導(dǎo)熱片的制造方法
【專利摘要】一種包含進(jìn)行了結(jié)合的多片薄膜的導(dǎo)熱片的制造方法，其包含：至少準(zhǔn)備具有基材以及設(shè)于該基材上的含有導(dǎo)熱性粒子和熱固性樹(shù)脂的薄膜的、第一帶有基材的薄膜和第二帶有基材的薄膜，使前述第一帶有基材的薄膜和第二帶有基材的薄膜各自的前述薄膜相接觸，配置于相對(duì)配置而成對(duì)的第一輥和第二輥的輥間，使前述成對(duì)的第一輥和第二輥旋轉(zhuǎn)，從而在前述薄膜的膜厚方向上施加壓力，并使第一帶有基材的薄膜和第二帶有基材的薄膜重合地進(jìn)行輸送。
【專利說(shuō)明】導(dǎo)熱片的制造方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及導(dǎo)熱片的制造方法。

【背景技術(shù)】
[0002]在電力控制設(shè)備、信息通信設(shè)備等電子設(shè)備中，大容量化、高性能化和小型化不斷 推進(jìn)，前述電子設(shè)備中搭載的電子部件安裝的高密度化顯著。隨著電子部件的大容量化和 安裝的高密度化，來(lái)自電子部件的發(fā)熱量增加，從確保電子設(shè)備的工作穩(wěn)定性和降低對(duì)環(huán) 境的負(fù)荷的觀點(diǎn)出發(fā)，確保前述電子部件的散熱性變得越來(lái)越重要。
[0003]作為確保前述電子部件的散熱性的手段，主要使用散熱器、散熱片等。這些散熱 器、散熱片等中，多數(shù)情況下使用導(dǎo)熱性良好的銅、鋁等，因此，對(duì)于將前述電子部件與散熱 器、散熱片等接合的導(dǎo)熱片，要求絕緣性和導(dǎo)熱性這兩種性能。作為前述導(dǎo)熱片，以往主要 使用氧化鋁、氧化鋯等的陶瓷片。另一方面，最近，在熱固性樹(shù)脂那樣的有機(jī)材料中填充有 導(dǎo)熱率高的導(dǎo)熱性粒子的復(fù)合系材料導(dǎo)熱片由于具有高的導(dǎo)熱性和絕緣性并且兼有粘接 性而受到關(guān)注。
[0004] 在有機(jī)材料中填充有導(dǎo)熱率高的導(dǎo)熱性粒子的復(fù)合系材料導(dǎo)熱片中，導(dǎo)熱片的導(dǎo) 熱性根據(jù)導(dǎo)熱性粒子在有機(jī)材料中的分散狀態(tài)而改變。此外，片內(nèi)部的氣泡殘留或片表面 的平滑性也對(duì)導(dǎo)熱片的絕緣性產(chǎn)生影響。除了有機(jī)材料的流動(dòng)性、有機(jī)材料與導(dǎo)熱性熱粒 子的密合性等材料特性對(duì)導(dǎo)熱性粒子的分散狀態(tài)、片內(nèi)部的氣泡殘留和片表面的平滑性產(chǎn) 生影響以外，導(dǎo)熱片的制造方法也是重要的影響因素。導(dǎo)熱片的制造方法中，被認(rèn)為特別重 要的工序是在導(dǎo)熱片的膜厚方向上施加壓力的工序。
[0005] 作為在薄膜的膜厚方向上施加壓力的方法，例如，有對(duì)將含有無(wú)機(jī)填料和熱固性 樹(shù)脂的絕緣組合物成型為片狀而獲得的絕緣片進(jìn)行熱壓的制造方法（例如，參照日本特開(kāi) 2009-130251號(hào)公報(bào)）。此外，還有將環(huán)氧樹(shù)脂、固化劑和具有無(wú)機(jī)填料的樹(shù)脂組合物夾持 于2片支撐膜之間并使其通過(guò)輥壓機(jī)的上下輥間從而成型為片狀的制造方法（例如，參照 日本特開(kāi)2011-90868號(hào)公報(bào)）。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 發(fā)明所要解決的課題
[0007] 然而，在如日本特開(kāi)2〇〇9-130251號(hào)公報(bào)所示的制造方法那樣使用間歇式平板壓 機(jī)作為熱壓機(jī)的情況下，有時(shí)難以在加壓面內(nèi)均勻地賦予壓力，有時(shí)會(huì)產(chǎn)生大的壓力不均。 如果產(chǎn)生壓力不均，則難以使填充在有機(jī)材料中的粒子高精度地分散，此外，片內(nèi)部容易殘 留氣泡。進(jìn)而，難以確保片表面的平滑性。通過(guò)這樣的方法獲得的片就導(dǎo)熱性或絕緣性的 觀點(diǎn)而言不能說(shuō)是充分的。
[0008] 另一方面，在日本特開(kāi)2011-90868號(hào)公報(bào)所示的制造方法的情況下，將樹(shù)脂組合 物夾持于上面的支撐膜與下面的支撐膜之間，因此，容易在支撐膜間卷入氣泡，在通過(guò)后續(xù) 工序的輥壓機(jī)成型為片時(shí)，前述卷入的氣泡容易殘留在片內(nèi)。進(jìn)而，容易在片的膜厚方向上 產(chǎn)生貫穿針孔。與上述同樣地，通過(guò)這樣的方法獲得的片就導(dǎo)熱性或絕緣性的觀點(diǎn)而言不 能說(shuō)是充分的。
[0009] 鑒于前述那樣的現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題點(diǎn)，本發(fā)明的目的在于，提供一種兼具高的導(dǎo)熱 性和絕緣性的導(dǎo)熱片的制造方法。
[0010] 用于解決課題的方法
[0011] 本發(fā)明如下所述。
[0012] [1] 一種包含進(jìn)行了結(jié)合的多片薄膜的導(dǎo)熱片的制造方法，其包含：至少準(zhǔn)備具 有基材以及設(shè)于該基材上的含有導(dǎo)熱性粒子和熱固性樹(shù)脂的薄膜的、第一帶有基材的薄膜 和第二帶有基材的薄膜；使前述第一帶有基材的薄膜和第二帶有基材的薄膜各自的前述薄 膜相接觸，配置于相對(duì)配置而成對(duì)的第一輥和第二輥的輥間；使前述成對(duì)的第一輥和第二 輥旋轉(zhuǎn)，從而在前述薄膜的膜厚方向上施加壓力，并使第一帶有基材的薄膜和第二帶有基 材的薄膜重合地進(jìn)行輸送。
[0013] [2]根據(jù)[1]記載的導(dǎo)熱片的制造方法，在與前述第一輥和前述第二輥的旋轉(zhuǎn)軸 垂直的平面上將前述第一輥和前述第二輥以及前述第一帶有基材的薄膜和第二帶有基材 的薄膜切斷而成的截面中，將連接前述第一帶有基材的薄膜與前述第一輥接觸的區(qū)域中的 前述第一輥的旋轉(zhuǎn)方向的最上游側(cè)的點(diǎn)與前述第一輥的中心點(diǎn)的直線設(shè)為直線A、將連接 前述第二帶有基材的薄膜與前述第二輥接觸的區(qū)域中的前述第二輥的旋轉(zhuǎn)方向的最上游 側(cè)的點(diǎn)與前述第二輥的中心點(diǎn)的直線設(shè)為直線B、將連接前述第一輥的中心點(diǎn)與第二輥的 中心點(diǎn)的直線設(shè)為直線C時(shí)，直線A與直線C所成的角度和直線B與直線C所成的角度中 的至少一方為大于或等于30°且小于或等于135。。
[0014] [3]根據(jù)[1]或[2]記載的導(dǎo)熱片的制造方法，在將薄膜的每單位面積的質(zhì)量相對(duì) 于膜厚等于膜厚設(shè)計(jì)值的導(dǎo)熱片的每單位面積的質(zhì)量的倍率設(shè)為薄膜的質(zhì)量倍數(shù)時(shí)，前述 薄膜的每單位面積的質(zhì)量滿足以下的式α)。
[0015] [數(shù) 1]
[0016] 0.6 1.2 ^~<薄膜的質(zhì)量倍數(shù)< γ… _7](式中，η表示薄膜的片數(shù)，表示大于或等于2的整數(shù)。）
[0018] [4]根據(jù)⑴?[3]中任一項(xiàng)記載的導(dǎo)熱片的制造方法，配置于前述第一輥與前述 第二輥間之前的前述薄膜的殘留揮發(fā)成分為該薄膜的總質(zhì)量的大于或等于〇. 3質(zhì)量％且 小于或等于1.2質(zhì)量％。
