進(jìn)行針刺處理而使之絡(luò)合，由此獲得網(wǎng)絡(luò)合片。所得網(wǎng)絡(luò)合片的克重為830g/m2,層間剝離力為12.0kg/2.5cm。而且，針刺處理所引起的面積收縮率為35%。接著，將所得網(wǎng)絡(luò)合片在70。C、95。/。RH的條件下進(jìn)行90秒的蒸汽處理。此時(shí)的面積收縮率為52%。此時(shí)的面積收縮率為52%。繼而，在140。C的烘箱中使之干燥后，在140。C進(jìn)行熱壓制，由此獲得克重為1720g/m2、表觀密度為0.80g/cm3、厚度為2.15mm的網(wǎng)絡(luò)合片。此時(shí)，熱壓制后的網(wǎng)絡(luò)合片的厚度為熱壓制前的厚度的0.70倍。接著，使經(jīng)過(guò)熱壓制的網(wǎng)絡(luò)合片含浸用作第l聚氨酯彈性體的聚氨酯彈性體A的水性分散液(固體成分濃度為40質(zhì)量％)。此時(shí)水性分散液的固體成分附著量相對(duì)于網(wǎng)絡(luò)合片的質(zhì)量為17質(zhì)量％。接著，將含浸有水性分散液的網(wǎng)絡(luò)合片在90°C、50%RH環(huán)境下進(jìn)行干燥凝固處理，再在140。C進(jìn)行干燥處理。接著在14(TC對(duì)其進(jìn)行熱壓制，由此獲得克重為2000g/m2、表觀密度為1.03g/cm3、厚度為1.9mm的片材。此時(shí)，32熱壓制后的網(wǎng)絡(luò)合片的厚度為熱壓制前的厚度的0.90倍。接著進(jìn)行磨光處理，從而將表面與背面平坦化。接著，一邊對(duì)填充有聚氨酯彈性體A的網(wǎng)絡(luò)合片進(jìn)行擠壓處理及高壓水流處理，一邊在95。C的熱水中浸漬IO分鐘，由此將PVA系樹(shù)脂溶解除去，再進(jìn)行干燥，獲得超細(xì)單纖維的平均纖度為0.085dtex、克重為1440g/m2、表觀密度為0.78g/cm3、厚度為1.85mm的、聚氨酯彈性體A與纖維絡(luò)合體的復(fù)合體。接著，使上述復(fù)合體含浸用作第2聚氨酯彈性體的聚氨酯彈性體C的水性分散液(固體成分濃度為40質(zhì)量％)。聚氨酯彈性體C是通過(guò)向無(wú)黃變型聚氨酯樹(shù)脂100質(zhì)量份中添加碳化二亞胺系交聯(lián)劑7質(zhì)量份，再進(jìn)行熱處理而形成交聯(lián)結(jié)構(gòu)的高分子彈性體，其中所述無(wú)黃變型聚氨酯樹(shù)脂是從以聚碳酸酯系多元醇為成分并含有2.0質(zhì)量％的含羧基單體的組成物獲得。該聚氨酯彈性體B的吸水率為1質(zhì)量％,15(TC的溫度之下的儲(chǔ)能模量[E'(150°C,dry)]為50MPa。此時(shí)水性分散液的固體成分附著量相對(duì)于網(wǎng)絡(luò)合片的質(zhì)量為17質(zhì)量％。接著，對(duì)含浸有水性分散液的網(wǎng)絡(luò)合片在90°C、50%RH環(huán)境下進(jìn)行凝固處理，再在140°C進(jìn)行干燥處理，由此獲得拋光墊前體。所得拋光墊前體的克重為1720g/m2、表觀密度為0.92g/cm3、厚度為1.85mm。對(duì)所得拋光墊前體進(jìn)行磨削加工，再切割成直徑為51cm的圓形，在表面以15.0mm的間隔呈格子狀地形成寬度為2.0mm、深度為1.0mm的凹槽，由此獲得克重為1560g/m、表觀密度為0.92g/cm、厚度為1.7mm的圓形的拋光墊。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表l中。將PVA系樹(shù)脂與改性PET以20:80(質(zhì)量比)的比例/人熔融復(fù)合紡絲用噴嘴噴出，由此形成海島型復(fù)合纖維。另外，熔融復(fù)合紡絲用噴嘴是島數(shù)為25島/纖維，噴嘴溫度為260。C的噴嘴。接著，調(diào)整噴射器壓力以便使紡絲速度為4000m/min,將平均纖度為2.0dtex的長(zhǎng)纖維捕集到網(wǎng)上，由此獲得克重為30g/n^的紡粘片(長(zhǎng)纖維網(wǎng))。通過(guò)交叉疊接將18張所得的紡粘片重疊，制作總克重為540g/m2的重疊網(wǎng)。接著，向所得的重疊網(wǎng)上噴防針斷油劑。繼而，使用鉤數(shù)為1個(gè)且針型號(hào)為42號(hào)的針及鉤數(shù)為6個(gè)且針型號(hào)為42號(hào)的針，以2000針眼/cr^對(duì)重疊網(wǎng)進(jìn)行針刺處理而使之絡(luò)合，由此獲得網(wǎng)絡(luò)合片。所得網(wǎng)絡(luò)合片的克重為870g/m2,層間剝離力為13.0kg/2.5cm。而且，針刺處理所引起的面積收縮率為38%。接著，將所得網(wǎng)絡(luò)合片在7(TC、95%肌的條件下進(jìn)行90秒的蒸汽處理。此時(shí)的面積收縮率為52%。繼而，在120。C的烘箱中使之干燥后，在140。C進(jìn)行熱壓制，由此獲得克重為1800g/m、表觀密度為0.82g/cm3、厚度為2.2mm的網(wǎng)絡(luò)合片。此時(shí)，熱壓制后的網(wǎng)絡(luò)合片的厚度為熱壓制前的厚度的0.72倍。接著，使經(jīng)過(guò)熱壓制的網(wǎng)絡(luò)合片含浸用作第l聚氨酯彈性體的聚氨酯彈性體A的水性分散液(固體成分濃度為40質(zhì)量％)。此時(shí)水性分散液的固體成分附著量相對(duì)于網(wǎng)絡(luò)合片的質(zhì)量為13質(zhì)量％。接著，對(duì)含浸有水性分散液的網(wǎng)絡(luò)合片在90°C、50%RH環(huán)境下進(jìn)行干燥凝固處理，再在140。C進(jìn)行干燥處理。接著在140。C對(duì)其進(jìn)行熱壓制，由此獲得克重為1800g/m2、表觀密度為0.82g/cm3、厚度為2.2mm的片材。此時(shí)，熱壓制后的網(wǎng)絡(luò)合片的厚度為熱壓制前的厚度的0.90倍。接著，一邊對(duì)填充有聚氨酯彈性體A的網(wǎng)絡(luò)合片進(jìn)行擠壓處理及高壓水流處理，一邊在95。C的熱水中浸漬IO分鐘，由此將PVA系樹(shù)脂溶解除去，再進(jìn)行干燥，獲得超細(xì)單纖維的平均纖度為0.09dtex、克重為1640g/m2、表觀密度為0.82g/cm3、厚度為2.0mm的、聚氨酯彈性體A與纖維絡(luò)合體的復(fù)合體。接著，使上述復(fù)合體含浸用作第2聚氨酯彈性體的聚氨酯彈性體B的水性分散液(固體成分濃度為40質(zhì)量％)。此時(shí)水性分散液的固體成分附著量相對(duì)于網(wǎng)絡(luò)合片的質(zhì)量為16質(zhì)量％。接著，對(duì)含浸有水性分散液的網(wǎng)絡(luò)合片在140°C、5C)o/oRH環(huán)境下進(jìn)行凝固處理，再在140。C進(jìn)行干燥處理，由此獲得拋光墊前體。所得拋光墊前體的克重為1910g/m2、表觀密度為0.95g/cm3、厚度為2.0mm。