專利名稱：人工搬運(yùn)車的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種人工搬運(yùn)車(MGV)，特別是涉及一種能夠在任何潔凈度的環(huán)境下使用，以便搬運(yùn)具有玻璃基板的基板箱(cassette)、并可維持所載送的玻璃基板的潔凈度的人工搬運(yùn)車。
背景技術(shù)：
液晶顯示器(LCD)因具有低幅射性以及體積輕薄短小的優(yōu)點(diǎn)，所以使用上日漸廣泛。而薄膜晶體管(TFT)的液晶顯示器因?yàn)槠涓吡炼扰c大視角的特性，在高階電子產(chǎn)品上更是廣受歡迎。TFT LCD的構(gòu)成材料至少包括玻璃基板、彩色濾光片、液晶、偏光板、背光模塊和驅(qū)動(dòng)集成電路(IC)。
由于LCD制造過程相當(dāng)講究環(huán)境的潔凈度，所以LCD制造過程是在無塵室中進(jìn)行，且LCD制造過程的每一個(gè)地點(diǎn)所需要的潔凈度要求均不同。其中，所謂的潔凈度是指環(huán)境中單位體積空氣所含大于或等于某一粒徑大小的懸浮粒子的計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)，而空氣所含的懸浮粒子的大小越小，則其潔凈度越高，且潔凈度指數(shù)越低。例如，潔凈度指數(shù)為100的空氣比潔凈度指數(shù)為1000的空氣更潔凈，而潔凈度指數(shù)為1的空氣比潔凈度指數(shù)為100的空氣更潔凈。
在無塵室中，多個(gè)具有高潔凈度的玻璃基板通常被放置在一具有上開口的基板箱中。這些基板箱收藏在可維持玻璃基板的潔凈度的基板儲(chǔ)藏柜中，以待運(yùn)送至指定制造機(jī)臺(tái)上進(jìn)行處理。
一般用來搬運(yùn)基板箱的工具可區(qū)分為自動(dòng)搬運(yùn)車(AGV)和人工搬運(yùn)車。其中，自動(dòng)搬運(yùn)車可在搬運(yùn)其基板箱的過程中維持玻璃基板的潔凈度。至于人工搬運(yùn)車的結(jié)構(gòu)，以


如下。
參照?qǐng)D1A和圖1B，其中，圖1A為傳統(tǒng)的已載有基板箱114的人工搬運(yùn)車100的側(cè)視圖，而圖1B是圖1A中未載有基板箱114的人工搬運(yùn)車100的左側(cè)視圖。在圖1A和圖1B中，人工搬運(yùn)車100包括滑動(dòng)部102、定位部104、支撐部106、升降部107、承載部108、扶桿110、轉(zhuǎn)盤112和把手113。其中，滑動(dòng)部102是用以將人工搬運(yùn)車100移動(dòng)于地面上，而支撐部106垂直地配置在滑動(dòng)部102上，且滑動(dòng)部102位于支撐部106的第一直立側(cè)面106a上。此外，定位部104配置在支撐部106的第二直立側(cè)面106b上，并與滑動(dòng)部102相對(duì)，以便使操作人員將人工搬運(yùn)車100固定不動(dòng)。
升降部107以可活動(dòng)的方式配置在第一直立側(cè)面106a上，而轉(zhuǎn)盤112配置在支撐部106的頂端附近并位于第二直立側(cè)面106b上，操作人員轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)盤112以控制升降部107沿著圖1A的箭頭150所示的、平行于第一直立側(cè)面106a的方向上升或下降。另外，承載部108以可活動(dòng)的方式配置在升降部107上，用以放置基板箱114。扶桿110配置在承載部108上并靠近第一直立側(cè)面106a，而扶桿110用以供操作人員施力，使得承載部108可以沿著圖1A的箭頭160所示的、垂直于第一直立側(cè)面106a的方向來回移動(dòng)在升降部107上。所以，升降部107的升降和承載部108的移動(dòng)可利于操作人員取出基板儲(chǔ)藏柜中的基板箱114，或?qū)⒒逑?14放置回基板儲(chǔ)藏柜中。此外，把手113配置在支撐部106的頂端附近，并位于第二直立側(cè)面106b上，作為操作人員移動(dòng)人工搬運(yùn)車100時(shí)的施力處。
