專利名稱：涂敷工具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種將涂敷液涂敷到薄板狀部件或面板狀部件等被涂敷部件的表面上的涂敷工具。
本申請(qǐng)要求日本的特愿2003-190610號(hào)，特愿2003-201086號(hào)，特愿2004-94556號(hào)等專利申請(qǐng)的優(yōu)先權(quán)，并引用這些專利申請(qǐng)的內(nèi)容。
背景技術(shù)：
以前，作為將涂敷液薄薄地均勻涂敷在薄板狀部件的表面上以形成涂膜層的、安裝在進(jìn)行這種涂敷作業(yè)的涂敷裝置上的涂敷工具，使用具有使涂敷液通過(guò)的狹縫的涂敷工具。作為這種涂敷工具，有圖6所示的設(shè)有涂敷頭(工具本體)1的涂敷工具，涂敷頭1是相對(duì)于沿著圖中的箭頭A所示的行進(jìn)方向行進(jìn)的薄板狀部件S，沿著該薄板狀部件S的寬度方向而縱長(zhǎng)延伸地形成，其前端部朝上，能與薄板狀部件S滑動(dòng)接觸地被配置在該薄板狀部件S的下方(例如，特開(kāi)昭62-241574號(hào)公報(bào)(圖1))。
還可以如圖7所示地，使涂敷頭1的前端部朝下，使其位于面板狀部件P的上方，并使涂敷頭1與面板狀部件P滑動(dòng)接觸，使其沿著圖中的箭頭B所示方向移動(dòng)地使用。
這些涂敷頭1是借助將它的一對(duì)頭部部件2、3的側(cè)面2a、3a配設(shè)成具有一定的間隙而分劃成狹縫4，由側(cè)面2a、3a朝縱長(zhǎng)方向而形成的凹槽5、6分劃成袋7。狹縫4的開(kāi)口設(shè)在涂敷頭1的前端面上，供給涂敷液的供給口(圖中沒(méi)有表示)設(shè)置成與袋7的中央相連通。而且，為了高精度地形成狹縫4的間隙，用研磨加工對(duì)側(cè)面2a、3a進(jìn)行了精密加工。雖然圖中的狹縫4和袋7都是將開(kāi)口設(shè)在涂敷頭1的側(cè)方，但都是作成狹縫4和袋7的端部被密封住的結(jié)構(gòu)。在進(jìn)行涂敷作業(yè)中，從供給口供給的涂敷液充滿袋7，由此向涂敷頭1的縱長(zhǎng)方向擴(kuò)開(kāi)，通過(guò)狹縫4而從涂敷頭1的前端排出。被排出的涂敷液被涂敷到相對(duì)于涂敷頭1進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的薄板狀部件S的表面(下表面)或面板狀部件P上，形成涂膜層。
作為在設(shè)有這種涂敷頭1的涂敷工具上使用的涂敷液，使用液晶顯示器用的彩色膠體或?yàn)V色器用的抗蝕劑等，這些涂敷液中含有碳纖維或玻璃纖維等硬質(zhì)含有物。為了防止涂敷液將孔眼堵塞，或在使用不同種類的涂敷液時(shí)，必需將涂敷工具分解之后將狹縫4或袋7洗凈。該洗凈作業(yè)是用譬如含有溶劑的棉布等對(duì)附著在分劃成狹縫4的側(cè)面2a，3a上的涂敷液進(jìn)行擦拭。
而且在將這種涂敷工具用于將濾色器用的抗蝕劑涂敷到顯示器底板上的涂敷作業(yè)時(shí)，將涂敷工具配置在上部，將底板配置在下部，而且使涂敷工具相對(duì)于底板進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，隨著顯示器的尺寸大型化，要求涂敷寬度大的涂敷工具。