對(duì)所得拋光墊前體進(jìn)行磨削加工，再切割成直徑為51cm的圓形，在表面以15.0mm的間隔呈格子狀地形成寬度為2.0mm、深度為l.Omm的凹槽，由此獲得克重為1520g/m、表觀密度為0.95g/cmS、厚度為1.6mm的圓形的拋光墊。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表1中。34[實(shí)施例4]與實(shí)施例2同樣地進(jìn)行到對(duì)網(wǎng)絡(luò)合片進(jìn)行熱壓制的工序?yàn)橹?，獲得經(jīng)過(guò)熱壓制的網(wǎng)絡(luò)合片。接著，將經(jīng)過(guò)熱壓制的網(wǎng)絡(luò)合片浸漬到95°。的熱水中IO分鐘，將PVA系樹(shù)脂溶解除去，由此獲得由超細(xì)單纖維的纖維束構(gòu)成的纖維絡(luò)合體。接著，使所得纖維絡(luò)合體含浸聚氨酯彈性體A的水性分散液(固體成分濃度為50質(zhì)量％)。此時(shí)水分散液的固體成分附著量相對(duì)于纖維絡(luò)合體的質(zhì)量為44質(zhì)量％。接著，將含浸有水分散液的纖維絡(luò)合體在90°C、50%RH環(huán)境下進(jìn)行凝固處理。接著在140。C進(jìn)行干燥處理之后，再以140。C進(jìn)行熱壓制，由此獲得拋光墊前體。接著，對(duì)所得拋光墊前體與實(shí)施例2同樣地進(jìn)行后加工。獲得克重為1500g/m2、表觀密度為0.88g/cm3、厚度為1.7mm的圓形的拋光墊。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表l中。與實(shí)施例3同樣地進(jìn)行到對(duì)網(wǎng)絡(luò)合片進(jìn)行熱壓制的工序?yàn)橹梗@得經(jīng)過(guò)熱壓制的網(wǎng)絡(luò)合片。接著，將經(jīng)過(guò)熱壓制的網(wǎng)絡(luò)合片浸漬到95"C的熱水中IO分鐘，來(lái)將PVA系樹(shù)脂溶解除去，由此獲得由超細(xì)單纖維的纖維束構(gòu)成的纖維絡(luò)合體。接著，使所得纖維絡(luò)合體含浸聚氨酯彈性體B的水性分散液(固體成分濃度為40質(zhì)量％)。此時(shí)水分散液的固體成分附著量相對(duì)于纖維絡(luò)合體的質(zhì)量為30質(zhì)量％。接著，對(duì)含浸有水分散液的纖維絡(luò)合體在9CTC、50。/oRH環(huán)境下進(jìn)行凝固處理。接著在140。C進(jìn)行干燥處理之后，再在140。C進(jìn)行熱壓制，由此獲得拋光墊前體。接著，對(duì)所得拋光墊前體與實(shí)施例3同樣地進(jìn)行后加工，獲得克重為1390g/m2、表觀密度為0.87g/cm3、厚度為1.6mm的圓形的拋光墊。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表l中。使第1聚氨酯彈性體即聚氨酯彈性體A的水性分散液及第2聚氨酯彈性體即聚氨酯彈性體B的水性分散液的固體成分濃度分別為25質(zhì)量%，由此使得水性分散液的固體成分附著量相對(duì)于網(wǎng)絡(luò)合片的質(zhì)量分別為12質(zhì)量％,除此以外，與實(shí)施例1同樣地獲得拋光墊。所得拋光墊的克重為1190g/m2、表觀密度為0.85g/cm3、厚度為1.4mm、拋光墊填充率為60%,纖維絡(luò)合體與聚氨酯彈性體的質(zhì)量比率為85/15。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表l中。在海島型復(fù)合纖維的制造中，使PVA系樹(shù)脂與改性PET的比率為15:85來(lái)取代20:80,而且，使第1聚氨酯彈性體的水性分散液及第2聚氨酯彈性體的水性分散液的固體成分濃度分別為50質(zhì)量％,除此以外，與實(shí)施例1同樣地獲得拋光墊。所得拋光墊的克重為1570g/m2、表觀密度為1.12g/cm3、厚度為1.4m、拋光墊填充率為90%，纖維絡(luò)合體與聚氨酯彈性體的質(zhì)量比率為58/42。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表1中。在海島型復(fù)合纖維的制造中，使PVA系樹(shù)脂與改性PET的比率為15:85來(lái)取代25:75,而且，使第1聚氨酯彈性體的水性分散液及笫2聚氨酯彈性體的水性分散液的固體成分濃度分別為50質(zhì)量％,除此以外，與實(shí)施例2同樣地獲得拋光墊。所得拋光墊的克重為1900g/m2、表觀密度為1.12g/cm3、厚度為1.7m、拋光墊填充率為90%,纖維絡(luò)合體與聚氨酯彈性體的質(zhì)量比率為58/42。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表1中。取代將網(wǎng)絡(luò)合片在70°C、95%RH的條件下進(jìn)行90秒的蒸汽處理來(lái)使面積收縮率為50%,而是在70。C、60。/。RH的條件進(jìn)行90秒的蒸汽處理來(lái)使面積收縮率為35%,除此以外，與實(shí)施例1同樣地獲得拋光墊。另外，經(jīng)過(guò)收縮、熱壓制所得的網(wǎng)絡(luò)合片的克重為1140g/m2、表觀密度為0.60g/cm3、厚度為1.90mm。所得拋光墊的克重為1020g/m2、表觀密度為0.73g/cm3、厚度為1.4m、拋光墊填充率為58%,纖維絡(luò)合體與聚氨酯彈性體的質(zhì)量比率為65/35。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表l中。[實(shí)施例10]取代將網(wǎng)絡(luò)合片在70°C,95%RH的條件下進(jìn)行90秒的蒸汽處理來(lái)使面積收縮率為52%,而使在7(TC、60。/oRH的條件進(jìn)行90秒的蒸汽處理來(lái)將面積收縮率調(diào)整成35%,除此以外，與實(shí)施例2同樣地獲得網(wǎng)絡(luò)合片。另外，經(jīng)過(guò)收縮、熱壓制所得的網(wǎng)絡(luò)合片的克重為1290g/m2、表觀密度為0.60g/cm3、厚度為2.15mm。接著，使用所得的經(jīng)過(guò)收縮的網(wǎng)絡(luò)合片，并將第l聚氨酯彈性體的水性分散液及第2聚氨酯彈性體的水性分散液的固體成分濃度分別變更為25質(zhì)量％,除此以外，與實(shí)施例2同樣地獲得拋光墊。所得拋光墊的克重為1190g/m2、表觀密度為0.72g/cm3、厚度為1.7m、拋光墊填充率為58%,纖維絡(luò)合體與聚氨酯彈性體的質(zhì)量比率為67/33。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表l中。將第2聚氨酯彈性體的水性分散液的固體成分濃度變更為10%,除此以外，與實(shí)施例1同樣地制造拋光墊。所得拋光墊的克重為1120g/m2、表觀密度為0.80g/cm3、厚度為1.4m、拋光墊填充率為62%,纖維絡(luò)合體與聚氨酯彈性體的質(zhì)量比率為78/22。