由于基板箱114具有一上開口以及承載部108上是開放空間，使得基板箱114內(nèi)的玻璃基板外露，并與外界空氣接觸。當(dāng)載有基板箱114的人工搬運(yùn)車100由操作人員推動(dòng)于不同潔凈度的環(huán)境時(shí)，容易導(dǎo)致玻璃基板受到外界的污染，進(jìn)而影響玻璃基板的潔凈度和品質(zhì)。因此，經(jīng)由人工搬運(yùn)車100所搬運(yùn)的玻璃基板通常不能適于在高潔凈度環(huán)境下操作，如化學(xué)氣相沉積(CVD)制造過程和物理氣相沉積(PVD)制造過程，限制了人工搬運(yùn)車100的使用范圍。另外，當(dāng)自動(dòng)搬運(yùn)車或基板儲(chǔ)藏柜發(fā)生故障時(shí)，基于維持玻璃基板的潔凈度的前提下，操作人員也不能使用人工搬運(yùn)車100來搬運(yùn)基板箱114，導(dǎo)致生產(chǎn)線發(fā)生延遲現(xiàn)象，大大影響LCD的制造過程。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于此，本發(fā)明的目的是提供一種人工搬運(yùn)車，其可以在任何潔凈度的環(huán)境下使用來運(yùn)送基板箱，并且維持所載送的基板箱內(nèi)的玻璃基板的潔凈度。另外，本發(fā)明的人工搬運(yùn)車還可在自動(dòng)搬運(yùn)車或基板儲(chǔ)藏柜有問題時(shí)提供適當(dāng)?shù)闹С?，以便將玻璃基板運(yùn)送到高潔凈度的制造工位，擺脫傳統(tǒng)的人工搬運(yùn)車的使用范圍的限制。
根據(jù)本發(fā)明的目的，提出一種人工搬運(yùn)車，其至少包括承載部、后板、頂板和三遮布。承載部用以置放一基板箱，基板箱內(nèi)具有至少一玻璃基板。后板垂直地配置在承載部上，而頂板與后板垂直連接并位于承載部的上方，頂板具有相互連接的三端。三遮布以可卷回的方式配置在三端下，而三遮布可被拉下與承載部扣接，使得展開的三遮布、承載部、后板和頂板包圍基板箱。
根據(jù)本發(fā)明的再一目的，提出一種人工搬運(yùn)車，用以載送一基板箱，基板箱具有至少一玻璃基板。人工搬運(yùn)車至少包括滑動(dòng)部、支撐部、升降部、承載部、后板、頂板、三遮布和高效能微?？諝膺^濾器?；瑒?dòng)部使人工搬運(yùn)車在地面上移動(dòng)，而支撐部垂直地配置在滑動(dòng)部上。升降部可沿著平行于支撐部的直立側(cè)面的方向以升降的方式配置在直立側(cè)面上，并位于滑動(dòng)部的上方。承載部可沿著垂直于直立側(cè)面的方向以移動(dòng)的方式配置在升降部上，用以置放基板箱。后板垂直地配置在承載部上并靠近直立側(cè)面，頂板與后板垂直連接并位于承載部的上方，且頂板具有相互連接的三端。三遮布以可卷回的方式配置在三端下，而三遮布可被拉下與承載部扣接，使得展開的三遮布、承載部、后板和頂板包圍基板箱。高效能微?？諝膺^濾器配置在頂板中，將外界空氣吸入于展開的三遮布、承載部、后板和頂板所形成的封閉結(jié)構(gòu)中，并加以過濾。

圖1A表示傳統(tǒng)的已載有基板箱的人工搬運(yùn)車的側(cè)視圖；圖1B表示圖1A的未載有基板箱的人工搬運(yùn)車的左側(cè)視圖；圖2A表示依照本發(fā)明的較佳實(shí)施例的已載有基板箱的人工搬運(yùn)車的側(cè)視圖；圖2B表示圖2A的未載有基板箱的人工搬運(yùn)車的左側(cè)視圖；圖3A表示圖2A的三遮布被拉下扣住時(shí)，人工搬運(yùn)車的部分前視圖；圖3B表示圖2A的三遮布被拉下扣住時(shí)，人工搬運(yùn)車的部分左側(cè)視圖；圖3C表示圖2A的三遮布被拉下扣住時(shí)，人工搬運(yùn)車的部分后視圖。
