壓印模具固定用粘合片材、壓印裝置及壓印方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種壓印模具固定用粘合片材，它是能夠以壓印時(shí)不發(fā)生壓印模具的剝離和偏離的方式固定壓印模具的粘合片材，其在更換壓印模具時(shí)能夠從壓印裝置的壓力施加部剝離。本發(fā)明的壓印模具固定用粘合片材是用于使向被轉(zhuǎn)印體按壓形成有微細(xì)的圖案的壓印模具并將該壓印模具的上述圖案形狀轉(zhuǎn)印至上述被轉(zhuǎn)印體的壓印裝置的壓印模具與壓力施加部之間固定成為一體的粘合片材，其特征是，包括：基材，設(shè)置在基材的一表面上的粘合劑層(A)，和設(shè)置在基材的另一表面上的粘合劑層(B)；粘合劑層(A)被用于粘貼在壓印裝置的壓力施加部，粘合劑層(B)被用于粘貼在壓印模具；粘合劑層(B)的23℃時(shí)的粘合力＞粘合劑層(A)的23℃時(shí)的粘合力；粘合劑層(A)的23℃時(shí)的粘合力為1～10N/25mm，且在80℃、濕度65％下放置7小時(shí)后的粘合力為1～30N/25mm；粘合劑層(B)的23℃時(shí)的粘合力為3～30N/25mm。
【專利說明】壓印模具固定用粘合片材、壓印裝置及壓印方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及用于固定壓印中使用的壓印模具的雙面粘合片材以及使用該粘合片材的壓印裝置和壓印方法。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體和光學(xué)元件的制造中，為了形成電路結(jié)構(gòu)等，進(jìn)行壓印操作，S卩、將具有特定的圖案形狀的壓印模具按壓在熱塑性樹脂或熱固性樹脂上，通過加熱或紫外線照射，將其圖案形狀轉(zhuǎn)印至各材料。
[0003]上述壓印操作中，使用具備用于將壓印模具按壓在樹脂上的壓力施加部的裝置，該裝置中在壓力施加部上固定有壓印模具。作為用于保持的手段，已知使用雙面粘合片材。另一方面，壓印操作中，壓印模具破損的情況下、或者在圖案不同的半導(dǎo)體材料或光學(xué)元件的制造中需要更換壓印模具，因而較好是壓印模具能夠從壓力施加部拆卸的結(jié)構(gòu)。因而，壓印操作時(shí)，人們期望一種具有壓印模具不會自壓力施加部剝離、發(fā)生偏離的粘合力，且在更換壓印模具時(shí)能夠?qū)河∧＞卟涣魵埬z地從壓力施加部取下的雙面粘合片材。但是，粘合劑粘貼于被粘體后，隨著時(shí)間的經(jīng)過，粘合力容易升高，難以擔(dān)保再剝離性。
[0004]作為解決這種問題的粘合片材，已知將具有含有壓敏型粘合劑和側(cè)鏈結(jié)晶性聚合物的粘合劑層的膠粘帶用于壓印模具的保持，在更換壓印模具時(shí)，使粘合片材達(dá)到側(cè)鏈結(jié)晶性聚合物的Tg以上的溫度以使含有側(cè)鏈結(jié)晶性聚合物的粘合劑層的粘合力降低，從而將壓印模具從壓力施加部剝離(例如參照專利文獻(xiàn)I)。
[0005]但是，進(jìn)行照射紫外線的光壓印的情況下，來自光源的輻射熱最大也只達(dá)到80°C左右。因而，在使用利用熱使粘合力降低的膠粘帶來保持壓印模具的情況下，在壓印操作中壓印模具可能會從壓力施加部剝離。特別是，作為壓力施加部使用輥式的壓力施加部的情況下，還必須考慮輥的輻射熱的蓄熱。
[0006]因此，需要一種即使在壓印操作中產(chǎn)生的熱的存在下粘合力也不降低、壓印模具的更換容易的膠粘帶。
[0007]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)
[0009]專利文獻(xiàn)1:日本專利特開2011-1520號
【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]發(fā)明所要解決的技術(shù)問題
[0011]本發(fā)明的目的是提供一種壓印模具固定用粘合片材，它是能夠以壓印時(shí)不發(fā)生壓印模具的剝離和偏離的方式固定壓印模具的粘合片材，其在更換壓印模具時(shí)能夠從壓印裝置的壓力施加部剝離。
[0012]解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案
[0013]本發(fā)明是例如下述[I]?[15]的發(fā)明。[0014][I] 一種壓印模具固定用粘合片材，它是用于使向被轉(zhuǎn)印體按壓形成有微細(xì)的圖案的壓印模具而將該壓印模具的上述圖案形狀轉(zhuǎn)印至上述被轉(zhuǎn)印體的壓印裝置的壓印模具與壓力施加部之間固定成為一體的粘合片材，其特征是，包括:基材，設(shè)置在基材的一表面上的粘合劑層(A)，和設(shè)置在基材的另一表面上的粘合劑層(B);粘合劑層(A)被用于粘貼在壓印裝置的壓力施加部，粘合劑層⑶被用于粘貼在壓印模具；粘合劑層⑶的23°C時(shí)的粘合力>粘合劑層(A)的23°C時(shí)的粘合力；粘合劑層(A)的23°C時(shí)的粘合力為I~10N/25mm，且在80°C、濕度65%下放置7小時(shí)后的粘合力為I~30N/25mm;粘合劑層⑶的23 °C時(shí)的粘合力為3~30N/25mm。
[0015][2]如[I]所述的壓印模具固定用粘合片材，其特征是，它被用于壓印時(shí)施加于壓印模具的壓力是0.1~50MPa的壓印裝置。
[0016][3]如[I]或[2]所述的壓印模具固定用粘合片材，其特征是，它被用于輥式壓印
裝直。
[0017][4]如[I]~[3]中任一項(xiàng)所述的壓印模具固定用粘合片材，其特征是，它被用于將形成有納米級尺寸的圖案的壓印模具和壓力施加部之間固定成一體。
[0018][5]如[I]~[4]中任一項(xiàng)所述的壓印模具固定用粘合片材，其特征是，上述粘合劑層(B)含有光吸收劑和/或光穩(wěn)定劑。
[0019][6]如[I]~[5]中任一項(xiàng)所述的壓印模具固定用粘合片材，其特征是，粘合劑層(A)中的粘合劑的粘合力為I~10N/25mm。
[0020][7]如[6]所述的壓印模具固定用粘合片材，其特征是，粘合劑層㈧中的粘合劑是使(甲基)丙烯酸單體與具有交聯(lián)性官能團(tuán)的單體共聚而得的丙烯酸類共聚物。
