本發(fā)明涉及尾氣處理
技術(shù)領(lǐng)域：
，尤其涉及一種尾氣處理監(jiān)控方法及系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
：tft-lcd制造行業(yè)干法刻蝕設備及化學氣相沉積設備等設備因其在制程工藝中會使用到特殊氣體，諸如cf4/sf6/cl2/nf3/n2o等，這些氣體若直接排放至大氣環(huán)境中會造成環(huán)境污染，按照行業(yè)通用做法，會在這兩種主設備系統(tǒng)上增加輔機，即尾氣處理設備，對有害氣體進行分解除害，尾氣處理目前多采用燃燒加水洗的方案，在實際運用中需使用天然氣及水等資源，針對資源節(jié)約，現(xiàn)行的節(jié)能方案如下：當尾氣處理設備接收到cf4/sf6/cl2/nf3/n2o信號時，會啟動“高火模式”(額外加入氧氣及天然氣)，其他狀況下啟用“普通模式”，即使用較少天然氣，不使用氧氣。針對資源節(jié)約，現(xiàn)行的節(jié)能方案如下：干法刻蝕設備配套尾氣處理設備代號atlas，目前節(jié)能模式啟用狀況如下：當atlas接收到cf4/sf6/cl2信號時，atlas會啟動“高火模式”(額外加入氧氣及天然氣)，其他狀況下啟用“普通模式”，即使用較少天然氣，不使用氧氣，用于處理尾氣的物料用量具體如表1所示：表1模式天然氣氧氣水高火模式120slm150slm10slm普通模式22slm0slm10slm化學氣相沉積設備配套尾氣處理設備代號neptune，目前節(jié)能模式啟用狀況如下：當neptune接收到nf3/n2o信號時，neptune會啟動“高火模式”(額外加入天然氣)，其他狀況下啟用“普通模式”即不使用額外天然氣，用于處理尾氣的物料用量具體如表2所示：表2模式天然氣水高火模式125slm20slm普通模式89slm20slm上述是現(xiàn)有技術(shù)中干法刻蝕設備用的atlas或化學氣相沉積設備用的neptune尾氣處理設備，在現(xiàn)行的節(jié)能模式下，只能根據(jù)特氣有無使用進行對天然氣及氧氣的有限節(jié)能，當主設備處于待料不生產(chǎn)狀態(tài)時，尾氣處理設備無法做到進一步的節(jié)能，尾氣處理設備用的去離子水將會持續(xù)消耗。技術(shù)實現(xiàn)要素：為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種尾氣處理監(jiān)控方法及系統(tǒng)，根據(jù)主設備的不同設備狀態(tài)實現(xiàn)節(jié)能處理模式和普通處理模式的切換，來實現(xiàn)更好的控制和節(jié)約資源的目的。本發(fā)明提供的技術(shù)方案如下：本發(fā)明公開了一種尾氣處理監(jiān)控方法，包括步驟：主設備檢測其當前的設備狀態(tài)，并根據(jù)當前設備狀態(tài)生成對應的狀態(tài)信號，并發(fā)送所述狀態(tài)信號至尾氣處理設備；尾氣處理設備接收所述狀態(tài)信號，并根據(jù)所述狀態(tài)信號啟動相對應的處理模式；尾氣處理設備根據(jù)對應的所述處理模式將用于處理尾氣的物料的用量調(diào)整為對應的預設值；尾氣處理設備根據(jù)用量為所述預設值的物料對尾氣進行處理。進一步地，所述設備狀態(tài)包括第一狀態(tài)和第二狀態(tài)；所述狀態(tài)信號包括第一狀態(tài)信號和第二狀態(tài)信號；所述處理模式包括節(jié)能處理模式和普通處理模式；所述預設值包括第一預設值和第二預設值；所述第二預設值大于所述第一預設值；所述第一狀態(tài)、所述第一狀態(tài)信號、所述節(jié)能處理模式以及所述第一預設值分別對應；所述第二狀態(tài)、所述第二狀態(tài)信號、所述普通處理模式以及所述第二預設值分別對應。進一步地，所述步驟“主設備檢測其當前的狀態(tài)，并根據(jù)當前狀態(tài)生成對應的狀態(tài)信號至尾氣處理設備”進一步包括步驟：主設備檢測其當前的狀態(tài)為第一狀態(tài)時，根據(jù)所述第一狀態(tài)生成對應的第一狀態(tài)信號，并發(fā)送所述第一狀態(tài)信號至尾氣處理設備；或，主設備檢測其當前的狀態(tài)為第二狀態(tài)時，根據(jù)所述第二狀態(tài)生成對應的第二狀態(tài)信號，并發(fā)送所述第二狀態(tài)信號至尾氣處理設備。