可是，在上述涂敷工具中，當(dāng)涂敷液中的含有物的硬度比分劃成狹縫的側(cè)面還硬時(shí)，就會(huì)有含有物在側(cè)面上劃成線條狀的傷痕，或含有物扎進(jìn)側(cè)面等問(wèn)題。而且，在涂敷工具的洗凈作業(yè)中，還會(huì)有含有物使側(cè)面損傷的隱患，因涂敷液進(jìn)入到這樣損傷的部位而使洗凈作業(yè)變得困難。
此外，還有由側(cè)面的損傷使涂膜層的表面形成細(xì)微線條的問(wèn)題。雖然以往是將超硬合金制的邊緣部件安裝在不銹鋼制的頭部部件的前端部分上，由此使前端部分的耐磨性提高，但在這種場(chǎng)合下也會(huì)損傷邊緣部件和袋之間的部分，對(duì)洗凈作業(yè)和涂膜層的形成產(chǎn)生不良影響。而且，為了使涂敷工具的寬度擴(kuò)大，必需使涂敷工具尺寸大型化，為了與大型化引起的重量增加相對(duì)應(yīng)，就有必需使涂敷裝置大型化的問(wèn)題。
而且，在使涂敷工具移動(dòng)而進(jìn)行涂敷的方式中，由于涂敷工具的大型化還會(huì)對(duì)由重量增加而引起的撓曲變形等、涂敷工具的動(dòng)的、靜的精度降低產(chǎn)生較大影響，使作業(yè)性惡化，因而為了進(jìn)行最合適的涂敷也必需使涂敷工具的重量減輕。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是考慮了上述情況而作出的，其目的是提供一種涂敷工具，它使涂敷液在由多個(gè)頭部部件構(gòu)成的槽狀狹縫內(nèi)流通，并從涂敷頭的前端排出，能容易地進(jìn)行換產(chǎn)調(diào)整作用、洗凈作業(yè)，而且生產(chǎn)率較高，壽命較長(zhǎng)。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提出以下方法。
本發(fā)明技術(shù)方案1的涂敷工具具有由多個(gè)頭部部件構(gòu)成的涂敷頭，在上述多個(gè)頭部部件的相互對(duì)置的側(cè)面彼此之間分劃成口部開(kāi)設(shè)在上述涂敷頭的前端的槽狀狹縫，涂敷液在上述狹縫內(nèi)流通并從上述涂敷頭的前端排出，其特征在于，上述頭部部件的材料是鈦合金。
本發(fā)明的涂敷工具，由于頭部部件是用鈦合金形成，因而是輕量的，能容易地處理?yè)Q產(chǎn)調(diào)整作業(yè)中的涂敷工具。
由于包括狹縫面在內(nèi)的整個(gè)涂敷頭是用鈦合金形成，有優(yōu)良的耐摩損性，耐腐蝕性，因而能防止由含在涂敷液中的含有物引起的狹縫面上的線條狀傷痕或涂敷液中的含有物扎進(jìn)狹縫面中。而且，即使在狹縫面上發(fā)生傷痕的場(chǎng)合下，由于鈦合金在化學(xué)上是活性的，因而能在發(fā)生傷痕的部分形成穩(wěn)定的氧化保護(hù)膜，從而不易產(chǎn)生腐蝕，因此能使狹縫面的壽命延長(zhǎng)。
由于耐摩損性等特性提高，因而能防止洗凈作業(yè)中的狹縫面損傷，與此同時(shí)還能減少涂敷液進(jìn)入到損傷的部位，從能容易地進(jìn)行洗凈作業(yè)。
由于借助將頭部部件形成一體，消除了用多個(gè)部件構(gòu)成狹縫面時(shí)的部件之間的間隙，因而就能使涂敷液平滑地流動(dòng)，涂敷液不會(huì)進(jìn)入到間隙中。
如上所述，涂敷工具的性能維持是容易的，能容易地進(jìn)行換產(chǎn)調(diào)整作業(yè)，洗凈作業(yè)，能縮短時(shí)間(包括分解，組裝作業(yè)，約減少10％)。