具體實(shí)施例方式
為使本發(fā)明的上述目的、特征、和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉一較佳實(shí)施例，并結(jié)合附圖作詳細(xì)說明如下。
本發(fā)明提供一能在任何潔凈度的環(huán)境下使用的人工搬運(yùn)車(MGA)，其可保護(hù)所載送的基板箱內(nèi)的玻璃基板免于外露而受到外界污染，并維持玻璃基板的潔凈度。
參照?qǐng)D2A和圖2B，其中，圖2A表示依照本發(fā)明的較佳實(shí)施例的已載有基板箱214的人工搬運(yùn)車200的側(cè)視圖，而圖2B表示圖2A的未置有基板箱214的人工搬運(yùn)車200的左側(cè)視圖。在圖2A和圖2B中，人工搬運(yùn)車200至少包括滑動(dòng)部202、定位部204、支撐部206、升降部207、承載部208、扶桿210、轉(zhuǎn)盤212、把手213、后板222、頂板224、遮布226a、228a和230a、高效能微?？諝?HEPA)過濾器232以及電池234。
其中，滑動(dòng)部202用以使人工搬運(yùn)車200移動(dòng)在地面上，支撐部206垂直地配置在滑動(dòng)部202上，且滑動(dòng)部202位于支撐部206的第一直立側(cè)面206a上。此外，定位部204配置在支撐部206的第二直立側(cè)面206b上，并與滑動(dòng)部202相對(duì)，用以使操作人員將人工搬運(yùn)車200固定不動(dòng)。
升降部207以可活動(dòng)的方式配置在第一直立側(cè)面206a上，且轉(zhuǎn)盤212配置在支撐部206的頂端附近，并位于第二直立側(cè)面206b上。當(dāng)操作人員轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)盤212時(shí)，操作人員即可控制升降部207沿著圖2A的箭頭250所示的、平行于第一直立側(cè)面206a的方向上升或下降。另外，承載部208以可活動(dòng)的方式配置在升降部207上，用以放置基板箱214，且扶桿210配置在承載部208上并靠近第一直立側(cè)面206a。當(dāng)操作人員施力于扶桿210時(shí)，操作人員即可控制承載部208沿著圖2A的箭頭260所示的、垂直于第一直立側(cè)面206a的方向來回移動(dòng)于升降部207上。此外，把手213配置在支撐部206的頂端附近，并位于第二直立側(cè)面206b上，用以作為操作人員移動(dòng)人工搬運(yùn)車200時(shí)的施力處。
后板222垂直地配置在承載部208上，并靠近扶桿210和第一直立側(cè)面206a，使得扶桿210位于后板222和第一直立側(cè)面206a之間。其中，后板222的下緣兩端可具有軟性塑料板242a和242b，使得人工搬運(yùn)車200在取放基板箱214時(shí)具有足夠的空間。并緩沖基板箱214由基板儲(chǔ)藏柜進(jìn)入承載部208時(shí)所產(chǎn)生的力，達(dá)到防震的效果。頂板224與后板222垂直連接，且頂板224位于承載部208的上方，使得后板222和頂板224如一倒立的“L”字型結(jié)構(gòu)。甚至后板222和頂板224可以是一體成型的結(jié)構(gòu)。頂板224具有相互連接的三端，如第一端224a、第二端224b和第三端224c，而遮布226a、228a和230a以可自動(dòng)卷回的方式分別配置在頂板第一端224a、第二端224b和第三端224c下。例如，本發(fā)明可以在第一端224a、第二端224b和第三端224c下分別配置遮布滾動(dòng)條部226b、228b和230b，分別作為遮布226a、228a和230a自動(dòng)卷回的收藏處。