[0021][8]如[I]~[5]中任一項(xiàng)所述的壓印模具固定用粘合片材，其特征是，粘合劑層(A)中的構(gòu)成粘合劑的聚合物的重均分子量為80萬~180萬。
[0022][9]如[I]~[5]中任一項(xiàng)所述的壓印模具固定用粘合片材，其特征是，粘合劑層(A)中的粘合劑是使相對于全部單體100重量份包含0.5~20重量份的含硅氧烷單體的單體進(jìn)行共聚而得的丙烯酸-硅氧烷類共聚物。
[0023][10]如[I]~[5]中任一項(xiàng)所述的壓印模具固定用粘合片材，其特征是，粘合劑層(A)的凝膠比率為70~95%。
[0024][11]如[I]~[5]中任一項(xiàng)所述的壓印模具固定用粘合片材，其特征是，粘合劑層
(A)中，相對于粘合劑100重量份含有I~20重量份的硅油。
[0025][12] 一種壓印裝置，它是向被轉(zhuǎn)印體按壓形成有微細(xì)的圖案的壓印模具而將該壓印模具的上述圖案形狀轉(zhuǎn)印至上述被轉(zhuǎn)印體的壓印裝置，其特征是，在將直接接觸上述被轉(zhuǎn)印體的上述壓印模具與能施加壓力的壓力施加部之間通過[I]~[11]中任一項(xiàng)所述的壓印模具固定用粘合片材固定成一體時(shí)，使粘合劑層(B)位于上述粘合片材的基材的上述壓印模具側(cè)，使粘合劑層(A)位于該基材的壓力施加部側(cè)。
[0026][13]如[12]所述的壓印裝置，其特征是，上述壓力施加部是輥式。
[0027][14] 一種將壓印模具固定在壓印裝置的方法，其特征是，將[I]~[11]中的任一項(xiàng)所述的壓印模具固定用粘合片材的粘合劑層(A)粘貼在壓力施加部，再將壓印模具粘貼在上述壓印模具固定用粘合片材的粘合劑層(B)上。
[0028][15] 一種將壓印模具從壓印裝置取下的方法，其特征是，將[I]~[11]中的任一項(xiàng)所述的壓印模具固定用粘合片材的粘合劑層(A)從壓力施加部剝離。
[0029]發(fā)明的效果
[0030]本發(fā)明的壓印模具固定用粘合片材能夠以壓印時(shí)不發(fā)生壓印模具的剝離和偏離的方式將壓印模具固定，且還具有耐久性。此外，在更換壓印模具時(shí)，能夠不留殘膠地從壓印裝置的壓力施加部剝離。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0031]圖1是使用本發(fā)明的壓印模具固定用粘合片材的壓印裝置的部分示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0032]以下，對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的說明。
[0033]本發(fā)明是一種壓印模具固定用粘合片材，它是用于使向被轉(zhuǎn)印體按壓形成有微細(xì)的圖案的壓印模具而將該壓印模具的上述圖案形狀轉(zhuǎn)印至上述被轉(zhuǎn)印體的壓印裝置的壓印模具與壓力施加部之間固定成為一體的粘合片材，其特征是，包括:基材，設(shè)置在基材的一表面上的粘合劑層(A)，和設(shè)置在基材的另一表面上的粘合劑層(B);粘合劑層(A)被用于粘貼在壓印裝置的壓力施加部，粘合劑層⑶被用于粘貼在壓印模具；粘合劑層⑶的23°C時(shí)的粘合力>粘合劑層(A)的23°C時(shí)的粘合力；粘合劑層(A)的23°C時(shí)的粘合力為I?10N/25mm，且在80°C、濕度65%下放置7小時(shí)后的粘合力為I?30N/25mm ;粘合劑層
(B)的23 °C時(shí)的粘合力為3?30N/25mm。
[0034]此外，本說明書中，(甲基)丙烯酸酯是指丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯。
[0035]本發(fā)明的壓印模具固定用粘合片材可用于通常的壓印裝置，被用于將壓印模具固定在壓印時(shí)施加于壓印模具的壓力優(yōu)選為0.1?50MPa、更優(yōu)選2?30MPa的壓印裝置的壓力施加部。即使施加上述壓力，壓印模具在壓印時(shí)也不會從壓力施加部脫離。
[0036]本發(fā)明的壓印模具固定用粘合片材較好是被用于將形成有納米級尺寸的圖案的壓印模具固定在壓印裝置的壓力施加部。納米級尺寸的圖案是指，較好是在IOnm?50 μ m的一定的周期內(nèi)重復(fù)的、具有50nm?IOOOnm的高度的線、圓柱、蛾眼、圓錐、多棱錐、微透鏡等形狀的凹凸圖案。
[0037]此外，本發(fā)明的壓印模具固定用粘合片材可用于將壓印模具固定在臺座式壓印裝置、輥式壓印裝置中任一裝置的壓力施加部，但由于在產(chǎn)生輻射熱的條件下也能夠使用，所以優(yōu)選用于將壓印模具固定在輥式的壓印裝置的壓力施加部。
[0038]這樣使粘貼于壓力施加部的粘合劑層㈧比粘貼于壓印模具的粘合劑層⑶的粘合力弱是因?yàn)?，壓印時(shí)要求與被施加壓力的壓印模具的粘合牢固，另一方面，要求與壓力施加部的粘合具有再剝離性。
[0039](I)粘合劑層(A)
[0040]上述粘合劑層(A)被用于粘貼在壓印裝置的壓力施加部。
[0041]粘合劑層(A)的23°C時(shí)的粘合力為I?10N/25mm，優(yōu)選23°C時(shí)的粘合力為2?8N/25mm。通過使粘合力在上述范圍內(nèi)，即使在施加于壓印模具的壓力為0.1?50MPa的壓印時(shí)，也能夠在壓印模具不從壓力施加部脫離、偏離的情況下發(fā)揮壓印模具固定力。此外，通過使上述溫度下的粘合力在上述范圍內(nèi)，即使在光壓印時(shí)的最大達(dá)到80°C的來自光源的輻射熱的存在下，壓印過程中粘合劑層(A)的粘合力也不會變?yōu)闊o法固定壓印模具的值。
[0042]此外，粘合劑層㈧具有再剝離性，80°C、濕度65%下放置7小時(shí)后的粘合力(以下也稱為“剝離力”)為I?30N/25mm，優(yōu)選2?20N/25mm，更優(yōu)選3?15N/25mm。如果剝離力在上述范圍內(nèi)，則更換壓印模具時(shí)能夠不留殘膠地將壓印模具從壓力施加部取下。
[0043]為了使粘合劑層(A)的在上述溫度范圍內(nèi)的粘合力和剝離力在上述范圍內(nèi)，可例舉以下方法:
[0044](i)作為粘合劑層㈧中所使用的粘合劑，使用粘合力弱的粘合劑的方法；
