全自動(dòng)清洗機(jī)臺(tái)中的多工位上下料位移載機(jī)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本實(shí)用新型涉及一種全自動(dòng)清洗機(jī)臺(tái)中的多工位上下料位移載機(jī)構(gòu)，屬于移料設(shè)備領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體清洗設(shè)備中，為了適應(yīng)產(chǎn)能的要求，保證批次產(chǎn)品的質(zhì)量，以及提高工人效率，全自動(dòng)移料機(jī)臺(tái)的應(yīng)用越來(lái)越多，而以前經(jīng)常是單個(gè)工對(duì)應(yīng)一組上料下料位，對(duì)于一些復(fù)雜路徑的移料，則需要多組移料機(jī)構(gòu)，成本高，耗能大，不能適應(yīng)需求。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是:克服現(xiàn)有技術(shù)中的移料設(shè)備效率較低的技術(shù)問(wèn)題，提供一種安裝在全自動(dòng)機(jī)臺(tái)中的多工位上下料位移載機(jī)構(gòu)，來(lái)滿(mǎn)足整機(jī)的工藝要求。
[0004]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:
[0005]全自動(dòng)清洗機(jī)臺(tái)中的多工位上下料位移載機(jī)構(gòu)，包括裝載位、分裝位、轉(zhuǎn)向位、中間緩沖位、機(jī)械手抓取位；
[0006]所述裝載位與分裝位之間通過(guò)滑槽A連接，轉(zhuǎn)向位通過(guò)滑槽A的延展部與分裝位連接；
[0007]所述中間緩沖位包括兩個(gè)分緩沖位，其中一個(gè)分緩沖位通過(guò)滑槽B-1與分裝位連接，另一個(gè)分緩沖位通過(guò)滑槽B-2與轉(zhuǎn)向位連接；
[0008]機(jī)械手抓取位包括兩個(gè)分抓取位，其中一個(gè)分抓取位通過(guò)滑槽C-1與其中一個(gè)分緩沖位連接，另一個(gè)分抓取位通過(guò)滑槽C-2與另一個(gè)分緩沖位連接；
[0009]其中滑槽A與其延展部同軸設(shè)置，滑槽B-1、滑槽B-2與滑槽C-1、滑槽C-2同軸設(shè)置，滑槽B-1與滑槽A垂直設(shè)置，滑槽B-2與滑槽A的延伸端垂直設(shè)置；
[0010]在所述滑槽A對(duì)應(yīng)裝載位的位置設(shè)置有平移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)A，在平移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)A的升縮桿上設(shè)置有托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)A，在托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)A上設(shè)置有一個(gè)托板A，托板A的承托面積小于裝載位的裝載面積；
[0011 ]在所述轉(zhuǎn)向位上設(shè)置有一個(gè)托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)B，在所述托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)B的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)桿上設(shè)置有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)桿上設(shè)置有托板B;
[0012]所述滑槽B-1、滑槽B-2對(duì)應(yīng)中間緩沖位的位置設(shè)置有平移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)C，在平移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)C的升縮桿端部上設(shè)置有托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)D，托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)D的升縮桿端部分別對(duì)應(yīng)兩個(gè)分緩沖位設(shè)置有托板C-1和托板C-2，平移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)C的移動(dòng)軸線(xiàn)與滑槽B-1、滑槽B-2平行；
[0013]所述滑槽C-1、滑槽C-2對(duì)應(yīng)各機(jī)械手抓取位的位置設(shè)置有平移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)B，在平行驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)B的升縮桿端部上設(shè)置有托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)C，托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)C的升縮桿端部分別對(duì)應(yīng)兩個(gè)分抓取位分別設(shè)置有托板D-1和托板D-2，平移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)B的軸線(xiàn)與滑槽C-1、滑槽C-2平行。
[0014]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步創(chuàng)新，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)角度為180°。
[0015]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步創(chuàng)新，平移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)C和平移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)B為一體結(jié)構(gòu)，所述托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)D和托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)C均位于同一個(gè)升縮桿端部上，所述托板C-1、托板C-2、托板D-1、托板D-1同步固定。
[0016]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步創(chuàng)新，所述各驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)均為氣缸。
[0017]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步創(chuàng)新，在所述各托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的升縮桿端部上還設(shè)置有用于檢測(cè)各托板承重力的壓力傳感器。
