-噁嗪-2-酮、N-乙 烯基-3, 5-嗎啉二酮等。作為包含N-乙烯基內(nèi)酰胺型的單體單元的聚合物的具體例，可以 舉出聚乙烯基吡咯烷酮（PVP)、聚乙烯基己內(nèi)酰胺、VP和VC的無(wú)規(guī)共聚物、VP及VC的一者 或兩者與其他乙烯基單體（例如丙烯酸系單體、乙烯基酯系單體等）的無(wú)規(guī)共聚物、包含含 有VP及VC的一者或兩者的聚合物鏈段的嵌段共聚物、接枝共聚物（例如聚乙烯基吡咯烷 酮接枝在聚乙烯醇上得到的接枝共聚物）等。作為其中優(yōu)選的例子，可以舉出乙烯基吡咯 烷酮系聚合物（PVP)。此處，乙烯基吡咯烷酮系聚合物是指VP的均聚物及VP的共聚物（例 如VP的共聚比率超過(guò)50重量％的共聚物）。乙烯基吡咯烷酮系聚合物中，VP單元的摩爾 數(shù)在全部重復(fù)單元的摩爾數(shù)中所占的比率通常為50 %以上，適宜為80 %以上（例如90 %以 上，典型為95%以上）。水溶性聚合物的全部重復(fù)單元可以實(shí)質(zhì)上由VP單元構(gòu)成。
[0070] 作為N-乙烯基鏈狀酰胺的具體例，可以舉出N-乙烯基乙酰胺、N-乙烯基丙酰胺、 N-乙烯基丁酰胺等。
[0071] 作為N-乙烯基鏈狀酰胺的具體例，可以舉出N-乙烯基乙酰胺、N-乙烯基丙酰胺、 N-乙烯基丁酰胺等。
[0072] 作為側(cè)基中具有氮原子的聚合物的其他例子，可以舉出（甲基）丙烯酸氨基乙酯、 (甲基）丙烯酸-N，N-二甲基氨基乙酯、（甲基）丙烯酸-N，N-二甲基氨基丙酯等具有氨基 的乙烯基單體（例如具有（甲基）丙烯?；膯误w）的均聚物及共聚物。
[0073] 作為此處公開的研磨用組合物中可以含有的水溶性聚合物的其他例子，可以舉出 羥乙基纖維素、羥丙基纖維素、羥乙基甲基纖維素、羥丙基甲基纖維素、甲基纖維素、乙基纖 維素、乙基羥乙基纖維素、羧甲基纖維素等纖維素衍生物及支鏈淀粉。
[0074] 對(duì)此處公開的研磨用組合物中包含的水溶性聚合物的分子量沒(méi)有特別限定。例如 可以使用重均分子量0^)為2〇〇\1〇 4以下（典型為1\1〇3~2〇〇\1〇4，例如為1\1〇3~ 150X104)的水溶性聚合物。從更好地防止聚集物的產(chǎn)生的觀點(diǎn)出發(fā)，通常優(yōu)選使用Mw小 于100X104(更優(yōu)選為80X104以下，進(jìn)一步優(yōu)選為50X10 4以下，典型為40X10 4以下，例 如為30X104以下）的水溶性聚合物。另外，從研磨用組合物的過(guò)濾性、清洗性等觀點(diǎn)出發(fā)， 可以優(yōu)選使用Mw為25X104以下（更優(yōu)選為20X10 4以下，進(jìn)一步優(yōu)選為15X10 4以下，例 如為10X104以下）的水溶性聚合物。另一方面，通常在水溶性聚合物的Mw變大時(shí)，存在 霧度降低效果變高的傾向。從這樣的觀點(diǎn)出發(fā)，通常適宜使用Mw為1X103以上的水溶性 聚合物，例如可以優(yōu)選采用Mw為IX104以上的水溶性聚合物。
[0075] 更優(yōu)選的Mw的范圍可以根據(jù)水溶性聚合物的種類而異。例如，作為水溶性聚合物 的乙烯醇系聚合物（PVA)的Mw典型為30X104以下，優(yōu)選為25X104以下，更優(yōu)選為20X104 以下，進(jìn)一步優(yōu)選為10X104以下（例如5X10 4以下，進(jìn)一步優(yōu)選為2X10 4以下）。PVA的 Mw典型為IX103以上，優(yōu)選為2X10 3以上，例如為3X10 3以上?？梢允褂肕w為IX10 4以 上的PVA。
