專利名稱:搬運臺車運行軌道的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種安裝了搬運臺車可移動的搬運臺車運行軌道。
背景技術(shù):
日本專利文獻(xiàn)1記載著一種搬運系統(tǒng)該搬運系統(tǒng)的OHT (Overhead Hoist Transport)搬運臺車懸垂在頂棚下懸掛的軌道(搬運 臺車運行軌道)下,OHT搬運臺車可沿著軌道移動(搬運臺車可移動 地固定在搬運臺車運行軌道)。
日本專利文獻(xiàn)l:特開2005-112563號公報(圖l)
發(fā)明內(nèi)容
目前,在生產(chǎn)半導(dǎo)體或液晶裝置的凈化室等內(nèi)使用這樣的搬運臺 車時,為了擴大生產(chǎn)規(guī)模,進(jìn)行與最新一代設(shè)備相應(yīng)的生產(chǎn)線更新等, 有時在現(xiàn)有的工廠廠房內(nèi)增設(shè)新車間、有時在現(xiàn)有的工廠場地內(nèi)增設(shè) 新生產(chǎn)設(shè)備。上述這樣的搬運系統(tǒng), 一般是這樣構(gòu)成的,在頂棚附近 沿著水平方向架設(shè)軌道,使OHT搬運臺車可在水平方向移動,在這樣 的新車間、新設(shè)備的增設(shè)中,往往出現(xiàn)架設(shè)在頂棚下的軌道需要設(shè)置 高低差。
日本專利文獻(xiàn)1的搬運系統(tǒng),在這種情形下,對于軌道高度變化 地部分,就要根據(jù)高低差而傾斜配設(shè)構(gòu)成軌道的多個軌道構(gòu)件,此時, 需要一邊確定每個軌道構(gòu)件的傾斜角一邊加以配設(shè),于是增加作業(yè)工 時,同時也容易產(chǎn)生作業(yè)錯誤。另外,為了使軌道成為沿著平滑曲線 的狀態(tài),而配設(shè)在該部分的軌道構(gòu)件比水平配設(shè)的軌道構(gòu)件要短,同 時需要使用多個這樣長度短小軌道構(gòu)件來形成傾斜部分,因此在傾斜
部分將軌道懸掛在頂棚的作業(yè)工時增加了。
本發(fā)明的目的在于提供一種作業(yè)工時少且也難以發(fā)生作業(yè)錯誤的 具有高低差的搬運臺車運行軌道。
本發(fā)明的搬運臺車運行軌道是一種安裝了搬運臺車可移動的搬運 臺車運行軌道,具有:上端固定在頂棚并向下方延伸的多個懸掛構(gòu)件; 向一個方向延伸,用懸掛構(gòu)件以規(guī)定間隔支撐的第一直線軌道構(gòu)件;以 及在垂直面內(nèi)彎曲并沿著其彎曲方向延伸的,用懸掛構(gòu)件以規(guī)定間隔 支撐的彎曲軌道模件,彎曲軌道模件與第一直線軌道模件在有關(guān)這些延 伸方向的端面互相連接一起,彎曲軌道模件由表面上具有在垂直面內(nèi)沿 著其延伸方向彎曲的彎曲面的彎曲構(gòu)件;有關(guān)一個方向延伸并在其延 伸方向的長度比第一直線軌道構(gòu)件短,固定在彎曲構(gòu)件的多個第二直線 軌道構(gòu)件而構(gòu)成,多個第二直線軌道構(gòu)件與彎曲面接觸排列,使其相 鄰的第二直線軌道構(gòu)件延伸方向互相不同,同時連接配置使有關(guān)第二 直線軌道構(gòu)件延伸方向的端面彼此互相對向,搬運臺車受接連配置的 第二軌道構(gòu)件導(dǎo)向運行。
根據(jù)此,在搬運臺車運行軌道具有高低差時,能夠?qū)⒏叨茸兓?部分用彎曲軌道模件相連接。此處,彎曲軌道模件可使多個第二直線 軌道構(gòu)件與彎曲面接觸排列,通過固定在彎曲構(gòu)件而形成,當(dāng)形成搬 運臺車運行軌道的高度變化部分時,就不需要確定每一個第二直線軌