[0018]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0019]1、本實(shí)用新型通過(guò)在一個(gè)平臺(tái)上安裝實(shí)現(xiàn)各工步的物料運(yùn)輸設(shè)備，相比于傳統(tǒng)的多設(shè)備傳輸，本實(shí)用新型不容易發(fā)生擺放基準(zhǔn)的改變，縮小了設(shè)備的體積，提高了運(yùn)輸?shù)男屎途珳?zhǔn)度。
[0020]2、氣缸機(jī)構(gòu)推動(dòng)力大，而且對(duì)于定行程的傳動(dòng)而言，氣缸速度快，準(zhǔn)確度高，故障率低。
【附圖說(shuō)明】
[0021]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。
[0022]圖1是本實(shí)用新型的工位不意圖；
[0023]圖2是本實(shí)用新型花籃托板的不意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0024]現(xiàn)在結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。這些附圖均為簡(jiǎn)化的示意圖，僅以示意方式說(shuō)明本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的構(gòu)成。
[0025]如圖1?2所示，本實(shí)用新型為全自動(dòng)清洗機(jī)臺(tái)中的多工位上下料位移載機(jī)構(gòu)，其特征是:包括裝載位、分裝位、轉(zhuǎn)向位、中間緩沖位、機(jī)械手抓取位；
[0026]所述裝載位與分裝位之間通過(guò)滑槽A連接，轉(zhuǎn)向位通過(guò)滑槽A的延展部與分裝位連接；
[0027]所述中間緩沖位包括兩個(gè)分緩沖位，其中一個(gè)分緩沖位通過(guò)滑槽B-1與分裝位連接，另一個(gè)分緩沖位通過(guò)滑槽B-2與轉(zhuǎn)向位連接；
[0028]機(jī)械手抓取位包括兩個(gè)分抓取位，其中一個(gè)分抓取位通過(guò)滑槽C-1與其中一個(gè)分緩沖位連接，另一個(gè)分抓取位通過(guò)滑槽C-2與另一個(gè)分緩沖位連接；
[0029]其中滑槽A與其延展部同軸設(shè)置，滑槽B-1、滑槽B-2與滑槽C-1、滑槽C-2同軸設(shè)置，滑槽B-1與滑槽A垂直設(shè)置，滑槽B-2與滑槽A的延伸端垂直設(shè)置；
[0030]在所述滑槽A對(duì)應(yīng)裝載位的位置設(shè)置有平移氣缸A，在平移氣缸A的活塞桿上設(shè)置有托舉氣缸A，在托舉氣缸A上設(shè)置有一個(gè)托板A，托板A的承托面積小于裝載位的裝載面積；
[0031]在所述轉(zhuǎn)向位上設(shè)置有一個(gè)托舉氣缸B，在所述托舉氣缸B的氣缸桿上設(shè)置有旋轉(zhuǎn)氣缸，所述旋轉(zhuǎn)氣缸的旋轉(zhuǎn)角度為180°，在旋轉(zhuǎn)氣缸的氣缸桿上設(shè)置有托板B;
[0032]所述滑槽C-1、滑槽C-2對(duì)應(yīng)各機(jī)械手抓取位的位置設(shè)置有平移氣缸B，在平行氣缸B的活塞桿端部上設(shè)置有托舉氣缸C，托舉氣缸C的活塞桿端部分別對(duì)應(yīng)兩個(gè)分抓取位分別設(shè)置有托板D-1和托板D-2，平移氣缸B的軸線(xiàn)與滑槽C-1、滑槽C-2平行；
[0033]在平移氣缸B的活塞桿端部上還設(shè)置有托舉氣缸D，托舉氣缸D的活塞桿端部分別對(duì)應(yīng)兩個(gè)分緩沖位設(shè)置有托板C-1和托板c-2，平移氣缸B的移動(dòng)軸線(xiàn)與滑槽B-1、滑槽B-2平行；
[0034]其中托舉氣缸D和托舉氣缸C之間的間距等于滑槽C-1或滑槽C-2的長(zhǎng)度，滑槽C-1或滑槽C-2的長(zhǎng)度同時(shí)也等于滑槽B-1或滑槽B-1。
[0035]設(shè)兩個(gè)花籃要移到分抓取位5-1和分抓取位5-2，需先保證分裝位和轉(zhuǎn)向位要都有花籃，才可以運(yùn)行托板C和托板D，且所有托板都在下降的位置，:
[0036]先將第一個(gè)花籃放在裝載位，托板A上升托起花籃后，平移到轉(zhuǎn)向位，然后托板A下降返回到裝載位，花籃落在轉(zhuǎn)向位上，B托板上升托起花籃后旋轉(zhuǎn)180度，然后下降；第一個(gè)花籃已完成轉(zhuǎn)向放在轉(zhuǎn)向位上;再將第二個(gè)花籃放在裝載位，托板A上升托起花籃后，平移到分裝位，然后托板A下降返回到裝載位，花籃落在分裝位上;托板C平移到分裝位，同時(shí)也到轉(zhuǎn)向位，上升托起兩個(gè)花籃后，平移到中間緩沖位，然后托板C下降返回到分裝位，兩花籃落在中間緩沖位上，這時(shí)換托板D上升托起兩個(gè)花籃后，平移到機(jī)械手抓取位，然后托板D下降，兩花籃落在機(jī)械手抓取位，動(dòng)作結(jié)束。
[0037]以上述依據(jù)本實(shí)用新型的理想實(shí)施例為啟示，通過(guò)上述的說(shuō)明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項(xiàng)實(shí)用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)實(shí)用新型的技術(shù)性范圍并不局限于說(shuō)明書(shū)上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來(lái)確定其技術(shù)性范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.全自動(dòng)清洗機(jī)臺(tái)中的多工位上下料位移載機(jī)構(gòu)，其特征是:包括裝載位、分裝位、轉(zhuǎn)向位、中間緩沖位、機(jī)械手抓取位； 所述裝載位與分裝位之間通過(guò)滑槽A連接，轉(zhuǎn)向位通過(guò)滑槽A的延展部與分裝位連接； 所述中間緩沖位包括兩個(gè)分緩沖位，其中一個(gè)分緩沖位通過(guò)滑槽B-1與分裝位連接，另一個(gè)分緩沖位通過(guò)滑槽B-2與轉(zhuǎn)向位連接； 機(jī)械手抓取位包括兩個(gè)分抓取位，其中一個(gè)分抓取位通過(guò)滑槽C-1與其中一個(gè)分緩沖位連接，另一個(gè)分抓取位通過(guò)滑槽C-2與另一個(gè)分緩沖位連接； 其中滑槽A與其延展部同軸設(shè)置，滑槽B-1、滑槽B-2與滑槽C-1、滑槽C-2同軸設(shè)置，滑槽B-1與滑槽A垂直設(shè)置，滑槽B-2與滑槽A的延伸端垂直設(shè)置； 在所述滑槽A對(duì)應(yīng)裝載位的位置設(shè)置有平移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)A，在平移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)A的升縮桿上設(shè)置有托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)A，在托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)A上設(shè)置有一個(gè)托板A，托板A的承托面積小于裝載位的裝載面積； 