基板夾持對(duì)位裝置和基板加工系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及夾持對(duì)位裝置，尤其涉及一種基板夾持對(duì)位裝置和基板加工系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]如圖1所示，常用的機(jī)械夾持對(duì)位裝置I通常采用在玻璃基板101的四角設(shè)置夾持滾輪102來(lái)矯正玻璃基板101的位置，從而使得玻璃基板完成定位動(dòng)作。
[0003]當(dāng)前，玻璃基板行業(yè)的發(fā)展趨勢(shì)為小厚度及大尺寸的基板。對(duì)于此類玻璃基板，其質(zhì)量較大，即需吸收的沖擊能量較大，而較小的厚度會(huì)使其抗沖擊強(qiáng)度較低，由夾持導(dǎo)致邊裂的可能性變大，從而提高了由邊裂導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢的風(fēng)險(xiǎn)。
[0004]如圖1所示，在玻璃基板101所在的平面內(nèi)，共有橫向平移、豎向平移和繞垂直玻璃基板101平面方向的轉(zhuǎn)動(dòng)的3個(gè)自由度，而玻璃基板101長(zhǎng)邊上兩側(cè)各有2個(gè)滾輪102，組成4對(duì)約束;短邊上同理，4對(duì)約束。因此玻璃基板101在定位過(guò)程中，若玻璃基板101存在轉(zhuǎn)動(dòng)偏移或移動(dòng)偏移，多個(gè)滾輪102形成的定位為過(guò)定位，容易使得夾持位置不正確，從而造成玻璃基板101卡住，產(chǎn)生邊裂。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明提供一種基板夾持對(duì)位裝置，能夠降低對(duì)玻璃基板的沖擊，并且可以減少對(duì)玻璃基板的約束，避免過(guò)定位的發(fā)生。
[0006]本發(fā)明提供一種基板夾持對(duì)位裝置，用于對(duì)玻璃基板進(jìn)行夾持對(duì)位，包括至少一個(gè)第一定位部和/或至少一個(gè)第二定位部，所述第一定位部包括桿體以及與所述桿體相連的第一滾輪，所述第二定位部包括彈簧以及與所述彈簧相連的第二滾輪，所述第一滾輪和/或所述第二滾輪用于抵靠所述玻璃基板的所述側(cè)邊。
[0007]其中，所述第一定位部的所述桿體為剛性桿體。
[0008]其中，所述第一定位部的數(shù)量亦為四個(gè)，四個(gè)所述第一定位部?jī)蓛上鄬?duì)設(shè)置。
[0009]其中，所述第二定位部的數(shù)量為八個(gè)，一個(gè)所述第一定位部和兩個(gè)所述第二定位部構(gòu)成一個(gè)定位組件，四個(gè)所述定位組件兩兩相對(duì)設(shè)置。
[0010]其中，在每一個(gè)所述定位組件中，兩個(gè)所述第二定位部位于所述第一定位部的兩側(cè)。
[0011]其中，在每一個(gè)所述定位組件中，兩個(gè)所述第二定位部位于所述第一定位部的同一側(cè)。
[0012]本發(fā)明還提供一種基板加工系統(tǒng)，包括如前述任一項(xiàng)所述的基板夾持對(duì)位裝置。
[0013]相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明通過(guò)增加滾輪，可以增大夾持對(duì)位裝置與玻璃基板的接觸面積，從而降低對(duì)玻璃基板的沖擊力，并且增設(shè)帶彈簧的滾輪，可以減少滾輪對(duì)玻璃基板的約束，還可以對(duì)玻璃基板回復(fù)中心位置起正反饋?zhàn)饔谩?br>【附圖說(shuō)明】
[0014]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0015]圖1是現(xiàn)有的基板夾持對(duì)位裝置的示意圖；
[0016]圖2是根據(jù)本發(fā)明的基板夾持對(duì)位裝置的示意圖；
[0017]圖3是根據(jù)本發(fā)明的基板夾持對(duì)位裝置在去除第二定位部后的示意圖；
[0018]圖4是根據(jù)本發(fā)明的基板夾持對(duì)位裝置在基板發(fā)生豎向偏移時(shí)的示意圖；