[0019] [5]根據(jù)[1]?[4]中任一項(xiàng)記載的導(dǎo)熱片的制造方法，前述第一輥和第二輥的表 面溫度均為大于或等于60°C且小于或等于ii(TC。
[0020] [6]根據(jù)[1]?[5]中任一項(xiàng)記載的導(dǎo)熱片的制造方法，前述第一帶有基材的薄膜 和第二帶有基材的薄膜的輸送速度為大于或等于〇· 01m/分鐘且小于或等于2m/分鐘。
[0021] [7]根據(jù)[l·]?[6]中任一項(xiàng)記載的導(dǎo)熱片的制造方法，由前述第一輥和第二輥施 加在前述薄膜的膜厚方向上的線壓為大于或等于10kN/m且小于或等于350kN/m。
[0022] [8]根據(jù)[1]?[7]中任一項(xiàng)記載的導(dǎo)熱片的制造方法，前述導(dǎo)熱片的下述式（2) 所不的膜厚減少率為大于或等于50%且小于或等于95%。
[0023] [數(shù) 2]
[0024] 導(dǎo)熟片的膜厚 膜厚雜率(％ )膜的合計(jì)縦X 100…⑵。
[0025] [9]根據(jù)[1]?[8]中任一項(xiàng)記載的導(dǎo)熱片的制造方法，將第一帶有基材的薄膜和 第二帶有基材的薄膜的通過(guò)了前述成對(duì)的第一輥和前述第二輥的輥間的部分配置于構(gòu)成 與前述第一輥和前述第二輥的輥間不同的輥間的一對(duì)輥的輥間，并在前述薄膜的膜厚方向 上對(duì)該部分施加壓力。
[0026] [10]根據(jù)[1]?[9]中任一項(xiàng)記載的導(dǎo)熱片的制造方法，前述熱固性樹(shù)脂為液態(tài) 環(huán)氧樹(shù)脂。
[0027] [11]根據(jù)[1]?[10]中任一項(xiàng)記載的導(dǎo)熱片的制造方法，前述導(dǎo)熱性粒子含有至 少3種體積平均粒徑不同的填料。
[0028] [12] -種導(dǎo)熱片，其通過(guò)[1]?[11]中任一項(xiàng)記載的導(dǎo)熱片的制造方法來(lái)制造。
[0029] [13] -種帶有金屬箔的導(dǎo)熱片，在[12]記載的導(dǎo)熱片上設(shè)有金屬箱。
[0030] [14] -種半導(dǎo)體裝置，其包含[I3]記載的帶有金屬箔的導(dǎo)熱片。
[0031] 發(fā)明的效果
[0032]根據(jù)本發(fā)明的導(dǎo)熱片的制造方法，能夠獲得兼具高的導(dǎo)熱性和絕緣性的導(dǎo)熱片。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0033] 圖1A為表示本發(fā)明涉及的帶有基材的薄膜的一例的概略截面圖。
[0034] 圖1B為表示本發(fā)明涉及的帶有基材的薄膜層疊體的一例的概略截面圖。
[0035] 圖2為對(duì)在成對(duì)輥的輥間配置2片帶有基材的薄膜并加壓的方法進(jìn)行說(shuō)明的概略 概念圖。
[0036]圖3A為對(duì)將2片帶有基材的薄膜配置于2根輥間并使之重合從而獲得帶有基材 的薄膜層疊體的狀態(tài)進(jìn)行說(shuō)明的概略立體圖。
[0037] 圖3B為將圖3A中2片帶有基材的薄膜和2根輥在與輥的旋轉(zhuǎn)軸垂直的平面上切 斷時(shí)的截面圖。
[0038] 圖4為能夠適用于本發(fā)明涉及的制造方法的具備2根輥的制造裝置的概略圖。 [0039] 圖5為能夠適用于本發(fā)明涉及的制造方法的具備3根輥的制造裝置的部分概略 圖。
[0040] 圖6為能夠適用于本發(fā)明涉及的制造方法的具備4根輥的制造裝置的部分概略 圖。
[0041] 圖7為能夠適用于本發(fā)明涉及的制造方法的具備4根輥的另一制造裝置的概略 圖。

【具體實(shí)施方式】
[0042] 本發(fā)明涉及的導(dǎo)熱片的制造方法為包含進(jìn)行了結(jié)合的多片薄膜的導(dǎo)熱片的制造 方法，其包含：至少準(zhǔn)備具有基材以及設(shè)于該基材上的含有導(dǎo)熱性粒子和熱固性樹(shù)脂的薄 膜的、第一帶有基材的薄膜和第二帶有基材的薄膜；使前述第一帶有基材的薄膜和第二帶 有基材的薄膜各自的前述薄膜相接觸，配置于相對(duì)配置而成對(duì)的第一輥和第二輥的輥間； 使前述成對(duì)的第一輥和第二輥旋轉(zhuǎn)，從而在前述薄膜的膜厚方向上施加壓力，并使第一帶 有基材的薄膜和第二帶有基材的薄膜重合地進(jìn)行輸送。
[0043] 前述導(dǎo)熱片的制造方法中，通過(guò)采用上述構(gòu)成，能夠抑制使前述第一帶有基材的 薄膜和第二帶有基材的薄膜重合時(shí)片表面的壓力分布的擴(kuò)大。其結(jié)果是，能夠抑制包含進(jìn) 行了結(jié)合的多片前述薄膜的導(dǎo)熱片的導(dǎo)熱性、絕緣性等特性在片內(nèi)的參差不齊。
[0044] 此外，本發(fā)明中，對(duì)于第一帶有基材的薄膜和第二帶有基材的薄膜，使各自的前述 薄膜相接觸地配置于前述成對(duì)的第一輥和第二輥間后，使前述成對(duì)的第一輥和第二輥旋 轉(zhuǎn)，從而在前述薄膜的膜厚方向上施加壓力。這樣，在施加各自的前述薄膜的膜厚方向的力 的同時(shí)，在與膜厚方向垂直的方向（面內(nèi)方向）上也施加剪切力。其結(jié)果是，構(gòu)成前述薄膜 的樹(shù)脂產(chǎn)生朝向前述薄膜的面內(nèi)方向的流動(dòng)性。由于該樹(shù)脂的朝向前述薄膜的面內(nèi)方向的 流動(dòng)性而發(fā)揮樹(shù)脂內(nèi)部殘留的氣泡向成為輥的旋轉(zhuǎn)方向上游側(cè)的前述薄膜的外部排除的 作用，因此，能夠減少樹(shù)脂內(nèi)部殘留的氣泡量。
[0045] 進(jìn)而，對(duì)于導(dǎo)熱片，使至少2片帶有基材的薄膜的前述薄膜彼此接觸并重合，因而 能夠抑制在前述薄膜的膜厚方向上施加壓力后產(chǎn)生貫穿片的膜厚方向的針孔。
[0046]因此，通過(guò)本發(fā)明的制造方法獲得的導(dǎo)熱片能夠兼具高的導(dǎo)熱性和絕緣性。
[0047] 此外，本發(fā)明的導(dǎo)熱片的制造方法可以優(yōu)選為下述包含進(jìn)行了結(jié)合的多片薄膜的 導(dǎo)熱片的制造方法，所述制造方法包含：至少準(zhǔn)備具有基材以及設(shè)于該基材上的含有導(dǎo)熱 性粒子和熱固性樹(shù)脂的薄膜的、第一帶有基材的薄膜和第二帶有基材的薄膜，將前述第一 帶有基材的薄膜和第二帶有基材的薄膜以分開(kāi)的狀態(tài)配置于第一輥和第二輥相對(duì)的一對(duì) 輥的旋轉(zhuǎn)方向上游側(cè)，使前述第一帶有基材的薄膜的基材側(cè)面接觸并沿著前述第一輥的外 周面，使前述第二帶有基材的薄膜的基材側(cè)面接觸并沿著前述第二輥的外周面，在連接至 少前述第一輥與前述第二輥的中心軸的線上，使前述第一帶有基材的薄膜和前述第二帶有 基材的薄膜中各自的前述薄膜接觸地配置于前述一對(duì)輥之間，使前述一對(duì)輥旋轉(zhuǎn)，從而在 前述薄膜的膜厚方向上施加壓力，并使第一帶有基材的薄膜和第二帶有基材的薄膜重合地 進(jìn)行輸送。
[0048] 這樣，能夠更確實(shí)地獲得兼具高的導(dǎo)熱性和絕緣性的導(dǎo)熱片。