進一步地，所述步驟“尾氣處理設備接收所述狀態(tài)信號，并根據(jù)所述狀態(tài)信號啟動相對應的處理模式”進一步包括步驟：尾氣處理設備接收所述第一狀態(tài)信號，并根據(jù)所述第一狀態(tài)信號啟動相對應的節(jié)能處理模式；或，尾氣處理設備接收所述第二狀態(tài)信號，并根據(jù)所述第二狀態(tài)信號啟動相對應的普通處理模式。進一步地，所述步驟“尾氣處理設備根據(jù)對應的所述處理模式調(diào)整用于處理尾氣的物料的用量至對應的預設值”進一步包括步驟：當啟動節(jié)能處理模式時，所述預設值為所述第一預設值，尾氣處理設備根據(jù)節(jié)能處理模式將用于處理尾氣的物料的用量調(diào)整為第一預設值；或，當啟動普通處理模式時，尾氣處理設備根據(jù)普通處理模式將用于處理尾氣的物料的用量調(diào)整為第二預設值。進一步地，所述步驟“尾氣處理設備接收所述狀態(tài)信號，根據(jù)所述狀態(tài)信號啟動相對應的處理模式”之后還包括步驟：尾氣處理設備判斷是否完成當前的處理模式啟動；若是，尾氣處理設備向主設備發(fā)送與當前的處理模式相對應的啟動完成信號。進一步地，還包括步驟：主設備判斷自發(fā)出狀態(tài)信號之后的預設時間內(nèi)是否接收到尾氣處理設備發(fā)出的與所述狀態(tài)信號對應的啟動完成信號；若未接收到，主設備發(fā)出與狀態(tài)信號相對應的啟動錯誤報警信號。本發(fā)明還公開了一種尾氣處理監(jiān)控系統(tǒng)，采用上述尾氣處理監(jiān)控方法，包括：主設備和尾氣處理設備；所述主設備包括：第一檢測模塊，用于檢測其當前的設備狀態(tài)；狀態(tài)信號生成模塊，用于根據(jù)當前設備狀態(tài)生成對應的狀態(tài)信號；第一發(fā)送模塊，用于發(fā)送所述狀態(tài)信號至尾氣處理設備；所述尾氣處理設備包括：第二接收模塊，用于接收所述主設備發(fā)送的所述狀態(tài)信號；啟動模塊，用于根據(jù)所述狀態(tài)信號啟動相對應的處理模式；調(diào)整模塊，用于根據(jù)對應的所述處理模式調(diào)整用于處理尾氣的物料的用量至對應的預設值；處理模塊，用于根據(jù)用量為所述預設值的物料對尾氣進行處理。進一步地，所述尾氣處理設備還包括：第二判斷模塊，用于判斷是否完成當前的處理模式啟動；第二發(fā)送模塊，用于當判斷完成當前的處理模式啟動時，向主設備發(fā)送與當前的處理模式相對應的啟動完成信號；所述主設備還包括：第一接收模塊，用于接收所述尾氣處理設備發(fā)送的啟動完成信號。進一步地，所述主設備還包括：第一判斷模塊，用于判斷自發(fā)出狀態(tài)信號之后的預設時間內(nèi)是否接收到尾氣處理設備發(fā)出的與所述狀態(tài)信號對應的啟動完成信號；所述第一發(fā)送模塊還用于當判斷自發(fā)出狀態(tài)信號之后的預設時間內(nèi)未接收到尾氣處理設備發(fā)出的與所述狀態(tài)信號對應的啟動完成信號時，發(fā)出與狀態(tài)信號相對應的啟動錯誤報警信號。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明至少具有以下任意一項有益效果：1、通過根據(jù)主設備的設備狀態(tài)切換不同的處理模式，實現(xiàn)當主設備處于需要節(jié)能處理模式的第一狀態(tài)時，啟動節(jié)能處理模式，減少用于尾氣處理的物料的用量，避免大量資源浪費；2、當主設備的設備狀態(tài)為需要普通處理模式的第二狀態(tài)時，主設備自動將“第二狀態(tài)信號”發(fā)送給尾氣處理設備，尾氣處理設備自動切換為“普通處理模式”，采用切換處理模式的方式使本發(fā)明更具有靈活性；3、本發(fā)明的設備改造簡單、容易實現(xiàn)，對產(chǎn)品工藝不會有任何影響，與現(xiàn)有技術(shù)可以很好的匹配，利于大規(guī)模量產(chǎn)實現(xiàn)。附圖說明下面將以明確易懂的方式，結(jié)合附圖說明優(yōu)選實施方式，對本發(fā)明予以進一步說明。