本發(fā)明技術(shù)方案2的涂敷工具的特征是在技術(shù)方案1中，上述鈦合金具有下述特性，密度4.3g/cm3～4.7g/cm3；線膨脹系數(shù)8.5～9.0μm/m·K；整個(gè)區(qū)域的硬度分布HRC3以下，而且，在上述狹縫表面的整個(gè)區(qū)域中，通過(guò)長(zhǎng)度為100mm，深度為0.2μm～1.0μm的傷痕是50根以下。
由于鈦合金的α相是最致密的六方晶格，因而蠕變性等機(jī)械特性良好，而且鈦合金的β相的熱處理性等加工特性良好。因而將兼有雙方特征的α+β型鈦合金作為本發(fā)明涂敷工具的材料是最合適的，能容易地制作精度高的頭部部件。
由于將整個(gè)頭部部件上的硬度分布抑制成HRC3以下，使用幾乎沒(méi)有內(nèi)部殘留應(yīng)力偏置的熱處理均勻的工藝，因而就能穩(wěn)定地對(duì)用于貯液的凹槽進(jìn)行切削，能抑制由切削而發(fā)生的內(nèi)部應(yīng)力的同時(shí)，將研磨加工中的應(yīng)力釋放抑制成很小。其結(jié)果是能得到直線度為5μm以下/m，而且，由于使用時(shí)的應(yīng)力釋放也很小，因而能防止時(shí)效變化引起的精度惡化。
由于線膨脹系數(shù)小到8.5～9.0μm/m·K，因而加工時(shí)發(fā)生的熱對(duì)尺寸影響也較小，能制作成精度高的頭部部件。
由于線膨脹系數(shù)較小，因而不易受到作為涂敷工具使用時(shí)的溫度變化的影響。譬如，由于與不銹鋼(SUS420J2線膨脹系數(shù)11.5μm/m·K)相比較，線膨脹系數(shù)約小22％～25％，因而能大寬度地提高涂敷工具的精度。
由于對(duì)狹縫面施加了最大高度Rz(JIS B0601)0.2μm以下的表面光潔度的鏡面精加工，使其對(duì)涂敷液具有適當(dāng)?shù)姆浪?，因而在涂敷液的涂敷上有較好的涂敷性能。
在狹縫面上存在傷痕的場(chǎng)合下，由于在進(jìn)行涂敷的過(guò)程中，涂敷液中會(huì)發(fā)生部分的流速差或紊流，因而會(huì)使涂敷膜上發(fā)生微小的凹凸，由此使質(zhì)量降低，但由于將通過(guò)每長(zhǎng)度為100mm的線段的深度為0.2μm～1.0μm的傷痕抑制成50根以下，因而能大寬度地減少凹凸的發(fā)生。而且，由于將會(huì)受到涂敷液進(jìn)入的影響較大的深度為0.2μm～1.0μm的傷痕抑制成每長(zhǎng)度為100mm的線段上為50根以下，因而能容易地進(jìn)行洗凈作業(yè)。
本發(fā)明技術(shù)方案3的涂敷工具的特征是在技術(shù)方案2中，在上述狹縫表面的整個(gè)區(qū)域中，通過(guò)長(zhǎng)度為100mm的線段上的深度為0.2μm～1.0μm傷痕是10根以下。
由于本發(fā)明的涂敷工具是在上述技術(shù)方案2的作用的基礎(chǔ)上，將前述傷痕抑制成每長(zhǎng)度為100mm的線段上為10根以下，因而能容易地進(jìn)行洗凈作業(yè)，與此同時(shí)，能將涂敷液的按批量計(jì)的涂敷液進(jìn)入到傷痕而引起的影響減少到非常小。特別是關(guān)于液晶顯示器等的保護(hù)膜材料的涂敷，由于即使涂敷膜的凹凸是微小的，對(duì)制品的亮度會(huì)產(chǎn)生很大的偏差等缺陷，因而將涂敷工具的傷痕減少這一點(diǎn)是重要的，而由于將每長(zhǎng)度為100mm的線段上的傷痕抑制成10根以下，因而能將涂敷膜的凹凸幾乎消除。