[0049]另外，對(duì)于本發(fā)明中的前述第一帶有基材的薄膜和第二帶有基材的薄膜，使各自 的前述薄膜接觸地配置于第一輥和第二輥的輥間時(shí)，第一帶有基材的薄膜和第二帶有基材 的薄膜可以在不損害發(fā)明效果的范圍內(nèi)具有不接觸第一輥或第二輥的周面的部分。作為不 接觸前述第一輥或第二輥的周面的部分，可以列舉例如第一帶有基材的薄膜、第二帶有基 材的薄膜或它們兩者的寬度方向的端部。此外，對(duì)于本發(fā)明中的前述第一帶有基材的薄膜 和第二帶有基材的薄膜，使各自的前述薄膜相接觸地配置于第一輥和第二輥的輥間時(shí)，第 一帶有基材的薄膜和第二帶有基材的薄膜優(yōu)選以寬度方向的整個(gè)區(qū)域與第一輥或第二輥 的周面相對(duì)的方式被夾持于第一輥和第二輥之間。
[0050] 本發(fā)明中的"薄膜"一詞的意思是在向基材上賦予能夠形成薄膜的材料而獲得的 復(fù)合構(gòu)件之中，由能夠形成薄膜的材料形成的部分。
[0051] 本發(fā)明中的導(dǎo)熱片的制造方法的另一方式也可以為多片薄膜層疊而成的導(dǎo)熱片 的制造方法，所述制造方法包含：至少準(zhǔn)備具有基材以及設(shè)于該基材上的含有導(dǎo)熱性粒子 和熱固性樹(shù)脂的薄膜的、第一帶有基材的薄膜和第二帶有基材的薄膜，使前述第一帶有基 材的薄膜和第二帶有基材的薄膜各自的前述薄膜相接觸，夾持于第一輥和第二輥相對(duì)的一 對(duì)棍之間，使前述一對(duì)棍旋轉(zhuǎn)，從而在前述薄膜的膜厚方向上施加壓力，并使第一帶有基材 的薄膜和第二帶有基材的薄膜重合地進(jìn)行輸送。
[0052] 本發(fā)明中"工序"一詞不僅包含獨(dú)立的工序，即使在無(wú)法明確地與其他工序相區(qū)別 的情況下，只要可實(shí)現(xiàn)本工序所期望的目的，就包含在本用語(yǔ)中。
[0053] 此外，本發(fā)明中用"?"表示的數(shù)值范圍表示包含"?"前后記載的數(shù)值分別作為 最小值和最大值的范圍。
[0054] 此外，本發(fā)明中，關(guān)于組合物中各成分的量，在組合物中存在多種對(duì)應(yīng)于各成分的 物質(zhì)的情況下，只要沒(méi)有特別指明，則是指組合物中存在的該多種物質(zhì)的合計(jì)量。
[0055] 以下對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說(shuō)明。
[0056] <導(dǎo)熱片的制造方法>
[0057] 本發(fā)明的導(dǎo)熱片的制造方法包含下述工序：至少準(zhǔn)備具有基材以及設(shè)于該基材上 的含有導(dǎo)熱性粒子和熱固性樹(shù)脂的薄膜的、第一帶有基材的薄膜和第二帶有基材的薄膜， 使前述第一帶有基材的薄膜和第二帶有基材的薄膜各自的前述薄膜相接觸，配置于相對(duì)配 置而成對(duì)的第一棍和第二規(guī)之間，使前述成對(duì)的第一棍和第二輔旋轉(zhuǎn)，從而在前述薄膜的 膜厚方向上施加壓力，并使第一帶有基材的薄膜和第二帶有基材的薄膜重合地進(jìn)行輸送， 根據(jù)需要，還可以包含其他工序。
[0058]本發(fā)明中，導(dǎo)熱片包含進(jìn)行了結(jié)合的多片薄膜。"進(jìn)行了結(jié)合的"意思是多片薄膜 在該薄膜的膜厚方向上結(jié)合并密合從而構(gòu)成了導(dǎo)熱片，除了存在薄膜彼此的界面的情況以 夕卜，還包含界面消失而一體化的情況。
[0059] 構(gòu)成導(dǎo)熱片的多片薄膜的數(shù)量沒(méi)有特別限制，可以是使3片以上薄膜重合而成的 導(dǎo)熱片。在使用3片以上薄膜制造導(dǎo)熱片的情況下，使2片帶有基材的薄膜重合后，將任一 方的基材剝離，對(duì)于基材被剝離而露出了表面的薄膜，以使薄膜重合的方式使帶有基材的 薄膜重合，通過(guò)重復(fù)上述工序，能夠獲得包含3片以上薄膜的導(dǎo)熱片。以下，只要沒(méi)有特殊 指明，則以包含2片薄膜的導(dǎo)熱片為例進(jìn)行說(shuō)明。
[0060]根據(jù)使用方式、操作等，導(dǎo)熱片可以包含前述薄膜以外的構(gòu)成要素。作為其他構(gòu)成 要素，可以列舉基材、保護(hù)膜、金屬箔等，這些構(gòu)成要素可以配置在導(dǎo)熱片的一面或另一面 的一部分或整個(gè)面上。
[0061 ]另外，本說(shuō)明書(shū)中"薄膜層疊體"是指存在于使多片帶有基材的薄膜或帶有基材和 保護(hù)膜的薄膜重合而獲得的層疊體中的多片薄膜的結(jié)合體。圖1B中，顯示包含薄膜層疊體 4的帶有基材的薄膜層疊體5的概略截面圖。不過(guò)，雖然稱為薄膜"層疊體"，但除了薄膜層 疊體中存在薄膜彼此的界面的情況以外，還包含界面消失而一體化的情況。
[0062](準(zhǔn)備帶有基材的薄膜）
[0063]首先，準(zhǔn)備至少2片帶有基材的薄膜。帶有基材的薄膜具有基材和設(shè)于該基材上 的薄膜。前述薄膜含有導(dǎo)熱性粒子和熱固性樹(shù)脂。帶有基材的薄膜可以作為市售品購(gòu)入， 也可以在基材上設(shè)置前述薄膜進(jìn)行制作而獲得。
[0064]圖1A中顯示表示第一帶有基材的薄膜3A的一例的概略截面圖。第一帶有基材的 薄膜3A由基材1A和薄膜2A構(gòu)成。第二帶有基材的薄膜3B (未圖示）也由基材1B和薄膜 2A構(gòu)成。
[0065] 在制作帶有基材的薄膜而進(jìn)行準(zhǔn)備的情況下，只要能夠制造含有導(dǎo)熱性粒子和熱 固性樹(shù)脂的薄膜，對(duì)其制造方法就沒(méi)有特別限定，可以應(yīng)用一般的制造方法。例如可以列舉 包含下述操作的帶有基材的薄膜的制作方法：在基材上賦予含有導(dǎo)熱性粒子和熱固性樹(shù)脂 的樹(shù)脂組合物而形成前述薄膜。其他帶有基材的薄膜的制作方法例如包含下述操作：在含 有導(dǎo)熱性粒子和熱固性樹(shù)脂的樹(shù)脂組合物中添加溶劑而調(diào)制清漆，將獲得的清漆涂布在基 材上，通過(guò)加熱從基材上的清漆中除去溶劑。這樣，能夠制作基材上配置有薄膜的狀態(tài)的帶 有基材的薄膜。關(guān)于前述樹(shù)脂組合物等的用于制造導(dǎo)熱片的各成分，在下文中描述。此外， 關(guān)于使用前述樹(shù)脂組合物制作用于形成導(dǎo)熱片的薄膜2A的方法，也在下文中描述。
[0066] 前述薄膜3A、3B優(yōu)選為構(gòu)成薄膜的熱固性樹(shù)脂的反應(yīng)率小于40%的薄膜。前述反 應(yīng)率例如可以由用DSC (差示掃描量熱儀）測(cè)定的熱量算出。
[0067] 本發(fā)明中，準(zhǔn)備的2片帶有基材的薄膜3A、3B可以為彼此相同的材質(zhì)，也可以為 彼此不同的材質(zhì)。作為材質(zhì)不同的2片帶有基材的薄膜3A、3B組合的例子，可以列舉：基 材ΙΑ、1B的種類各不相同的例子，基材1A、1B的與薄膜相對(duì)的面的潤(rùn)濕性不同的例子，薄膜 2A、2B所含的成分或組成比不同的例子，基材1A、1B的膜厚不同的例子，薄膜2A、2B的膜厚 不同的例子等。從獲得的導(dǎo)熱片的膜厚方向上的導(dǎo)熱性等的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選2片帶有基材 的薄膜3A、3B具有彼此相同材質(zhì)的薄膜2A、2B，更優(yōu)選為相同材質(zhì)且相同膜厚的薄膜2A、 2B。此外，如果考慮在后續(xù)工序中由一對(duì)輥施加壓力，則優(yōu)選2片帶有基材的薄膜3A、3B中 分別具有相同材質(zhì)的基材1A、1B，更優(yōu)選具有相同材質(zhì)和相同膜厚的基材1A、1B。
[0068] 優(yōu)選像以下那樣確定2片帶有基材的薄膜3A、3B中各自的薄膜2A、2B的膜厚。
