專(zhuān)利名稱(chēng)：緩沖套及晶圓盒的包裝結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種緩沖套及晶圓盒的包裝結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體制造廠(chǎng)，在晶圓(wafer)出貨時(shí)，為了使wafer能夠受到很好的保護(hù)，一般是將疊放有若干晶圓的晶圓盒(wafer box)先用真空包裝袋(例如是防潮屏蔽袋)做真空包裝，然后，再放進(jìn)裝有配套緩沖套(例如是泡棉)的紙箱內(nèi)進(jìn)行封裝，泡棉的形狀與尺寸是根據(jù)晶圓盒的尺寸來(lái)做的。請(qǐng)參閱圖I和圖2，現(xiàn)有的緩沖套包括上蓋111與底座112，所述上蓋111與底座 112分別設(shè)有與所述內(nèi)部具有晶圓盒的真空包裝袋的上部與下部相匹配的第一凹槽1111與第二凹槽1121。但在實(shí)際應(yīng)用中，經(jīng)常有客戶(hù)投訴晶圓盒的包裝結(jié)構(gòu)存在漏真空的現(xiàn)象。經(jīng)過(guò)研究人員內(nèi)部做的模擬實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)確實(shí)會(huì)出現(xiàn)這種狀況，且破損的位置大多在真空包裝袋上與晶圓盒的邊角相對(duì)應(yīng)的位置。因此，目前，要求真空包裝袋的廠(chǎng)商對(duì)袋子進(jìn)行加厚，同時(shí)要求運(yùn)送晶圓盒的快遞公司在運(yùn)輸過(guò)程中對(duì)貨物以打棧板的方式來(lái)保護(hù)晶圓盒，但這兩種方式不僅會(huì)增加wafer包裝與運(yùn)輸?shù)某杀?，而且無(wú)法十分有效的避免晶圓盒漏真空的事件發(fā)生。因此，如何提供一種可以在不增加包裝與運(yùn)輸成本的情況下有效的避免晶圓盒的真空包裝袋在運(yùn)輸過(guò)程中被磨破的緩沖套是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種緩沖套及晶圓盒的包裝結(jié)構(gòu)，可以在不增加晶圓盒包裝與運(yùn)輸成本的情況下，有效的避免晶圓盒的真空包裝袋在運(yùn)輸過(guò)程中被緩沖套磨破。為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案一種緩沖套，用于放置內(nèi)部具有晶圓盒的真空包裝袋，所述緩沖套包括上蓋與底座，所述上蓋與底座分別設(shè)有與所述真空包裝袋的上部與下部相匹配的第一凹槽與第二凹槽，所述第一凹槽與所述第二凹槽的所有邊角處分別開(kāi)設(shè)一圓弧槽。優(yōu)選的，在上述的緩沖套中，所述圓弧槽的半徑是10 30毫米。優(yōu)選的，在上述的緩沖套中，所述圓弧槽的半徑是20毫米。優(yōu)選的，在上述的緩沖套中，所述上蓋上的所述第一凹槽具有四個(gè)第一圓弧槽。優(yōu)選的，在上述的緩沖套中，所述底座上的所述第二凹槽具有六個(gè)第二圓弧槽。優(yōu)選的，在上述的緩沖套中，所述六個(gè)第二圓弧槽中，四個(gè)第二圓弧槽與所述四個(gè)第一圓弧槽對(duì)應(yīng)設(shè)置，另外兩個(gè)第二圓弧槽設(shè)置于所述四個(gè)第二圓弧槽中的任意兩個(gè)之間。優(yōu)選的，在上述的緩沖套中，所述緩沖套采用泡棉。[0016]本實(shí)用新型還公開(kāi)了一種晶圓盒的包裝結(jié)構(gòu)，包括外裹于所述晶圓盒的真空包裝袋、緩沖套與外包裝盒，所述真空包裝袋安裝于所述緩沖套內(nèi)，所述緩沖套安裝于所述外包裝盒內(nèi)，所述緩沖套采用如權(quán)利要求I 6所述的緩沖套。優(yōu)選的，在上述的晶圓盒的包裝結(jié)構(gòu)中，所述真空包裝袋采用防潮屏蔽袋。優(yōu)選的，在上述的晶圓盒的包裝結(jié)構(gòu)中，所述外包裝盒采用紙箱。本實(shí)用新型提供的緩沖套及晶圓盒的包裝結(jié)構(gòu)，所述緩沖套包括上蓋與底座，所述上蓋與底座分別設(shè)有與所述真空包裝袋的上部與下部相匹配的第一凹槽與第二凹槽，通過(guò)在所述第一凹槽與所述第二凹槽的所有邊角處分別開(kāi)設(shè)一圓弧槽(包括第一圓弧槽和第二圓弧槽)，通過(guò)增設(shè)圓弧槽可以使得內(nèi)部具有晶圓盒的真空包裝袋的各個(gè)邊角處與緩沖套之間具有一緩沖空間，從而可以有效避免在運(yùn)輸過(guò)程中真空包裝袋被緩沖套磨破，即可以避免晶圓盒運(yùn)輸過(guò)程中的真空包裝袋泄露問(wèn)題的發(fā)生，確保晶圓盒運(yùn)輸過(guò)程的安全性。