圖1為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的主要步驟示意圖；圖2為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的完整步驟示意圖；圖3為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的實施例一的步驟示意圖；圖4為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的實施例一的干法刻蝕設備節(jié)能處理模式啟動流程圖；圖5為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的實施例一的化學氣相沉積設備節(jié)能處理模式啟動流程圖；圖6為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的實施例二的步驟示意圖；圖7為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的實施例二的干法刻蝕設備普通處理模式啟動流程圖；圖8為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的實施例二的化學氣相沉積設備普通處理模式啟動流程圖；圖9為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控系統(tǒng)的主要組成示意圖；圖10為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控系統(tǒng)的完整組成示意圖。附圖標號說明：100、主設備，110、第一檢測模塊，120、狀態(tài)信號生成模塊，130、第一發(fā)送模塊，140、第一判斷模塊，150、第一接收模塊，200、尾氣處理設備，210、第二接收模塊，220、啟動模塊，230、調(diào)整模塊，240、處理模塊，250、第二判斷模塊，260、第二發(fā)送模塊。具體實施方式為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對照附圖說明本發(fā)明的具體實施方式。顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖，并獲得其他的實施方式。為使圖面簡潔，各圖中只示意性地表示出了與本發(fā)明相關(guān)的部分，它們并不代表其作為產(chǎn)品的實際結(jié)構(gòu)。另外，以使圖面簡潔便于理解，在有些圖中具有相同結(jié)構(gòu)或功能的部件，僅示意性地繪示了其中的一個，或僅標出了其中的一個。在本文中，“一個”不僅表示“僅此一個”，也可以表示“多于一個”的情形。圖1為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的主要步驟示意圖。如圖1所示，一種尾氣處理監(jiān)控方法，包括步驟：s100、主設備檢測其當前的設備狀態(tài)，并根據(jù)當前設備狀態(tài)生成對應的狀態(tài)信號，并發(fā)送所述狀態(tài)信號至尾氣處理設備；s200、尾氣處理設備接收所述狀態(tài)信號，并根據(jù)所述狀態(tài)信號啟動相對應的處理模式；s300、尾氣處理設備根據(jù)對應的所述處理模式將用于處理尾氣的物料的用量調(diào)整為對應的預設值；s400、尾氣處理設備根據(jù)用量為所述預設值的物料對尾氣進行處理。優(yōu)選的，所述設備狀態(tài)包括第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，其中第一狀態(tài)是指主設備當前需要啟動節(jié)能處理模式的狀態(tài)，第二狀態(tài)是指主設備當前需要啟動普通處理模式的狀態(tài)；所述狀態(tài)信號包括第一狀態(tài)信號和第二狀態(tài)信號；所述處理模式包括節(jié)能處理模式和普通處理模式；所述預設值包括第一預設值和第二預設值；所述第二預設值大于所述第一預設值；所述第一狀態(tài)、所述第一狀態(tài)信號、所述節(jié)能處理模式以及所述第一預設值分別對應；所述第二狀態(tài)、所述第二狀態(tài)信號、所述普通處理模式以及所述第二預設值分別對應。