專利名稱：基板輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種基板輸送裝置，尤其涉及一種在制造平板顯示器基板的 各種工序的輸送線中，可連續(xù)輸入及輸出基板的基板輸送裝置。
背景技術(shù)：
通常，用于平板顯示器的玻璃基板(以下稱"基板")是通過蒸鍍、蝕 刻、剝離、清洗、漂洗等一系列工序來制造。所述各制造工序中均設(shè)有輸送 裝置，其沿著輸送線依次輸送多個基板，并進行相應的作業(yè)。
所述輸送裝置是常用滾筒式輸送機結(jié)構(gòu)，其在輸送線上配置相隔一定距 離的多個輸送輥，而基板能夠置放在所述輸送輥的上面，并在此狀態(tài)下可移 動。
而且，所述輸送裝置與緩沖單元連接，所述緩沖裝置可對應于輸送線投 入及輸出基板。
所述緩沖單元，分別位于輸送線的投入及輸出位置上，而且通過上/下操 作，將基板裝載于輸送輥上，或從輸送輥卸載，并藉此緩沖方式進行基板的 投入及輸出。
所述緩沖單元主要有兩種類型的緩沖結(jié)構(gòu)。所述兩種結(jié)構(gòu)中，其中一種 緩沖單元的結(jié)構(gòu)如下，即，在輸送輥之間設(shè)置與基板底面接觸而用于支撐基
板的多個提升銷(lift-pin)，各提升銷則接收驅(qū)動源所傳遞的動力而進行 上/下移動動作。
而另一種緩沖單元則使用眾所周知的機械臂，所述機械臂設(shè)置在輸送輥 之間，并在此狀態(tài)下，可以進行用于緩沖基板的上/下移動動作。
但是，具有上述結(jié)構(gòu)的現(xiàn)有緩沖單元，由于其提升銷或機械臂設(shè)置在所 述各輸送裝置的輸送輥之間，并在其狀態(tài)下進行上/下移動動作，因此這種結(jié) 構(gòu)，例如，在基板未脫離輸送線的投入或輸出位置時，受到該基板的干擾， 而無法連續(xù)進行為投入或輸出下一個基板的上/下移動動作，從而在基板的緩沖作業(yè)中需要等待過多的時間。
特別是，對于這種輸送線進行投入或輸出基板的緩沖工序中需要等待過 多的時間，這是降低生產(chǎn)效率和作業(yè)效率的主要因素。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供一種易于進行基板的緩 沖作業(yè)，尤其是在進行緩沖作業(yè)時可連續(xù)投入和輸出基板，從而將等待時間 大幅縮短的基板輸送裝置。
為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種基板輸送裝置，其包括 基板輸送單元，其配置有隔開設(shè)置的多個輸送輥，并且在所述多個輸送 輥的上面以水平或傾斜狀態(tài)輸送基板；
緩沖臂，其可放置基板，并且通過上/下移動向所述輸送輥移交基板或從
所述輸送輥上承接基板；
支架，其具備使所述緩沖臂上/下移動的驅(qū)動單元，并且固定所述緩沖臂， 使所述緩沖臂可在能夠移交或承接基板的狀態(tài)下移動；
狀態(tài)變換單元，其通過鉸接方式連接所述緩沖臂和支架，并且產(chǎn)生旋轉(zhuǎn) 力，使所述緩沖臂以鉸接部為基準進行旋轉(zhuǎn)而改變其狀態(tài)。
本發(fā)明基板輸送裝置，可連續(xù)進行向輸送線移交基板或與此相反從輸送 線承接基板的緩沖臂的上/下移動動作，因此，不僅大幅縮短了基板的移交或 承接操作后產(chǎn)生的等待時間，而且可以提高基板輸送效率從而能夠提高工作 效率和生產(chǎn)效率。


圖1是本發(fā)明實施例的基板輸送裝置整體結(jié)構(gòu)的截面圖。
圖2是用于說明圖l中緩沖臂的上/下移動的示意圖。
圖3是用于說明圖1中支架結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖4及圖5是用于說明本發(fā)明實施例的基板輸送裝置的狀態(tài)變換單元結(jié)構(gòu) 的示意圖。
圖6及圖7是本發(fā)明實施例的基板輸送裝置的基板移交作業(yè)中，緩沖臂進 行向下操作前狀態(tài)的示意圖。圖8及圖9是本發(fā)明實施例的基板輸送裝置的基板移交作業(yè)中，緩沖臂進 行向下操作后狀態(tài)的示意圖。
圖10、圖11及圖12是本發(fā)明實施例的基板輸送裝置移交基板后，緩沖臂
進行向上操作狀態(tài)的示意圖。