本發(fā)明技術(shù)方案4的涂敷工具的特征是在技術(shù)方案1中，至少是分劃上述狹縫的狹縫面是用硬度比鈦合金還高的硬質(zhì)材料形成的。
由于在本發(fā)明的涂敷工具中，至少構(gòu)成狹縫面的全部表面是用硬度比鈦合金還硬的硬質(zhì)材料形成，因而能抑制由含在涂敷液中的硬質(zhì)含有物使狹縫面上形成線條狀傷痕，能抑制含有物扎進(jìn)狹縫面。
本發(fā)明技術(shù)方案5的涂敷工具的特征是在技術(shù)方案1～3中的任意一項(xiàng)所述的涂敷工具中，在上述頭部部件的分劃成上述狹縫的狹縫面和上述開(kāi)設(shè)口部一側(cè)的端面上設(shè)有具有耐摩損性和/或耐腐蝕性的層。
由于本發(fā)明的涂敷工具在狹縫面和狹縫面開(kāi)設(shè)口部一側(cè)的端面上設(shè)有具有耐摩損性和/或耐腐蝕性的層，因而能使耐摩損性和/耐腐蝕性進(jìn)一步提高，由于能容易地進(jìn)行洗凈作業(yè)或涂敷工具的性能維持，因而能使生產(chǎn)率提高，能延長(zhǎng)工具壽命。
本發(fā)明技術(shù)方案6的涂敷工具的特征是在技術(shù)方案4中，形成上述狹縫面的上述材料是超硬合金。
由于在本發(fā)明的涂敷工具中，至少構(gòu)成狹縫面的全部表面是用超硬合金形成，因而能容易地實(shí)現(xiàn)Rz為0.2μm以下的表面光潔度的鏡面精加工。
而且，當(dāng)硬度是HRA91左右時(shí)，由于比鈦合金或涂敷液的含有物還硬，因而能抑制由含在涂敷液中的硬質(zhì)含有物使狹縫面上形成線條狀傷痕，能抑制含有物扎進(jìn)狹縫面。其結(jié)果是涂敷液不會(huì)進(jìn)入到損傷部位，涂膜層的表面不會(huì)形成細(xì)微的線條狀傷痕。


圖1是本發(fā)明第1實(shí)施方式的涂敷工具所使用的工具本體的側(cè)視圖。
圖2是圖1所示的工具本體的右側(cè)視圖。
圖3是圖2的B-B剖視圖。
圖4是表示本發(fā)明第2實(shí)施方式的涂敷工具所使用的工具本體側(cè)面的主要部分的圖。
圖5是表示本發(fā)明第3實(shí)施方式的涂敷工具所使用的工具本體側(cè)面的主要部分的圖。
圖6是表示以前的工具本體的立體圖。
圖7是表示以前的工具本體的立體圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照著附圖，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
圖1是從縱長(zhǎng)方向觀察用于涂敷工具的第1實(shí)施方式的涂敷頭(工具本體)10的圖，圖2是圖1的右側(cè)視圖，圖3是圖2的B-B剖視圖。
該涂敷頭10是借助將一對(duì)頭部部件16、18的對(duì)置的側(cè)面(下面，將其稱為狹縫面)17、19配設(shè)成有一定的間隙而分劃成狹縫14，狹縫14的口部開(kāi)設(shè)在涂敷頭10的前端。頭部部件16、18作成在狹縫14開(kāi)口的部分突出而形成前端面17e，19e，由該前端面17e，19e將涂敷液涂敷。
構(gòu)成涂敷頭10的頭部部件16在狹縫面17上，設(shè)有朝縱長(zhǎng)方向，形成半圓形狀的凹槽11，并且與沒(méi)有凹槽的頭部部件18一起分劃成袋15。
在袋15上還連通地設(shè)置著供給涂敷液的供給口(圖中沒(méi)有表示)，圖1中，狹縫14和袋15是作成開(kāi)口設(shè)置在涂敷頭10的側(cè)方，但將狹縫14和袋15的端部封住的結(jié)構(gòu)。