具體的，本發(fā)明適用于tft-lcd制造行業(yè)中，其中主設備包括但不限于干法刻蝕設備及化學氣相沉積設備。本發(fā)明是根據(jù)當主設備的設備狀態(tài)來選擇對應的處理模式進行尾氣處理，該設備狀態(tài)主要包括第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，以主設備為干法刻蝕設備或化學氣相沉積設備為例，說明其第一狀態(tài)和第二狀態(tài)的判定，具體如下：1、第一狀態(tài)對于干法刻蝕設備，判斷其第一狀態(tài)的方式為判斷在預設的時間內(nèi)是否有基板，若在預設的時間內(nèi)無基板搬入(即未接收到基板搬入信號)，則說明干法刻蝕設備不生產(chǎn)為待料狀態(tài)，即為需要節(jié)能處理模式的第一狀態(tài)。對于化學氣相沉積設備，判斷其第一狀態(tài)的方式為判斷在預設的時間內(nèi)是否有基板或是否有氣流，若均無，則說明化學氣相沉積設備不生產(chǎn)為待料狀態(tài)，即為需要節(jié)能處理模式的第一狀態(tài)。2、第二狀態(tài)對于第二狀態(tài)的判斷具體包括以下三個方面：21、若主設備在預設的時間內(nèi)接收到有基板搬入(即接收到基板搬入信號)，則說明主設備為來料狀態(tài)，即為需要普通處理模式的第二狀態(tài)。22、本發(fā)明還增加手動控制方式實現(xiàn)普通處理模式的切換，即當操作人員手動執(zhí)行普通處理模式切換時，主設備接收到操作人員輸入的手動信號，則認為主設備為需要普通處理模式的第二狀態(tài)。23、本發(fā)明還包括檢測是否有預設的需要執(zhí)行普通處理模式的執(zhí)行信號，比如對于化學氣相沉積設備，一般會定時執(zhí)行recipe操作，而recipe操作會產(chǎn)生需要處理的廢氣，因此當主設備執(zhí)行recipe操作時，認為其處于第二狀態(tài)，需要采用普通處理模式。需要說明的是，本發(fā)明并不對執(zhí)行信號限定為recipe執(zhí)行信號，也可以是需要執(zhí)行普通處理模式的其他執(zhí)行信號，此處僅作為示例說明。而對于第一狀態(tài)信號和第二狀態(tài)信號的生成，具體如下：1、當主設備為第一狀態(tài)時，主設備端通過“scrubberidle”do信號on實現(xiàn)“第一狀態(tài)信號”發(fā)出，該信號再通過通信線傳至尾氣處理設備，尾氣處理設備自動轉(zhuǎn)為“節(jié)能處理模式”。2、當主設備為第二狀態(tài)時，則輸出“scrubberidle”do信號off實現(xiàn)“第二狀態(tài)信號”發(fā)出，該信號再通過通信線傳至尾氣處理設備，尾氣處理設備自動轉(zhuǎn)為“普通處理模式”。圖2為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法完整步驟示意圖。如圖2所示，優(yōu)選的，對上述實施例進行改進，所述步驟s200“尾氣處理設備接收所述狀態(tài)信號，根據(jù)所述狀態(tài)信號啟動相對應的處理模式”之后還包括步驟：s250、尾氣處理設備判斷是否完成當前的處理模式啟動；若是，尾氣處理設備向主設備發(fā)送與當前的處理模式相對應的啟動完成信號。如圖2所示，優(yōu)選的，對上述實施例進行改進，還包括步驟：s500、主設備判斷自發(fā)出狀態(tài)信號之后的預設時間內(nèi)是否接收到尾氣處理設備發(fā)出的與所述狀態(tài)信號對應的啟動完成信號；若未接收到，主設備發(fā)出與狀態(tài)信號相對應的啟動錯誤報警信號。下面分別通過第一狀態(tài)和第二狀態(tài)來介紹本發(fā)明的兩個具體的實施例。