道構(gòu)件的傾斜角,從而減少作業(yè)工時,同時也難以發(fā)生作業(yè)錯誤。進(jìn) 而,在彎曲軌道模件方面,由于多個第二直線軌道構(gòu)件固定在彎曲構(gòu) 件,通過用懸掛構(gòu)件以規(guī)定間隔支撐彎曲軌道模件,能夠?qū)澢壍?模件懸掛在頂棚下,不需要分別用懸掛構(gòu)件支撐多個第二直線軌道構(gòu) 件,既減少了懸掛構(gòu)件數(shù),同時也減少了懸掛彎曲軌道模件用的作業(yè) 工時。
另外,在本發(fā)明的搬運臺車運行軌道,彎曲部構(gòu)件也可以是具有
朝向第二直線部件彎曲形成凸部彎曲面的凸型彎曲構(gòu)件,和具有朝向 與第二直線軌道構(gòu)件相反側(cè)形成凸部彎曲面的凹型彎曲構(gòu)件之中的一 種。據(jù)此,無論只能將彎曲構(gòu)件配置在第二直線軌道構(gòu)件的上方或者 下方兩者之一的情況,都能使用凸型彎曲構(gòu)件或凹型彎曲構(gòu)件作為彎 曲構(gòu)件,制造向上彎曲而形成凸部的彎曲軌道模件以及向下彎曲而形 成凸部的彎曲軌道模件的任意一種,能夠用彎曲軌道模件連接搬運臺 車運行軌道的高度變化的所有部分。
圖1是本發(fā)明實施方式的搬運臺車系統(tǒng)1的概略結(jié)構(gòu)圖。 圖2為圖1的搬運臺車運行軌道的側(cè)視圖。 圖3為圖2的第一直線軌道構(gòu)件概略立體圖。
圖4為圖2的彎曲軌道模件概略立體圖。
圖5為圖4的凹型彎曲構(gòu)件及凸型彎曲構(gòu)件與第二直線軌道構(gòu)件 相連接部分的剖視圖。
圖6為從OHT搬運臺車搬運方向觀察時的直線軌道構(gòu)件及 OHT搬運臺車的側(cè)視圖。
符號說明
2搬運臺車運行軌道
5OHT搬運臺車
8第一直線軌道構(gòu)件
10凹型彎曲構(gòu)件
11凸型彎曲構(gòu)件
10a、 lla彎曲面
12第二直線軌道構(gòu)件
14懸掛構(gòu)件
41、 42彎曲軌道模件
具體實施例方式
以下說明有關(guān)本發(fā)明的優(yōu)選實施方式。
圖1是本發(fā)明實施方式的搬運臺車系統(tǒng)1的概略結(jié)構(gòu)圖。搬運系 統(tǒng)1設(shè)置在用于制造半導(dǎo)體的凈化室內(nèi),如圖1所示,并具有搬運臺
車運行軌道2與OHT搬運臺車5,通過OHT搬運臺車5沿著搬運臺車 運行軌道2移動將在制造的各個工序之間及各個工序內(nèi)對加工途中的 中間制品進(jìn)行搬運。
搬運臺車運行軌道2具有工序間軌道6、多條分叉軌道7及多 條工序內(nèi)軌道4。工序間軌道6在進(jìn)行半導(dǎo)體制造的各工序的圖1上下 方向排列的多個間場(《^ ) 9的左方,是圖1的上向方向上延伸的環(huán) 狀軌道,搬運臺車5沿著工序間軌道6在間場9之間移動。多條分叉 軌道7是對應(yīng)于多個間場9從工序之間軌道6起分叉的軌道,搬運臺 車5從工序間軌道6向?qū)?yīng)于搬運目的地間場9的分叉軌道7移動, 沿著分叉軌道7移動到間場9的上方。多條工序內(nèi)軌道4與多條分叉 軌道7相連接,并在各個間場9上呈環(huán)狀延伸。各個間場9內(nèi)設(shè)有貯 存制造半導(dǎo)體用的半導(dǎo)體制造裝置36及用OHT搬運臺車5搬運的 FOUP (Front-Opening Unified Pod) 34 (參照圖6)的貯存庫37。半導(dǎo) 體制造裝置36設(shè)有用于裝卸FOUP34 (參照圖6)的小舟35,貯存庫 37設(shè)有用于將FOUP34搬出搬入貯存庫37的出庫小舟38及入庫小舟 39。 OHT搬運臺車5沿著工序內(nèi)軌道4移動到小舟35、出庫小舟38 及入庫小舟39的上方。因此,如后所述,能夠?qū)⒃谶M(jìn)行某一工序的間 場9中制成的零件等裝載到FOUP34 (參照圖6)上,然后搬運到進(jìn)行 其他工序的間場9。