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表l中。為了形成海島型復(fù)合纖維，使用島數(shù)為5島/纖維的熔融復(fù)合紡絲用噴嘴，以取代島數(shù)為25島/纖維的熔融復(fù)合紡絲用噴嘴，除此以外，與實(shí)施例2同樣地獲得拋光墊。所得拋光墊的克重為1580g/m2、表觀密度為0.88g/cm3、厚度為1.8m,根據(jù)SEM觀察，表面的纖維密度為700根/mm2。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表l中。在海島型復(fù)合纖維的形成中，以25:75的比例使用PVA系樹(shù)脂與聚酰胺6/聚酰胺12的共聚物(Tg為45°C,吸水率為7質(zhì)量％)，取代以20:80的比例使用PVA系樹(shù)脂與改性PET,除此以外，與實(shí)施例1同樣地獲得拋光墊。所得拋光墊的克重為1150g/m2、表觀密度為0.82g/cm3、厚度為1.4mm,D硬度為54。而且，纖維絡(luò)合體與聚氨酯彈性體的質(zhì)量比率為68/32。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表l中。在海島型復(fù)合纖維的形成中，使用聚酰胺6/聚酰胺12/聚酰胺66的共聚聚酰胺(Tg為55°C,吸水率6為質(zhì)量％)取代改性PET來(lái)制造海島型復(fù)合纖維，除此以外，與實(shí)施例2同樣地獲得拋光墊。所得拋光墊的克重為1390g/m2、表觀密度為0.80g/cm3、厚度為1.7mm。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表l中。在海島型復(fù)合纖維的形成中，使用聚酰胺6/12共聚物(Tg為45°C，吸水率為7質(zhì)量％)取代改性PET來(lái)制造海島型復(fù)合纖維，除此以外，與實(shí)施例3同樣地獲得拋光墊。所得拋光墊的克重為13卯g/m2、表觀密度為0.82g/cm3、厚度為1.7mm。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表1中。取代聚氨酯彈性體A而使用將聚醚系的聚烷撐二醇作為多元醇成分所獲得的具有交聯(lián)結(jié)構(gòu)的無(wú)黃變型聚氨酯彈性體(吸水率為15%,150。C的儲(chǔ)能模量[E'(150°C,dry)]為50MPa)來(lái)作為第1聚氨酯彈性體，取代聚氨酯彈性體B而使用含有水分散聚醚系的羧基且具有交聯(lián)結(jié)構(gòu)的無(wú)黃變型聚氨酯彈性體(吸水率為8%,150。C的儲(chǔ)能模量[E'(150°C,dry)]為lOMPa)來(lái)作為第2聚氨酯彈性體，除此以外，與實(shí)施例3同樣地制作拋光墊。高分子彈性體的吸水率平均為12%。而且，[E'(23。C，wet)]/[E'(50°C，wet)]的比率為1.7,[E'(50°C，dry)]/[E'(50°C,wet)]的比率為3.0。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表1中。[比4支例1]將PVA系樹(shù)脂與改性PET以20:80(質(zhì)量比)的比例從熔融復(fù)合紡絲用噴嘴噴出，由此形成海島型復(fù)合纖維。接著將所得海島型復(fù)合纖維延伸及巻曲之后進(jìn)行切割，獲得纖度為4dtex、纖維長(zhǎng)度為51mm的短纖維。對(duì)所得短纖維進(jìn)行梳理(card)及交叉疊接，由此獲得克重為30g/m2的短纖維網(wǎng)。使用所得短纖維網(wǎng)以取代使用紡粘片(長(zhǎng)纖維網(wǎng))，除此以外，與實(shí)施例1同樣地制作拋光墊，并進(jìn)行評(píng)價(jià)。另外，對(duì)由短纖維網(wǎng)所得網(wǎng)絡(luò)合片進(jìn)行了蒸汽處理時(shí)的面積收縮率為30%。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表2中。將PVA系樹(shù)脂與改性PET以40:60(質(zhì)量比)的比例從熔融復(fù)合紡絲用噴嘴噴出，由此形成海島型復(fù)合纖維。接著將所得海島型復(fù)合纖維延伸及巻曲之后進(jìn)行切割，獲得纖度為6dtex、纖維長(zhǎng)度為51mm的短纖維。對(duì)所得短纖維進(jìn)行梳理及交叉疊接，由此獲得克重為30g/r^的短纖維網(wǎng)。使用所得短纖維網(wǎng)以取代使用紡粘片(長(zhǎng)纖維網(wǎng))，除此以外，與實(shí)施例2同樣地制作拋光墊，并進(jìn)行評(píng)價(jià)。另外，對(duì)由短纖維網(wǎng)所得網(wǎng)絡(luò)合片進(jìn)行了蒸汽處理時(shí)的面積收縮率為30%。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表2中。將PVA系樹(shù)脂與改性PET以40:60(質(zhì)量比)的比例從熔融復(fù)合紡絲用噴嘴噴出，由此形成海島型復(fù)合纖維。接著將所得海島型復(fù)合纖維延伸及巻曲之后進(jìn)行切割，獲得纖度為6dtex、纖維長(zhǎng)度為51mm的短纖維。對(duì)所得短纖維進(jìn)行梳理及交叉疊接，由此獲得克重為30g/n^的短纖維網(wǎng)。使用所得短纖維網(wǎng)以取代使用紡粘片(長(zhǎng)纖維網(wǎng))，除此以外，與實(shí)施例3同樣地制作拋光墊，并進(jìn)行評(píng)價(jià)。另外，對(duì)由短纖維網(wǎng)所得網(wǎng)絡(luò)合片進(jìn)行了蒸汽處理時(shí)的面積收縮率為30%。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表2中。39[比較例4]通過(guò)對(duì)改性PET進(jìn)行熔體紡絲，由此對(duì)平均纖度為2dtex的PET長(zhǎng)纖維進(jìn)行熔體紡絲，將所得長(zhǎng)纖維捕集到網(wǎng)上，來(lái)獲得克重為30g/m2的紡粘片(長(zhǎng)纖維網(wǎng))。由所得紡粘片與實(shí)施例2同樣地制作重疊網(wǎng)。接著與實(shí)施例2同樣地對(duì)所得重疊網(wǎng)進(jìn)行針刺處理而使之絡(luò)合，由此獲得網(wǎng)絡(luò)合片。所得網(wǎng)絡(luò)合片的克重為840g/m2、層間剝離力為12kg/2.5cm。接著，將所得網(wǎng)絡(luò)合片在70。C、95。/。RH的條件下進(jìn)行90秒的蒸汽處理。接著，在140°C的烘箱中使之干燥后，在140。C進(jìn)行熱壓制，由此獲得網(wǎng)絡(luò)合片。接著，使經(jīng)過(guò)熱壓制的網(wǎng)絡(luò)合片含浸聚氨酯彈性體A的水性分散液(固體成分濃度為40質(zhì)量％)。此時(shí)水分散液的固體成分附著量相對(duì)于網(wǎng)絡(luò)合片的質(zhì)量為17質(zhì)量％。