[0045](ii)調(diào)整粘合劑層㈧中所使用的粘合劑的重均分子量的方法；
[0046](iii)作為粘合劑層(A)中所使用的粘合劑，使用丙烯酸-硅氧烷類共聚物的方法;
[0047](iv)調(diào)整粘合劑層(A)的凝膠比率的方法；
[0048](V)使粘合劑層(A)含有硅油的方法。這些方法可單獨(dú)實(shí)施，也可組合起來實(shí)施。
[0049](i)作為粘合劑層㈧中所使用的粘合劑，使用粘合力弱的粘合劑的方法
[0050]作為粘合劑層(A)中所使用的粘合劑，通過采用粘合力弱的粘合劑，可將粘合劑層(A)的粘合力和剝離力調(diào)整至上述范圍內(nèi)。粘合力弱的粘合劑是指粘合力為I?10N/25mm的粘合劑。
[0051]作為粘合力弱的粘合劑，可例舉通常作為再剝離性粘合劑銷售的粘合劑，例如可例舉使(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸異辛酯、(甲基)丙烯酸芐酯等(甲基)丙烯酸單體與具有羧基、羥基、氨基、酰胺基等交聯(lián)性官能團(tuán)的單體共聚而得的丙烯酸類聚合物。作為聚合物的重均分子量，通常為20萬?80萬。作為這樣的粘合劑的市售品，可例舉綜研化學(xué)株式會社(綜研化學(xué)社)制的SK-DYNE1473H、SK-DYNE1439U 等。
[0052](ii)調(diào)整粘合劑層(A)中的粘合劑的重均分子量的方法
[0053]通過使粘合劑的重均分子量為80萬?180萬、優(yōu)選100萬?150萬，可將粘合劑層(A)的粘合力和剝離力調(diào)整至上述范圍內(nèi)。
[0054]為了達(dá)到這樣的重均分子量，例如可例舉將引發(fā)劑的量調(diào)節(jié)至相對于100重量份的粘合劑為大于0.01重量份且在0.1重量份以下的方法。
[0055](iii)作為粘合劑層㈧中所使用的粘合劑，使用丙烯酸-硅氧烷類共聚物的方法
[0056]作為粘合劑層(A)中所使用的粘合劑，通過使用丙烯酸一硅氧烷類共聚物，可將粘合劑層(A)的粘合力和剝離力調(diào)整至上述范圍內(nèi)。
[0057]丙烯酸一硅氧烷類共聚物可通過使79.5?99重量份的丙烯酸丁酯、丙烯酸2_乙基己酯、丙烯酸異辛酯、丙烯酸芐酯等單體，0.5?5重量份的具有羧基、羥基、氨基、酰胺基等交聯(lián)性官能團(tuán)的單體，與0.5?20重量份的硅氧烷大分子等含硅氧烷單體共聚而獲得(將聚合中所用的全部單體記作100重量份)。硅氧烷大分子的分子量優(yōu)選為600?10000。作為丙烯酸一硅氧烷類共聚物的重均分子量，優(yōu)選20萬?80萬。
[0058]作為硅氧烷大分子的市售品，可例舉Silaplane FM-0711 (JNC株式會社(JNC社)制)、X_22-174DX(信越有機(jī)硅株式會社(信越'> U - — >社)制)等。
[0059](iv)調(diào)整粘合劑層㈧的凝膠比率的方法
[0060]通過調(diào)整粘合劑層(A)的凝膠比率，可將粘合劑層(A)的粘合力和剝離力調(diào)整至上述范圍內(nèi)。
[0061]作為粘合劑，可使用公知的粘合劑、優(yōu)選丙烯酸類粘合劑(例如綜研化學(xué)株式會社制的 SK-DYNE1882)。
[0062]粘合劑層(A)的凝膠比率優(yōu)選為70~95%，更優(yōu)選80~90%。為了使凝膠比率的值在上述范圍內(nèi)，優(yōu)選使硬化劑的含量相對于粘合劑層(A)中的粘合劑100重量份為0.1~5.0重量份，更優(yōu)選0.5~2.5重量份。作為固化劑，可使用異氰酸酯類固化劑、環(huán)氧類固化劑等。此外，還可使用固化促進(jìn)劑，優(yōu)選使固化促進(jìn)劑含量相對于粘合劑層(A)中的粘合劑100重量份為0.01~1.0重量份，更優(yōu)選0.05~0.5重量份。作為固化促進(jìn)劑，可使用公知的有機(jī)錫化合物(例如日東化成株式會社(日東化成社)制的NE0STANNU-860)。
[0063](V)使粘合劑層(A)含有硅油的方法
[0064]通過使粘合劑層(A)含有硅油，可將粘合劑層(A)的粘合力和剝離力調(diào)整至上述范圍內(nèi)。 [0065]作為粘合劑，可使用公知的粘合劑、優(yōu)選丙烯酸類粘合劑(例如綜研化學(xué)株式會社制的 SK-DYNE1882)。
[0066]作為粘合劑層(A)中含有的硅油，沒有特別限定，但優(yōu)選具有與粘合劑的相容性的硅油。粘合劑層㈧中的硅油的含量相對于粘合劑層㈧中的粘合劑100重量份優(yōu)選為I~20重量份，更優(yōu)選2~10重量份。
[0067]作為硅油的市售品，可例舉信越有機(jī)硅株式會社制的KF-96L-0.65cs、KF-96L-lcs等，從與粘合劑的相容性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選KF-96L-0.65cs。
[0068](2)粘合劑層(B)
[0069]粘合劑層⑶被用于粘貼于壓印模具。
[0070]粘合劑層⑶的23°C時(shí)的粘合力為3~30N/25mm，優(yōu)選23°C時(shí)的粘合力為5~25N，更優(yōu)選23 °C時(shí)的粘合力為7~20N。
[0071]作為構(gòu)成粘合劑層(B)的粘合成分，可使用通常的丙烯酸類粘合劑、橡膠類粘合劑。作為丙烯酸類粘合劑的例子，可例舉使(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸異辛酯、(甲基)丙烯酸芐酯等單體與具有羧基、羥基、氨基、酰胺基等交聯(lián)性官能團(tuán)的單體共聚而得的聚合物。作為這樣的粘合劑的市售品，可例舉綜研化學(xué)株式會社(綜研化學(xué)社)制的SK-DYNE1882、SK-DYNE1986H等。
[0072]此外，從防止光壓印時(shí)的粘合劑層⑶的脆化的觀點(diǎn)考慮，粘合劑層⑶優(yōu)選含有光吸收劑和/或光穩(wěn)定劑。
[0073]相對于100重量份的粘合劑，優(yōu)選使用0.1~10重量份的光吸收劑，更優(yōu)選使用I~5重量份；優(yōu)選使用0.1~10重量份的光穩(wěn)定劑,更優(yōu)選使用I~5重量份。