[0019]圖5是根據(jù)本發(fā)明的基板夾持對(duì)位裝置在基板發(fā)生旋轉(zhuǎn)偏移時(shí)的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0021]參照?qǐng)D2，示出根據(jù)本發(fā)明的基板夾持對(duì)位裝置2，用于對(duì)玻璃基板201進(jìn)行夾持對(duì)位，基板夾持對(duì)位裝置2包括第一定位部202和第二定位部203，其中，第一定位部202包括桿體2021以及與桿體2021相連的第一滾輪2022，第二定位部203包括彈簧2031以及與彈簧2031相連的第二滾輪2032。其中，第一定位部202的桿體2021為剛性桿體。如圖2所示，根據(jù)本發(fā)明的基板夾持對(duì)位裝置2包括四個(gè)第一定位部202和八個(gè)第二定位部203，其中一個(gè)第一定位部202和兩個(gè)第二定位部203構(gòu)成一個(gè)定位組件，如圖2所示，四個(gè)定位組件兩兩相對(duì)設(shè)置，并且在每一個(gè)定位組件中，兩個(gè)第二定位部203位于第一定位部202的兩側(cè)，而第一定位部202的第一滾輪2022抵靠在玻璃基板201的每個(gè)側(cè)邊的中間位置，第二定位部203的第二滾輪2032也均抵靠玻璃基板201。在夾持玻璃基板201時(shí)，第二定位部203的彈簧2031均會(huì)處于受壓狀態(tài)，以對(duì)玻璃基板201進(jìn)行夾持對(duì)位。本發(fā)明與玻璃基板201的側(cè)邊接觸的滾輪的數(shù)量共有12個(gè)，相比于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明可以增大滾輪與玻璃基板201的接觸面積，在沖擊強(qiáng)度相等的情況下，玻璃基板201受到的沖擊力會(huì)減小，因此發(fā)生邊裂的風(fēng)險(xiǎn)也會(huì)降低，特別對(duì)于小厚度和大尺寸的玻璃基板而言，尤為重要。
[0022]進(jìn)一步地，前述定位組件可以僅包括一個(gè)第一定位部202。
[0023]更進(jìn)一步地，前述定位組件可以包括一個(gè)第一定位部202和一個(gè)第二定位部203。
[0024]更進(jìn)一步地，前述定位組件可以包括一個(gè)第一定位部202和兩個(gè)第二定位部203，而兩個(gè)第二定位部203位于第一定位部202的同一側(cè)。
[0025]參照?qǐng)D3，由于本發(fā)明中帶彈簧2031的第二定位部203對(duì)玻璃基板201只施加受力，無(wú)自由度約束限制，因此對(duì)于玻璃基板201的自由度約束可簡(jiǎn)化成如圖3所示的示意圖。其中，由于第一定位部202的桿體2031是剛性桿體，因此玻璃基板201的長(zhǎng)邊和短邊上抵靠的各I個(gè)第一滾輪2022能夠分別約束玻璃基板201的橫向和豎向位移，另兩個(gè)第一滾輪2022組成另一約束約束玻璃基板201的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。因此，一共存在3個(gè)約束將玻璃基板201限制在指定位置，消除了玻璃基板201的過(guò)定位風(fēng)險(xiǎn)，減小了玻璃基板201邊裂的可能性。
[0026]此外，帶彈簧2031的第二滾輪2032不僅可以分散玻璃基板201的沖擊力，并且可以對(duì)玻璃基板201回復(fù)指定位置的運(yùn)動(dòng)，產(chǎn)生正反饋?zhàn)饔谩?br>[0027]如圖4所示，當(dāng)玻璃基板201在橫向或豎向上發(fā)生偏移時(shí)，偏移側(cè)的彈簧壓縮量比另一側(cè)大，玻璃基板201在偏移側(cè)所受的力F1大于另一側(cè)所受的力F1^在夾緊過(guò)程中，帶彈簧2031的第二滾輪2032對(duì)玻璃基板201進(jìn)行輔助對(duì)位，輔助玻璃基板201回復(fù)中心位置。玻璃基板201偏移量越大，？!與?!’的差值越大，越有助于輔助玻璃基板201回復(fù)原位，形成以原位為中心的正反饋?zhàn)詫?duì)位功能。