實施例一：圖3為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的實施例一的步驟示意圖；如圖3所示，一種尾氣處理監(jiān)控方法，包括步驟：s110、主設備檢測其當前的狀態(tài)為第一狀態(tài)時，根據(jù)所述第一狀態(tài)生成對應的第一狀態(tài)信號，并發(fā)送所述第一狀態(tài)信號至尾氣處理設備；s210、尾氣處理設備接收所述第一狀態(tài)信號，并根據(jù)所述第一狀態(tài)信號啟動相對應的節(jié)能處理模式；s250、尾氣處理設備判斷是否完成當前的處理模式啟動；若是，尾氣處理設備向主設備發(fā)送與當前的處理模式相對應的啟動完成信號；s310、當啟動節(jié)能處理模式時，尾氣處理設備根據(jù)節(jié)能處理模式調(diào)整用于處理尾氣的物料的用量為第一預設值；s410、尾氣處理設備根據(jù)用量為所述第一預設值的物料對尾氣進行處理；s500、主設備判斷自發(fā)出第一狀態(tài)信號之后的預設時間內(nèi)是否接收到尾氣處理設備發(fā)出的與所述第一狀態(tài)信號對應的啟動完成信號；若未接收到，主設備發(fā)出與第一狀態(tài)信號相對應的啟動錯誤報警信號。上述實施例是對本發(fā)明主設備為第一狀態(tài)時，尾氣處理設備啟動節(jié)能處理模式處理尾氣的方法的闡述。具體的，本發(fā)明中當啟動節(jié)能處理模式時，尾氣處理設備根據(jù)節(jié)能處理模式調(diào)整用于處理尾氣的物料的用量為第一預設值，尾氣處理設備根據(jù)用量為所述第一預設值的物料對尾氣進行處理，其中物料、第一預設值為根據(jù)經(jīng)驗和主設備不同而設的，不作具體限定。以主設備為干法刻蝕設備或化學氣相沉積設備為例，當節(jié)能處理模式啟動時，尾氣處理設備用于處理尾氣的物料的用量具體如下：1、主設備為干法刻蝕設備，節(jié)能處理模式狀況下：天然氣lng為1.8slm，水消耗量為0.2slm。2、主設備為化學氣相沉積設備，節(jié)能處理模式狀況下：天然氣lng為24slm，水消耗量由0.4slm。相比于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明主設備在第一狀態(tài)時明顯降低了物料的用量，節(jié)約了資源。下面分別以干法刻蝕設備和化學氣相沉積設備為例詳細介紹本發(fā)明節(jié)能處理模式的啟動流程。具體的，圖4為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的實施例一的干法刻蝕設備節(jié)能處理模式啟動流程圖。如圖4所示，干法刻蝕設備為主設備，尾氣處理設備表示為scrubber，節(jié)能處理模式啟動流程具體如下：401、主設備內(nèi)無基板時間超過預設時間t1，說明主設備為第一狀態(tài)。需要說明的是，t1可以為任意設定的時間，此處可設為1～9999s中的任意一個。402、主設備通過“scrubberidle”do信號on，發(fā)送第一狀態(tài)信號。403、scrubber接受第一狀態(tài)信號，啟動節(jié)能處理模式。404、scrubber判斷是否完成節(jié)能處理模式啟動，即是否完成用于處理尾氣的物料比如水或天然氣的流量切換；若是，執(zhí)行下一步；否則，執(zhí)行409。405、scrubber發(fā)送啟動完成信號(即圖中“scrubberisidle”)至主設備。406、主設備判斷在預設時間t2內(nèi)是否接收到scrubber發(fā)送的啟動完成信號，若是，執(zhí)行下一步；否則，執(zhí)行408。需要說明的是，t2可以為任意設定的時間，此處可設為1～9999s中的任意一個。407、scrubber節(jié)能處理模式啟動完成。408、發(fā)送啟動錯誤警報信號。409、排查fault原因。具體的，圖5為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的實施例一的化學氣相沉積設備節(jié)能處理模式啟動流程圖。如圖5所示，化學氣相沉積設備為主設備，尾氣處理設備表示為scrubber，節(jié)能處理模式啟動流程具體如下：501、主設備內(nèi)無基板時間超過預設時間t1或無氣流時間超過預設時間t3，說明主設備為第一狀態(tài)。需要說明的是，t1和t3可以為任意設定的時間，此處可設為1～9999s中的任意一個。502、主設備通過“scrubberidle”do信號on，發(fā)送第一狀態(tài)信號。