如圖3所示，由結(jié)合螺栓20將頭部部件16、18結(jié)合，使由凹槽11開(kāi)始的位于基端側(cè)的內(nèi)側(cè)面16c，18c相互緊密接觸。
頭部部件16、18是用一種作為α+β型鈦合金的Ti-6Al-4V(鈦合金)，密度是4.43g/cm3，線膨脹系數(shù)是8.6μm/m·K，頭部部件的整個(gè)區(qū)域的硬度分布是HRC3以下的材料制作的。
狹縫面17、19和前端面17e、19e都是用研磨加工經(jīng)過(guò)鏡面(Rz為0.2μm以下)精密加工的。而且，狹縫面17、19的整個(gè)表面區(qū)域都是鏡面精密加工成，用立體顯微鏡(60倍)進(jìn)行測(cè)量，通過(guò)長(zhǎng)度100mm的線段上的傷痕是10根以下。這里所謂的傷痕是指用表面光潔度計(jì)(JIS B0601)測(cè)量的深度從0.2μm到1.0μm的凹陷。將傷痕的深度取成0.2μm到1.0μm是因?yàn)檫M(jìn)入到該范圍的傷痕中的涂敷液對(duì)涂敷性能和洗凈會(huì)產(chǎn)生很大的影響。
下面，對(duì)設(shè)有如上所述地形成的涂敷頭10的涂敷工具的使用方法進(jìn)行說(shuō)明。
設(shè)有涂敷頭10的涂敷工具是安裝在涂敷裝置上而用于涂敷作業(yè)。在涂敷作業(yè)中，從涂敷裝置供給涂敷液，涂敷液因充滿袋15而向涂敷頭10的縱長(zhǎng)方向擴(kuò)展，通過(guò)狹縫14而從涂敷頭10的前端，即從狹縫14的開(kāi)口端排出，涂敷到相對(duì)于該涂敷頭10的狹縫前端面17e，19e進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的薄板狀部件S(參照?qǐng)D5)或面板狀部件P(參照?qǐng)D6)上。
在這樣的涂敷作業(yè)中，由于狹縫面17、19是用具有上述特性的鈦合金形成的，因而即使涂敷液中含有硬的含有物，也能抑制對(duì)狹縫面17、19產(chǎn)生損傷，即使在產(chǎn)生損傷的情況下，因?yàn)橛赦伒幕瘜W(xué)活性而在發(fā)生損痕部分上形成穩(wěn)定的氧化保護(hù)膜，所以不易產(chǎn)生腐蝕，相對(duì)于損傷而言能延長(zhǎng)壽命。
表1所示的是在常溫(20℃～25℃)下，使鈦合金(Ti6Al4V)，不銹鋼(SUS630)，WC-Co-Cr類超硬合金浸漬在氫氧化鈉的5％水溶液中，將中央線平均粗糙度(Ra)作為代用特性，對(duì)腐蝕的程度進(jìn)行比較的表。根據(jù)該比較實(shí)驗(yàn)可見(jiàn)，鈦合金、超硬合金只發(fā)生不銹鋼腐蝕程度的一半左右。
表1

由于涂敷液不進(jìn)入到損傷部位，因而能容易地進(jìn)行洗凈作業(yè)。
而且，由于如上所述地使耐久性提高而不發(fā)生損傷，因而能防止由被涂敷的涂敷液引起的在涂膜層表面上形成線條狀的傷痕。
由于成一體地形成頭部部件16、18，部件之間沒(méi)有間隙，因而將涂敷液的流動(dòng)阻力減小，沒(méi)有涂敷液的流入，從而能使洗凈作業(yè)容易進(jìn)行。
由于狹縫面17、19和狹縫前端面17e、19e等涂敷液的流通部分具有適當(dāng)?shù)姆浪裕蚨哂休^好的涂敷性能，能使涂敷作業(yè)的生產(chǎn)率提高。