[0076] 另外，包含氧化稀單元的水溶性聚合物的Mw優(yōu)選為50X104以下，更優(yōu)選為 30X104以下，進(jìn)一步優(yōu)選為25X10 4以下（例如10X10 4以下）。包含氧化烯單元的水溶 性聚合物的Mw典型為1X104以上。
[0077] 另外，例如含有氮原子的水溶性聚合物的Mw典型為50X104以下，優(yōu)選為40X10 4 以下，更優(yōu)選為30X104以下，進(jìn)一步優(yōu)選為10X10 4以下（例如7X10 4以下）。對(duì)含有氮 原子的水溶性聚合物的Mw的下限沒(méi)有特別限定。含有氮原子的水溶性聚合物的Mw例如為 1X103以上，典型為1X10 4以上，從霧度降低等的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為2X10 4以上，更優(yōu)選為 3X104以上。
[0078] 雖然沒(méi)有特別限定，但含有氮原子的水溶性聚合物中，對(duì)于包含具有N-(甲基）丙 烯酰基的鏈狀酰胺作為單體單元的聚合物，可以優(yōu)選采用Mw比較小的聚合物。例如，從減 少LPD等表面缺陷的觀點(diǎn)出發(fā)，Mw小于5X104的聚合物是有利的，優(yōu)選4X10 4以下的聚合 物，進(jìn)一步優(yōu)選為3X104以下的聚合物。優(yōu)選的一個(gè)方式中，作為上述聚合物，可以使用Mw 為IX104以下的聚合物。對(duì)上述聚合物的Mw的下限沒(méi)有特別限定，但通常為IX103以上， 更優(yōu)選為2X103以上，更優(yōu)選為3X10 3以上。
[0079] 雖然沒(méi)有特別限定，但含有氮原子的水溶性聚合物中，對(duì)于包含具有N-(甲基）丙 烯酰基的環(huán)狀酰胺（例如N-丙烯?；鶈徇┳鳛閱误w單元的聚合物，從降低霧度、減少表 面缺陷等觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選Mw為40X104以下的聚合物，優(yōu)選20X104以下的聚合物，進(jìn)一步 優(yōu)選10X104以下的聚合物。上述聚合物的Mw的下限沒(méi)有特別限制。從降低霧度的觀點(diǎn) 出發(fā)，Mw為IX103以上是有利的，優(yōu)選為IX104以上，更優(yōu)選為2X104以上。另外，從減 少表面缺陷的觀點(diǎn)出發(fā)，Mw為IX103以上是有利的，優(yōu)選為5X104以上，更優(yōu)選為10X10 4 以上。另外，從抑制研磨速度的下降、改善表面品質(zhì)的觀點(diǎn)出發(fā)，上述聚合物的Mw優(yōu)選為 1X103以上且40X104以下，更優(yōu)選為1X104以上且40X104以下，進(jìn)一步優(yōu)選為20X10 4 以上且40X104以下（例如為30X104以上且40X104以下）。
[0080] 此處公開的技術(shù)中，對(duì)水溶性聚合物的重均分子量（Mw)與數(shù)均分子量（Mn)的關(guān) 系沒(méi)有特別限制。從防止聚集物的產(chǎn)生等的觀點(diǎn)出發(fā)，可以優(yōu)選使用例如分子量分布（Mw/ Mn)為5.0以下的聚合物。從研磨用組合物的性能穩(wěn)定性等的觀點(diǎn)出發(fā)，水溶性聚合物的 Mw/Mn優(yōu)選為4. 0以下，更優(yōu)選為3. 5以下，進(jìn)一步優(yōu)選為3. 0以下（例如2. 5以下）。