接著,用圖2 圖5說明搬運臺車運行軌道2的結(jié)構(gòu)。圖2為圖1 的搬運臺車運行軌道2的側(cè)視圖。圖3為圖2的第一直線軌道構(gòu)件8 的概略立體圖。圖4 (a)為圖2的彎曲軌道模件41的概略立體圖,圖 4 (b)為圖2的彎曲軌道模件42的概略立體圖。圖5為圖4 (a)的凹 型彎曲構(gòu)件10與第二直線軌道構(gòu)件12的連接部分和圖4 (b)的凸型
彎曲構(gòu)件11與第二直線軌道構(gòu)件12的連接部分的剖視圖。
如圖2所示,搬運臺車運行軌道2具有第一直線軌道構(gòu)件8,
兩種類型的彎曲軌道模件41、 42及懸掛構(gòu)件14。如圖3所示,第一直 線軌道構(gòu)件8具有大致長方體的外形形狀,并在其延伸方向的兩個端 面上分別具有開口 8b,同時下面向第一直線軌道構(gòu)件8的延伸方向延 伸,兩端形成具有與兩個開口 8b連接的開口 8c的空間8a。并且,如 后所述,OHT搬運臺車5的初級側(cè)線圈21、初級側(cè)鐵心23、次級側(cè)線 圈24、分叉滾輪27及運行車輪28 (參照圖6)在空間8a內(nèi)移動。
如圖2、圖4(a)所示,彎曲構(gòu)件模塊41由五個第二直線軌道構(gòu) 件12和凹型彎曲構(gòu)件10構(gòu)成,在垂直面內(nèi)彎曲,并沿著其彎曲方向 延伸。第二直線軌道構(gòu)件12其延伸方向的長度具有比第一直線軌道構(gòu) 件8短的大致長方體的外形形狀,在其延伸方向的兩個端面各自具有 開口 12b,同時下面形成沿著第二直線軌道構(gòu)件12的延伸方向延伸, 兩端具有與兩個開口 12b連接的開口 12c的空間12a。并且,如后說述, OHT搬運臺車5的初級側(cè)線圈21、初級側(cè)鐵心23、次級側(cè)線圈24、 分叉滾輪27及運行車輪28 (參照圖6)在空間12a內(nèi)移動。
凹型彎曲構(gòu)件IO其上面構(gòu)成平面狀,同時下面構(gòu)成了沿著其延伸 方向在垂直面內(nèi)平滑彎曲而向上形成凸部(凸部朝著與第二直線軌道 構(gòu)件12的相反側(cè))的彎曲面10a。五個第二直線軌道構(gòu)件12與彎曲面 10a接觸排列并固定在凹型彎曲構(gòu)件IO,使其相鄰的第二直線軌道構(gòu)件 12的延伸方向相互不同,相鄰的第二直線軌道構(gòu)件12的開口 12b (在 延伸方向的端面)彼此互相對向地連接配置。此處,相鄰的第二直線 軌道構(gòu)件12的開口 12b之間存在間隙,但該間隙很小,而搬運臺車5 跨過該間隙(即跨過相鄰的第二直線軌道構(gòu)件12的開口 12b)可被五 個第二直線軌道構(gòu)件12導(dǎo)向移動,所以間隙并不能成為實用上的問題。 并且,通過調(diào)整第二直線軌道構(gòu)件12的端面形狀,也可以不產(chǎn)生這樣 的間隙。并且,五個第二直線軌道構(gòu)件5整體沿著彎曲面10a構(gòu)成了平
滑地彎曲的軌道。還有,如圖5所示,第二直線軌道構(gòu)件12與凹型彎
曲構(gòu)件10,通過從凹型彎曲構(gòu)件10 —側(cè)將螺母16安裝在從第二直線 軌道構(gòu)件12的空間12a內(nèi)的頂面貫通第二直線軌道構(gòu)件12及凹型彎曲 構(gòu)件IO并伸出的螺栓15上加以固定。此處,螺栓15與螺母16,通過 配置在空間12a的頂面下方的墊圈19、配置在凹型彎曲構(gòu)件上面之上 的墊圈17及彈簧墊圈18來夾住第二直線軌道構(gòu)件12與凹型彎曲構(gòu)件 IO并固定兩者。