在所述轉(zhuǎn)向位上設(shè)置有一個(gè)托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)B，在所述托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)B的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)桿上設(shè)置有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)桿上設(shè)置有托板B; 所述滑槽B-1、滑槽B-2對(duì)應(yīng)中間緩沖位的位置設(shè)置有平移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)C，在平移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)C的升縮桿端部上設(shè)置有托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)D，托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)D的升縮桿端部分別對(duì)應(yīng)兩個(gè)分緩沖位設(shè)置有托板C-1和托板C-2，平移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)C的移動(dòng)軸線(xiàn)與滑槽B-1、滑槽B-2平行； 所述滑槽C-1、滑槽C-2對(duì)應(yīng)各機(jī)械手抓取位的位置設(shè)置有平移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)B，在平行驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)B的升縮桿端部上設(shè)置有托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)C，托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)C的升縮桿端部分別對(duì)應(yīng)兩個(gè)分抓取位分別設(shè)置有托板D-1和托板D-2，平移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)B的軸線(xiàn)與滑槽C-1、滑槽C-2平行。2.如權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)清洗機(jī)臺(tái)中的多工位上下料位移載機(jī)構(gòu)，其特征是:所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)角度為180°。3.如權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)清洗機(jī)臺(tái)中的多工位上下料位移載機(jī)構(gòu)，其特征是:平移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)C和平移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)B為一體結(jié)構(gòu)，所述托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)D和托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)C均位于同一個(gè)升縮桿端部上，所述托板C-1、托板C-2、托板D-1、托板D-1同步固定。4.如權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)清洗機(jī)臺(tái)中的多工位上下料位移載機(jī)構(gòu)，其特征是:所述各驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)均為氣缸。5.如權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)清洗機(jī)臺(tái)中的多工位上下料位移載機(jī)構(gòu)，其特征是:在所述各托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的升縮桿端部上還設(shè)置有用于檢測(cè)各托板承重力的壓力傳感器。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及全自動(dòng)清洗機(jī)臺(tái)中的多工位上下料位移載機(jī)構(gòu)，裝載位與分裝位之間通過(guò)滑槽連接，轉(zhuǎn)向位通過(guò)滑槽與分裝位連接；中間緩沖位通過(guò)兩個(gè)滑槽與轉(zhuǎn)向位、分裝位連接；機(jī)械手抓取位通過(guò)兩個(gè)滑槽與中間緩沖位連接；在滑槽A對(duì)應(yīng)裝載位的位置設(shè)有氣缸A，在氣缸A的升縮桿上設(shè)有托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)A，在托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)A上設(shè)有托板A；在轉(zhuǎn)向位上設(shè)有托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)B，在托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)B上設(shè)有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上設(shè)有托板B；緩沖位設(shè)有氣缸C，在氣缸C上設(shè)有托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)D，托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)D設(shè)有兩個(gè)托舉板C；機(jī)械手抓取位位置設(shè)有氣缸B，在平行驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)B上設(shè)有托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)C，托舉驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)C的與兩個(gè)托板D連接。
【IPC分類(lèi)】B65G47/90
【公開(kāi)號(hào)】CN205274658
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520644864
【發(fā)明人】卡爾.羅伯特.休斯特
【申請(qǐng)人】硅密（常州）電子設(shè)備有限公司
【公開(kāi)日】2016年6月1日
【申請(qǐng)日】2015年8月25日