[0069] 本發(fā)明中，導(dǎo)熱片的導(dǎo)熱性和絕緣性根據(jù)導(dǎo)熱片的膜厚不同而變化，因而優(yōu)選以 導(dǎo)熱片表現(xiàn)期望的導(dǎo)熱性和絕緣性的方式確定導(dǎo)熱片的膜厚。將這樣確定的導(dǎo)熱片的膜厚 定義為"膜厚設(shè)計(jì)值"。進(jìn)而，將膜厚等于膜厚設(shè)計(jì)值的導(dǎo)熱片的每單位面積（100cm 2)的質(zhì) 量定義為"質(zhì)量設(shè)計(jì)值"。將薄膜的每單位面積（l〇〇cm2)的質(zhì)量相對(duì)于該質(zhì)量設(shè)計(jì)值所具 有的倍率定義為薄膜的質(zhì)量倍數(shù)。
[0070] 構(gòu)成前述導(dǎo)熱片的多片薄膜的、各薄膜的質(zhì)量倍數(shù)優(yōu)選滿足以下的式（1)。式（1) 中，η表示為了制作前述導(dǎo)熱片而準(zhǔn)備的薄膜的片數(shù)，表示大于或等于2的整數(shù)。另外，關(guān)于 薄膜的質(zhì)量倍數(shù)，為了制作1片導(dǎo)熱片而準(zhǔn)備的多片薄膜彼此可以相同也可以不同。為了 使獲得的導(dǎo)熱片容易表現(xiàn)期望的導(dǎo)熱性、絕緣性等，優(yōu)選多片薄膜彼此質(zhì)量倍數(shù)相同。另一 方面，為了使作為導(dǎo)熱片的導(dǎo)熱性等相對(duì)于膜厚方向發(fā)生變化，優(yōu)選多片薄膜彼此質(zhì)量倍 數(shù)不同。此外，使用多片薄膜獲得的導(dǎo)熱片的膜厚可以設(shè)為膜厚設(shè)計(jì)值的0. 8倍?1. 2倍， 就能夠高準(zhǔn)確度地表現(xiàn)導(dǎo)熱性的觀點(diǎn)而言，優(yōu)選為〇· 8倍?1倍。使用多片薄膜獲得的導(dǎo) 熱片的每單位面積（100cm2)的質(zhì)量可以設(shè)為質(zhì)量設(shè)計(jì)值的0.8倍?1.2倍，就能夠高準(zhǔn)確 度地表現(xiàn)導(dǎo)熱性的觀點(diǎn)而言，優(yōu)選為〇. 8倍?1倍。
[0071] [數(shù) 3]
[0072] 0.6 1.2 γ <薄膜的質(zhì)量倍數(shù)< Y…f U JTl· f I
[0073] 前述薄膜的質(zhì)量倍數(shù)在大于或等于上述式（1)的下限值的情況下，存在使導(dǎo)熱片 的絕緣性為期望值的傾向，另一方面，前述薄膜的質(zhì)量倍數(shù)為小于或等于上述式（1)的上 限值的情況下，存在使導(dǎo)熱片的導(dǎo)熱率為期望值的傾向，因此分別優(yōu)選。
[0074] 具體而言，在前述導(dǎo)熱片由2片薄膜2A、2B形成的情況下，為了使前述導(dǎo)熱片表現(xiàn) 期望的導(dǎo)熱性和絕緣性，優(yōu)選薄膜的質(zhì)量倍數(shù)為大于或等于〇· 3倍且小于或等于0. 6倍，更 優(yōu)選為大于或等于〇· 4δ倍且小于或等于0· 55倍。如果為大于或等于0· 3倍，則存在導(dǎo)熱 片的絕緣性成為期望值的傾向，另一方面，如果為小于或等于0.6倍，則存在導(dǎo)熱片的導(dǎo)熱 率成為期望值的傾向，故而優(yōu)選。此外，在前述導(dǎo)熱片由3片前述薄膜構(gòu)成的情況下，優(yōu)選 薄膜的質(zhì)量倍數(shù)為大于或等于〇. 2倍且小于或等于0· 4倍，更優(yōu)選為大于或等于0. 3倍且 小于或等于0.35倍。
[0075] 進(jìn)而，為了使前述導(dǎo)熱片更穩(wěn)定地表現(xiàn)期望的導(dǎo)熱性和絕緣性，優(yōu)選實(shí)際的導(dǎo)熱 片的膜厚相對(duì)于前述膜厚設(shè)計(jì)值為大于或等于〇. 9倍且小于或等于1. 1倍，更優(yōu)選為大于 或等于0· 95倍且小于或等于1. 05倍。與之對(duì)應(yīng)，在前述導(dǎo)熱片由2片薄膜2A、2B形成的 情況下，優(yōu)選薄膜的質(zhì)量倍數(shù)為大于或等于0. 3倍且小于或等于0· 6倍。此外，在前述導(dǎo)熱 片由3片以上前述薄膜形成的情況下，薄膜的質(zhì)量倍數(shù)可以設(shè)為前述式（1)所示范圍的數(shù) 值。
[0076] 作為基材的平均膜厚，在獲得使帶有基材的薄膜3A、3B重合而獲得的帶有基材的 薄膜層疊體5時(shí)，從容易對(duì)帶有基材的薄膜層疊體5內(nèi)部的薄膜層疊體4施加膜厚方向上 的壓力等觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為大于或等于5μηι且小于或等于500 μηι，更優(yōu)選為大于或等于 10 μ m且小于或等于300 μ m。如果為大于或等5 μ m或小于或等于500 μ m，則容易避免剛性 過(guò)小而難以輸送的傾向，如果為小于或等于500 μ m，則容易避免剛性過(guò)大而難以輸送的傾 向。
[0077] 其中，前述薄膜的平均膜厚和基材的平均膜厚設(shè)為使用千分尺對(duì)薄膜和基材的表 面進(jìn)行數(shù)點(diǎn)（例如10點(diǎn)）測(cè)定所得到的值的算術(shù)平均。
[0078] 配置于前述第一輥和前述第二輥的輥間之前的前述薄膜2A、2B的殘留揮發(fā)成分 優(yōu)選為大于或等于〇. 3質(zhì)量％且小于或等于1. 2質(zhì)量％，更優(yōu)選為大于或等于0. 5質(zhì)量％ 且小于或等于1. 〇質(zhì)量％。如果前述殘留揮發(fā)成分為大于或等于〇· 3質(zhì)量％，則存在如下 傾向：對(duì)使帶有基材的薄膜3A、3B重合而獲得的帶有基材的薄膜層疊體5在其膜厚方向上 施加壓力后，容易確保帶有基材的薄膜層疊體5中的薄膜層疊體4能夠不發(fā)生破裂地卷繞 在卷芯上的彎曲性。另一方面，如果前述殘留揮發(fā)成分為小于或等于1.2質(zhì)量％，則存在如 下傾向：即使對(duì)在由帶有基材的薄膜層疊體5制作的導(dǎo)熱片上設(shè)有金屬箔的帶有金屬箔的 導(dǎo)熱片或包含該帶有金屬箔的導(dǎo)熱片的半導(dǎo)體裝置進(jìn)行加熱，也難以發(fā)生界面膨脹。其中， 薄膜的殘留揮發(fā)成分是作為在常壓下進(jìn)行了 180°C 1小時(shí)的干燥處理時(shí)每單位面積（例如， 在將前述薄膜設(shè)為5cmX5cm時(shí)的面積25cm2)的質(zhì)量減少率求出的值。
[0079] 另外，關(guān)于所準(zhǔn)備的帶有基材的薄膜3A、3B，根據(jù)需要，在薄膜3A、3B的未配置基 材1A、1B的表面上還可以具有用于防止附著的保護(hù)膜。在準(zhǔn)備了這樣的帶保護(hù)膜的帶有基 材的薄膜時(shí)，可以在即將使用之前將保護(hù)膜剝離而使用。作為保護(hù)膜沒(méi)有特別限制，可以使 用與基材1A、1B同樣的保護(hù)膜。
[0080] (由一對(duì)輥進(jìn)行的加壓）
[0081] 使上述所準(zhǔn)備的前述帶有基材的薄膜3A和帶有基材的薄膜3B各自的薄膜2A、2B 相接觸，配置于相對(duì)配置而成對(duì)的第一輥和第二輥的輥間。然后，使前述成對(duì)的輥旋轉(zhuǎn)，從 而在前述薄膜的膜厚方向上施加壓力，并使帶有基材的薄膜3A和帶有基材的薄膜3B重合 地進(jìn)行輸送。另外，如后所述，從薄膜2A、2B的表面的平滑性和減少薄膜2A、2B內(nèi)的氣泡的 觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選上述第一輥和第二輥的表面被加熱。其中，有時(shí)將相對(duì)配置而成對(duì)的第一輥 和第二輥總稱為"一對(duì)輥"。