如圖2、圖4 (a)所示,彎曲軌道模件42由五個第二直線軌道構(gòu) 件12和凸型彎曲構(gòu)件11構(gòu)成,在垂直面內(nèi)彎曲并沿著該彎曲方向延 伸。第二直線軌道構(gòu)件12具有和彎曲軌道模件41相同的結(jié)構(gòu)。凸型 彎曲構(gòu)件11其上面構(gòu)成為平面狀,同時其下面沿著延伸方向在垂直面 內(nèi)平滑彎曲而向下形成凸部(向第二直線軌道構(gòu)件12凸出)的彎曲面 11a。五個第二直線軌道構(gòu)件12與彎曲面lla接觸并固定在凸型彎曲構(gòu) 件ll,使其相鄰的第二直線軌道構(gòu)件12的延伸方向相互不同,以便相 鄰的第二直線軌道構(gòu)件12的開口 12b (在延伸方向的端面)彼此互相 對向連接配置。此處,相鄰的第二直線軌道構(gòu)件12的開口 12b之間存 在間隙,但該間隙很小,搬運臺車5跨過該間隙就可以被五個第二直 線軌道構(gòu)件12導(dǎo)向移動。而且,第二直線軌道構(gòu)件12也可以制成不 產(chǎn)生這樣間隙的端面形狀。并且,五個第二直線軌道構(gòu)件12整體沿著 彎曲面lla構(gòu)成了平滑彎曲的軌道。還有,如圖5所示,第二直線軌道 構(gòu)件12與凸型彎曲構(gòu)件IO和第二直線軌道構(gòu)件12與凹型彎曲構(gòu)件10 相同,可用螺栓15、螺母16、墊圈17、 19及彈簧墊圈18固定一起。
多個懸掛構(gòu)件14,其上端固定在頂棚從上端向下方延伸,同時其 下端固定在位于第一直線軌道構(gòu)件8的延伸方向的兩端附近及彎曲軌 道模件41、 42的延伸方向的兩端的第二直線軌道構(gòu)件12上(以規(guī)定 間隔支撐)。因此,第一直線軌道構(gòu)件8及彎曲軌道模件41、 42通過 懸掛構(gòu)件14懸掛在頂棚下。
如圖2所示,搬運臺車運行軌道2成了有高低差的軌道,在相同
高度水平方向延伸的部分配設(shè)多個第一直線軌道構(gòu)件8,同時相鄰的第 一直線軌道構(gòu)件8的開口 8b彼此連接一起。在高度有變化的部分,與 處于較高位置的第一直線軌道構(gòu)件8相鄰配設(shè)彎曲軌道模件41的同時 將開口 8b和開口 12b連接起來,而與處于較低位置的第一直線軌道構(gòu) 件8相鄰配設(shè)彎曲軌道模件42的同時將開口 8b和開口 12b連接起來。 還有,彎曲軌道模件41與彎曲軌道模件42通過第一直線軌道構(gòu)件8 互相連接一起。
此處,通過將五個第二直線軌道構(gòu)件12沿著彎曲面10a及彎曲面 11a排列并固定在凹型彎曲構(gòu)件10及凸型彎曲構(gòu)件ll就可以形成彎曲 軌道模件41、 42,因為能夠使用彎曲軌道模件41、 42連接搬運臺車運 行軌道2的高度變化部分,所以對于高度變化部分不需要一邊確定每 個第二直線軌道構(gòu)件12的傾斜角一邊配設(shè)第二直線軌道構(gòu)件12,從而 減少作業(yè)工時并且也難以發(fā)生作業(yè)錯誤。另外,在彎曲構(gòu)件模塊41、 42方面,將五個第二直線軌道構(gòu)件12分別固定在凹型彎曲構(gòu)件10、 凸型彎曲構(gòu)件11,因此通過將位于彎曲軌道模件41、 42的延伸方向兩 端的兩個第二直線軌道構(gòu)件12固定在懸掛構(gòu)件14的下端(通過用懸 掛構(gòu)件14以規(guī)定間隔支撐彎曲軌道模件41、 42),能夠懸掛彎曲軌道 模件41、 42而不需要用懸掛構(gòu)件14分別懸掛五個第二直線軌道構(gòu)件 12,所以懸掛構(gòu)件14的件數(shù)少,并且減少了用于懸掛的作業(yè)工時。