接著，對(duì)含浸有水分散液的網(wǎng)絡(luò)合片在90°C、90Q/。RH環(huán)境條件下進(jìn)行凝固處理，再在140。C進(jìn)行干燥處理。接著進(jìn)行磨光處理，將表面與背面平坦化，獲得拋光墊。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表2中。使用將平均纖度為0.2dtex的PET長(zhǎng)纖維捕集到網(wǎng)上所得的克重為30g/m2的紡粘片，來(lái)取代使用實(shí)施例1的由海島型復(fù)合纖維構(gòu)成的紡粘片，并省略了PVA系樹(shù)脂的溶解除去工序，除此以外，與實(shí)施例1同樣地獲得拋光墊。根據(jù)基于SEM的剖面觀察，所得拋光墊的超細(xì)單纖維并未形成纖維束。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表2中。使與實(shí)施例1同樣地制造的經(jīng)過(guò)熱壓制的網(wǎng)絡(luò)合片含浸聚氨酯彈性體A的水性分散液(固體成分濃度為40質(zhì)量％)。此時(shí)水分散液的固體成分附著量相對(duì)于網(wǎng)絡(luò)合片的質(zhì)量為30質(zhì)量％。接著，對(duì)含浸有水分散液的網(wǎng)絡(luò)合片在90°C、50%RH環(huán)境下進(jìn)行凝固處理，再在14CTC進(jìn)行干燥處理。接著進(jìn)行磨光處理，從而將表面與背面平坦化。接著，將填充有聚氨酯彈性體A的網(wǎng)絡(luò)合片在95。C的熱水中浸漬10分鐘而將PVA系樹(shù)脂溶解除去，再進(jìn)行干燥而獲得拋光墊。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表2中。此外，在所得拋光墊中的纖維束的內(nèi)部，幾乎不存在聚氨酯彈性體，超細(xì)單纖維實(shí)質(zhì)上沒(méi)有集束起來(lái)。所得拋光墊剖面的100倍的SEM照片如圖7所示。[比4支例7]使與實(shí)施例2同樣地制造的經(jīng)過(guò)熱壓制的網(wǎng)絡(luò)合片含浸聚氨酯彈性體A的水性分散液(固體成分濃度為40質(zhì)量％)。此時(shí)水分散液的固體成分附著量相對(duì)于網(wǎng)絡(luò)合片的質(zhì)量為17質(zhì)量％。接著，對(duì)含浸有水分散液的網(wǎng)絡(luò)合片在90°C、50%RH環(huán)境下進(jìn)行凝固處理，再在14(TC進(jìn)行干燥處理。接著進(jìn)行磨光處理，從而將表面與背面平坦化。接著，將填充有聚氨酯彈性體A的網(wǎng)絡(luò)合片在95。C的熱水中浸漬10分鐘而將PVA系樹(shù)脂溶解除去，再進(jìn)行干燥而獲得拋光墊。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表2中。另外，在所得拋光墊中的纖維束的內(nèi)部，幾乎不存在聚氨酯彈性體，超細(xì)單纖維實(shí)質(zhì)上沒(méi)有集束起來(lái)。作為高分子彈性體，取代使用聚氨酯彈性體A的水性分散液來(lái)形成聚氨酯彈性體，而通過(guò)含浸溶解于N,N-二曱基甲酰胺溶液中的聚氨酯樹(shù)脂溶液(12%濃度)，并在40。C的DMF與水的混合液中使之濕式凝固來(lái)形成聚氨酯彈性體，除此以外，與實(shí)施例1同樣地制作拋光墊。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表2中。所得拋光墊的拋光墊填充率為40%,聚氨酯彈性體呈多孔質(zhì)狀。而且，根據(jù)基于SEM的剖面觀察，在所得拋光墊中，纖維束的內(nèi)部存在著少量的聚氨酯彈性體，但剖面積為40pm2以上的纖維束的比例是5%。作為高分子彈性體，取代使用聚氨酯彈性體的水性分散液來(lái)形成聚氨酯彈性體，而通過(guò)含浸溶解于N,N-二曱基曱酰胺溶液中的聚氨酯樹(shù)脂溶液(固體成分濃度為12質(zhì)量％),并在40。C的DMF與水的混合液中使之濕式凝固而形成聚氨酯彈性體，除此以外，與實(shí)施例2同樣地制作拋光墊。所得拋光墊的拋光墊填充率為57%，聚氨酯彈性體呈多孔質(zhì)狀。而且，根據(jù)基于SEM的剖面觀察，在所得拋光墊中，纖維束的內(nèi)部存在著少量的聚氨酯彈性體，但剖面積為40|111112以上的纖維束的比例是5%。而且，纖維絡(luò)合體填充率為43%。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表2中。另外，在拋光性能評(píng)價(jià)中，劃痕性及拋光穩(wěn)定性較差，而且在拋光中發(fā)現(xiàn)有纖維脫落。而且，拋光中堵塞較多。作為高分子彈性體，取代使用聚氨酯彈性體水性分散液來(lái)形成聚氨酯彈性體，而通過(guò)含浸溶解于N,N-二甲基曱酰胺溶液中的聚氨酯樹(shù)脂溶液(固體成分濃度為12質(zhì)量％),并在40。C的DMF與水的混合液中使之濕式凝固來(lái)形成聚氨酯彈性體，除此以外，與實(shí)施例3同樣地制作拋光墊。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表2中。所得拋光墊中，聚氨酯彈性體呈多孔質(zhì)狀。而且，根據(jù)基于SEM的剖面觀察，在所得拋光墊中，纖維束的內(nèi)部存在著少量的聚氨酯彈性體，但合計(jì)剖面積為40lum"束以上的纖維束的比例是5%。另外，在拋光性能評(píng)價(jià)中，劃痕性及拋光穩(wěn)定性較差，而且在拋光中發(fā)現(xiàn)有纖維脫落。而且，拋光中堵塞較多。使用將平均纖度為2dtex的PET長(zhǎng)纖維捕集到網(wǎng)上而獲得的紡粘片，以取代使用實(shí)施例1的由海島型復(fù)合纖維構(gòu)成的紡粘片，并省略PVA系樹(shù)脂的溶解除去工序，除此以外，與實(shí)施例1同樣地獲得拋光墊。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表2中。取代在超細(xì)纖維化后填充聚氨酯彈性體，而將曱基丙烯酸甲酯單體浸漬于片材中并在氮中聚合，除此以外，與實(shí)施例1同樣地制作拋光墊。通過(guò)后述的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。結(jié)果列于表2中。通過(guò)以下的評(píng)價(jià)方法對(duì)所得拋光墊進(jìn)行評(píng)價(jià)。42[評(píng)價(jià)方法](1)確認(rèn)超細(xì)單纖維的平均剖面積及纖維束內(nèi)部的超細(xì)單纖維的集束狀態(tài)使用切割刀片沿厚度方向切斷所得拋光墊，形成厚度方向的剖面。接著，用氧化鋨對(duì)所得剖面進(jìn)行染色。接著，使用掃描型電子顯微鏡(SEM)以500至1000倍的放大率觀察上述剖面，并拍攝其圖像。接著，基于所得圖像求出存在于剖面上的超細(xì)單纖維的剖面積。將對(duì)隨機(jī)選擇的IOO個(gè)剖面積進(jìn)行平均后所得的值作為平均剖面積。