圖13是用于說明圖5中狀態(tài)變換單元的其他操作實施例的示意圖。 圖14是用于說明本發(fā)明另一實施例的基板輸送裝置結(jié)構(gòu)的示意圖。
具體實施例方式
下面，參照

本發(fā)明的優(yōu)選實施例，在所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠 實施的范圍內(nèi)進行說明。
然而，本發(fā)明可具有各種不同的實施方式而并不局限于在此示出的實施
圖l是本發(fā)明實施例的基板輸送裝置整體結(jié)構(gòu)的剖視圖，附圖符號2表示 緩沖臂，而所述緩沖臂2位于輸送裝置F上方，所述輸送裝置F構(gòu)成用于輸送基 板G的輸送線。
所述輸送裝置F，采用了一般結(jié)構(gòu)，即，由多個輸送輥R構(gòu)成，而且，當 所述多個輸送輥R接收從電機R1傳遞的旋轉(zhuǎn)力而旋轉(zhuǎn)時，可使基板G在水平或 傾斜放置于所述輸送裝置F上面的狀態(tài)下移動。
而且，所述輸送裝置F放置在一般支撐架上，例如，如圖l所示的支撐架 Fl上，并與地面相隔一定距離。
如圖1所示，所述緩沖臂2，向所述輸送輥R上面移交基板G，或與此相反 從所述輸送輥R承接基板G，從而起到一種搬運臺的作用，所述緩沖臂2由多個 臂組成，而中間隔著所述輸送輥R，所述多個臂相互成組。
如圖2所示，所述各緩沖臂2，當經(jīng)過相隔一定距離排列著的輸送輥R間時， 能夠進行移交或承接基板G的上/下移動動作，在此過程中，可以與所述各輸 送輥R不接觸并放置基板G。
所述各緩沖臂2包括多個支撐銷P，而所述多個支撐銷P設(shè)置在相隔一定距 離的至少兩個位置上，并且以如圖2所示的豎立狀態(tài)分別固定于所述緩沖臂2 上。
所述各支撐銷P的頂端與基板G的底面接觸，可以大致以水平狀態(tài)放置基 板G。
而且，所述多個支撐銷P被排列在所述緩沖臂2上，且其能夠與基板G的底 面接觸而抑制基板G的下垂。
如圖1所示，所述緩沖臂2分別安裝在兩個支架4上，并可沿著所述支架4 進行上/下移動而進行基板G的移交或承接。所述上/下移動，可以通過一個電 機組的驅(qū)動而同時完成，也可以通過常用的動力傳遞方式來分別完成。
而且，雖然附圖中未示出，但是，當所述緩沖臂2進行上/下移動時，為 了避免所述支撐架F1與所述各輸送輥R之間產(chǎn)生干擾，切除了與此相對應的部 分支撐架。
所述支架4，包括上/下移動驅(qū)動單元6，其用于產(chǎn)生使所述緩沖臂2上/下 移動的動力。而作為一個例子，如圖3示，所述支架4中間隔著所述輸送裝置F， 并分別以豎立狀態(tài)設(shè)置。
所述上/下移動驅(qū)動單元6產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)動力或直線動力，以使所述緩沖臂2能
夠進行上/下移動。
為此，本實施例中，如圖3所示，在所述支架4內(nèi)側(cè)，垂直方向豎立的滾 珠螺桿S1的一端與電機M1軸相連接，并且輸送頭S2以螺合方式套接于所述滾 珠螺桿S1，當滾珠螺桿S1正向、反向旋轉(zhuǎn)時，所述輸送頭S2通過螺紋上下移 動，從而使所述緩沖臂2進行上/下移動。
如圖4所示，所述支架4的內(nèi)側(cè)設(shè)有通道L，以便引導所述輸送頭S2，使其 沿著所述通道L進行上/下移動。
以上說明了所述上/下移動驅(qū)動單元6使用了產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)力的電機Ml和滾珠 螺桿S1的例子，但本發(fā)明并不局限于此。
例如，雖然附圖中未示出，也可以采用所述輸送頭S2與氣缸的活塞桿相 連，并通過活塞桿的直線往返運動來進行上/下移動的結(jié)構(gòu)。
另外，所述緩沖臂2，通過狀態(tài)變換單元8改變其狀態(tài)，并且固定在所述 支架4上。
為此，本實施例中，如圖3及圖4所示，所述輸送頭S2和所述緩沖臂2的連 接部是以鉸接方式連接，并在該鉸接部H中設(shè)置產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)力的驅(qū)動源M2，所述 緩沖臂2接收所述驅(qū)動源M2傳遞的旋轉(zhuǎn)力，而以鉸接部H為基準旋轉(zhuǎn)。