[0082]以下，以通過(guò)一對(duì)輥制造2片帶有基材的薄膜3A、3B的情況為例，參照附圖對(duì)本發(fā) 明的制造方法進(jìn)行說(shuō)明，但本發(fā)明不限定于此。
[0083]圖2為對(duì)在一對(duì)輥之間配置2片帶有基材的薄膜M、3B并加壓的方法進(jìn)行說(shuō)明的 概略概念圖。圖2中顯示的是與輥的旋轉(zhuǎn)軸垂直的平面、且將輥和2片帶有基材的薄膜3A、 3B切斷而成的截面。
[0084] 如圖2所示，2片帶有基材的薄膜：3A、3B之中，帶有基材的薄膜3A優(yōu)選一邊使基材 1A側(cè)接觸第一輥12A的外周面一邊被導(dǎo)向輥間，帶有基材的薄膜油優(yōu)選一邊使基材1B側(cè) 接觸第二輥12B的外周面一邊被導(dǎo)向輥間。這樣，帶有基材的薄膜3A的薄膜2A和帶有基 材的薄膜3B的薄膜2B被配置在不與第一輥12A和第二輥12B接觸的一側(cè)。此外，還可以 將帶有基材的薄膜3A和帶有基材的薄膜3B以由第一輥12A和第二輥12B的直徑確定的距 離分開(kāi)配置，并且利用第一輥12A和第二輥12B的旋轉(zhuǎn)以穩(wěn)定的速度導(dǎo)向輥間。
[0085] 如果第一輥12A和第二輥12B各自在旋轉(zhuǎn)方向（箭頭R、R'）上旋轉(zhuǎn)，則在連接第 一輥1放與第二輥1?的中心軸的直線X-X'上，帶有基材的薄膜3A和帶有基材的薄膜3B 被配置在第一輥12A和第二輥12B之間。在此，使帶有基材的薄膜3A的薄膜2A和帶有基 材的薄膜3B的薄膜 2B重合并且對(duì)各薄膜2A、2B在膜厚方向上施加壓力。
[0086] 通過(guò)對(duì)該薄膜2A、2B施加膜厚方向上的壓力，從而在薄膜的面內(nèi)方向上施加剪切 力，薄膜2A、2B內(nèi)部的樹(shù)脂產(chǎn)生流動(dòng)性。這樣，薄膜2A、2B內(nèi)部的氣泡在第一輥12A和第二 輥12B各自的旋轉(zhuǎn)方向上游側(cè)被擠出。在薄膜2A、2B在第一輥12A和第二輥12B的旋轉(zhuǎn)方 向上游側(cè)分開(kāi)的情況下，薄膜2A、 2B內(nèi)部的氣泡容易在第一輥12A和第二輥12B各自的旋 轉(zhuǎn)方向上游側(cè)被擠出。
[0087] 在帶有基材的薄膜3A、3B被配置于第一輥12A和第二輥12B之間的狀態(tài)下，如果 第一輥12A和第二輥12B旋轉(zhuǎn)，則伴隨于此，帶有基材的薄膜3A、3B被輸送并在直線X-X， 上通過(guò)。這樣，能夠在薄膜2A、2B的膜厚方向上依次施加大體相同的壓力。通過(guò)對(duì)薄膜2A 和薄膜2B施加膜厚方向的壓力，帶有基材的薄膜3A、3B密合而形成帶有基材的薄膜層疊體 5〇
[0088]由于這樣使用第一輥1放和第二輥12B對(duì)帶有基材的薄膜層疊體5中的薄膜2A、 2B在膜厚方向上施加壓力，因此與使用平板壓機(jī)的方法相比，能夠提高壓力分布的均勻性。 在如平板壓機(jī)那樣通過(guò)面接觸施加壓力的情況下，存在面的邊緣部的壓力比面的中央部更 高的傾向，難以確保面內(nèi)的壓力分布的均勻性。而在使用第一輥12A、第二輥12B的方法中， 通過(guò)第一輥1 2A與第二輥的線接觸，能夠使壓力以線狀集中，因而只要考慮壓力分布為 線狀即可，與平板壓機(jī)相比壓力分布的均勻性提高。其結(jié)果是，與平板壓機(jī)相比，導(dǎo)熱片的 面內(nèi)的導(dǎo)熱性、絕緣性等特性的參差減小。
[0089] 此外，由于對(duì)薄膜2A、2B在膜厚方向上施加壓力并使其重合，因而能夠抑制在帶 有基材的薄膜層疊體5內(nèi)的薄膜層疊體4中，作為導(dǎo)熱片的絕緣性降低原因之一的貫穿針 孔的產(chǎn)生。這里，貫穿針孔是指在導(dǎo)熱片兩面貫穿的小直徑的孔。
[0090] 進(jìn)而，由于使薄膜2A、2B重合并在膜厚方向上施加壓力，因而能夠減少薄膜2A、2B 內(nèi)部殘留的氣泡量。前述膜厚方向上的壓力通過(guò)旋轉(zhuǎn)的第一輥12A和第二輥12B來(lái)施加， 因此，對(duì)于帶有基材的薄膜層疊體5中的薄膜層疊體4,在施加膜厚方向的力的同時(shí)，在與 膜厚方向垂直的方向上也施加剪切力。因此，發(fā)揮如下作用：構(gòu)成薄膜層疊體4的薄膜2A、 2B中的熱固性樹(shù)脂的流動(dòng)性提高，前述樹(shù)脂內(nèi)部殘留的氣泡隨著前述樹(shù)脂的流動(dòng)而移動(dòng)， 并被排除到薄膜層疊體4的外部。其結(jié)果是，能夠減少薄膜層疊體4內(nèi)部殘留的氣泡量，在 由減少了氣泡量的薄膜層疊體4獲得的導(dǎo)熱片中，施加電壓時(shí)的耐電壓性即絕緣性提高。
[0091] 此外，通過(guò)對(duì)帶有基材的薄膜層疊體5中的薄膜層疊體4施加膜厚方向的壓力，能 夠?qū)崿F(xiàn)導(dǎo)熱片表面的平滑化。如果在薄膜層疊體4的膜厚方向上施加壓力，則在薄膜層疊 體4中的2片薄膜2A、2B與各自的基材ΙΑ、1B接觸的面上，熱固性樹(shù)脂流動(dòng)而產(chǎn)生追隨基 材1表面的運(yùn)動(dòng)，因此薄膜2A、2B與各自的基材1A、1B密合的面（導(dǎo)熱片表面）平滑化。
[0092] 在導(dǎo)熱性粒子間存在大量導(dǎo)熱性比導(dǎo)熱性粒子更低的樹(shù)脂的情況下，如果導(dǎo)熱性 粒子間的間隔寬，則有時(shí)導(dǎo)熱片的導(dǎo)熱率會(huì)降低。本實(shí)施方式中，由于在重合之后不久的薄 膜層疊體4的膜厚方向上用輥施加壓力，因而能夠使存在于導(dǎo)熱性粒子間的樹(shù)脂流動(dòng)，使 粒子的間隔變窄，從而提高導(dǎo)熱片的導(dǎo)熱率。
[0093] 由于使用第一輥12A、第二輥12B在帶有基材的薄膜層疊體5的膜厚方向上施加壓 力，因此能夠簡(jiǎn)化用于獲得帶有保護(hù)膜的薄膜層疊體的準(zhǔn)備所需的工序。即，如果將帶有基 材和保護(hù)膜的薄膜7A、7B的卷一次裝填于薄膜抽出用輥14A、14B上，則能夠在從薄膜抽出 用輥14A、14B抽出到連續(xù)卷在卷繞用輥24上之間依次進(jìn)行加壓（參照?qǐng)D4)。另外，在對(duì)與 其相同面積的帶有基材和保護(hù)膜的薄膜以平板壓機(jī)那樣的單片方式施加壓力的情況下，需 要分別進(jìn)行多次根據(jù)熱盤(pán)大小切出帶有基材和保護(hù)膜的薄膜的工序和將切出的薄膜配置 于熱盤(pán)上的工序，因而變得繁雜。
[0094] 作為第一輥12A、第二輥12B的種類，可以列舉例如金屬材料的熱軋加工和冷乳加 工中使用的輥。此外，為了進(jìn)一步提高導(dǎo)熱片的表面平滑性，也可以使用壓延輥、壓花輥、凹 版棍、清篩親、網(wǎng)紋棍（anilox roll)等棍。
[0095] 此外，關(guān)于第一輥12A、第二輥12B，只要是將表面制成曲面的圓筒或圓柱的形狀， 軸方向的長(zhǎng)度就沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)期望的前述薄膜的大小適當(dāng)選擇。
[0096] 第一輥12A、第二輥12B的直徑根據(jù)期望的前述薄膜的大小適當(dāng)選擇。例如，就 輥與前述薄膜的接觸時(shí)間的適當(dāng)化的觀點(diǎn)而言，優(yōu)選設(shè)為大于或等于150cm且小于或等于 500cm，進(jìn)一步優(yōu)選設(shè)為大于或等于200cm且小于或等于450cm。如果接觸時(shí)間適當(dāng)，則例如 能夠獲得由第一輥12A、第二輥12B的表面溫度帶來(lái)的期望的預(yù)熱效果。