當(dāng)遮布226a、228a和230a被拉下時(shí)，展開的遮布226a、228a和230a的一端與承載部208的邊緣或底面扣接。且展開的遮布226a、228a、230a、后板222、頂板224和承載部208形成一封閉結(jié)構(gòu)，以包圍基板箱214，如圖3A、圖3B、圖3C所示，使得基板箱214可以與外界隔絕，從而達(dá)到保護(hù)玻璃基板潔凈度的功效。其中，圖3A、圖3B和圖3C分別表示圖2A的遮布226a、228a和230a被拉下扣住時(shí)的人工搬運(yùn)車200的部分前視圖、左側(cè)視圖和后視圖。
再參考圖2A～2B，高效能微粒空氣過濾器232配置在頂板224中，將外界空氣由上而下吸入在展開的遮布226a、228a、230a、后板222、頂板224和承載部208所形成的封閉結(jié)構(gòu)內(nèi)，并加以過濾所吸入的空氣。達(dá)到維持封閉結(jié)構(gòu)內(nèi)的潔凈度，避免產(chǎn)生玻璃基板被污染的現(xiàn)象。其中，電池234配置在定位部204上并與高效能微粒空氣過濾器232電連接，給高效能微粒空氣過濾器232提供電力。此外，電池234剛好可以與后板222、頂板224、高效能微?？諝膺^濾器232、遮布226a、228a和230a達(dá)到重力平衡，維持人工搬運(yùn)車200的車身穩(wěn)定性。
再參考圖3A～3C，軟性塑料板242a和242b各具有數(shù)個(gè)通孔240，有利于展開的遮布226a、228a、230a、后板222、頂板224和承載部208所形成的封閉結(jié)構(gòu)內(nèi)的空氣流通和懸浮粒子的排出，并維持封閉結(jié)構(gòu)內(nèi)的潔凈度。需要注意的是，展開的遮布226a、228a、230a的下緣各具有數(shù)個(gè)通孔240，如圖3A～3C所示，通孔240使高效能微粒空氣過濾器232所吸入的空氣，排出于展開的遮布226a、228a、230a、后板222、頂板224和承載部208所形成的封閉結(jié)構(gòu)外。例如，遮布226a具有102個(gè)孔徑大小為20公厘(mm)的通孔240，而遮而228a和230a具有120個(gè)孔徑大小為20公厘的通孔240，軟性塑料板242a和242b各具有36個(gè)孔徑大小為20公厘的通孔240。
這樣，操作人員可以在任何潔凈度的環(huán)境下，推動(dòng)載有基板箱214的人工搬運(yùn)車200基板箱214內(nèi)的玻璃基板，從而不會(huì)受到外界的污染。所以，經(jīng)由本發(fā)明的人工搬運(yùn)車200所搬運(yùn)的玻璃基板，可以適用于高潔凈度環(huán)境下所操作的制造過程，如化學(xué)氣相沉積(CVD)制造過程和物理氣相沉積(PVD)制造過程，擺脫傳統(tǒng)的人工搬運(yùn)車100只能使用在某些特定潔凈度環(huán)境中的限制。
然而本領(lǐng)域的技術(shù)人員也可以了解本發(fā)明的技術(shù)并不局限于此。例如，遮布226a、228a和230a可由透明材質(zhì)或塑料材質(zhì)構(gòu)成，如是透明材質(zhì)所構(gòu)成的遮布，將可以使操作人員感受操作上并無視野的阻礙。后板222可由壓克力板構(gòu)成，甚至后板222可以是黃色壓力板。其中，人工搬運(yùn)車200可具有一風(fēng)量傳感器，其配置在操作人員可目視觀測(cè)的地方，并與高效能微?？諝膺^濾器232電連接，用以顯示高效能微?？諝膺^濾器232的風(fēng)量大小。當(dāng)高效能微粒空氣過濾器232的風(fēng)量過小時(shí)，表示電池234的電力不足。這時(shí)，風(fēng)量傳感器將發(fā)出警告信息，提醒操作人員必須更換電池234或充電。