所述驅(qū)動源M2可使用一般的步進電機、齒輪電機、擺動氣缸等，并在鉸
接部H上連接所述電機或氣缸，以便通過鉸接部H向所述緩沖臂2傳遞旋轉(zhuǎn)力， 從而使所述緩沖臂2以鉸接部H為基準，向垂直或水平方向改變其固定狀態(tài)(如 圖5所示)。
所述狀態(tài)變換單元8，在移交或承接基板G時，按下述方式改變所述緩沖 臂2的固定狀態(tài)，以便可以連續(xù)投入和輸出基板G。
首先，如圖6及圖7所示，在投入所述基板G時，水平固定所述緩沖臂2。 這種水平狀態(tài)可以使所述緩沖臂2裝載基板并沿著所述支架4向下移動時，如 圖8及圖9所示，向所述輸送輥R上面移交并投入放在所述緩沖臂上的基板G。
投入所述基板G后，如圖10所示，以鉸接部H為基準進行旋轉(zhuǎn)，將所述緩 沖臂2改變?yōu)樨Q直狀態(tài)。由于這種豎直狀態(tài)，在已移交的基板G未離開移交位 置的狀態(tài)下，如圖11所示，所述緩沖臂可以進行向上移動，因此，如圖12所 示，所述緩沖臂2可以接收另一基板G1，并可以連續(xù)進行為投入所述基板G1的 一系列上/下移動動作。
另外，雖然附圖中未示出，在輸出基板G時，所述緩沖臂2以水平狀態(tài)固 定在所述輸送輥R的下方。這種狀態(tài)可以使所述緩沖臂2進行向上移動時，能 夠承接置放于所述輸送輥R上面的基板G，以便順利輸出所述基板G。
輸出所述基板G后，使所述緩沖臂2以鉸接部H為基準進行旋轉(zhuǎn)，而將其改 變?yōu)樨Q立狀態(tài)。由于這種豎直狀態(tài)，當其他基板G進入所述輸送輥R的基板G承 接位置上時，所述緩沖臂2也能夠向下移動，從而可以連續(xù)進行為承接及輸出 基板G的一系列上/下移動動作。
因此，如上所述，在進行投入或輸出基板G的作業(yè)時，通過所述狀態(tài)變換 單元8，所述緩沖臂2變?yōu)樗交蜇Q直狀態(tài)，并可以連續(xù)進行上/下移動動作， 從而可以連續(xù)投入或輸出基板G。
另外，上述實施例說明及圖示了所述緩沖臂2的狀態(tài)經(jīng)所述狀態(tài)變換單元 8從水平變?yōu)榇怪睜顟B(tài)時，如圖5所示，以鉸接部H為基準，沿下側(cè)旋轉(zhuǎn)半徑進 行旋轉(zhuǎn)而變?yōu)榇怪睜顟B(tài)的例子，但是本發(fā)明并不局限于此。
例如，如圖13所示，所述緩沖臂2也可以以鉸接部H為基準，沿上側(cè)旋轉(zhuǎn) 半徑，按附圖中所示的方向旋轉(zhuǎn)而變?yōu)樨Q直狀態(tài)。為改變緩沖臂2狀態(tài)的旋轉(zhuǎn)， 只要是根據(jù)作業(yè)情況可以連續(xù)進行上/下移動動作的均可采用。
如圖14所示，上述本發(fā)明實施例的基板輸送裝置可進一步包括間距調(diào)整
單元IO。
所述間距調(diào)整單元IO，可調(diào)整中間隔著所述輸送裝置F的兩個支架4的間距。
為此，本實施例中，如圖14所示，用于調(diào)整間距、兩側(cè)形成有右螺絲T1 和左螺絲T2的螺桿12，其與所述兩個支架4相螺合，并通過螺桿12的正向、反 向旋轉(zhuǎn)來調(diào)整所述兩個支架4的間距。
用于調(diào)整間距的所述螺桿12，其一端與產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)力的電機14軸相連接， 并且接收從所述電機14傳遞的動力，而進行正向、反向旋轉(zhuǎn)。
另外，所述兩個支架4，可設(shè)置在直線滑動導軌等常用的導軌16上，以便 在調(diào)整間距時，使其在地面上容易移動。
具有上述結(jié)構(gòu)的間距調(diào)整單元IO，在進行移交和承接基板G的作業(yè)時，可 根據(jù)基板G大小和形狀來調(diào)整所述兩個支架4的間距而使其變窄或變寬，從而 易于將所述支架4上的緩沖臂2的放置位置變?yōu)樗椒较颉?br> 上面說明及圖示了通過具有右螺絲T1和左螺絲T2的用于調(diào)整間距的螺桿 12來調(diào)整所述兩個支架4的間距的例子，但是本發(fā)明并不局限于此。