并且，觀察所得圖像，將不僅構(gòu)成纖維束外周的超細(xì)單纖維，而且內(nèi)部的超細(xì)單纖維彼此也通過(guò)高分子彈性體粘結(jié)一體化的狀態(tài)判斷為"有"集束的情況，而將纖維束的內(nèi)部不存在或者只存在極少高分子彈性體，超細(xì)單纖維彼此幾乎沒(méi)有粘結(jié)一體化的狀態(tài)判斷為"無(wú)"集束的情況。(2)單位面積的纖維束的束數(shù)(纖維束密度)觀察上述"(1)確認(rèn)超細(xì)單纖維的平均剖面積及纖維束內(nèi)部的超細(xì)單纖維的集束狀態(tài)"的評(píng)價(jià)中所用的圖像，數(shù)出存在于剖面上的纖維束中的相對(duì)于剖面大致垂直地存在的纖維束的束數(shù)。每1張圖像中要數(shù)纖維束根數(shù)的部分的面積約為0.5mm2。接著，將數(shù)出的纖維束的束數(shù)除以0.5mm2,計(jì)算出存在于每lmm2的纖維束的束數(shù)。對(duì)10張圖像求出單位面積的纖維束的束數(shù)，將對(duì)所得10個(gè)值進(jìn)行平均后所得之值作為纖維束的單位面積的束數(shù)。(3)纖維束的平均剖面積及剖面積為40ium"束以上的纖維束的比例將拋光墊沿隨機(jī)的方向切斷多處，用氧化鋨對(duì)所得剖面進(jìn)行染色。接著通過(guò)SEM以500至IOOO倍的放大率觀察上述各剖面，并拍攝其圖像。從所得圖像中隨機(jī)選擇1000個(gè)纖維束的剖面。接著測(cè)定出各纖維束的剖面積。然后求出所測(cè)定的1000個(gè)剖面積的平均值。而且，對(duì)剖面積為40jLim"束以上的纖維束的束數(shù)進(jìn)4亍計(jì)數(shù)，求出剖面積為40|um2以上的纖維束的比例(％)。(4)拋光墊表面上的超細(xì)單纖維的剖面積及密度用氧化鋨對(duì)拋光后的拋光墊表面進(jìn)4亍染色。接著通過(guò)SEM以100至200倍的放大率觀察經(jīng)過(guò)染色的表面，拍攝10張其圖像。接著，基于所得各圖像求出超細(xì)單纖維的平均剖面積及密度(每lmm2的超細(xì)單纖維的根數(shù))。接著，將通過(guò)對(duì)算出的10個(gè)點(diǎn)的平均剖面積及密度進(jìn)一步平均所得的值作為表面上的超細(xì)單纖維的剖面積及密度。(5)拋光墊的表觀密度及拋光墊填充率依照J(rèn)ISK7112，測(cè)定出所得拋光墊的表觀密度。另一方面，根據(jù)構(gòu)成拋光墊的各構(gòu)成成分的構(gòu)成比率與各構(gòu)成成分的密度，計(jì)算出不存在空隙時(shí)的纖維絡(luò)合體與高分子彈性體的復(fù)合體的理論密度。接著，將除空隙以外的部分的體積比率)。另外，就各成分的密度而言，例如是改性PET(1.38g/cm3),聚氨酯彈性體(1.05g/cm3),PVA系樹(shù)脂(1.25g/cm3)。(6)纖維絡(luò)合體的除空隙以外的部分的體積比率(纖維絡(luò)合體填充率)通過(guò)從(5)中求出的拋光墊填充率中減去基于高分子彈性體的密度與構(gòu)成比率之積所求出的高分子彈性體的填充率，來(lái)算出纖維絡(luò)合體的纖維絡(luò)合體填充率。(7)使拋光墊在50°C的溫水中膨潤(rùn)達(dá)到飽和時(shí)的吸水率將所得拋光墊切成長(zhǎng)為4cm寬為10cm。接著在20°C、65%RH的條件下放置3天使之干燥。接著，在50。C的溫水中重復(fù)3次浸漬及擠壓后，在5CTC的溫水中浸漬3天，由此使其膨潤(rùn)達(dá)到飽和。接著，用JK擦拭紙150-S(CRECIA抹式會(huì)社(NipponPaperCreciaCo.Ltd.)制)擦除附著在從溫水中取出的拋光墊表面的水滴。接著，基于拋光墊剛干燥后的質(zhì)量與膨潤(rùn)達(dá)到飽和后的質(zhì)量，通過(guò)下述公式求出以50。C的溫水使之膨潤(rùn)達(dá)到飽和時(shí)的吸水率。吸水率(％)=[(膨潤(rùn)達(dá)到飽和時(shí)的拋光墊的質(zhì)量-剛干燥后的拋光墊的質(zhì)量)/剛干燥后的拋光墊的質(zhì)量]x100(8)拋光墊在50。C的溫度之下的儲(chǔ)能模量將所得拋光墊切成長(zhǎng)為4cm寬為0.5cm，制作出樣品。接著，使用測(cè)微計(jì)測(cè)定樣品厚度。接著，使用動(dòng)態(tài)粘彈性測(cè)定裝置(DVERheo-Spectr,Rheology林式會(huì)社制)，在頻率為11Hz、升溫速度為3°C/分鐘的條件下測(cè)定5(TC的溫度之下的動(dòng)態(tài)粘彈性模量，計(jì)算出儲(chǔ)能模量。(9)拋光墊在50。C的溫水中膨潤(rùn)達(dá)到々包和后的在5(TC或23。C的溫度之下的儲(chǔ)能模量及損失沖莫量(LossElasticModulus)將所得拋光墊切成長(zhǎng)為4cm寬為0.5cm,制作出樣品。接著，用測(cè)微計(jì)測(cè)定樣品厚度。接著，在50。C的溫水中重復(fù)3次浸漬及凈齊壓后，在50。C的溫水中浸漬3天，由此使其膨潤(rùn)達(dá)到飽和。接著，用JK擦拭紙150-S(CRECIA抹式會(huì)社制)擦除附著在從溫水中取出的拋光墊表面的水滴。接著，使用動(dòng)態(tài)粘彈性測(cè)定裝置(DVERheo-Spectr,Rheology抹式會(huì)社制)，在頻率為llHz、升溫速度為3。C/分鐘的條件下，測(cè)定出50。C或23。C的溫度之下的儲(chǔ)能模量([E'(50°C,wet)]、[E'(23°C,wet)])及50。C的溫度之下的損失模量([E"[50。C,wet]])。(10)D硬度及在50。C的溫水中使之膨潤(rùn)后的D硬度依照J(rèn)ISK7311測(cè)定出拋光墊的23°C、50。C的溫度之下的JIS-D硬度。接著，將拋光墊切成長(zhǎng)為4cm寬為10cm左右，在50。C的溫水中重復(fù)3次浸漬-擠壓后，在50。C的溫水中浸漬3天后，剛從50。C溫水取出后即用JK擦拭紙150-S(CRECIA抹式會(huì)社制)擦除最外層表面上的剩余水滴等，隨后在50。C的溫水中使之膨潤(rùn)達(dá)到飽和而獲得樣品，對(duì)于這樣的樣品(以下，有時(shí)稱作水膨潤(rùn)樣品)在23。C的溫度之下的D硬度[D(23。C,wet)],依照J(rèn)ISK7311測(cè)定出。(11)有無(wú)連通孔結(jié)構(gòu)根據(jù)滴到拋光墊表面的水是否通過(guò)拋光墊的連通孔露出到拋光墊背面，進(jìn)行了有無(wú)連通孔結(jié)構(gòu)的確認(rèn)。(12)網(wǎng)絡(luò)合片的層間剝離力依照J(rèn)ISK6854-3,將濕熱收縮處理前的網(wǎng)絡(luò)合片切割成長(zhǎng)23cm、寬2.5cm的形狀，制作出測(cè)試片。接著，在上述測(cè)試片的一端，用剃刀沿垂直于厚度方向的方向，在厚度方向的中央部劃出切口后，用手拉扯以剝離約1OOmm。接著將所得2個(gè)剝離部分的兩端夾入拉伸測(cè)試機(jī)的夾盤。