接著,使用圖6說明OHT搬運臺車5。圖6為從OHT搬運臺 車5搬運方向觀察時的直線軌道構(gòu)件8、 12及OHT搬運臺車5的側(cè)視 圖。而且,為了規(guī)更容易明白附圖,在圖6中將空間8a (空間12a)畫 得比圖3 圖5還要大。
如圖6所示,OHT搬運臺車5具有在空間8a、 12a內(nèi)移動的初 級側(cè)線圈21、初級側(cè)鐵心23、兩個次級側(cè)線圈24、兩個分叉滾輪27、 兩個運行車輪28,以及跨過開口 8c、 12c并配置在向下方延伸的部分
的定位機構(gòu)29、懸垂式輪帶30和升降體31。
初級側(cè)線圈21與初級側(cè)鐵心23設(shè)置在以平面觀察的OHT搬運臺 車5的大致中央部分。另一方面,直線軌道構(gòu)件8、 12內(nèi)與初級側(cè)線 圈21、初級側(cè)鐵心23相對應(yīng),在空間8a、 12a頂面的大致中央部分配 置了沿延伸方向延伸的次級側(cè)永久磁鐵22。
在和直線軌道構(gòu)件8、 12垂直方向的空間8a、 12a的兩個側(cè)面附 近分別形成兩個次級側(cè)線圈24。另一方面,在這兩條直線軌道構(gòu)件8、 12的兩個側(cè)面,分別對應(yīng)于次級側(cè)線圈24,設(shè)有沿直線軌道構(gòu)件8、 12的延伸方向延伸的兩條初級側(cè)供電線25。
并且,對OHT搬運臺車5而言,要將供給初級側(cè)電線25的電力 作為以非接觸感應(yīng)的感應(yīng)電力供給次級側(cè)線圈24,用所供的電力,由 初級側(cè)線圈21、初級側(cè)鐵心23及次級側(cè)永久磁鐵22構(gòu)成的線性電機 產(chǎn)生OHT搬運臺車5的運行推力。
兩個分叉滾輪27分別配置在次級側(cè)線圈24的下方。另一方面,直 線軌道構(gòu)件8、 12的工序間軌道6和分叉軌道7的分叉口 (參照圖2) 附近部分,對應(yīng)于分叉滾輪27,在初級側(cè)供給電線25下方形成了沿直 線軌道構(gòu)件8、 12的延伸方向延伸的分叉導(dǎo)軌26,該分叉導(dǎo)軌26從和 設(shè)有初級側(cè)供電線25的相同側(cè)面向水平方向伸出,其頂端具有向下方 曲折的剖面形狀。并且,兩個滾輪27就整體地可在圖6的左右方向上 移動,并有如下構(gòu)成只有兩個分叉滾輪27中的一個有選擇地與對應(yīng) 的分叉導(dǎo)軌26扣合。因此,能夠選擇是否使OHT搬運臺車5從工序 間軌道6移動到分叉軌道7上。
兩個運行車輪28分別設(shè)置在兩個分叉滾輪27的下方,其直徑應(yīng) 超過上述的彎曲軌道模件41、 42之中相鄰的第二直線軌道構(gòu)件12的 開口 12b之間所形成的間隙大小范圍。運行車輪28被支撐在空間8a、
12a的底面上,通過運行車輪28的轉(zhuǎn)動,運行車輪28和初級側(cè)線圈21、 初級側(cè)鐵心23、次級側(cè)線圈24及分叉滾輪27 —起在空間8a、 12a內(nèi) 轉(zhuǎn)動,因此,OHT搬運臺車5沿著直線軌道構(gòu)件8、 12移動。
定位機構(gòu)29進(jìn)行OHT搬運臺車5和小舟35的定位。懸垂皮帶 30從定位機構(gòu)29的下面向下方延伸,其下端裝有升降體31。并且, 通過懸垂皮帶30的巻起或者放出,就可使升降體31沿著上下方向移 動。