[0097] 第一輥1放和第二輥12B的表面溫度優(yōu)選為大于或等于60°C且小于或等于 110°C，更優(yōu)選為大于或等于70°C且小于或等于100°c。通過(guò)使第一輥12A和第二輥12B的 表面溫度在前述范圍內(nèi)，存在下述傾向：在使薄膜 2A、2B的熱固性樹(shù)脂軟化而使其具有流 動(dòng)性時(shí)，表面變得容易平滑化，容易將薄膜2A、2B內(nèi)部殘留的氣泡向外部除去，或容易使氣 泡分散得細(xì)小。此外，如果第一輥12A和第二輥12B的表面溫度為大于或等于6(TC，則存 在下述傾向：容易將薄膜2的熱固性樹(shù)脂的流動(dòng)性確保為對(duì)于使薄膜平滑化而言充分的大 小。此外，如果第一輥12A和第二輥12B的表面溫度為小于或等于 11(rC，貝丨j抑制前述熱固 性樹(shù)脂的固化進(jìn)行，作為結(jié)果，存在下述傾向：容易將前述熱固性樹(shù)脂的流動(dòng)性確保為對(duì)于 使薄膜平滑化而言充分的大小。
[0098]在將帶有基材的薄膜3A、3B導(dǎo)向第一輥12A和第二輥12B的輥間時(shí)，優(yōu)選使帶有 基材的薄膜3A接觸并沿著第一輥12A的外周面、帶有基材的薄膜3B接觸并沿著第二輥12B 的外周面。這樣，能夠在連接第一輥12A與第二輥12B的中心軸的直線X-X，上在薄膜2A、 2B的膜厚方向上施加了壓力時(shí)，使薄膜2A、2B內(nèi)的氣泡容易向外部排出。此外，在第一輥 1放和第二輥12B的表面溫度比帶有基材的薄膜3A、3B的表面溫度更高的情況下，可以利用 第一棍12A和第二棍12B的表面溫度對(duì)帶有基材的薄膜3A、3B進(jìn)行加熱。
[0099]關(guān)于帶有基材的薄膜3A與第一輥12A的接觸狀態(tài)和帶有基材的薄膜3B與第二輥 12B的接觸狀態(tài)，參照?qǐng)D3A、圖3B進(jìn)行說(shuō)明。
[0100]如圖3A和圖3B所示，在通過(guò)與第一輥12A和第二輥12B的旋轉(zhuǎn)軸13A、13B垂直 的平面26將第一輥12A和第二輥12B以及帶有基材的薄膜M、3B切斷的情況下形成的截 面（圖邪）中，將連接帶有基材的薄膜Μ與第一輥12A接觸的區(qū)域中的第一輥12A的旋轉(zhuǎn) 方向的最上游側(cè)的點(diǎn)P與第一輥12A的旋轉(zhuǎn)軸13A的直線設(shè)為直線A，將連接帶有基材的 薄膜3B與第二輥12B接觸的區(qū)域中的第二輥12B的旋轉(zhuǎn)方向的最上游側(cè)的點(diǎn)P'與第二輥 的旋轉(zhuǎn)軸13B的直線設(shè)為直線B。將連接第一輥12A的旋轉(zhuǎn)軸13A與第二輥12B的旋 轉(zhuǎn)軸13B的直線設(shè)為直線C。將直線A與直線C所成的角度定義為夾角Θ，將直線B與直 線C所成的角度定義為夾角Θ'。
[0101] 關(guān)于夾角θ、Θ'，從薄膜2A、2B的前述樹(shù)脂組合物的物性調(diào)節(jié)的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選 夾角θ、θ'中的至少一方為大于或等于30°且小于或等于135°，更優(yōu)選為大于或等于 45°且小于或等于90°。
[0102] 通過(guò)將夾角θ、Θ '設(shè)為大于或等于30°的角度，存在氣泡容易從薄膜2Α、2Β向外 部排出的傾向。此外，在以同一輸送速度進(jìn)行比較的情況下，從第一輥12Α、第二輥12Β的表 面接受預(yù)熱的時(shí)間不會(huì)過(guò)短。此外，在薄膜2Α、2Β的膜厚方向上施加了壓力時(shí)，在壓力集中 的部分附近，薄膜2Α、2Β中的樹(shù)脂容易流動(dòng)變形。另一方面，通過(guò)將夾角θ、Θ '設(shè)為小于 或等于135°，在以同一輸送速度進(jìn)行比較的情況下，薄膜2Α、2Β隔著基材1從第一輥12Α、 第二輥12Β的表面接受預(yù)熱的時(shí)間不會(huì)過(guò)長(zhǎng)。這樣，利用第一輥12Α、第二輥12Β的表面溫 度，存在能夠抑制在薄膜2Α、2Β的膜厚方向上施加了壓力時(shí)過(guò)度流動(dòng)變形的傾向，此外，還 存在能夠抑制薄膜2Α、2Β從基材1的兩側(cè)端部露出的傾向。
[0103] 另外，夾角θ、Θ，可以相同也可以不同。通過(guò)將夾角θ、Θ '設(shè)為相同，有如下 優(yōu)點(diǎn)：在準(zhǔn)備的2片帶有基材的薄膜3Α、3Β為彼此相同材質(zhì)的情況下，能夠分別均勻地接受 預(yù)熱。另一方面，通過(guò)設(shè)為不同的夾角θ、Θ '，有如下優(yōu)點(diǎn)：在準(zhǔn)備的2片帶有基材的薄膜 3Α、3Β的材質(zhì)不同的情況下，能夠進(jìn)行調(diào)節(jié)以接受適合各自材質(zhì)的預(yù)熱。
[0104] 第一輥12Α和第二輥12Β上的薄膜2Α、2Β的輸送速度優(yōu)選為大于或等于〇· 01m/ 分鐘且小于或等于2m/分鐘，更優(yōu)選為小于或等于lm/分鐘。如果前述薄膜的輸送速度包 含在前述范圍內(nèi)，則有以下的優(yōu)點(diǎn)。即，在第一輥12A和第二輥12B的表面溫度比帶有基材 的薄膜3A、3B的表面溫度更高的情況下，在利用第一輥12A、第二輥12B在層疊之后不久的 帶有基材的薄膜層疊體5的膜厚方向上施加壓力時(shí)，熱從第一輥 12A、第二輥12B的表面充 分傳遞至帶有基材的薄膜層疊體5中的薄膜層疊體4 (參照?qǐng)D2)。其結(jié)果是，存在能夠確保 導(dǎo)熱片的平滑化所需的熱固性樹(shù)脂的流動(dòng)性的傾向。另一方面，從導(dǎo)熱片的特性的觀點(diǎn)出 發(fā)，前述薄膜的輸送速度的范圍的下限沒(méi)有必要特別限定，優(yōu)選為能夠在24小時(shí)內(nèi)制作全 長(zhǎng)100m的導(dǎo)熱片的輸送速度即大于或等于〇. 07m/min。
[0105]由第一輥12A和第二輥12B施加在薄膜層疊體4A、4B中的薄膜2A、2B的膜厚方向 上的線壓優(yōu)選為大于或等于10kN/m且小于或等于350kN/m，更優(yōu)選為大于或等于20kN/m且 小于或等于l〇〇kN/m。如果前述線壓為大于或等于 10kN/m，則能夠確保將導(dǎo)熱片的導(dǎo)熱率 設(shè)為期望值所需的導(dǎo)熱性粒子間的間隔。由此，存在能夠抑制導(dǎo)熱片的導(dǎo)熱率降低的傾向。 此外，如果前述線壓為小于或等于 35〇kN/m，則獲得的薄膜層疊體4的膜厚不會(huì)變薄，從而 導(dǎo)熱片的膜厚也不會(huì)變薄。其結(jié)果是，能夠充分確保作為良導(dǎo)體的導(dǎo)熱性粒子間的間隔，能 夠避免導(dǎo)熱片的絕緣性降低。
[0106]本發(fā)明的制造方法只要是如下的制造方法，則對(duì)適用本制造方法的制造裝置的構(gòu) 成沒(méi)有特別限制，所述制造方法為：將至少2片帶有基材的薄膜使各自的前述薄膜相接觸 地配置于相對(duì)配置的第一輥和第二輥的輥間，使前述一對(duì)輥旋轉(zhuǎn)，從而在前述薄膜的膜厚 方向上施加壓力并使第一帶有基材的薄膜和第二帶有基材的薄膜重合地進(jìn)行輸送。
[0107]圖4為表示可以適用本發(fā)明的制造方法的導(dǎo)熱片的制造裝置的一例的概略圖。 [0108]圖4所示的制造裝置10上，配置有相對(duì)配置的第一輥12A和第二輥12B、以及層疊 片卷繞用輥24。在第一輥1以的旋轉(zhuǎn)方向上游側(cè)，配置有薄膜抽出用輥14A和保護(hù)膜卷繞 用輥16A。在第二輥12B的旋轉(zhuǎn)方向上游側(cè)，配置有薄膜抽出用輥 14B和保護(hù)膜卷繞用輥 1冊(cè)。薄膜抽出用輥14A和薄膜抽出用輥14B分開(kāi)配置，保護(hù)膜卷繞用輥16A和保護(hù)膜卷繞 用輥16B分開(kāi)配置。