接著，獲得利用拉伸測(cè)試機(jī)以拉伸速度100mm/分鐘進(jìn)行拉伸時(shí)的應(yīng)力-應(yīng)變曲線(SS曲線)，根據(jù)其平坦部分的平均應(yīng)力求出層間剝離力。另外，將N=3時(shí)的平均值作為層間剝離力。(13)高分子彈性體的吸水率將通過(guò)在50。C干燥高分子彈性體而得到的厚度為200(am的薄膜在130。C進(jìn)行30分鐘熱處理之后，在2(TC、65%RH的條件下方文置3天，從而得到干燥樣品，在23。C的水中將干燥樣品浸漬3天。隨后，用JK擦拭紙150-S(CRECIA株式會(huì)社制)擦除剛從23。C的水中取出后的薄膜最外層表面上的剩余水滴等，將擦拭后的樣品作為水膨潤(rùn)樣品。測(cè)定干燥樣品與水膨潤(rùn)樣品的質(zhì)量，按照下述公式求出吸水率。吸水率(％)=[(水膨潤(rùn)樣品的質(zhì)量-干燥樣品的質(zhì)量)/干燥樣品的質(zhì)量]x100(14)構(gòu)成超細(xì)單纖維的熱塑性樹(shù)脂的吸水率通過(guò)對(duì)構(gòu)成超細(xì)單纖維的熱塑性樹(shù)脂以高于其熔點(diǎn)20°C至100°C的溫度進(jìn)行熱壓制而得到厚度為200pm的薄膜，對(duì)得到的薄膜在13(TC進(jìn)行30分鐘熱處理。隨后，在20。C、65%RH的條件下放置3天，從而獲得干燥樣品。將所獲得的干燥樣品在23。C的水中浸漬3天后，用JK擦拭紙150-S(CRECIA抹式會(huì)社制)擦除剛從水中取出后的薄膜最外層表面上的剩余水滴等，將擦拭后的樣品作為水膨潤(rùn)樣品。測(cè)定干燥樣品與水膨潤(rùn)樣品的質(zhì)量，按照下述公式求出吸水率。吸水率(％)=(水膨潤(rùn)樣品的質(zhì)量-干燥樣品的質(zhì)量)/干燥樣品的質(zhì)量x100(15)泰伯(Taber)磨肆毛減量依照J(rèn)ISL1096的8.17.3C(泰伯式，Taberformat),設(shè)磨耗輪為H-22、在負(fù)荷500g下轉(zhuǎn)動(dòng)1000次，測(cè)定出拋光墊的磨耗減量。(16)拋光墊的拋光性能評(píng)價(jià)在圓形拋光墊的背面貼上膠帶后，將其安裝到CMP拋光裝置(抹式會(huì)社野村制作所(NomuraMachineToolWorksLtd.)制造的"PP0-60S")上。接著，使用#325的金剛石打磨機(jī)(三菱材料株式會(huì)社(MitsubishiMaterialsCorporation)制的MEC325L),在壓力為177kPa、打磨才幾轉(zhuǎn)速為110轉(zhuǎn)/分鐘的條件下，一邊使蒸留水以120mL/分鐘的速度流動(dòng)一邊磨削拋光墊表面18分鐘，以此進(jìn)行調(diào)整(時(shí)效處理)。接著，在臺(tái)板轉(zhuǎn)速為50轉(zhuǎn)/分鐘、拋光頭轉(zhuǎn)速為49轉(zhuǎn)/分鐘、拋光壓力為35kPa的條件下，以120ml/分鐘的速度提供CABOT公司(CabotCorporation)制的磨粒漿料SS12,并且對(duì)具有氧化膜表面的直徑為6英寸的石圭晶片拋光100秒鐘。接著，測(cè)定拋光后的珪晶片面內(nèi)的任意49點(diǎn)的厚度，將各點(diǎn)凈皮拋光掉的厚度除以拋光時(shí)間，由此求出拋光速率(nm/分鐘)。接著，將49點(diǎn)的拋光速率的平均值作為拋光速率(R),46并且求出其標(biāo)準(zhǔn)偏差(CJ)。接著，根據(jù)下式評(píng)價(jià)平坦性。另外，平坦性的值越小，表示平坦化性能越優(yōu)異。平坦性(％)=((j/R)xl00接著，將上述經(jīng)過(guò)拋光的拋光墊在濕潤(rùn)狀態(tài)下在25。C放置24小時(shí)。接著，求出隨后進(jìn)行時(shí)效處理之后再次同樣地進(jìn)行拋光后的拋光速率(R)及平坦性。進(jìn)而，交替重復(fù)進(jìn)行300次時(shí)效處理與拋光，求出第300次拋光時(shí)的拋光速率(R)及平坦性。而且，使用晶片表面檢查裝置SurfscanSPl(KLA-Tencor公司(KLA-TencorCorporation)制)，測(cè)定出存在于各拋光后的硅晶片表面的大小為0.16pm以上的劃痕的個(gè)數(shù)，由此評(píng)價(jià)劃痕性。結(jié)果列于表1及表2。<table>tableseeoriginaldocumentpage48</column></row><table>[表2]<table>tableseeoriginaldocumentpage49</column></row><table>被46/513本發(fā)明所涉及的實(shí)施例1至16的拋光墊，拋光速率均4支高，而且平坦化性能也都優(yōu)異?？紤]其原因在于，拋光時(shí)的剛性高，在拋光墊表面以高纖維密度露出有超細(xì)單纖維，以及空隙率相對(duì)較低。而且，即使長(zhǎng)時(shí)間使用也基本看不到拋光速率及平坦化性能的下降。此外，劃痕也較少產(chǎn)生?？紤]其原因在于露出于拋光墊表面的超細(xì)單纖維發(fā)揮了緩沖的作用，負(fù)荷不會(huì)過(guò)度施加在團(tuán)聚的磨粒上，以及纖維不會(huì)脫落等。另一方面，取代使用長(zhǎng)纖維網(wǎng)而使用短纖維網(wǎng)所得的比較例l至3的拋光墊，拋光速率及平坦化性能較低。而且，在長(zhǎng)時(shí)間使用的情況下，拋光速率及平坦化性能會(huì)大幅度地降低?？紤]其原因在于拋光時(shí)的剛性較低，而且，拋光墊表面的超細(xì)單纖維較少等。而且，在未形成有纖維束的比較例4、5或者超細(xì)單纖維未集束的比較例6至10、使用了通常的纖維的比較例11中，4艮多劃痕產(chǎn)生。[實(shí)施例17]使用實(shí)施例1至3中獲得的拋光墊，除變更拋光條件以外，以同樣的方式進(jìn)行拋光墊的拋光性能評(píng)價(jià)。另外，拋光條件如下。(1)將硅晶片變更為銅板，將用于拋光的漿料變更為日本福吉米公司(FujimiIncorporated)制造的PL7101(每1000g漿料混合30cc的35%過(guò)氧化氫水溶液)，將漿料流量變更為200ml/分鐘，除此以外相同。(2)將硅晶片變更為棵硅晶片，除此以外相同。(3)將用于拋光的漿;扦變更為昭和電工集團(tuán)(ShowaDenkoK.K.)制造的拋光漿^+GPL-C1010,除此以外相同。結(jié)果列于表3中。<table>tableseeoriginaldocumentpage51</column></row><table>如以上詳述的，本發(fā)明所涉及的拋光墊，其特征在于包括纖維絡(luò)合體與高分子彈性體，其中，所述纖維絡(luò)合體由采用平均剖面積為0.01jam2至3(Hm^的超細(xì)單纖維而構(gòu)成的纖維束形成；所述高分子彈性體的一部分存在于所述纖維束的內(nèi)部以使所述超細(xì)單纖維集束起來(lái)；存在于厚度方向剖面上的單位面積的纖維數(shù)目為600束/mn^以上；空隙以外的部分的體積比率為55%至95°/。。