[0074]作為光吸收劑，可使用公知的光吸收劑(例如汽巴公司(★ 〃社)制的TINUVIN109、TINUVIN99-2)。作為光穩(wěn)定劑，可使用公知的光穩(wěn)定劑(例如汽巴公司制的TINUVIN123、TINUVIN144)。
[0075](3)基材
[0076]作為構(gòu)成粘合片材的基材，可使用樹脂制膜、紙、金屬箔、布、無紡布等。
[0077]作為樹脂制膜，可例舉聚乙烯膜、聚丙烯膜、聚丁烯膜、聚丁二烯膜、聚甲基戊烯膜、聚氯乙烯膜、氯乙烯共聚物膜、聚對苯二甲酸乙二醇酯膜、聚萘二甲酸乙二醇酯膜、聚對苯二甲酸丁二醇酯膜、聚氨酯膜、乙烯乙酸乙烯酯共聚物膜、離子鍵樹脂膜、乙烯一(甲基)丙烯酸共聚物膜、乙烯一(甲基)丙烯酸酯共聚物膜、聚苯乙烯膜、聚碳酸酯膜、聚酰亞胺膜
坐寸O
[0078]作為本發(fā)明中使用的基材，從操作性的觀點(diǎn)來看，優(yōu)選樹脂制膜，從耐熱性、材料獲得性的觀點(diǎn)考慮，更優(yōu)選聚對苯二甲酸乙二醇酯膜。此外，對于樹脂制膜，可實(shí)施電暈處理和等離子體處理等能提高與粘合劑層的密合性的處理。
[0079](4)粘合片材
[0080]本發(fā)明的粘合片材包括:基材，設(shè)置在基材的一表面上的粘合劑層(A)，和設(shè)置在基材的另一表面上的粘合劑層(B)。粘合劑層(A)的厚度通常為10?50 μ m，優(yōu)選15?40 μ m。粘合劑層⑶的厚度通常為10?50 μ m,優(yōu)選15?40 μ m。基材的厚度通常為10?150 μ m,優(yōu)選 10 ?100 μ m。
[0081]上述粘合片材中，粘合劑層(A)的23°C時(shí)的粘合力比粘合劑層(B)的23°C時(shí)的粘合力小。這樣使粘合片材的粘合劑層的粘合力在各表面具有差別，并通過將粘合力更高的粘合劑層(B)用于壓印模具的粘貼，從而能夠在面對壓印時(shí)的壓力也不會脫離的情況下固定壓印模具，并且通過將粘合力較低的粘合劑層(A)用于粘貼于壓力施加部，從而能夠容易地將壓力施加部側(cè)的粘合劑層剝離，進(jìn)行壓印模具的更換。
[0082]也可以在粘合劑層(A)的不與基材接觸的表面、及粘合劑層(B)的不與基材接觸的表面分別層壓保護(hù)片材。保護(hù)片材優(yōu)選是對樹脂制膜實(shí)施了剝離處理的保護(hù)片材。
[0083](5)粘合片材的制造方法
[0084]對粘合片材的制造方法沒有特別限定，可以按照以下方式進(jìn)行。
[0085]將構(gòu)成粘合劑層㈧的全部成分混合，通過棒涂法、逗點(diǎn)式涂布(日文:- > 7 -一卜)等公知的方法將混合物涂布在基材的一個(gè)表面。然后，以50?120°C的溫度使粘合劑層(A)干燥I?10分鐘。接著，通過與粘合劑層(A)相同的方法，在基材的具有粘合劑層(A)的表面的相反側(cè)的表面涂布將構(gòu)成粘合劑層(B)的全部成分混合而得的混合物。然后，以50?120°C的溫度使粘合劑層⑶干燥I?10分鐘。
[0086](6)壓印裝置
[0087]壓印裝置是指向被轉(zhuǎn)印體按壓形成有微細(xì)的圖案的壓印模具而將該壓印模具的上述圖案形狀轉(zhuǎn)印至上述被轉(zhuǎn)印體的裝置。
[0088]本發(fā)明的壓印裝置中，壓印模具通過本發(fā)明的粘合片材被固定于壓力施加部。具體而言，壓印裝置中，在將直接接觸被轉(zhuǎn)印體的上述壓印模具與能施加壓力的壓力施加部之間通過本發(fā)明的壓印模具固定用粘合片材固定成一體時(shí)，使粘合劑層(B)位于上述粘合片材的基材的上述壓印模具側(cè)，使粘合劑層(A)位于該基材的壓力施加部側(cè)。
[0089]作為壓力施加部，沒有特別限定，可例舉單葉式(日文:每葉式)(臺座式)和輥式，優(yōu)選輥式。這樣，粘合片材中與壓力施加部接觸的粘合劑層具有再剝離性，與壓印模具接觸的粘合劑的粘合力強(qiáng)，所以即使實(shí)施對壓印模具施加高壓力的壓印操作，壓印模具也不會從粘合片材剝離，且粘合片材的耐久性也好。另一方面，更換壓印模具時(shí)，由于粘合劑層(A)具有再剝離性，所以能夠?qū)河∧＞邚膲毫κ┘硬縿冸x。
[0090]這樣的將壓印模具固定在壓印裝置的方法可通過將本發(fā)明的壓印模具固定用粘合片材的粘合劑層(A)粘貼在壓力施加部，再將壓印模具粘貼在上述壓印模具固定用粘合片材的粘合劑層(B)上來實(shí)施。此外，更換壓印模具時(shí)，通過將本發(fā)明的壓印模具固定用粘合片材的粘合劑層(A)從壓力施加部剝離，從而將壓印模具從壓印裝置取下。
[0091]通過本發(fā)明的固定壓印模具的方法和取下壓印模具的方法，能夠在壓印模具破損時(shí)等容易地更換壓印模具。
[0092]實(shí)施例
[0093]下面，基于實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行更具體的說明，但本發(fā)明并不限定于這些實(shí)施例。
[0094]〈壓印裝置的制造〉
[0095]對于由實(shí)施例和比較例所得的各個(gè)壓印模具固定用粘合片材，用20kg的轉(zhuǎn)印輥將粘合劑層(a-Ι)~(a-20)層壓在樹脂制壓印模具(所使用的模具的周期為300nm、圖案的高度為150nm)。接著，獲得層壓壓印模具固定用粘合片材后的樹脂制壓印模具。
[0096]對于上述各個(gè)層壓壓印模具固定用粘合片材后的樹脂制壓印模具，使用上述轉(zhuǎn)印輥將粘合片材的粘合劑層(b-Ι)和(b-2)粘貼在寬度為250mm的輥壓印用輥(SUS制)的輥面上。
[0097]〈壓印操作〉
[0098]以1.0MPa將上述壓印裝置的輥按壓在Lexan膜(日文:>今寸(轉(zhuǎn)印區(qū)域:寬210mm、長420m)上，以能夠均勻地涂布轉(zhuǎn)印樹脂PAK-02 (東洋合成株式會社制)的狀態(tài)開動(dòng)流水線(輸送速度為Im/秒，東芝機(jī)械株式會社(東芝機(jī)械社)制)。然后，一邊開動(dòng)流水線一邊連續(xù)進(jìn)行紫外線照射(50mW/cm2)，一邊使樹脂固化一邊進(jìn)行連續(xù)7小時(shí)的輥壓印(輥表面溫度為60~80°C (用A&D株式會社(二一.7 > F.社)制的紅外線放射溫度計(jì)AD-5617WP測定))，獲得60m的成型膜。然后，將樹脂制壓印模具從輥取下。
[0099]此外，用同樣的方法進(jìn)行連續(xù)14小時(shí)的輥壓印，然后將樹脂制壓印模具從輥剝離。