本實(shí)用新型的緩沖套及晶圓盒的包裝結(jié)構(gòu)由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖I為現(xiàn)有的緩沖套的上蓋的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為現(xiàn)有的緩沖套的底座的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓盒的包裝結(jié)構(gòu)的示意圖。圖4為本實(shí)用新型一實(shí)施例的緩沖套的上蓋的結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為本實(shí)用新型一實(shí)施例的緩沖套的底座的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中，111、211-上蓋，1111、2111-第一凹槽，112、212-底座，1121、2121-第二凹槽，2112-第一圓弧槽，2122-第二圓弧槽，220-真空包裝袋，230-外包裝盒。
具體實(shí)施方式
以下將對(duì)本實(shí)用新型的緩沖套及晶圓盒的包裝結(jié)構(gòu)作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。下面將參照附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能與結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開(kāi)發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開(kāi)發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開(kāi)發(fā)工作可能是復(fù)雜與耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)僅僅是常規(guī)工作。為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說(shuō)明。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。請(qǐng)參閱圖3 圖5，其中，圖3為本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓盒的包裝結(jié)構(gòu)的示意圖，圖3中未示出緩沖套的上蓋。圖4為本實(shí)用新型一實(shí)施例的緩沖套的上蓋的結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為本實(shí)用新型一實(shí)施例的緩沖套的底座的結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)用新型提供的ー種晶圓盒的包裝結(jié)構(gòu)，包括外裹于所述晶圓盒的真空包裝袋220、緩沖套以及外包裝盒230，所述真空包裝袋220安裝于所述緩沖套內(nèi)，所述緩沖套安裝于所述外包裝盒230內(nèi)。其中，所述緩沖套，用于放置內(nèi)部具有晶圓盒的真空包裝袋220，請(qǐng)參閱圖4和圖5，所述緩沖套包括上蓋211與底座212，所述上蓋211與底座212分別設(shè)有與所述內(nèi)部具有晶圓盒的真空包裝袋220的上部與下部相匹配的第一凹槽2111與第二凹槽2121，所述第一凹槽2111與所述第二凹槽2121的所有邊角處分別開(kāi)設(shè)一圓弧槽即第一圓弧槽2112、第二圓弧槽2122。通過(guò)在所述第一凹槽2111與所述第二凹槽2121的所有邊角處分別開(kāi)設(shè)一圓弧槽，可以使得內(nèi)部具有晶圓盒的真空包裝袋220的各個(gè)邊角處與緩沖套之間具有ー緩沖空間，從而可以有效避免在運(yùn)輸過(guò)程中真空包裝袋220被緩沖套磨破，即可以避免晶圓盒運(yùn)輸過(guò)程中的真空包裝袋泄露問(wèn)題的發(fā)生，確保晶圓盒運(yùn)輸過(guò)程的安全性。 較佳的，在本實(shí)施例中，所述圓弧槽的半徑優(yōu)選10 30毫米。具體的，所述圓弧槽的半徑優(yōu)選是20毫米。經(jīng)多次試驗(yàn)表面，10 30毫米的圓弧槽的半徑設(shè)計(jì)，可以使得真空包裝袋220與緩沖套之間的緩沖效果教好，而開(kāi)設(shè)半徑為20毫米的圓弧槽的緩沖套的緩沖效果最佳。較佳的，在上述的緩沖套中，所述上蓋211上的所述第一凹槽2111具有四個(gè)第一圓弧槽2112。優(yōu)選的，在上述的緩沖套中，所述底座212上的所述第二凹槽2121具有六個(gè)第二圓弧槽2122，所述六個(gè)第二圓弧槽2122中，四個(gè)第二圓弧槽2122與所述四個(gè)第一圓弧槽2112對(duì)應(yīng)設(shè)置，另外兩個(gè)第二圓弧槽2122設(shè)置于所述四個(gè)第二圓弧槽2112中的任意兩個(gè)之間。較佳的，本實(shí)施例中，所述緩沖套采用泡棉，采用泡棉的緩沖套,材質(zhì)比較柔軟,而且比較方便裁剪。較佳的，本實(shí)施例中，所述真空包裝袋220采用防潮屏蔽袋，不但具有真空屏蔽功能，而且具有防潮功能。較佳的，本實(shí)施例中，所述外包裝盒230采用紙箱，不但質(zhì)量輕，而且包裝比較方便。