[0109] 在第一輥UA和第二輥12B與層疊片卷繞用輥24之間，從靠近第一輥12A、第二輥 12B的一側(cè)開(kāi)始配置有基材卷繞用輥I8和保護(hù)膜抽出用輥20,在保護(hù)膜抽出用輥20與層 疊片卷繞用輥24之間，卷繞側(cè)壓送輥22A、22B相對(duì)配置。
[0110]制造裝置1〇上配置有未圖示的驅(qū)動(dòng)裝置，該驅(qū)動(dòng)裝置能夠控制薄膜抽出用輥 14A、14B與層疊片卷繞用輥24的旋轉(zhuǎn)同步。
[0111] 制造裝置10中，通過(guò)驅(qū)動(dòng)裝置進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，各輥能夠從薄膜抽出用輥14A、14B向卷 繞輥24方向旋轉(zhuǎn)，能夠輸送薄膜2A和薄膜2B、以及對(duì)它們?cè)谀ず穹较蛏蠈盈B和加壓而獲得 的薄膜層疊體4。
[0112] 制造導(dǎo)熱片時(shí)，準(zhǔn)備輥狀的帶有基材和保護(hù)膜的薄膜7A、7B，以成為各自的基材 1A、1B與第一輥12A或第二輥12B相接觸的朝向的方式安裝在薄膜抽出用輥14A、14B上。 帶有基材和保護(hù)膜的薄膜？A、 7B隨著保護(hù)膜卷繞用輥16A、16B的旋轉(zhuǎn)，保護(hù)膜6被剝離，同 時(shí)作為帶有基材的薄膜3A、 3B被抽出并輸送，分別被導(dǎo)向第一輥12A和第二輥12B之間。
[0113] 帶有基材的薄膜3A、3B中的薄膜2A、2B被導(dǎo)向輥間后，薄膜2A、2B彼此重合。如 果以重合的狀態(tài)通過(guò)第一輥1ZA和第二輥1?的輥間，則在薄膜2A、2B的膜厚方向上被施 加壓力，獲得包含薄膜層疊體4(參照?qǐng)D 2)的帶有基材的薄膜層疊體5。
[01 Μ]另外，如果薄膜2Α和薄膜2Β在被導(dǎo)向第一輥12Α和第二輥12Β之間時(shí)為相對(duì)的 朝向，則可以將對(duì)應(yīng)的帶有基材和保護(hù)膜的薄膜7的任一者安裝于薄膜抽出用輥14Α、14Β 中的任一者上。
[0115]利用配置于第一輥1SA和第二輥12Β的輸送方向下游側(cè)的未圖示的剝離裝置，將 通過(guò)了第一輥12Α和第二輥1?之間的帶有基材的薄膜層疊體5的一面的基材1Α剝離，然 后，導(dǎo)向輸送方向下游側(cè)。被剝離的基材1Α被卷繞在基材卷繞用輥18上。
[0116] 在保護(hù)膜抽出用輥20的旋轉(zhuǎn)方向下游側(cè)，將一面的基材Μ剝離之后的帶有基材 的薄膜層疊體5被導(dǎo)向卷繞側(cè)壓送親22Α和卷繞用棍22Β之間。在將基材1Α剝離而露出 的薄膜層疊體5的表面上，層疊從保護(hù)膜抽出用輥20被抽出的保護(hù)膜6。層疊在薄膜層疊 體4上的保護(hù)膜6與帶有基材和保護(hù)膜的薄膜7中的保護(hù)膜可以相同也可以不同。由此， 形成帶有基材和保護(hù)膜的薄膜層疊體8。
[0117] 帶有基材和保護(hù)膜的薄膜層疊體8以層疊有保護(hù)膜6的一側(cè)作為內(nèi)側(cè)地被卷繞在 卷繞用輥24上。
[0118] 卷繞在卷繞用輥24上的帶有基材和保護(hù)膜的薄膜層疊體8通過(guò)將保護(hù)膜6、基材 1Β去除而能夠作為導(dǎo)熱片使用。
[0119] 制造裝置10中，將用于使帶有基材的薄膜3Α、3Β重合并在膜厚方向上施加壓力從 而獲得帶有基材的薄膜層疊體5的輥設(shè)為2根（第一輥12Α、第二輥12Β)，作為輥的根數(shù)， 只要為2根以上就沒(méi)有特別限制。此外，對(duì)于將薄膜2Α、2Β配置于輥間并在膜厚方向上施 加壓力的輥間的位置和次數(shù)也沒(méi)有特別限制。
[0120] 將改變了輥的根數(shù)和輥間的位置的其他例子示于圖5、圖6和圖7。其中，在圖5? 圖7中，對(duì)于與圖1相同的構(gòu)件給予相同的符號(hào)，并省略說(shuō)明。
[0121] 圖5表示使用了 3根輥的制造裝置30。
[0122] 在制造裝置30中，沿著帶有基材的薄膜3Α、3Β和帶有基材的薄膜層疊體5的輸送 方向連續(xù)配置有第一輥32Α、第二輥32Β和第三輥32C。在制造裝置30中合計(jì)有2處輥間， 除了由第一輥32Α與第二輥32Β形成的間隙以外，還有由第二輥32Β與第三輥32C形成的 間隙。由此，帶有基材的薄膜層疊體5的配置于第一輥32Α與第二輥32Β之間的部分在通 過(guò)第一輥32Α與第二輥32Β之間后，被配置于第三輥32C與第四輥32D之間，并在膜厚方向 上被施加壓力。其結(jié)果是，對(duì)薄膜層疊體4在膜厚方向上施加2次壓力。
[0123] 圖6表示使用了 4根輥的制造裝置40。
[0124] 在制造裝置40中，沿著帶有基材的薄膜3Α、3Β和帶有基材的薄膜層疊體5的輸送 方向，連續(xù)配置有第一輥42Α、第二輥42Β、第三輥42C和第四輥42D。合計(jì)有3處輥間，除 了由第一輥42Α與第二輥42Β形成的間隙以外，還有由第二輥42Β與第三輥42C形成的間 隙和由第三輥42C與第四輥42D形成的間隙。由此，帶有基材的薄膜層疊體5的配置于第 一輥42Α與第二輥42Β之間的部分在通過(guò)第一輥42Α與第二輥42Β之后，被配置于第二輥 42Β與第三輥42C之間，進(jìn)而被配置于第三輥42C與第四輥42D之間，分別在膜厚方向上被 施加壓力。其結(jié)果是，對(duì)薄膜層疊體4在膜厚方向上施加3次壓力。
[0125] 圖7進(jìn)一步表示使用了 4根輥的另一制造裝置5〇。
[0126] 在制造裝置50中，沿著帶有基材的薄膜3Α、3Β和帶有基材的薄膜層疊體5的輸送 方向合計(jì)有2處輥間，除了由第一輥52Α與第二輥52Β形成的間隙以外，還有由與前述第一 輥52A和第二輥52B保持距離配置的第三輥52C和第四輥52D形成的間隙。由此，帶有基 材的薄膜層疊體5的配置于第一輥52A與第二輥52B之間的部分在通過(guò)第一輥52A與第二 輥52B后，被配置于第三輥52C與第四輥5?之間，并在膜厚方向上被施加壓力。其結(jié)果是， 對(duì)薄膜層疊體4在膜厚方向上施加2次壓力。
[0127]在這樣能夠適用本發(fā)明的導(dǎo)熱片的制造方法的裝置中，能夠在薄膜層疊體4的膜 厚方向上加壓的輥的根數(shù)沒(méi)有特別限制，可以根據(jù)輥的根數(shù)增加薄膜層疊體4的膜厚方向 的加壓次數(shù)。具有下述優(yōu)點(diǎn)：可以通過(guò)增加薄膜層疊體4的膜厚方向的加壓次數(shù)對(duì)膜厚、填 料取向、平坦性等進(jìn)行調(diào)整。
[0128]另一方面，將能夠在薄膜層疊體4的膜厚方向上加壓的輥根數(shù)設(shè)為2根時(shí)，通過(guò)以 由2根輥形成的間隙在薄膜層疊體4的膜厚方向上施加壓力，從而能夠使對(duì)薄膜層疊體4 在膜厚方向上的加壓和減壓、以及根據(jù)情況的隔著基材1A、1B的加熱和冷卻均1次性完成。 其結(jié)果是，具有下述優(yōu)點(diǎn)：能夠?qū)?duì)前述薄膜層疊體的加壓引起的負(fù)荷、由加熱引起的熱負(fù) 荷等抑制至最小限度。
[0129] 此外，在使用了制造裝置30、40、50的導(dǎo)熱片的制造方法中，關(guān)于薄膜的輸送速 度、對(duì)薄膜的膜厚方向的線厚等，除了隨著輥的根數(shù)進(jìn)行變更以外，還可以直接采用與制造 裝置10相同的條件以及優(yōu)選的條件。