所述研磨墊含有以由才及細(xì)單纖維構(gòu)成的纖維束所形成的纖維絡(luò)合體，構(gòu)成纖維束的極細(xì)單纖維通過(guò)高分子彈性體而集束起來(lái)。由這樣集束的超細(xì)單纖維構(gòu)成的纖維束，可維持猶如l根粗纖維般的剛性。而且，由于超細(xì)單纖維的纖維密度高，所以在拋光時(shí)，在拋光墊的表面纖維束分離或者原纖化，由此在表面形成高纖維密度的超細(xì)單纖維。該拋光墊表面形成的超細(xì)單纖維可均勻且大量地保持磨粒，并且可維持對(duì)被拋光基材的高接觸面積。進(jìn)而，表面的超細(xì)單纖維使得表面變得柔軟，所以變得不易產(chǎn)生劃痕。并且，由于拋光墊的填充率較高，換言之，拋光墊中的空隙率較低，因此可提高平坦化性能。而且，由于拋光墊具有適度的親水性，因此磨粒不易堵塞表面的空隙，拋光不易隨時(shí)間而波動(dòng)。由此可使超細(xì)單纖維保持充足的磨粒漿料。結(jié)果，即使長(zhǎng)時(shí)間使用拋光速率也不會(huì)降低(該特性也稱作拋光穩(wěn)定性)，可獲得具有高平坦化性能的拋光墊。而且，乂人可充分維持拋光墊的剛性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選的是所述拋光墊含有剖面積為40|111112以上的纖維束。而且，從可維持更高的剛性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選的是，在所述拋光墊中，在存在于厚度方向剖面上所存在的纖維束中，剖面積為40^112以上的纖維束所占的比例為25%以上。而且，從可獲得更高剛性的拋光墊的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選的是，在所述拋光墊中，存在于厚度方向剖面上的纖維束的平均剖面積為80ium"束以上。而且，從具有更優(yōu)異的保持磨粒的能力及劃痕抑制性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選的是，在所述拋光墊中，在其至少一表面上，超細(xì)單纖維以600才艮/mm2以上而存在。而且，從可在拋光墊表面形成用于充分保持磨粒漿料的適度的凹凸的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選的是，在所述拋光墊的所述纖維絡(luò)合體中，空隙以外的部分的體積比率為35%以上。而且，從可通過(guò)使超細(xì)單纖維更牢固地集束起來(lái)來(lái)形成更高剛性的纖維束的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選的是，在所述拋光墊中，存在于所述纖維束的內(nèi)部的高分子彈性體為非多孔質(zhì)狀。而且，從保持磨粒漿料的能力更高的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選的是，所述拋光墊具有連通孔結(jié)構(gòu)。而且，優(yōu)選的是，依照J(rèn)ISL1907-1994的白雷克法吸水高度試驗(yàn)所測(cè)試的60分鐘后的吸水高度為5mm以上。認(rèn)為當(dāng)拋光墊具有這樣的吸水特性時(shí)，拋光墊具有適度的連通孔。而且，從在拋光時(shí)拋光墊的機(jī)械特性將不易隨時(shí)間變化的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選的是，在所述拋光墊中，所述超細(xì)單纖維是由玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為50。C以上、吸水率為4質(zhì)量％以下的熱塑性樹(shù)脂形成。而且，從在拋光時(shí)拋光墊的機(jī)械特性將不易隨時(shí)間變化，而且磨粒漿料的保持性也優(yōu)異的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選的是，在所述拋光墊中，所述高分子彈性體的吸水率為0.5質(zhì)量％至8質(zhì)量％。而且，從因在拋光時(shí)即使摩擦熱導(dǎo)致拋光墊的溫度升高也可維持充分的剛性，所以可維持更高的平坦化性能的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選的是，所述拋光墊50。C的溫度之下的儲(chǔ)能模量E'(50。C,dry)為100MPa至800MPa。而且，從拋光墊表面保持磨粒漿料的能力更高的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選的是，所述拋光墊在50。C的溫水中膨潤(rùn)達(dá)到飽和時(shí)的吸水率為5質(zhì)量％至45質(zhì)量％。而且，從即使在拋光時(shí)摩擦熱導(dǎo)致拋光墊的溫度升高，也不易變形的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選的是，所述拋光墊在50。C的溫水中膨潤(rùn)達(dá)到飽和時(shí)，在50。C的溫度之下的儲(chǔ)能模量E'(50°C，wet)為lOOMPa至800MPa。而且，本發(fā)明所涉及的拋光墊的制造方法，其特征在于包括以下工序制造由將水溶性熱塑性樹(shù)脂與非水溶性熱塑性樹(shù)脂熔體紡絲所得的海島型復(fù)合纖維形成的長(zhǎng)纖維網(wǎng)的網(wǎng)制造工序；將多張所述長(zhǎng)纖維網(wǎng)重疊并絡(luò)合以形成網(wǎng)絡(luò)合片的網(wǎng)絡(luò)合工序；使所述網(wǎng)絡(luò)合片濕熱收縮以便使其以面積收縮率為35%以上進(jìn)行收縮的濕熱收縮處理工序；在熱水中將所述網(wǎng)絡(luò)合片中的所述水溶性熱塑性樹(shù)脂溶解以便形成由超細(xì)單纖維構(gòu)成的纖維絡(luò)合體的纖維絡(luò)合體形成工序；以及使高序。根據(jù)這樣的制造方法，可獲得超細(xì)單纖維的纖維密度較高，形成的地集束起來(lái)的剛性較高的拋光墊。而且，容易進(jìn)行與拋光墊的吸水率相關(guān)的空隙的調(diào)整。而且，與使含有短纖維的網(wǎng)絡(luò)合片濕熱收縮的情況相比，通過(guò)經(jīng)過(guò)使含有長(zhǎng)纖維的網(wǎng)絡(luò)合片濕熱收縮的工序可使網(wǎng)絡(luò)合片大幅度地收縮，因此，超細(xì)單纖維的纖維密度變得致密。而且，優(yōu)選的是，所述拋光墊的制造方法還包括，在所述濕熱收縮處理工序與纖維絡(luò)合體形成工序之間，含浸高分子彈性體的水性液并使其干燥凝固以便使纖維束粘合起來(lái)的纖維束粘合工序。通過(guò)設(shè)置這樣的工序，可獲得空隙率更低的研磨墊。而且，從可容易獲得由高纖維密度的超細(xì)單纖維構(gòu)成的纖維束的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選的是，在所述拋光墊的制造方法中，所述水溶性熱塑性樹(shù)脂與非水溶性熱塑性樹(shù)脂的質(zhì)量比率為5/95至50/50。