例如，雖然附圖中未示出，但是，可在所述各支架4上連接氣缸的活塞桿， 并通過活塞桿的直線往返運動來調(diào)整所述兩個支架4的間距而使其變窄或變 寬。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明實施例的基板輸送裝置，可連續(xù)進行向輸送線移 交基板或與此相反從輸送線承接基板的緩沖臂的上/下移動動作，因此，不僅 大幅縮短了基板的移交或承接操作后產(chǎn)生的等待時間，而且可以提高基板輸 送效率從而能夠提高工作效率和生產(chǎn)效率。
權(quán)利要求
1.一種基板輸送裝置，其特征在于包括基板輸送單元，其配置有隔開設(shè)置的多個輸送輥，并且在所述輸送輥上面以水平或傾斜的狀態(tài)輸送基板；緩沖臂，其上面可放置基板，且通過上/下移動向所述輸送輥移交基板或從所述輸送輥上承接基板；支架，其具備將所述緩沖臂上/下移動的驅(qū)動單元，并固定所述緩沖臂，使所述緩沖臂可在能夠移交或承接基板的狀態(tài)下移動；狀態(tài)變換單元，其通過鉸接方式連接所述緩沖臂和支架，并且產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)力，使所述緩沖臂以鉸接部為基準進行旋轉(zhuǎn)而改變其狀態(tài)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基板輸送裝置，其特征在于 所述狀態(tài)變換單元，在移交或承接基板時，使所述緩沖臂以相互平行狀態(tài)位于所述輸送輥的上方或下方；將基板移交或承接之后，再將所述緩沖臂的狀態(tài)改變?yōu)榇怪睜顟B(tài)，以便 使之能夠脫離所述輸送輥的上方或下方。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基板輸送裝置，其特征在于所述狀態(tài)變換單元，將步進電動機、齒輪電動機、旋轉(zhuǎn)氣缸中的任意一 種作為驅(qū)動源。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基板輸送裝置，其特征在于所述上/下移動驅(qū)動單元，將連接在電機軸的螺桿或氣缸所產(chǎn)生的動力傳 遞給所述緩沖臂，以使所述緩沖臂進行上/下運動。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基板輸送裝置，其特征在于所述狀態(tài)變換單元，以鉸接部為基準，沿上側(cè)或下側(cè)的旋轉(zhuǎn)半徑，旋轉(zhuǎn) 所述緩沖臂而改變其狀態(tài)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基板輸送裝置，其特征在于 進一步包括用于調(diào)整所述兩個支架之間距離的間距調(diào)整單元， 而所述間距調(diào)整單元，通過產(chǎn)生并傳遞動力而使所述兩個支架之間的距離變窄或變寬。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板輸送裝置，其特征在于所述間距調(diào)整單元，將連接于電機軸的螺桿或氣缸中的任意一種作為驅(qū) 動源。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種在制造平板顯示器用基板的各工序的輸送線中，可連續(xù)投入及輸出基板的基板輸送裝置。所述基板輸送裝置包括基板輸送單元，其配置有相隔一定距離的多個輸送輥，并且在所述輸送輥上面以水平或傾斜狀態(tài)輸送基板；緩沖臂，其上面可放置基板，并且通過上/下移動向所述輸送輥移交基板或從所述輸送輥上承接基板；支架，其具備將所述緩沖臂上/下移動的驅(qū)動單元，并且用于固定所述緩沖臂，使所述緩沖臂移動到可以移交或承接基板的狀態(tài)；以及狀態(tài)變換單元，其通過鉸接方式連接所述緩沖臂和支架，并且產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)力，使所述緩沖臂以鉸接部為基準進行旋轉(zhuǎn)而改變其狀態(tài)。
文檔編號B65G49/06GK101339316SQ200710123230
公開日2009年1月7日 申請日期2007年7月2日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月2日
發(fā)明者李碩周 申請人:顯示器生產(chǎn)服務(wù)株式會社