[0028]如圖5所示，當(dāng)玻璃基板201在所在平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)偏移時(shí)，例如繞其中心旋轉(zhuǎn)偏移一定角度，玻璃基板201的受帶彈簧2031的第二滾輪2032的擠壓側(cè)的受力為F2,另一未被擠壓側(cè)的受力為F2’，其中F2大于F2’，玻璃基板201對(duì)邊斜對(duì)側(cè)的一對(duì)受*F2形成一組力矩M，另一對(duì)受力F2’形成另一組力矩M’，由于F2大于F2’，而力臂大致相等，因此力矩M大于力矩M’，會(huì)使得玻璃基板201朝著力矩M的方向旋轉(zhuǎn)，因而玻璃基板201可以回復(fù)到原位，并且玻璃基板201旋轉(zhuǎn)角度越大，受力F2越大、F2，越小，形成的力矩M越大、M’越小1與11’的差值越大，對(duì)玻璃基板201回復(fù)原位幫助越大。
[0029]以上所揭露的僅為本發(fā)明較佳實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來(lái)限定本發(fā)明之權(quán)利范圍，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解實(shí)現(xiàn)上述實(shí)施例的全部或部分流程，并依本發(fā)明權(quán)利要求所作的等同變化，仍屬于發(fā)明所涵蓋的范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種基板夾持對(duì)位裝置，用于對(duì)玻璃基板進(jìn)行夾持對(duì)位，其特征在于，包括至少一個(gè)第一定位部和/或至少一個(gè)第二定位部，所述第一定位部包括桿體以及與所述桿體相連的第一滾輪，所述第二定位部包括彈簧以及與所述彈簧相連的第二滾輪，所述第一滾輪和/或所述第二滾輪用于抵靠所述玻璃基板的所述側(cè)邊。2.如權(quán)利要求1所述的基板夾持對(duì)位裝置，其特征在于，所述第一定位部的所述桿體為剛性桿體。3.如權(quán)利要求2所述的基板夾持對(duì)位裝置，其特征在于，所述第一定位部的數(shù)量亦為四個(gè)，四個(gè)所述第一定位部?jī)蓛上鄬?duì)設(shè)置。4.如權(quán)利要求3所述的基板夾持對(duì)位裝置，其特征在于，所述第二定位部的數(shù)量為八個(gè)，一個(gè)所述第一定位部和兩個(gè)所述第二定位部構(gòu)成一個(gè)定位組件，四個(gè)所述定位組件兩兩相對(duì)設(shè)置。5.如權(quán)利要求4所述的基板夾持對(duì)位裝置，其特征在于，在每一個(gè)所述定位組件中，兩個(gè)所述第二定位部位于所述第一定位部的兩側(cè)。6.如權(quán)利要求4所述的基板夾持對(duì)位裝置，其特征在于，在每一個(gè)所述定位組件中，兩個(gè)所述第二定位部位于所述第一定位部的同一側(cè)。7.—種基板加工系統(tǒng)，其特征在于，包括如權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的基板夾持對(duì)位目.ο
【專利摘要】本發(fā)明提供一種基板夾持對(duì)位裝置，用于對(duì)玻璃基板進(jìn)行夾持對(duì)位，包括至少一個(gè)第一定位部和/或至少一個(gè)第二定位部，所述第一定位部包括桿體以及與所述桿體相連的第一滾輪，所述第二定位部包括彈簧以及與所述彈簧相連的第二滾輪，所述第一滾輪和/或所述第二滾輪用于抵靠所述玻璃基板的所述側(cè)邊。根據(jù)本發(fā)明的基板夾持對(duì)位裝置能夠降低對(duì)玻璃基板的沖擊，并且可以減少對(duì)玻璃基板的約束，避免過(guò)定位的發(fā)生。本發(fā)明還提供一種基板加工系統(tǒng)。
【IPC分類】B65G49/06
【公開(kāi)號(hào)】CN105668234
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201610147766
【發(fā)明人】潘緒文, 劉開(kāi)欣, 葉曉龍
【申請(qǐng)人】武漢華星光電技術(shù)有限公司
【公開(kāi)日】2016年6月15日
【申請(qǐng)日】2016年3月15日