升降體31的下面設(shè)有用于夾持FOUP34的夾片器32。 FOUP34是 一種將所搬運的硅大圓片等半導(dǎo)體襯底裝入內(nèi)部的箱,其上面形成與 夾片器32扣合的法蘭盤33。并且,在FOUP34的搬運中,夾片器32 與法蘭盤33扣合并夾持FOUP34,到達(dá)搬運目的地的小舟35、入庫小 舟39時,解除和法蘭盤33的扣合,然后將FOUP34裝到小舟35、入 庫小舟39上邊。
在這里,說明有關(guān)OHT搬運臺車5搬運FOUP34的動作。當(dāng)搬運 FOUP34的時候,首先,OHT搬運臺車5沿著搬運臺車運行軌道2,將 被搬運的FOUP34移動到某一個小舟35的上方。在目標(biāo)小舟35的上 方,OHT搬運臺車5通過定位機構(gòu)29進(jìn)行定位,定位完畢后,放出懸 垂皮帶30,使升降體31向下方移動直到夾片器32與FOUP34的法蘭 盤33接觸。并且,使夾片器32與法蘭盤33扣合后,巻起懸垂皮帶30。
接著,OHT搬運臺車5沿著搬運臺車運行軌道2移動到搬運目的 地的小舟35的上方。在搬運目的地的小舟35的上方,OHT搬運臺車 5通過定位機構(gòu)29進(jìn)行定位,當(dāng)定位完畢時,放出懸垂皮帶30,與 FOUP34 —起使升降體31向下方移動直到小舟35為止。并且,F(xiàn)OUP34 的下面到達(dá)了小舟35的時刻,解除夾片器32與法蘭盤的扣合,將 FOUP34裝到小舟35上。之后,OHT搬運臺車5巻起懸垂皮帶30,根 據(jù)下一個指令,沿著搬運臺車運行路線2進(jìn)行移動。而且,從出庫小
舟38取下FOUP34時的動作以及搬運FOUP34到入庫小舟39時的動 作也都是相同的,此處就省略其的說明。
根據(jù)上面說明的實施方式,運行軌道2設(shè)有高低差的情況下,可 用彎曲軌道模件41、 42連接高度變化的部分。此處,彎曲軌道模件41、 42可以采用分別使五個第二直線軌道構(gòu)件的彎曲面10a、 lla接觸排列 并固定在彎曲構(gòu)件IO、 ll上的辦法來形成,所以形成搬運臺車運行軌 道2的高度變化部分之際,就不需要確定每一個第二直線軌道構(gòu)件12 的傾斜角,從而減少作業(yè)工時,同時也難以發(fā)生作業(yè)錯誤。進(jìn)而,在 彎曲軌道模件41、 42方面,由于五個第二直線軌道構(gòu)件12分別固定 在凹型彎曲構(gòu)件IO、凸型彎曲構(gòu)件ll,通過將位于彎曲軌道模件41、 42的延伸方向兩端的兩條第二直線軌道構(gòu)件12固定在懸掛構(gòu)件14的 下端,能夠在頂棚下懸掛彎曲軌道模件41、 42而不需要分別用懸掛構(gòu) 件14懸掛五個第二直線軌道構(gòu)件12,所以懸掛構(gòu)件14的件數(shù)少,同 時減少懸掛的作業(yè)工時。
進(jìn)而,通過使用凹型彎曲構(gòu)件與凸型彎曲構(gòu)件作為彎曲構(gòu)件,能 夠形成具有軌道向上彎曲而形成凸部的彎曲軌道模件41,及具有軌道
向下彎曲而形成凸部的彎曲軌道模件42,因此即使只能將彎曲構(gòu)件設(shè) 置在第二直線軌道構(gòu)件12上方的情況下,也能夠全部用彎曲軌道模件 41、 42連接搬運臺車運行軌道2的高度變化部分。
以上,雖然就本發(fā)明的優(yōu)選實施方式進(jìn)行了說明,但是本發(fā)明并 非僅僅限定于上述的實施方式,在權(quán)利要求書所記載的限定范圍內(nèi)也 可進(jìn)行各種各樣的變更。例如,在本實施方式中,對于構(gòu)成彎曲軌道 模件41、 42使用了五個第二直線軌道構(gòu)件12,不過第二直線軌道構(gòu)件 12的件數(shù)并非限定于此,按照軌道高低差的程度、彎曲面10a及第二 直線軌道構(gòu)件12的延伸方向的長度,適當(dāng)選擇最佳設(shè)計值,變更應(yīng)用 也行。