而且，優(yōu)選的是，在所述拋光墊的制造方法中，所述水溶性熱塑性樹(shù)脂是聚乙烯醇系樹(shù)脂。當(dāng)水溶性熱塑性樹(shù)脂是聚乙烯醇系樹(shù)脂時(shí)，在從海島型復(fù)合纖維中溶解聚乙烯醇系樹(shù)脂時(shí)，所形成的超細(xì)單纖維將大幅巻曲。由此，纖維密度變得致密，所以可獲得高纖維密度的纖維絡(luò)合體。產(chǎn)業(yè)上的利用可能性本發(fā)明所涉及的拋光墊可用于拋光硅晶片、半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體器件、硬盤、玻璃基板、光學(xué)產(chǎn)品或者各種金屬等。權(quán)利要求1.一種拋光墊，其特征在于包括纖維絡(luò)合體與高分子彈性體，其中，所述纖維絡(luò)合體由采用平均剖面積為0.01μm2至30μm2的超細(xì)單纖維而構(gòu)成的纖維束形成，所述高分子彈性體的一部分存在于所述纖維束的內(nèi)部以使所述超細(xì)單纖維集束起來(lái)，存在于厚度方向剖面上的單位面積的纖維束數(shù)目為600束/mm2以上，空隙以外的部分的體積比率為55％至95％。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光墊，其特征在于含有剖面積為40jim2以上的纖維束。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的拋光墊，其特征在于在存在于厚度方向剖面上的纖維束中，剖面積為40|um2以上的纖維束所占的比例為25%以上。4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的拋光墊，其特征在于存在于厚度方向剖面上的纖維束的平均剖面積為80iumV束以上。5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的拋光墊，其特征在于在其至少一表面上，超細(xì)單纖維以600根/mn^以上而存在。6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的拋光墊，其特征在于在所述纖維絡(luò)合體中，空隙以外的部分的體積比率為35%以上。7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的拋光墊，其特征在于存在于所述纖維束的內(nèi)部的高分子彈性體為非多孔質(zhì)狀。8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的拋光墊，其特征在于具有連通孔結(jié)構(gòu)。9.才艮據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的拋光墊，其特4iE在于依照J(rèn)ISL1907-1994的白雷克法吸水高度試驗(yàn)所測(cè)試的60分鐘后的吸水高度為5mm以上。10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的拋光墊，其特征在于所述超細(xì)單纖維是由玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為50。C以上、吸水率為4質(zhì)量％以下的熱塑性樹(shù)脂形成。11.根據(jù)權(quán)利要求1至10中任一項(xiàng)所述的拋光墊，其特征在于所述高分子彈性體的吸水率為0.5質(zhì)量％至g質(zhì)量％。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的拋光墊，其特征在于所述高分子彈性體在150。C的溫度之下的儲(chǔ)能模量E'(150。C，dry)為O.lMPa至lOOMPa。13.根據(jù)權(quán)利要求1至12中任一項(xiàng)所述的拋光墊，其特征在于50°C的溫度之下的儲(chǔ)能模量E'(50°C,dry)為lOOMPa至800MPa。14.根據(jù)權(quán)利要求1至13中任一項(xiàng)所述的拋光墊，其特征在于在50°C的溫水中膨潤(rùn)達(dá)到飽和時(shí)的吸水率為5質(zhì)量％至45質(zhì)量％。15.根據(jù)權(quán)利要求1至14中任一項(xiàng)所述的拋光墊，其特征在于在50°C的溫水中膨潤(rùn)達(dá)到飽和時(shí)，在50°C的溫度之下的儲(chǔ)能模量E'(50°C，wet)為lOOMPa至800MPa。16.—種拋光墊的制造方法，其特征在于包括以下工序制造由將水溶性熱塑性樹(shù)脂與非水溶性熱塑性樹(shù)脂熔體紡絲所得的海島型復(fù)合纖維形成的長(zhǎng)纖維網(wǎng)的網(wǎng)制造工序；將多張所述長(zhǎng)纖維網(wǎng)重疊并絡(luò)合以形成網(wǎng)絡(luò)合片的網(wǎng)絡(luò)合工序；使所述網(wǎng)絡(luò)合片濕熱收縮以便使其以面積收縮率為35%以上進(jìn)行收縮的濕熱收縮處理工序；在熱水中將所述網(wǎng)絡(luò)合片中的所述水溶性熱塑性樹(shù)脂溶解以便形成由超細(xì)單纖維構(gòu)成的纖維絡(luò)合體的纖維絡(luò)合體形成工序；以及使高分子彈性體的水性液含浸在所述纖維絡(luò)合體中并使其干燥凝固的高分子彈性體填充工序。17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的拋光墊的制造方法，其特征在于還包括在所述濕熱收縮處理工序與纖維絡(luò)合體形成工序之間，含浸高分子彈性體的水性液并使其干燥凝固以便使纖維束粘合起來(lái)的纖維束粘合工序。18.根據(jù)權(quán)利要求16或17所述的拋光墊的制造方法，其特征在于所述水溶性熱塑性樹(shù)脂與非水溶性熱塑性樹(shù)脂的質(zhì)量比率為5/95至50/50。19.根據(jù)權(quán)利要求16至18中任一項(xiàng)所述的拋光墊的制造方法，其特征在于所述水溶性熱塑性樹(shù)脂是聚乙烯醇系樹(shù)脂。全文摘要本發(fā)明的目的在于提供一種不易產(chǎn)生劃痕且平坦化性能優(yōu)異的拋光墊。本發(fā)明所涉及的拋光墊，其包括高分子彈性體(2)，以及由采用平均剖面積為0.01μm²至30μm²的超細(xì)單纖維(3)而構(gòu)成的纖維束(1)所形成的纖維絡(luò)合體，高分子彈性體的一部分存在于纖維束的內(nèi)部以使所述超細(xì)單纖維集束起來(lái)，存在于拋光墊厚度方向剖面上的單位面積的纖維數(shù)目為600束/mm²以上，拋光墊空隙以外的部分的體積比率為55％至95％。文檔編號(hào)H01L21/304GK101600540SQ20088000381公開(kāi)日2009年12月9日申請(qǐng)日期2008年2月1日優(yōu)先權(quán)日2007年2月1日發(fā)明者中山公男,加藤充,田中次郎,菊池博文,高岡信夫申請(qǐng)人:可樂(lè)麗股份有限公司