綜上所述，本實(shí)用新型提供的緩沖套及晶圓盒的包裝結(jié)構(gòu)，所述緩沖套包括上蓋與底座，所述上蓋與底座分別設(shè)有與所述真空包裝袋的上部與下部相匹配的第一凹槽與第ニ凹槽，通過(guò)在所述第一凹槽與所述第二凹槽的所有邊角處分別開(kāi)設(shè)一圓弧槽，通過(guò)增設(shè)圓弧槽可以使得內(nèi)部具有晶圓盒的真空包裝袋的各個(gè)邊角處與緩沖套之間具有一緩沖空間，從而可以有效避免在運(yùn)輸過(guò)程中真空包裝袋被緩沖套磨破，即可以避免晶圓盒運(yùn)輸過(guò)程中的真空包裝袋泄露問(wèn)題的發(fā)生，確保晶圓盒運(yùn)輸過(guò)程的安全性。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)與變型而不脫離本實(shí)用新型的精神與范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改與變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)與變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種緩沖套，用于放置內(nèi)部具有晶圓盒的真空包裝袋，所述緩沖套包括上蓋與底座，所述上蓋與底座分別設(shè)有與所述真空包裝袋的上部與下部相匹配的第一凹槽與第二凹槽，其特征在于，所述第一凹槽與所述第二凹槽的所有邊角處分別開(kāi)設(shè)一圓弧槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的緩沖套，其特征在于，所述圓弧槽的半徑是10 30毫米。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的緩沖套，其特征在于，所述圓弧槽的半徑是20毫米。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的緩沖套，其特征在于，所述上蓋上的所述第一凹槽具有四個(gè)第一圓弧槽。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的緩沖套，其特征在于，所述底座上的所述第二凹槽具有六個(gè)第二圓弧槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的緩沖套，其特征在于，所述六個(gè)第二圓弧槽中，四個(gè)第二圓弧槽與所述四個(gè)第一圓弧槽對(duì)應(yīng)設(shè)置，另外兩個(gè)第二圓弧槽設(shè)置于所述四個(gè)第二圓弧槽中的任意兩個(gè)之間。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的緩沖套，其特征在于，所述緩沖套采用泡棉。
8.一種晶圓盒的包裝結(jié)構(gòu)，包括外裹于所述晶圓盒的真空包裝袋、緩沖套與外包裝盒，所述真空包裝袋安裝于所述緩沖套內(nèi)，所述緩沖套安裝于所述外包裝盒內(nèi)，其特征在于，所述緩沖套采用如權(quán)利要求I 7所述的緩沖套。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶圓盒的包裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述真空包裝袋采用防潮屏蔽袋。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶圓盒的包裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述外包裝盒采用紙箱。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種緩沖套，用于放置內(nèi)部具有晶圓盒的真空包裝袋，所述緩沖套包括上蓋與底座，所述上蓋與底座分別設(shè)有與所述真空包裝袋的上部與下部相匹配的第一凹槽與第二凹槽，所述第一凹槽與所述第二凹槽的所有邊角處分別開(kāi)設(shè)一圓弧槽。本實(shí)用新型還公開(kāi)了一種采用上述緩沖套的晶圓盒的包裝結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型通過(guò)增設(shè)圓弧槽可以使得內(nèi)部具有晶圓盒的真空包裝袋的各個(gè)邊角處與緩沖套之間具有一緩沖空間，從而可以有效避免在運(yùn)輸過(guò)程中真空包裝袋被緩沖套磨破，即可以避免晶圓盒運(yùn)輸過(guò)程中的真空包裝袋泄露問(wèn)題的發(fā)生，確保晶圓盒運(yùn)輸過(guò)程的安全性。
文檔編號(hào)B65D81/05GK202464432SQ20122007938
公開(kāi)日2012年10月3日 申請(qǐng)日期2012年3月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月5日
發(fā)明者張學(xué)良, 高海林 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司