甚至本發(fā)明也可在頂板224上再加裝幾個(gè)HEPA過濾器，以加強(qiáng)空氣的過濾效果。當(dāng)然，本發(fā)明也可以在后板222中加裝骨架結(jié)構(gòu)，以強(qiáng)化后板222的結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明上述實(shí)施例所揭露的人工搬運(yùn)車，具有下列優(yōu)點(diǎn)1.其展開的三遮布、后板、頂板和承載部所形成的封閉結(jié)構(gòu)，使得人工搬運(yùn)車能夠在任何潔凈度的環(huán)境下使用，以維持所載送的基板箱內(nèi)的玻璃基板的潔凈度。
2.其在頂板配置高效能微?？諝膺^濾器，使得玻璃基板所在環(huán)境的潔凈度增加。
3.可在自動(dòng)搬運(yùn)車或基板儲(chǔ)藏柜發(fā)生問題時(shí)提供適當(dāng)?shù)闹С?，避免產(chǎn)生上一個(gè)制造過程的基板箱不能送至下一個(gè)制造過程的現(xiàn)象，以及機(jī)臺(tái)停滯的問題，保持生產(chǎn)線的暢通。
4.在自動(dòng)搬運(yùn)車太忙碌時(shí)給予適當(dāng)?shù)闹С?，并達(dá)到產(chǎn)品流暢的效果。
綜上所述，雖然本發(fā)明已以一較佳實(shí)施例揭示，但其并非用以限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的實(shí)質(zhì)和范圍，可作出各種更動(dòng)與變型，因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍以后附的權(quán)利要求所界定。
權(quán)利要求
1.一種人工搬運(yùn)車，至少包括一承載部，用以置放一基板箱，該基板箱具有至少一玻璃基板；一后板，垂直地配置在承載部上；一頂板，與后板垂直連接并位于承載部的上方，頂板具有相互連接的三端；以及三遮布，以可卷回的方式配置在三端下，而三遮布可被拉下與承載部扣接，使得展開的三遮布、承載部、后板和頂板包圍基板箱。
2.如權(quán)利要求1所述的人工搬運(yùn)車，其中人工搬運(yùn)車還包括一滑動(dòng)部，用以將人工搬運(yùn)車移動(dòng)在地面上；一支撐部，垂直地配置在滑動(dòng)部上，支撐部具有一直立側(cè)面；以及一升降部，沿著平行于直立側(cè)面的方向以升降的方式配置在直立側(cè)面上，并位于滑動(dòng)部的上方，其中，升降部上配置有可沿著垂直于直立側(cè)面的方向而移動(dòng)的承載部，且后板靠近直立側(cè)面。
3.如權(quán)利要求2所述的人工搬運(yùn)車，其中人工搬運(yùn)車還包括一轉(zhuǎn)盤，配置在支撐部的另一直立側(cè)面上，用以供一操作人員轉(zhuǎn)動(dòng)以便控制升降部的上升或下降；以及一扶桿，配置在承載部上，并位于后板和直立側(cè)面之間，操作人員施力在扶桿上并控制承載部的移動(dòng)。
4.如權(quán)利要求3所述的人工搬運(yùn)車，其中人工搬運(yùn)車還包括一定位部，配置在另一直立側(cè)面上，用以供操作人員將人工搬運(yùn)車固定不動(dòng)。
5.如權(quán)利要求4所述的人工搬運(yùn)車，其中人工搬運(yùn)車還包括一高效能微?？諝膺^濾器，配置在頂板中，將外界空氣吸入于展開的三遮布、承載部、后板和頂板所形成的封閉結(jié)構(gòu)中，并加以過濾。
6.如權(quán)利要求5所述的人工搬運(yùn)車，其中人工搬運(yùn)車還包括一電池，配置在定位部上并與高效能微粒空氣過濾器電連接，電池給高效能微粒空氣過濾器提供電力。
7.如權(quán)利要求6所述的人工搬運(yùn)車，其中人工搬運(yùn)車還包括一風(fēng)量傳感器，與高效能微?？諝膺^濾器電連接，顯示高效能微?？諝膺^濾器的風(fēng)量大小。