[0081] 需要說(shuō)明的是，在原理上，Mw/Mn為1. 0以上。從原料的獲得容易性、合成容易性 的觀點(diǎn)出發(fā)，通?？梢詢?yōu)選使用Mw/Mn為1. 05以上的水溶性聚合物。
[0082] 需要說(shuō)明的是，作為水溶性聚合物的Mw及Mn，可以采用基于水系的凝膠滲透色譜 法（GPC)的值（水系，換算為聚氧化乙烯）。
[0083] <吸附比>
[0084] 此處公開的研磨用組合物的特征在于，包含以下的吸附比測(cè)定中的吸附比彼此不 同的2種水溶性聚合物。具體而言，此處公開的研磨用組合物含有吸附比小于5%的聚合 物A和吸附比為5%以上且小于95%的聚合物B(其中，不包括羥乙基纖維素）。作為聚合 物A，可以單獨(dú)或組合使用2種以上的滿足上述吸附比的水溶性聚合物。對(duì)于聚合物B也同 樣，也可以單獨(dú)或組合使用2種以上的滿足上述吸附比的水溶性聚合物。
[0085] 上述吸附比測(cè)定如下所述地進(jìn)行。更詳細(xì)而言，例如可以與后述的實(shí)施例中記載 的吸附比測(cè)定同樣地進(jìn)行，求出各水溶性聚合物的吸附比。
[0086][吸附比測(cè)定]
[0087] (1)準(zhǔn)備試驗(yàn)液L0,其包含0? 018質(zhì)量％測(cè)定對(duì)象聚合物及0? 01質(zhì)量％氨，且剩 余部分由水構(gòu)成。
[0088] (2)準(zhǔn)備試驗(yàn)液L1，其包含0. 18質(zhì)量％濃度的磨粒、0. 018質(zhì)量％濃度的上述測(cè)定 對(duì)象聚合物及〇. 01質(zhì)量％濃度的氨，剩余部分由水構(gòu)成。
[0089] (3)對(duì)上述試驗(yàn)液L1進(jìn)行離心分離處理，使上述磨粒沉淀。
[0090](4)由上述試驗(yàn)液L0中包含的上述測(cè)定對(duì)象聚合物的質(zhì)量W0和對(duì)上述試驗(yàn)液L1 實(shí)施上述離心分離處理后的上清液中包含的上述測(cè)定對(duì)象聚合物的質(zhì)量W1，通過(guò)下式算出 上述測(cè)定對(duì)象聚合物的吸附比。
[0091]吸附比（％ ) =[(W0-W1)/W0]X100
[0092] 上述離心分離處理例如可以使用BeckmanCoulterInc.制造的離心分離器、型號(hào) "AvantiHP-30I"，在以20000rpm的轉(zhuǎn)速進(jìn)行30分鐘離心分離的條件下進(jìn)行。另外，上述 試驗(yàn)液L0中包含的上述測(cè)定對(duì)象聚合物的質(zhì)量WO及對(duì)上述試驗(yàn)液L1實(shí)施上述離心分離 處理后的上清液中包含的上述測(cè)定對(duì)象聚合物的質(zhì)量W1，可通過(guò)測(cè)定上述試驗(yàn)液L1及上 述上清液的總有機(jī)碳量（T0C)來(lái)求出。T0C的測(cè)定例如可以使用島津制作所株式會(huì)社制造 的總有機(jī)碳分析儀（燃燒催化氧化方式、型號(hào)"T0C-5000A"）或其等同品進(jìn)行。