503、scrubber接受第一狀態(tài)信號，啟動節(jié)能處理模式。504、尾氣處理設備判斷是否完成節(jié)能處理模式啟動，即是否完成用于處理尾氣的物料比如水或天然氣的流量切換；若是，執(zhí)行下一步；否則，執(zhí)行509。505、scrubber發(fā)送啟動完成信號(即圖中“scrubberisidle”)至主設備。506、主設備判斷在預設時間t2內(nèi)是否接收到scrubber發(fā)送的啟動完成信號，若是，執(zhí)行下一步；否則，執(zhí)行508。需要說明的是，t2可以為任意設定的時間，此處可設為1～9999s中的任意一個。507、scrubber節(jié)能處理模式啟動完成。508、發(fā)送啟動錯誤警報信號。509、排查fault原因。實施例二：對上述實施例一進行改進，得到優(yōu)選的實施例二，圖6為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的實施例二的步驟示意圖。如圖6所示，一種尾氣處理監(jiān)控方法，包括步驟s120、主設備檢測其當前的狀態(tài)為第二狀態(tài)時，根據(jù)所述第二狀態(tài)生成對應的第二狀態(tài)信號，并發(fā)送所述第二狀態(tài)信號至尾氣處理設備；s220、尾氣處理設備接收所述第二狀態(tài)信號，并根據(jù)所述第二狀態(tài)信號啟動相對應的普通處理模式；s250、尾氣處理設備判斷是否完成當前的處理模式啟動；若是，尾氣處理設備向主設備發(fā)送與當前的處理模式相對應的啟動完成信號；s320、當啟動普通處理模式時，尾氣處理設備根據(jù)普通處理模式將用于處理尾氣的物料的用量調(diào)整為第二預設值；s420、尾氣處理設備根據(jù)用量為所述第二預設值的物料對尾氣進行處理；s500、主設備判斷自發(fā)出第二狀態(tài)信號之后的預設時間內(nèi)是否接收到尾氣處理設備發(fā)出的與所述第二狀態(tài)信號對應的啟動完成信號；若未接收到，主設備發(fā)出與第二狀態(tài)信號相對應的啟動錯誤報警信號。上述實施例是對本發(fā)明普通處理模式啟動(即主設備的設備狀態(tài)為來料狀態(tài)時)方法的闡述。具體的，本發(fā)明中當啟動普通處理模式時，尾氣處理設備根據(jù)普通處理模式調(diào)整用于處理尾氣的物料的用量為第二預設值，尾氣處理設備根據(jù)用量為所述第二預設值的物料對尾氣進行處理，其中物料、第二預設值為根據(jù)經(jīng)驗和主設備不同而設的，不作具體限定。以主設備為干法刻蝕設備或化學氣相沉積設備為例，當普通處理模式啟動時，尾氣處理設備用于處理尾氣的物料的用量具體如下：3、主設備為干法刻蝕設備，普通處理模式狀況下：天然氣lng為/22slm，水消耗量為10slm。4、主設備為化學氣相沉積設備，普通處理模式狀況下：天然氣lng為89slm，水消耗量由20slm。由上述數(shù)據(jù)可以看出，本發(fā)明在節(jié)能處理模式下相比于普通處理模式下明顯減少了物料的用量。下面分別以干法刻蝕設備和化學氣相沉積設備為例詳細介紹本發(fā)明普通處理模式的啟動流程。具體的，圖7為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的實施例二的干法刻蝕設備普通處理模式啟動流程圖。如圖7所示，干法刻蝕設備節(jié)能處理模式啟動流程具體如下：701、主設備接收到基板搬入信號或手動信號。702、主設備通過“scrubberidle”do信號off，發(fā)送第二狀態(tài)信號；703、scrubber接受第二狀態(tài)信號，啟動普通處理模式。704、scrubber判斷是否完成普通處理模式啟動，即是否完成用于處理尾氣的物料比如水或天然氣的流量切換；若是，執(zhí)行下一步；否則，執(zhí)行709。705、scrubber發(fā)送啟動完成信號(即圖中“scrubberisidle”)至主設備。706、主設備判斷在預設時間t2內(nèi)是否接收到scrubber發(fā)送的啟動完成信號，若是，執(zhí)行下一步；否則，執(zhí)行708。需要說明的是，t2可以為任意設定的時間，此處可設為1～9999s中的任意一個。