如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式的涂敷工具，頭部部件16、18由機(jī)械性質(zhì)優(yōu)越、密度較小的鈦合金一體地形成，重量較輕，因而能容易地進(jìn)行換產(chǎn)調(diào)整作用，與洗凈作業(yè)同時(shí)進(jìn)行的作業(yè)。
由于是用最致密的六方晶格，兼有機(jī)械特性良好的α相和熱處理性等加工性能良好的β相這兩方特征的α+β型鈦合金作為材料，因而能容易地制作精度高的頭部部件。
由于線膨脹系數(shù)較小，因而能容易地進(jìn)行高精度的加工，不易受到由使用時(shí)的溫度引起的影響，能提高涂敷性能。而由于頭部部件16、18的重量較輕，因而在縱長(zhǎng)方向上較長(zhǎng)地形成且涂敷寬度較寬的場(chǎng)合下，能抑制由于自重而引起的狹縫14的撓曲變形，能使涂敷液均勻地涂敷。
由于是在整個(gè)頭部部件16、18上，將硬度分布抑制在HRC3以下，因而能抑制由切削引起的內(nèi)部應(yīng)力的發(fā)生，同時(shí)能抑制研磨加工中的應(yīng)力釋放，能達(dá)到直線度在5μm以下/m，譬如能作成直線度是4μm/m，而且能防止由使用時(shí)的老化而形成的精度惡化。
由于能形成所謂的直線度是5μm以下/m的高精度的頭部部件，因而即使在今后涂敷工具大型化時(shí)，頭部部件16、18的長(zhǎng)度變成1米以上時(shí)，也能以較低的成本制作高精度的頭部部件16、18。
而且，由于狹縫面17、19是用鏡面精加工的鈦合金形成，因而有適當(dāng)?shù)姆浪裕苋菀椎剡M(jìn)行洗凈作業(yè)，由于還能有較好的涂敷性能，因而還能提高涂敷作業(yè)的生產(chǎn)率。
由于頭部部件16、18的耐磨損性能和耐腐蝕性能較高，狹縫面17、19難損傷，因而能容易地進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)作業(yè)、洗凈作業(yè)；由于性能容易維持，因而能延長(zhǎng)工具的壽命。
而且，能將安裝這樣的涂敷頭10的涂敷裝置的剛性設(shè)計(jì)成較低，還能將小型的電動(dòng)機(jī)用作使涂敷頭10驅(qū)動(dòng)用的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。也就是說(shuō)，即使將涂敷頭10大型化，也能抑制涂敷裝置的尺寸的大型化，能使成本降低。而且，借助使涂敷頭10輕量化，就能在不要那些處理涂敷工具的處理裝置等情況下，在短時(shí)間內(nèi)容易地進(jìn)行與洗凈作業(yè)相伴的分解作業(yè)或洗凈作業(yè)。
圖4是表示本發(fā)明第2實(shí)施方式的涂敷頭10的主要部分的圖。在第2實(shí)施方式中，與第1實(shí)施方式相同的部分用同樣的附圖標(biāo)記，并省略對(duì)它們的說(shuō)明。
第2實(shí)施方式與上述第1實(shí)施方式不同的特點(diǎn)是在狹縫面17、19和狹縫前端面17e、19e上，用表面處理，將TiC(碳化鈦)形成具有耐摩損性能和耐腐蝕性能的層(下面，稱為表面處理層)17f、19f，進(jìn)行了鏡面精加工。