[0100]實(shí)施例和說明書中的各物性的數(shù)值是通過下述的測定方法測得的值。
[0101]〈粘合力〉
[0102]23°C時(shí)的粘合力和在80°C、濕度65%下放置7小時(shí)后的粘合力是按照J(rèn)ISZ0237以拉伸角度90°、剝離速度300mm/分鐘測得的值。
[0103]<重均分子量>
[0104]使用凝膠滲透色譜法(GPC)，求出基于標(biāo)準(zhǔn)聚苯乙烯換算得出的重均分子量(Mw)。
[0105]測定條件
[0106]裝置:HLC_8120GPC(東曹株式會社(東^ 一(株))制)
[0107]色譜柱:使用以下的五連柱。
[0108]TSK-GEL HXL_H(保護(hù)柱、東曹株式會社制)
[0109]TSK-GEL G7000HXL (東曹株式會社制)
[0110]TSK-GEL GMHXL (東曹株式會社制)
[0111]TSK-GEL GMHXL (東曹株式會社制)
[0112]TSK-GEL G2500HXL (東曹株式會社制)
[0113]樣品濃度:用四氫呋喃稀釋至1.0mg/cm3[0114]流動(dòng)相溶劑:四氫呋喃
[0115]流速:1.0cm3/分鐘
[0116]柱溫:40°C
[0117]〈凝膠比率〉
[0118]將23°C下熟化7天后的粘合劑組合物約0.1g(采集重量)采取至采樣瓶中，添加乙酸乙酯30cc并振蕩4小時(shí)后，用200目的不銹鋼制金屬網(wǎng)過濾該采樣瓶中的內(nèi)容物，將金屬網(wǎng)上的殘留物在100°C下干燥2小時(shí)后測定干燥重量，通過下式求出。
[0119][數(shù)學(xué)式I]
[0120]凝膠比率(％ )=(粘合劑組合物的干燥重量/粘合劑組合物的采集重量)X 100
[0121]<輥壓印時(shí)的壓印模具的脫落>
[0122]輥壓印時(shí)的壓印模具的脫落通過目視來觀察，按照以下的基準(zhǔn)進(jìn)行評價(jià)。
[0123]O:壓印操作中，層壓壓印模具固定用粘合片材后的樹脂制壓印模具沒有從輥剝離。
[0124]X:壓印操作中，層壓壓印模具固定用粘合片材后的樹脂制壓印模具從輥剝離。
[0125]<輥壓印時(shí)的壓印模具的偏離>
[0126]輥壓印時(shí)的壓印模具的偏離通過目視來觀察，按照以下的基準(zhǔn)進(jìn)行評價(jià)。
[0127]O:壓印操作中，層壓壓印模具固定用粘合片材后的樹脂制壓印模具在輥表面上的位置沒有偏離。
[0128]X:壓印操作中，層壓壓印模具固定用粘合片材后的樹脂制壓印模具在輥表面上的位置發(fā)生偏離。
[0129]〈輥壓印后的膠殘留〉
[0130]輥壓印后后的膠殘留通過目視來觀察，按照以下的基準(zhǔn)進(jìn)行評價(jià)。
[0131]O:壓印操作后，將層壓壓印模具固定用粘合片材后的樹脂制壓印模具從輥剝離時(shí)，在輥表面沒有殘留粘合劑。
[0132]X:壓印操作后，將層壓壓印模具固定用粘合片材后的樹脂制壓印模具從輥剝離時(shí)，在輥表面殘留有粘合劑。
[0133]〈耐久性〉
[0134]在連續(xù)7小時(shí)輥壓印后和連續(xù)14小時(shí)輥壓印后，將層壓壓印模具固定用粘合片材后的樹脂制壓印模具從輥剝離，通過目視來觀察與輥表面接觸的粘合劑層的狀態(tài)，按照以下的基準(zhǔn)進(jìn)行評價(jià)。
[0135]O:粘合劑層的狀態(tài)沒有變化。
[0136]Λ:粘合劑層稍微脆化。
[0137]X:粘合劑層脆化。
[0138][實(shí)施例1]
[0139]在燒杯中添加IOOg (固體成分量)粘合劑(商品名SK-DYNE1473H、綜研化學(xué)株式會社制)、0.77g(固體成分量)異氰酸酯類固化劑(商品名L-45、綜研化學(xué)株式會社制)，充分混合后涂布在PET間隔物(商品名MRF38、三菱樹脂株式會社(三菱樹脂社)制)上，使其于90°C干燥3分鐘，制得粘合劑層(a-Ι)。同樣地，在燒杯中添加IOOg (固體成分量)粘合劑(商品名SK-DYNE1882、綜研化學(xué)株式會社制)、0.55g(固體成分量)異氰酸酯類固化劑(L-45)、0.016g(固體成分量)環(huán)氧類固化劑(商品名E-5XM、綜研化學(xué)株式會社制)，充分混合后涂布在PET間隔物(MRF38)上，使其于90°C干燥3分鐘，制得粘合劑層(b_l)。然后，將粘合劑層(a-Ι)層壓在PET膜(Lumirror60T38、東麗株式會社制)的一個(gè)表面，將粘合劑層(b-Ι)層壓在另一表面，從而制得壓印模具固定用粘合片材。
[0140]使用上述壓印模具固定用粘合片材來進(jìn)行上述壓印操作，結(jié)果沒有發(fā)現(xiàn)樹脂制壓印模具的剝離等不良情況。連續(xù)壓印14小時(shí)后，將樹脂制壓印模具從輥剝離，結(jié)果是背面的粘合劑破碎。但是，沒有發(fā)現(xiàn)粘合劑對輥的轉(zhuǎn)粘等的污染。
[0141][實(shí)施例2]
[0142]在燒杯中添加100g(固體成分量)粘合劑(商品名SK_DYNE1473H)、0.77g(固體成分量)異氰酸酯類固化劑(L-45)，充分混合后涂布在PET間隔物(MRF38)上，使其于90°C干燥3分鐘，制得粘合劑層(a-2)。同樣地，在燒杯中添加100g (固體成分量)粘合劑(SK-DYNE1882)、0.55g(固體成分量)異氰酸酯類固化劑(L_45)、0.016g(固體成分量)環(huán)氧類固化劑伍-5乂11)、3.(^(固體成分量)光吸收劑(商品名TINUVIN109、汽巴公司制)、
3.0g(固體成分量)光穩(wěn)定劑(商品名TINUVIN123、汽巴公司制)，充分混合后涂布在PET間隔物(MRF38)上，使其于90°C干燥3分鐘，制得粘合劑層(b_2)。然后，將粘合劑層(a_2)層壓在PET膜(Lumirror60T38)的一個(gè)表面，將粘合劑層(b_2)層壓在另一表面，從而制得壓印模具固定用粘合片材。
[0143]使用上述壓印模具固定用粘合片材進(jìn)行上述壓印操作，結(jié)果是連續(xù)壓印14小時(shí)后，將樹脂制壓印模具從輥剝離，背面的粘合劑正常。
[0144][實(shí)施例3]