707、scrubber普通處理模式啟動完成；708、發(fā)送啟動錯誤警報信號。709、排查fault原因。具體的，圖8為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控方法的實施例二的化學氣相沉積設備普通處理模式啟動流程圖。如圖8所示，化學氣相沉積設備節(jié)能處理模式啟動流程具體如下：801、主設備接收到基板搬入信號或recipe自動執(zhí)行信號或手動信號。802、主設備通過“scrubberidle”do信號off，發(fā)送第二狀態(tài)信號；803、scrubber接受第二狀態(tài)信號，啟動普通處理模式。804、尾氣處理設備判斷是否完成普通處理模式啟動，即是否完成用于處理尾氣的物料比如水或天然氣的流量切換；若是，執(zhí)行下一步；否則，執(zhí)行809。805、scrubber發(fā)送啟動完成信號(即圖中“scrubberisidle”)至主設備。806、主設備判斷在預設時間t2內(nèi)是否接收到scrubber發(fā)送的啟動完成信號，若是，執(zhí)行下一步；否則，執(zhí)行808。需要說明的是，t2可以為任意設定的時間，此處可設為1～9999s中的任意一個。807、scrubber普通處理模式啟動完成。808、發(fā)送啟動錯誤警報信號。809、排查fault原因。圖9為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控系統(tǒng)的主要組成示意圖，如圖9所示，一種尾氣處理監(jiān)控系統(tǒng)，采用上述尾氣處理監(jiān)控方法，包括：主設備100和尾氣處理設備200；所述主設備100包括：第一檢測模塊110，用于檢測其當前的設備狀態(tài)；狀態(tài)信號生成模塊120，用于根據(jù)當前設備狀態(tài)生成對應的狀態(tài)信號；第一發(fā)送模塊130，用于發(fā)送所述狀態(tài)信號至尾氣處理設備200；所述尾氣處理設備200包括：第二接收模塊210，用于接收所述主設備發(fā)送的所述狀態(tài)信號；啟動模塊220，用于根據(jù)所述狀態(tài)信號啟動相對應的處理模式；調(diào)整模塊230，用于根據(jù)對應的所述處理模式調(diào)整用于處理尾氣的物料的用量至對應的預設值；處理模塊240，用于根據(jù)用量為所述預設值的物料對尾氣進行處理。圖10為本發(fā)明一種尾氣處理監(jiān)控系統(tǒng)的完整組成示意圖，如圖10所示，優(yōu)選的，所述尾氣處理設備200還包括：第二判斷模塊250，用于判斷是否完成當前的處理模式啟動；第二發(fā)送模塊260，用于當判斷完成當前的處理模式啟動時，向主設備100發(fā)送與當前的處理模式相對應的啟動完成信號；所述主設備100還包括：第一接收模塊150，用于接收所述尾氣處理設備200發(fā)送的啟動完成信號。優(yōu)選的，所述主設備100還包括：第一判斷模塊140，用于判斷自發(fā)出狀態(tài)信號之后的預設時間內(nèi)是否接收到尾氣處理設備發(fā)出的與所述狀態(tài)信號對應的啟動完成信號；所述第一發(fā)送模塊130還用于當判斷自發(fā)出狀態(tài)信號之后的預設時間內(nèi)未接收到尾氣處理設備200發(fā)出的與所述狀態(tài)信號對應的啟動完成信號時，發(fā)出與狀態(tài)信號相對應的啟動錯誤報警信號。本系統(tǒng)中各模塊之間的信息交互、執(zhí)行過程等內(nèi)容與上述方法實施例基于同一構(gòu)思，具體內(nèi)容可參見本發(fā)明方法實施例中的敘述，此處不再贅述。在上述實施例中，對各個實施例的描述都各有側(cè)重，某個實施例中沒有詳述的部分，可以參見其他實施例的相關(guān)描述。應當說明的是，上述實施例均可根據(jù)需要自由組合。以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本
技術(shù)領(lǐng)域：
的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發(fā)明的保護范圍。當前第1頁12