[0093] 作為測(cè)定對(duì)象聚合物的吸附比測(cè)定中使用的磨粒，理想的是使用與包含該測(cè)定對(duì) 象聚合物的研磨用組合物的磨粒相同的磨粒（例如材質(zhì)、粒徑及顆粒形狀相同的磨粒）。但 是，考慮到實(shí)用上的方便，與使用上述研磨用組合物用的磨粒進(jìn)行吸附比測(cè)定的情況比較， 在吸附比沒(méi)有較大差別的范圍內(nèi)（例如，可以說(shuō)是使用任一磨粒時(shí)測(cè)定對(duì)象聚合物的吸附 比均明顯大于5%、或者均明顯小于5%的范圍），也可以使用與研磨用組合物用的磨粒不 同的磨粒進(jìn)行吸附比測(cè)定。例如，可以使用與研磨用組合物用的磨粒的材質(zhì)相同且顆粒的 尺寸、形狀（例如平均一次粒徑、平均二次粒徑、粒徑分布、長(zhǎng)徑比、比表面積等中1個(gè)或2 個(gè)以上的特性值）略有不同的磨粒。通常而言，使用與研磨用組合物用的磨粒為同種材質(zhì)、 比表面積大致相同（例如與構(gòu)成研磨用組合物的磨粒的比表面積的差異在±10%以內(nèi)的） 磨粒進(jìn)行吸附比測(cè)定是適當(dāng)?shù)摹?br>[0094] 需要說(shuō)明的是，雖然沒(méi)有特別限定，但此處公開的技術(shù)可以優(yōu)選應(yīng)用于使用比表 面積約為20~200mm2/g(典型為50~150mm2/g)的磨粒的研磨用組合物。
[0095] 此處公開的技術(shù)中的聚合物A只要為上述吸附比測(cè)定中的吸附比小于5%的水溶 性聚合物即可，沒(méi)有特別限制。從減少聚集物、提高清洗性等觀點(diǎn)出發(fā)，可以優(yōu)選采用非離 子性的聚合物作為聚合物A。
[0096] 從更好地發(fā)揮與聚合物B組合使用的效果（例如與分別單獨(dú)使用聚合物A、聚合 物B相比提高研磨性能的效果）的觀點(diǎn)出發(fā)，聚合物A的吸附比優(yōu)選小于3%，更優(yōu)選小于 1%，可以實(shí)質(zhì)上為0%。
[0097] 作為聚合物A的一個(gè)適宜的例子，可以舉出乙烯醇系聚合物（PVA)。例如，可以優(yōu) 選采用皂化度為75摩爾％以上、更優(yōu)選為80摩爾％以上的PVA作為聚合物A。另外，可以 優(yōu)選采用皂化度為90摩爾％以上、更優(yōu)選為95摩爾％以上（典型為超過(guò)95摩爾％，例如 超過(guò)98%摩爾）的？￥4作為聚合物4。？￥六的1^優(yōu)選為1\10 3以上，更優(yōu)選為2\103以 上，例如為3X103以上。優(yōu)選的一個(gè)方式中，PVA的Mw優(yōu)選為IX10 4以上且15X10 4以下， 更優(yōu)選為10X104以下，進(jìn)一步優(yōu)選為5X10 4以下（典型為3X10 4以下）。
[0098] 作為聚合物A的其他適宜的例子，可以舉出包含氧化烯單元且滿足上述吸附比的 聚合物。作為所述聚合物的具體例，可以舉出聚氧化乙烯。作為其他例子，可以舉出在使吸 附比為小于5%的范圍內(nèi)將氧化乙烯與其他氧化烯共聚而得到的聚氧化烯。作為聚合物A 的包含氧化烯單元的聚合物的Mw優(yōu)選為1X104以上且30X104以下，更優(yōu)選為25X104以 下，進(jìn)一步優(yōu)選為20X104以下（例如10X10 4以下）。
[0099] 聚合物A可以單獨(dú)使用1種，或者組合2種以上使用。此處公開的研磨用組合物 可以優(yōu)選以至少包含PVA作為聚合物A的方式（例如僅包含1種或2種以上的PVA作為聚 合物A的方式）實(shí)施。