另外,本實施方式中,在搬運臺車運行軌道2的高度不同的部分,
將彎曲軌道模件41連接到處于較高位置的第一直線軌道構(gòu)件8,將彎 曲軌道模件42連接到處于較低位置的第一直線軌道構(gòu)件8,并彎曲軌 道模件41和彎曲軌道模件42之間連接第一直線軌道構(gòu)件8,不過并非 限定于此,對于高低差較小的部分,直接連接彎曲軌道模件41和彎曲 軌道模件42也可。相反,對于高低差較大的部分,分別連接多個彎曲 軌道模件41及彎曲軌道模件43也可。
另外,本實施方式中說明了用于搬運OHT搬運臺車5的搬運臺車 運行軌道,不過除此之外,在用于搬運OHS (Over Head Shuttle)等其
他種類搬運臺車的搬運臺車運行軌道方面,也能應(yīng)用本發(fā)明。
權(quán)利要求
1.一種安裝搬運臺車可移動的搬運臺車運行軌道,具有上端固定在頂棚并向下方延伸的多個懸掛構(gòu)件;向一個方向延伸,用所述懸掛構(gòu)件以規(guī)定間隔支撐的第一直線軌道構(gòu)件;以及在垂直面內(nèi)彎曲并沿著其彎曲方向延伸的,用所述懸掛構(gòu)件以規(guī)定間隔支撐的彎曲軌道模件,所述彎曲軌道模件與所述第一直線軌道模件關(guān)于這些延伸方向的端面互相連接一起,所述彎曲軌道模件由表面上具有在垂直面內(nèi)沿著其延伸方向彎曲的彎曲面的彎曲構(gòu)件;和有關(guān)向一個方向延伸并在其延伸方向的長度比所述第一直線軌道構(gòu)件要短,并由固定在所述彎曲構(gòu)件的多個第二直線軌道構(gòu)件而構(gòu)成,其特征在于,多個所述第二直線軌道構(gòu)件,與所述彎曲面接觸排列,使其相鄰的所述第二直線軌道構(gòu)件延伸方向互相不同,同時連接配置使關(guān)于所述第二直線軌道構(gòu)件延伸方向的端面彼此互相對向,所述搬運臺車在所述接連配置的所述第二軌道構(gòu)件上受導(dǎo)向運行。
2.根據(jù)權(quán)利要求1記載的搬運臺車運行軌道,其特征在于,所 述彎曲構(gòu)件是具有朝向所述第二直線軌道構(gòu)件彎曲而形成凸部的所述 彎曲面的凸型彎曲構(gòu)件和具有朝向與所述第二直線軌道構(gòu)件相反側(cè)彎 曲而形成凸部的所述彎曲面的凹型彎曲構(gòu)件的兩者之一。
全文摘要
提供一種容易形成頂棚下懸掛有高低差的搬運臺車運行軌道。搬運臺車運行軌道2由頂棚下用懸掛構(gòu)件14懸掛的第一直線軌道構(gòu)件8及彎曲軌道模件41、42互相連接而構(gòu)成。彎曲軌道模件41由沿著凹型彎曲構(gòu)件10的下面形成的彎曲面10a排列五個第二直線軌道構(gòu)件12而構(gòu)成,彎曲構(gòu)件42由沿著凸型彎曲構(gòu)件11的下面形成的彎曲面11a排列五個第二直線軌道構(gòu)件12而構(gòu)成。就彎曲軌道模件41、42來說,相鄰的第二直線軌道構(gòu)件42的延伸方向不同,而五個第二直線軌道構(gòu)件12作為整體,沿著彎曲面10a、11a構(gòu)成平滑彎曲的軌道。
文檔編號B65G49/07GK101100266SQ200710137779
公開日2008年1月9日 申請日期2007年7月7日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月7日
發(fā)明者小島啟太郎, 高須俊夫 申請人:亞仕帝科技股份有限公司