在第2實(shí)施方式中，也能得到與上述的第1實(shí)施方式同樣的效果，而且，由于在狹縫面17、19和狹縫前端面17e、19e上形成表面處理層17f、19f，因而就減少了狹縫面17、19和狹縫前端面17e、19e的傷痕或摩損，容易維持頭部部件的制作初期的性能，能延長(zhǎng)用作涂敷工具的壽命，能削減進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)，分解準(zhǔn)備所需要的工夫和成本。
雖然在本實(shí)施方式中，對(duì)涂敷頭10的袋15是半圓形狀的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但是就袋15的形狀而言，可以作成圓形狀，水滴形狀或在不與狹縫相連接的角部上設(shè)置倒角R等使其緩和的矩形狀等半圓形狀以外的形狀。
雖然對(duì)將TiC用作形成在狹縫面17、19上的表面處理層的材料的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但是，也可以將TiN(氮化鈦)用作表面處理層的材料，也可以用電解連續(xù)修砂輪磨削法等對(duì)構(gòu)成頭部部件的鈦合金的表面進(jìn)行處理，使頭部部件16、18的表面上形成穩(wěn)定的氧化保護(hù)層，由此形成表面處理層。這里，所謂電解連續(xù)修砂輪磨削法是指將以鑄鐵、鈷作為主要成分的粘接材料和磨料燒結(jié)的金屬粘接劑磨料作為陽(yáng)極，將直流脈沖電流供給陽(yáng)極和與陽(yáng)極對(duì)置地設(shè)置的陰極之間，用電解作用，有選擇地只將磨料的金屬粘接劑部分除去，抑制由孔眼堵塞等引起的磨料鋒利度降低，進(jìn)行高效率的鏡面研磨作業(yè)的研磨，在被研磨材料表面上能得到作為它的副作用的穩(wěn)定的氧化保護(hù)膜。
而且，被涂敷部件并不局限于薄板狀部件S，可以將本發(fā)明用于將涂敷液涂敷到譬如電子印刷線路板等面板狀部件的涂敷工具上。
圖5是表示本發(fā)明第3實(shí)施方式的涂敷頭10的主要部分的圖。在該第3實(shí)施方式中，與第1實(shí)施方式同樣的部分用同樣的符號(hào)，并省略對(duì)同一附圖標(biāo)記的說(shuō)明。
狹縫部件21、23是超硬合金制的斷面大致呈長(zhǎng)方形的板狀部件，狹縫部件23的基端側(cè)部分與凹槽11對(duì)置地形成，狹縫部件23作成沿基端方向比狹縫部件21更長(zhǎng)。而且，狹縫部件21、23的相互對(duì)置的側(cè)面為分劃成狹縫14的狹縫面17、19，狹縫面17、19被配設(shè)成相互之間有一定的間隔。
而且，袋15是由對(duì)置的凹槽11和狹縫部件23的基端側(cè)部分分劃成。
根據(jù)該實(shí)施方式的涂敷工具，由于狹縫面17、19是用硬度比鈦合金還高的硬質(zhì)材料形成，因而涂敷液中即使含有碳纖維或玻璃纖維等硬質(zhì)含有物，發(fā)生對(duì)鈦合金部位產(chǎn)生損傷的事態(tài)，也能抑制在超硬合金形成的狹縫面上發(fā)生傷痕等隱患。而且，在狹縫面17、19的洗凈作業(yè)中也能抑制由含有物引起的損傷，由于涂敷液不進(jìn)入到損傷部位中，因而能容易地進(jìn)行洗凈作業(yè)。
而且，由于是作成將超硬合金制的狹縫部件21、23安裝在鈦合金制的頭部部件16、18上，因而能得到上述效果，與此同時(shí)還能使整個(gè)涂敷頭10輕量化。即，為了得到上述的效果，與用超硬合金形成整個(gè)頭部構(gòu)成體12、13的場(chǎng)合相比，能構(gòu)成輕量化的涂敷頭10。