[0100] 此處公開的技術(shù)中的聚合物B只要是上述吸附比測(cè)定中的吸附比為5%以上且小 于95%的水溶性聚合物即可，沒(méi)有特別限制。從減少聚集物、提高清洗性等觀點(diǎn)出發(fā)，可以 優(yōu)選采用非離子性的聚合物作為聚合物B。
[0101] 從更好地發(fā)揮與聚合物A組合使用的效果（例如，與分別單獨(dú)使用聚合物A、聚合 物B相比提高研磨性能的效果）的觀點(diǎn)出發(fā)，聚合物B的吸附比優(yōu)選為8%以上，更優(yōu)選為 10%以上，進(jìn)一步優(yōu)選為12%以上。另外，出于同樣的理由，從聚合物B的吸附比匕減去 聚合物A的吸附比得的值（PB-PA)優(yōu)選為5%以上，更優(yōu)選為7%以上，進(jìn)一步優(yōu)選為 10%以上。另外，可能存在以下情況：即使聚合物A、B的吸附比之差過(guò)大，兩者的組合使用 效果也趨向于減弱。從這樣的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選的一個(gè)方式中，上述吸附比的差（PB_PA)可以 為80%以下，更優(yōu)選為70%以下（例如60%以下）。
[0102] 作為聚合物B的例子，可以適當(dāng)采用上述包含氧化烯單元的聚合物及含有氮原子 的聚合物中吸附比為5%以上且小于95%的聚合物。雖然沒(méi)有特別限定，但作為包含N-乙 烯基型的單體單元的聚合物B的適宜的例子，可以舉出N-乙烯基內(nèi)酰胺型單體的均聚物及 共聚物（例如聚乙烯基吡咯烷酮）。另外，作為包含N-(甲基）丙烯?；偷膯误w單元的聚 合物B的適宜的例子，可以舉出N-烷基（甲基）丙烯酰胺的均聚物及共聚物（例如聚異丙 基丙烯酰胺）、N-羥基烷基（甲基）丙烯酰胺的均聚物及共聚物（例如聚羥基乙基丙烯酰 胺）、具有N-(甲基）丙烯?；沫h(huán)狀酰胺的均聚物及共聚物（例如聚丙烯?；鶈徇?。
[0103] 作為聚合物B的Mw，優(yōu)選為IX104以上且50X10 4以下，從過(guò)濾性的觀點(diǎn)出發(fā)，更 優(yōu)選為25X104以下，進(jìn)一步優(yōu)選為20X10 4以下（例如為10X10 4以下）。另外，從降低霧 度的觀點(diǎn)出發(fā)，聚合物B的Mw為1. 5X104以上是有利的，優(yōu)選為2. 0X10 4以上，更優(yōu)選為 3. 0X104以上，進(jìn)一步優(yōu)選為3. 5X10 4以上。
[0104] 雖然沒(méi)有特別限定，但此處公開的技術(shù)可以優(yōu)選以如下的方式實(shí)施：聚合物B的 Mw(MwB)和聚合物A的Mw(MwA)在數(shù)值上沒(méi)有極其明顯的差距的范圍，具體而言麻8和Mw&的 數(shù)量級(jí)一致。
[0105] 此處公開的技術(shù)中，對(duì)聚合物A和聚合物B的使用量之比（也可以作為研磨用組 合物中的含量之比來(lái)把握）沒(méi)有特別限定。從更好地發(fā)揮組合使用聚合物A和聚合物B的 效果的觀點(diǎn)出發(fā)，使它們的使用量比（A:B)以質(zhì)量基準(zhǔn)計(jì)為5:95~95:5是適當(dāng)?shù)模瑑?yōu)選為 10:90 ~90:10 (例如為 20:80 ~80