8.如權(quán)利要求1所述的人工搬運(yùn)車，其中三遮布由透明材料構(gòu)成。
9.如權(quán)利要求1所述的人工搬運(yùn)車，其中后板是一壓克力板。
10.如權(quán)利要求1所述的人工搬運(yùn)車，其中三遮布具有數(shù)個(gè)通孔。
11.如權(quán)利要求1所述的人工搬運(yùn)車，其中后板的下緣具有兩軟性塑料板，兩軟性塑料板具有數(shù)個(gè)通孔。
12.如權(quán)利要求1所述的人工搬運(yùn)車，其中人工搬運(yùn)車還包括三遮布滾動(dòng)條部，配置在三端下，作為三遮布被卷回時(shí)的收藏處。
13.一種人工搬運(yùn)車，用以載送一基板箱，該基板箱具有至少一玻璃基板，該人工搬運(yùn)車至少包括一滑動(dòng)部，其使人工搬運(yùn)車在地面上移動(dòng)；一支撐部，垂直地配置在滑動(dòng)部上，支撐部具有一直立側(cè)面；一升降部，沿著平行于直立側(cè)面的方向以升降的方式配置在直立側(cè)面上，并位于滑動(dòng)部的上方；一承載部，沿著垂直于直立側(cè)面的方向以移動(dòng)的方式配置在升降部上，用以置放基板箱；一后板，垂直地配置在承載部上并靠近直立側(cè)面；一頂板，與后板垂直連接并位于承載部的上方，該頂板具有相互連接的三端；三遮布，以可卷回的方式配置在三端下，三遮布可被拉下與承載部扣接，使得展開的三遮布、承載部、后板和頂板包圍基板箱；以及一高效能微?？諝膺^濾器，配置在頂板中，將外界空氣吸入于展開的三遮布、承載部、后板和頂板所形成的封閉結(jié)構(gòu)中，并加以過濾。
14.如權(quán)利要求13所述的人工搬運(yùn)車，其中人工搬運(yùn)車還包括一轉(zhuǎn)盤，配置在支撐部的另一直立側(cè)面上，用以供一操作人員轉(zhuǎn)動(dòng)以便控制升降部的上升或下降；一扶桿，配置在承載部上，并位于后板和直立側(cè)面之間，操作人員施力在扶桿上并控制承載部的移動(dòng)；以及一定位部，配置在另一直立側(cè)面上，用以供操作人員將人工搬運(yùn)車固定不動(dòng)。
15.如權(quán)利要求14所述的人工搬運(yùn)車，其中人工搬運(yùn)車還包括一電池，配置在定位部上并與高效能微?？諝膺^濾器電連接，電池給高效能微粒空氣過濾器提供電力。
16.如權(quán)利要求15所述的人工搬運(yùn)車，其中人工搬運(yùn)車還包括一風(fēng)量傳感器，與高效能微?？諝膺^濾器電連接，顯示高效能微?？諝膺^濾器的風(fēng)量大小。
17.如權(quán)利要求13所述的人工搬運(yùn)車，其中三遮布由透明材料構(gòu)成。
18.如權(quán)利要求13所述的人工搬運(yùn)車，其中后板是一壓克力板。
19.如權(quán)利要求13所述的人工搬運(yùn)車，其中三遮布具有數(shù)個(gè)通孔。
20.如權(quán)利要求13所述的人工搬運(yùn)車，其中后板的下緣具有兩軟性塑料板，且該兩軟性塑料板具有數(shù)個(gè)通孔。
全文摘要
一種人工搬運(yùn)車，至少包括承載部、后板、頂板和三遮布。承載部放置一基板箱，基板箱具有至少一玻璃基板。后板垂直地配置在承載部上，而頂板與后板垂直連接并位于承載部的上方，頂板具有相互連接的三端。三遮布以可卷回的方式配置在三端下，三遮布可被拉下與承載部扣接，使得展開的三遮布、承載部、后板和頂板形成一封閉結(jié)構(gòu)，以包圍基板箱，從而維持玻璃基板的潔凈度，并避免玻璃基板受到污染。
文檔編號(hào)B62B11/00GK1521074SQ0310444
公開日2004年8月18日 申請(qǐng)日期2003年2月14日 優(yōu)先權(quán)日2003年2月14日
發(fā)明者陳契名 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司