本發(fā)明還能用在這樣的涂敷工具上，即，用3個(gè)以上的頭部構(gòu)成體構(gòu)成有2個(gè)以上的狹縫的涂敷頭，由此在薄板狀部件S的表面上能同時(shí)形成多個(gè)涂膜層。
而且，被涂敷部件也并不局限于薄板狀部件S，譬如，可以將本發(fā)明用于將涂敷液涂敷到電子印刷線路板等面板狀部件上的涂敷工具，還可以構(gòu)成使涂敷工具相對(duì)于被固定狀態(tài)的薄板狀或面板狀部件而使涂敷工具移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明涉及一種將涂敷液涂敷到薄板狀部件或面板狀部件等被涂敷部件表面上的涂敷工具。
根據(jù)本發(fā)明的涂敷工具或涂敷裝置，能容易地進(jìn)行換產(chǎn)調(diào)整作用，洗凈作業(yè)的同時(shí)，能使生產(chǎn)率提高，延長(zhǎng)涂敷工具的壽命。
權(quán)利要求
1.一種涂敷工具，具有由多個(gè)頭部部件構(gòu)成的涂敷頭，在上述多個(gè)頭部部件的相互對(duì)置的側(cè)面彼此之間分劃成口部開(kāi)設(shè)在上述涂敷頭的前端的槽狀狹縫，涂敷液在上述狹縫內(nèi)流通并從上述涂敷頭的前端排出，其特征在于，上述頭部部件的材料是鈦合金。
2.如權(quán)利要求1所述的涂敷工具，其特征在于，上述鈦合金具有下述特性，密度4.3g/cm3～4.7g/cm3；線膨脹系數(shù)8.5～9.0μm/m·K；整個(gè)區(qū)域的硬度分布HRC3以下，而且，在上述狹縫表面的整個(gè)區(qū)域中，通過(guò)長(zhǎng)度為100mm的線段上的、深度為0.2μm～1.0μm的傷痕是50根以下。
3.如權(quán)利要求2所述的涂敷工具，其特征在于，在上述狹縫表面的整個(gè)區(qū)域中，通過(guò)長(zhǎng)度為100mm的線段上的、深度為0.2μm～1.0μm的傷痕是10根以下。
4.如權(quán)利要求1所述的涂敷工具，其特征在于，至少是分劃上述狹縫的狹縫面是用硬度比鈦合金還高的硬質(zhì)材料形成的。
5.如權(quán)利要求1～4中任意一項(xiàng)所述的涂敷工具，其特征在于，在上述頭部部件的分劃上述狹縫的狹縫面和上述開(kāi)口一側(cè)的端面上設(shè)有具有耐摩損性和/或耐腐蝕性的層。
6.如權(quán)利要求4所述的涂敷工具，其特征在于，形成上述狹縫面的上述材料是超硬合金。
全文摘要
本發(fā)明提供的涂敷工具具有由多個(gè)頭部部件(16、18)構(gòu)成的涂敷頭(10)，在上述多個(gè)頭部部件(16、18)的相互對(duì)置的側(cè)面(17、19)彼此間劃分成口部開(kāi)設(shè)在上述涂敷頭(10)的前端的槽狀狹縫(14)，涂敷液在上述狹縫(14)內(nèi)流通并從上述涂敷頭(10)的前端排出，其特征在于，上述頭部部件(16、18)的材料是鈦合金。而且，分劃成上述狹縫的狹縫面(17、19)是用硬度比鈦合金還高的硬質(zhì)材料形成的。
文檔編號(hào)B05C5/02GK1812849SQ200480018010
公開(kāi)日2006年8月2日 申請(qǐng)日期2004年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2003年7月2日
發(fā)明者三輪紀(jì)章, 掛橋典之, 安竹睦實(shí), 金山利彥, 福田努 申請(qǐng)人:三菱麻鐵里亞爾株式會(huì)社