[0145]在燒杯中添加100g(固體成分量)粘合劑(SK-DYNE1882)、0.55g(固體成分量)異氰酸酯類固化劑(L_45)、0.032g (固體成分量)環(huán)氧類固化劑(E-5XM)，充分混合后涂布在PET間隔物(MRF38)上，使其于90°C干燥3分鐘，制得粘合劑層(a_3)。然后，將粘合劑層(a-3)層壓在PET膜(Lumirror60T38)的一個(gè)表面，將由實(shí)施例1得到的粘合劑層(b_l)層壓在另一表面，從而制得壓印模具固定用粘合片材。
[0146][實(shí)施例4]
[0147]在燒杯中添加100g(固體成分量)粘合劑(SK-DYNE1882)、0.55g(固體成分量)異氰酸酯類固化劑(L_45)、0.016g (固體成分量)環(huán)氧類固化劑(E-5XM)、0.1g作為固化促進(jìn)劑的2，2’ -[ ( 二辛基亞錫)雙(硫代)]雙乙酸二異辛酯(日文:-7'才^ f ^文H 4乂才夕f f才夕'' ^ > 一卜)(商品名NEOSTANN U-860、日東化成株式會社制)，充分混合后涂布在PET間隔物(MRF38)上，使其于90°C干燥3分鐘，制得粘合劑層(a_4)。然后，將粘合劑層(a_4)層壓在PET膜(LumiirOr60T38)的一個(gè)表面，將由實(shí)施例1得到的粘合劑層(b-Ι)層壓在另一表面，從而制得壓印模具固定用粘合片材。
[0148][實(shí)施例5]
[0149]在燒杯中添加100g(固體成分量)粘合劑(SK-DYNE1882)、0.55g(固體成分量)異氰酸酯類固化劑(L_45)、0.016g(固體成分量)環(huán)氧類固化劑(E-5XM)、5.0g硅油(商品名KF-96-lOcs、信越有機(jī)硅株式會社制)，充分混合后涂布在PET間隔物(MRF38)上，使其于90°C干燥3分鐘，制得粘合劑層(a-5)。然后，將粘合劑層(a-5)層壓在PET膜(Lumirror60T38)的一個(gè)表面,將由實(shí)施例1得到的粘合劑層(b_l)層壓在另一表面,從而制得壓印模具固定用粘合片材。
[0150][實(shí)施例6]
[0151]在具備攪拌裝置、氮?dú)鈱?dǎo)入管、溫度計(jì)和回流冷卻管的燒瓶中添加96重量份丙烯酸丁酯、3.5重量份丙烯酸2-羥基乙酯、0.5重量份丙烯酸、150重量份乙酸乙酯。然后，在向燒瓶內(nèi)導(dǎo)入氮?dú)?0.3升/分鐘)的同時(shí)將燒瓶中的內(nèi)容物加熱至80°C，加入0.05重量份引發(fā)劑2，2，-偶氮(2-甲基丙酸)二甲酯(商品名V-601、和光純藥株式會社(和光純薬)制)，并在701:下保持6.0小時(shí)。然后，停止供給氮?dú)猓尤?50重量份乙酸乙酯，通過降低溫度使反應(yīng)結(jié)束，從而制得粘合劑1882HH。
[0152]添加IOOg (固體成分量)粘合劑1882HH、0.55g(固體成分量)異氰酸酯類固化劑(L-45)、0.016g(固體成分量)環(huán)氧類固化劑(E-5XM)，充分混合后涂布在PET間隔物(MRF38)上，使其于90°C干燥3分鐘，制得粘合劑層(a_6)。然后，將粘合劑層(a_6)層壓在PET膜(LumiirOr60T38)的一個(gè)表面，將由實(shí)施例1得到的粘合劑層(b_l)層壓在另一表面，從而制得壓印模具固定用粘合片材。
[0153][實(shí)施例7]
[0154]在具備攪拌裝置、氮?dú)鈱?dǎo)入管、溫度計(jì)和回流冷卻管的燒瓶中添加91重量份丙烯酸丁酯、3.5重量份丙烯酸2-羥基乙酯、0.5重量份丙烯酸、5重量份硅氧烷大分子(商品名Silaplane FM-0711、分子量1000、JNC株式會社制)、150重量份乙酸乙酯。然后，在向燒瓶內(nèi)導(dǎo)入氮?dú)?0.3升/分鐘)的同時(shí)將燒瓶中的內(nèi)容物加熱至80°C，加入0.05重量份引發(fā)劑(V-601)，并在70°C下保持6小時(shí)。然后，停止供給氮?dú)猓尤?50重量份乙酸乙酯，通過降低溫度使反應(yīng)結(jié)束，從而制得粘合劑1882Si。
[0155]添加IOOg (固體成分量)粘合劑1882S1、0.55g(固體成分量)異氰酸酯類固化劑(L-45)、0.016g(固體成分量)環(huán)氧類固化劑(E-5XM)，充分混合后涂布在PET間隔物(MRF38)上，使其于90°C干燥3分鐘，制得粘合劑層(a_7)。然后，將粘合劑層(a_7)層壓在PET膜(LumiirOr60T38)的一個(gè)表面，將由實(shí)施例1得到的粘合劑層(b_l)層壓在另一表面，從而制得壓印模具固定用粘合片材。
[0156][實(shí)施例8]
[0157]實(shí)施例1中，使用SK-DYNE1439U (綜研化學(xué)株式會社制)來代替SK-DYNE1473H，將固化劑改為0.15g(固體成分量)的環(huán)氧類固化劑(商品名E-50C、綜研化學(xué)株式會社制)，從而制得粘合劑層(a-8)。然后，將粘合劑層(a-8)層壓在PET膜(Lumirror60T38)的一個(gè)表面，將由實(shí)施例1得到的粘合劑層(b-Ι)層壓在另一表面，從而制得壓印模具固定用粘合片材。
[0158][實(shí)施例9]
[0159]實(shí)施例1中，使用SK-DYNE1676 (綜研化學(xué)株式會社制)來代替SK-DYNE1473H，將固化劑改為1.2g(固體成分量)的(L-45)，從而制得粘合劑層(a-9)。然后，將粘合劑層(a-9)層壓在PET膜(Lumirror60T38)的一個(gè)表面，將由實(shí)施例1得到的粘合劑層(b_l)層壓在另一表面，從而制得壓印模具固定用粘合片材。
[0160][比較例I]
[0161]除了將異氰酸酯類固化劑(L-45)的量改為6.50g(固體成分量)以外，與實(shí)施例1的粘合劑層(a-Ι)的制造方法同樣地制得粘合劑層(a-ΙΟ)。然后，將粘合劑層(a_10)層壓在PET膜(LumiirOr60T38)的一個(gè)表面，將由實(shí)施例1得到的粘合劑層(b_l)層壓在另一表面，從而制得壓印模具固定用粘合片材。
[0162]使用上述壓印模具固定用粘合片材進(jìn)行上述壓印操作，結(jié)果發(fā)現(xiàn)粘合劑層(a-10)的粘合力不足，在輥壓印開始后I小時(shí)左右發(fā)生剝離。
[0163][比較例2]