[0130] 此外，在使用了制造裝置10、30、40、50的導(dǎo)熱片的制造方法中，以將帶有基材和 保護(hù)膜的薄膜7作為材料來(lái)獲得帶有基材和保護(hù)膜的薄膜層疊體 8的情況為例進(jìn)行了說(shuō) 明，但本發(fā)明的導(dǎo)熱片只要是組合由含有熱導(dǎo)電性粒子和熱固性樹(shù)脂的樹(shù)脂組合物形成的 多片薄膜而制作的導(dǎo)熱片就不限定于此。
[0131] (導(dǎo)熱片）
[0132] 通過(guò)本發(fā)明的制造方法獲得的導(dǎo)熱片包含進(jìn)行了結(jié)合的多片薄膜。
[0133] 從熱阻性和絕緣性的觀點(diǎn)出發(fā)，導(dǎo)熱片的平均膜厚優(yōu)選為大于或等于1〇〇μηι且 小于或等于250 μ m，從導(dǎo)熱性和粘接性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為大于或等于11〇 μ m且小于或等 于230 μ m，更優(yōu)選為大于或等于120 μ m且小于或等于210 μ m。
[0134] 其中，導(dǎo)熱片的平均膜厚設(shè)為使用千分尺對(duì)導(dǎo)熱片的表面進(jìn)行數(shù)點(diǎn)（例如10點(diǎn)） 測(cè)定得到的值的算術(shù)平均。
[0135] 此外，導(dǎo)熱片的膜厚可以與所準(zhǔn)備的多片薄膜的合計(jì)膜厚相比有所減少。優(yōu)選下 述式（2)所示的膜厚減少率為大于或等于50%且小于或等于95%，就容易獲得更好的導(dǎo)熱 片的導(dǎo)熱率和絕緣性的觀點(diǎn)而言，更優(yōu)選為大于或等于75%且小于或等于95%。
[0136] [數(shù) 4]
[0137]

【權(quán)利要求】
1. 一種包含進(jìn)行了結(jié)合的多片薄膜的導(dǎo)熱片的制造方法，其包含： 至少準(zhǔn)備具有基材以及設(shè)于該基材上的含有導(dǎo)熱性粒子和熱固性樹(shù)脂的薄膜的、第一 帶有基材的薄膜和第二帶有基材的薄膜， 使所述第一帶有基材的薄膜和第二帶有基材的薄膜各自的所述薄膜相接觸，配置于相 對(duì)配置而成對(duì)的第一輥和第二輥的輥間， 使所述成對(duì)的第一輥和第二輥旋轉(zhuǎn)，從而在所述薄膜的膜厚方向上施加壓力，并使第 一帶有基材的薄膜和第二帶有基材的薄膜重合地進(jìn)行輸送。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)熱片的制造方法， 在與所述第一輥和所述第二輥的旋轉(zhuǎn)軸垂直的平面上將所述第一輥和所述第二輥以 及所述第一帶有基材的薄膜和第二帶有基材的薄膜切斷而成的截面中，將連接所述第一帶 有基材的薄膜與所述第一輥接觸的區(qū)域中的所述第一輥的旋轉(zhuǎn)方向的最上游側(cè)的點(diǎn)與所 述第一輥的中心點(diǎn)的直線設(shè)為直線A、將連接所述第二帶有基材的薄膜與所述第二輥接觸 的區(qū)域中的所述第二輥的旋轉(zhuǎn)方向的最上游側(cè)的點(diǎn)與所述第二輥的中心點(diǎn)的直線設(shè)為直 線B、將連接所述第一輥的中心點(diǎn)與第二輥的中心點(diǎn)的直線設(shè)為直線C時(shí)，直線A與直線C 所成的角度和直線B與直線C所成的角度中的至少一方為大于或等于30°且小于或等于 135。。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的導(dǎo)熱片的制造方法，在將薄膜的每單位面積的 質(zhì)量相對(duì)于膜厚等于膜厚設(shè)計(jì)值的導(dǎo)熱片的每單位面積的質(zhì)量的倍率設(shè)為薄膜的質(zhì)量倍 數(shù)時(shí)，所述薄膜的每單位面積的質(zhì)量滿足以下的式（1)， QJ L2 I <薄膜的質(zhì)量倍數(shù)<7…(1) η 魏 式中，η表示薄膜的片數(shù)，表示大于或等于2的整數(shù)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1?權(quán)利要求3中任一項(xiàng)所述的導(dǎo)熱片的制造方法，配置于所述第 一輥與所述第二輥間之前的所述薄膜的殘留揮發(fā)成分為該薄膜的總質(zhì)量的大于或等于0. 3 質(zhì)量％且小于或等于1. 2質(zhì)量％。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1?權(quán)利要求4中任一項(xiàng)所述的導(dǎo)熱片的制造方法，所述第一輥和第 二輥的表面溫度均為大于或等于60°C且小于或等于1KTC。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1?權(quán)利要求5中任一項(xiàng)所述的導(dǎo)熱片的制造方法，所述第一帶有基 材的薄膜和第二帶有基材的薄膜的輸送速度為大于或等于〇. oim/分鐘且小于或等于2m/ 分鐘。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1?權(quán)利要求6中任一項(xiàng)所述的導(dǎo)熱片的制造方法，由所述第一輥和 第二輥施加在所述薄膜的膜厚方向上的線壓為大于或等于l〇kN/m且小于或等于350kN/m。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1?權(quán)利要求7中任一項(xiàng)所述的導(dǎo)熱片的制造方法，所述導(dǎo)熱片的下 述式（2)所7K的膜厚減少率為大于或等于50%且小于或等于95%， 導(dǎo)熱片的膜厚 月艇厚減少率（? )=翻的含計(jì)膜厚乂 10G ... (2 λ
9. 根據(jù)權(quán)利要求1?權(quán)利要求8中任一項(xiàng)所述的導(dǎo)熱片的制造方法，將所述第一帶有 基材的薄膜和第二帶有基材的薄膜的通過(guò)了所述成對(duì)的第一輥和所述第二輥的輥間的部 分配置于構(gòu)成與所述第一輥和所述第二輥的輥間不同的輥間的-對(duì)輥的輥間，并在所述薄 膜的膜厚方向上對(duì)該部分施加壓力。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1?權(quán)利要求9中任一項(xiàng)所述的導(dǎo)熱片的制造方法，所述熱固性樹(shù)脂 為液態(tài)環(huán)氧樹(shù)脂。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1?權(quán)利要求10中任一項(xiàng)所述的導(dǎo)熱片的制造方法，所述導(dǎo)熱性粒 子含有至少3種體積平均粒徑不同的填料。 I2· -種導(dǎo)熱片，其通過(guò)權(quán)利要求1?權(quán)利要求11中任一項(xiàng)所述的制造方法來(lái)制造。 I3· -種帶有金屬箔的導(dǎo)熱片，在權(quán)利要求U所述的導(dǎo)熱片上設(shè)有金屬箔。 -種半導(dǎo)體裝置，其包含權(quán)利要求I3所述的帶有金屬箔的導(dǎo)熱片。
【文檔編號(hào)】B29C65/20GK104221143SQ201380017838
【公開(kāi)日】2014年12月17日 申請(qǐng)日期:2013年3月29日 優(yōu)先權(quán)日:2012年3月30日
【發(fā)明者】阿波野康彥, 西山智雄, 片木秀行, 白坂敏明, 福田和真, 桑野敦司, 五十幡貴弘 申請(qǐng)人:日立化成株式會(huì)社