[0164]除了將異氰酸酯類固化劑(L-45)的量改為0.05g(固體成分量)以外，與實(shí)施例1的粘合劑層(a-Ι)的制造方法同樣地制得粘合劑層(a-11)。然后，將粘合劑層(a_ll)層壓在PET膜(LumiirOr60T38)的一個(gè)表面，將由實(shí)施例1得到的粘合劑層(b_l)層壓在另一表面，從而制得壓印模具固定用粘合片材。
[0165]使用上述壓印模具固定用粘合片材進(jìn)行上述的14小時(shí)的輥壓印操作，結(jié)果是粘合劑層(a-11)的粘合力過于大，將壓印模具從輥剝離時(shí)，輥上殘留有粘合劑。
[0166][比較例3]
[0167]除了將引發(fā)劑(V-601)的量改為0.5重量份以外，與實(shí)施例6的粘合劑1882HH的制造方法同樣地制得粘合劑1882HH-2。除了使用粘合劑1882HH-2代替粘合劑1882HH以外，與實(shí)施例6的粘合劑層(a-6)的制造方法同樣地制得粘合劑層(a-12)。然后，將粘合劑層(a-12)層壓在PET膜(LumiirOr60T38)的一個(gè)表面，將由實(shí)施例1得到的粘合劑層(b_l)層壓在另一表面，從而制得壓印模具固定用粘合片材。
[0168]使用上述壓印模具固定用粘合片材進(jìn)行上述的14小時(shí)的輥壓印操作，結(jié)果是粘合劑層(a-12)的粘合力過于大，將壓印模具從輥剝離時(shí)，輥上殘留有粘合劑。
[0169][比較例4]
[0170]除了將固化促進(jìn)劑(U-860)的添加量改為5.0g以外，與實(shí)施例4的粘合劑層(a-4)的制造方法同樣地制得粘合劑層(a-13)。然后，將粘合劑層(a_13)層壓在PET膜(Lumirror60T38)的一個(gè)表面,將由實(shí)施例1得到的粘合劑層(b_l)層壓在另一表面,從而制得壓印模具固定用粘合片材。
[0171]使用上述壓印模具固定用粘合片材進(jìn)行上述壓印操作，結(jié)果發(fā)現(xiàn)粘合劑層(a-13)的粘合力不足，在輥壓印開始后I小時(shí)左右發(fā)生剝離。
[0172][比較例5]
[0173]除了將固化促進(jìn)劑(U-860)的添加量改為0.005g以外，與實(shí)施例4的粘合劑層(a-4)的制造方法同樣地制得粘合劑層(a-14)。然后，將粘合劑層(a_14)層壓在PET膜(Lumirror60T38)的一個(gè)表面,將由實(shí)施例1得到的粘合劑層(b_l)層壓在另一表面,從而制得壓印模具固定用粘合片材。
[0174]使用上述壓印模具固定用粘合片材進(jìn)行上述的14小時(shí)的輥壓印操作，結(jié)果是粘合劑層(a-14)的粘合力過于大，無法將壓印模具從輥取下。
[0175][比較例6]
[0176]除了將硅油(KF-96-lOcs)的添加量改為25.0g以外，與實(shí)施例5的粘合劑層(a-5)的制造方法同樣地制得粘合劑層(a-15)。然后，將粘合劑層(a_15)層壓在PET膜(Lumirror60T38)的一個(gè)表面,將由實(shí)施例1得到的粘合劑層(b_l)層壓在另一表面,從而制得壓印模具固定用粘合片材。
[0177]使用上述壓印模具固定用粘合片材進(jìn)行上述壓印操作，結(jié)果發(fā)現(xiàn)粘合劑層(a-15)的粘合力不足，在輥壓印開始后I小時(shí)左右發(fā)生剝離。
[0178][比較例7]
[0179]除了將硅油(KF-96-lOcs)的添加量改為0.94g以外，與實(shí)施例5的粘合劑層(a-5)的制造方法同樣地制得粘合劑層(a-16)。然后，將粘合劑層(a_16)層壓在PET膜(Lumirror60T38)的一個(gè)表面,將由實(shí)施例1得到的粘合劑層(b_l)層壓在另一表面,從而制得壓印模具固定用粘合片材。
[0180]使用上述壓印模具固定用粘合片材進(jìn)行上述的14小時(shí)的輥壓印操作，結(jié)果是粘合劑層(a-16)的粘合力過于大，將壓印模具從輥剝離時(shí)，輥上殘留有粘合劑。
[0181][比較例8]
[0182]除了將引發(fā)劑(V-601)的量改為0.01重量份以外，與實(shí)施例6的粘合劑1882HH的制造方法同樣地制得粘合劑1882HH-3。除了使用粘合劑1882HH-3代替粘合劑1882HH以外，與實(shí)施例6的粘合劑層(a-6)的制造方法同樣地制得粘合劑層(a-17)。然后，將粘合劑層(a-17)層壓在PET膜(Lumirror60T38)的一個(gè)表面，將由實(shí)施例1得到的粘合劑層(b-Ι)層壓在另一表面，從而制得壓印模具固定用粘合片材。
[0183]使用上述壓印模具固定用粘合片材進(jìn)行上述壓印操作，結(jié)果發(fā)現(xiàn)粘合劑層(a-17)的粘合力不足，在輥壓印開始后I小時(shí)左右發(fā)生剝離。
[0184][比較例9]
[0185]在具備攪拌裝置、氮?dú)鈱?dǎo)入管、溫度計(jì)和回流冷卻管的燒瓶中添加66重量份丙烯酸丁酯、3.5重量份丙烯酸2-羥基乙酯、0.5重量份丙烯酸、30重量份硅氧烷大分子(FM-0711)、150重量份乙酸乙酯。然后，在向燒瓶內(nèi)導(dǎo)入氮?dú)?0.3升/分鐘)的同時(shí)將燒瓶中的內(nèi)容物加熱至80°C，加入0.05重量份引發(fā)劑(V-601)，并在70°C下保持6小時(shí)。然后，停止供給氮?dú)?，加?50重量份乙酸乙酯，通過降低溫度使反應(yīng)結(jié)束，從而制得粘合劑1882SiH。
[0186]除了使用粘合劑1882SiH代替粘合劑1882HH以外，與實(shí)施例6的粘合劑層(a-6)的制造方法同樣地制得粘合劑層(a-18)。然后，將粘合劑層(a_18)層壓在PET膜(Lumirror60T38)的一個(gè)表面,將由實(shí)施例1得到的粘合劑層(b_l)層壓在另一表面,從而制得壓印模具固定用粘合片材。
[0187]使用上述壓印模具固定用粘合片材進(jìn)行上述壓印操作，結(jié)果發(fā)現(xiàn)粘合劑層(a-18)的粘合力不足，在輥壓印開始后I小時(shí)左右發(fā)生剝離。
[0188][比較例10]
[0189]在具備攪拌裝置、氮?dú)鈱?dǎo)入管、溫度計(jì)和回流冷卻管的燒瓶中添加95.9重量份丙烯酸丁酯、3.5重量份丙烯酸2-羥基乙酯、0.5重量份丙烯酸、0.1重量份硅氧烷大分子(FM-0711)、150重量份乙酸乙酯。然后，在向燒瓶內(nèi)導(dǎo)入氮?dú)?0.3升/分鐘)的同時(shí)將燒瓶中的內(nèi)容物加熱至80°C，加入0.05重量份引發(fā)劑(V-601)，并在70°C下保持6小時(shí)。然后，停止供給氮?dú)?，加?50重量份乙酸乙酯，通過降低溫度使反應(yīng)結(jié)束，從而制得粘合劑1882SiL0
[0190]除了使用粘合劑1882SiL代替粘合劑1882HH以外，與實(shí)施例6的粘合劑層(a-6)的制造方法同樣地制得粘合劑層(a-19)。然后，將粘合劑層(a_19)層壓在PET膜(Lumirror60T38)的一個(gè)表面,將由實(shí)施例1得到的粘合劑層(b_l)層壓在另一表面,從而制得壓印模具固定用粘合片材。
[0191]使用上述壓印模具固定用粘合片材進(jìn)行上述的14小時(shí)的輥壓印操作，結(jié)果是粘合劑層(a-19)的粘合力過于大，將壓印模具從輥剝離時(shí)，輥上殘留有粘合劑。
[0192][比較例11]
[0193]除了使用5重量份的長鏈型娃氧燒大分子(商品名X-22-2426、分子量12000、信越有機(jī)硅株式會社制)來代替硅氧烷大分子(商品名Silaplane FM-0711、分子量1000、JNC株式會社制)以外，與實(shí)施例7的粘合劑1882Si的制造方法同樣地制得粘合劑1882SiLL。
[0194]除了使用粘合劑1882SiLL來代替粘合劑1882Si以外，與實(shí)施例7的粘合劑層(a-7)的制造方法同樣地制得粘合劑層(a-20)。然后，將粘合劑層(a_20)層壓在PET膜(Lumirror60T38)的一個(gè)表面,將由實(shí)施例1得到的粘合劑層(b_l)層壓在另一表面,從而制得壓印模具固定用粘合片材。
[0195]使用上述壓印模具固定用粘合片材進(jìn)行輥壓印操作，結(jié)果發(fā)現(xiàn)粘合劑層(a-20)的粘合力不足，在輥壓印開始后I小時(shí)左右發(fā)生剝離。[表I]
【權(quán)利要求】
1.一種壓印模具固定用粘合片材，它是用于使向被轉(zhuǎn)印體按壓形成有微細(xì)的圖案的壓印模具而將該壓印模具的所述圖案形狀轉(zhuǎn)印至所述被轉(zhuǎn)印體的壓印裝置的壓印模具與壓力施加部之間固定成為一體的粘合片材，其特征在于， 包括:基材，設(shè)置在基材的一表面上的粘合劑層(A)，和設(shè)置在基材的另一表面上的粘合劑層⑶； 粘合劑層(A)被用于粘貼在壓印裝置的壓力施加部，粘合劑層(B)被用于粘貼在壓印豐吳具； 粘合劑層(B)的23°C時(shí)的粘合力>粘合劑層(A)的23°C時(shí)的粘合力； 粘合劑層(A)的23°C時(shí)的粘合力為I~10N/25mm，且在80°C、濕度65%下放置7小時(shí)后的粘合力為I~30N/25mm ;粘合劑層(B)的23°C時(shí)的粘合力為3~30N/25mm。
2.如權(quán)利要求1所述的壓印模具固定用粘合片材，其特征在于，它被用于壓印時(shí)施加于壓印模具的壓力是0.1~50MPa的壓印裝置。
3.如權(quán)利要求1或2所述的壓印模具固定用粘合片材，其特征在于，它被用于輥式壓印裝置。
4.如權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的壓印模具固定用粘合片材，其特征在于，它被用于將形成有納米級尺寸的圖案的壓印模具和壓力施加部之間固定成一體。
5.如權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的壓印模具固定用粘合片材，其特征在于，所述粘合劑層(B)含有光吸收劑和/或光穩(wěn)定劑。
6.如權(quán)利要求1~5中任一項(xiàng)所述的壓印模具固定用粘合片材，其特征在于，粘合劑層(A)中的粘合劑的粘合力為I~10N/25mm。
7.如權(quán)利要求6所述的壓印模具固定用粘合片材，其特征在于，粘合劑層(A)中的粘合劑是使(甲基)丙烯酸單體與具有交聯(lián)性官能團(tuán)的單體共聚而得的丙烯酸類共聚物。
8.如權(quán)利要求1~5中任一項(xiàng)所述的壓印模具固定用粘合片材，其特征在于，粘合劑層(A)中的構(gòu)成粘合劑的聚合物的重均分子量為80萬~180萬。
9.如權(quán)利要求1~5中任一項(xiàng)所述的壓印模具固定用粘合片材，其特征在于，粘合劑層(A)中的粘合劑是使相對于全部單體100重量份包含0.5~20重量份的含硅氧烷單體的單體進(jìn)行共聚而得的丙烯酸-硅氧烷類共聚物。
10.如權(quán)利要求1~5中任一項(xiàng)所述的壓印模具固定用粘合片材，其特征在于，粘合劑層㈧的凝膠比率為70~95%。
11.如權(quán)利要求1~5中任一項(xiàng)所述的壓印模具固定用粘合片材，其特征在于，粘合劑層(A)中，相對于粘合劑100重量份含有I~20重量份的硅油。
12.—種壓印裝置，它是向被轉(zhuǎn)印體按壓形成有微細(xì)的圖案的壓印模具而將該壓印模具的所述圖案形狀轉(zhuǎn)印至所述被轉(zhuǎn)印體的壓印裝置，其特征在于， 在將直接接觸所述被轉(zhuǎn)印體的所述壓印模具與能施加壓力的壓力施加部之間通過權(quán)利要求I~11中任一項(xiàng)所述的壓印模具固定用粘合片材固定成一體時(shí)， 使粘合劑層(B)位于所述粘合片材的基材的所述壓印模具側(cè)，使粘合劑層(A)位于該基材的壓力施加部側(cè)。
13.如權(quán)利要求12所述的壓印裝置，其特征在于，所述壓力施加部是輥式。
14.一種將壓印模具固定在壓印裝置的方法，其特征在于，將權(quán)利要求1~11中任一項(xiàng)所述的壓印模具固定用粘合片材的粘合劑層(A)粘貼在壓力施加部，再將壓印模具粘貼在所述壓印模具固定用粘合片材的粘合劑層(B)上。
15.一種將壓印模具從壓印裝置取下的方法，其特征在于，將權(quán)利要求1~11中任一項(xiàng)所述的壓印模具固定用粘合 片材的粘合劑層(A)從壓力施加部剝離。
【文檔編號】C09J133/14GK103748659SQ201280040911
【公開日】2014年4月23日 申請日期:2012年8月27日 優(yōu)先權(quán)日:2011年8月31日
【發(fā)明者】上原諭, 高橋孝德 申請人:綜研化學(xué)株式會社