專利名稱：一種真空爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于實(shí)驗(yàn)窯爐，具體是用于半導(dǎo)體器件、金屬材料的熱處理和還原性燒結(jié)工藝，也可用于炭化試驗(yàn)。
背景技術(shù)：
真空爐系列設(shè)備主要適用于半導(dǎo)體器件、金屬材料的熱處理和還原性燒結(jié)工藝， 也可用于炭化試驗(yàn)。目前，傳統(tǒng)的真空爐采用電阻絲加熱，由于電阻絲極限溫度比較低，導(dǎo)致?tīng)t膛的溫度也較低，滿足不了高溫工藝實(shí)驗(yàn)的要求；在真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)上，傳統(tǒng)設(shè)備只能在低溫時(shí)抽真空，不能在高溫時(shí)抽真空，更不能在高溫時(shí)連續(xù)抽真空，由于爐膛材料在加熱升溫過(guò)程中會(huì)釋放氣體，使設(shè)備的真空度降低，從而影響工藝實(shí)驗(yàn)不能正常進(jìn)行；另外，由于傳統(tǒng)的真空爐爐膛采用重質(zhì)材料砌筑而成，重質(zhì)材料密度大、熱容性不好、容易掉渣，導(dǎo)致?tīng)t膛溫度不均勻，很難達(dá)到高、精工藝實(shí)驗(yàn)的指標(biāo)和要求。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型一種真空爐所要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服上述傳統(tǒng)真空爐的缺陷，提供一種具有溫度均勻穩(wěn)定、升溫速度快、節(jié)能及壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)的真空爐裝置。本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是一種真空爐主要有機(jī)械框架、爐膛、真空系統(tǒng)組成，機(jī)械框架為立式結(jié)構(gòu)，上部固定爐膛，里面裝有真空系統(tǒng)，底部裝有滾輪。爐膛為外密封式，由真空罐和加熱腔組成，真空罐由雙層鋼板焊成密封圓桶形，前門可開(kāi)啟式，帶手動(dòng)鎖緊裝置，頂部裝有壓力表、安全閥、放氣閥，側(cè)面布置有電源線接口，前后封頭通過(guò)法蘭連接，硅膠圈密封，夾層通水冷卻。加熱腔為整體式，可以進(jìn)出真空罐，采用全纖維輕質(zhì)材料咬口拼裝而成，耐火層選用莫來(lái)石纖維制品，底部有放置物料的承燒板，承燒板選用剛玉莫來(lái)石材質(zhì)，加熱選用U型硅鉬棒，硅鉬棒在加熱腔兩側(cè)布置，用夾具懸掛在加熱腔頂部。真空系統(tǒng)外面的機(jī)械框架側(cè)面裝有循環(huán)冷卻水接口。本實(shí)用新型的有益效果是真空系統(tǒng)可在高溫時(shí)連續(xù)抽真空，提供優(yōu)良的真空環(huán)境；利用鋼板夾層隔絕熱量，降低爐表溫度，防止灼傷；有效的克服了爐頂在使用中的坍塌和開(kāi)裂現(xiàn)象；加熱腔的溫度均勻，保證物料的燒結(jié)品質(zhì)；設(shè)備外觀美觀大方，操作簡(jiǎn)潔，維護(hù)維修十分方便。

圖1是本實(shí)用新型一種真空爐主視圖。1為機(jī)械框架，2為爐膛，3為真空系統(tǒng)，4為滾輪，7為手動(dòng)鎖緊裝置，8為壓力表，9 為安全閥，10為放氣閥。圖2是本實(shí)用新型一種真空爐左視圖。5為真空罐，6為加熱腔，11為循環(huán)冷卻水接口，12為電源線接口，13為耐火層，14 為承燒板，15為硅鉬棒。
具體實(shí)施方式
如圖1和圖2，一種真空爐，主要有機(jī)械框架1、爐膛2、真空系統(tǒng)3組成，機(jī)械框架 1為立式結(jié)構(gòu)，上部固定爐膛2，里面裝有真空系統(tǒng)3，底部裝有滾輪4，可以移動(dòng)。機(jī)械框架 1主體全部采用國(guó)標(biāo)A 3板材和型材焊接而成，為了設(shè)備外觀美觀大方，表面全部采用獨(dú)立式靜電噴塑，維護(hù)、維修十分方便。爐膛2為外密封式，由真空罐5和加熱腔6組成，真空罐5由雙層鋼板焊成密封圓桶形，用以提供優(yōu)良的真空環(huán)境，同時(shí)利用鋼板夾層隔絕熱量、降低爐表溫度、防止灼傷。真空罐5前門可開(kāi)啟式，帶手動(dòng)鎖緊裝置7，真空罐5頂部裝有壓力表8、安全閥9、放氣閥10， 側(cè)面布置有電源線接口 12，真空罐5前后封頭通過(guò)法蘭連接，硅膠圈密封，夾層通水冷卻。加熱腔6為整體式，可以進(jìn)出真空罐5，加熱腔6采用全纖維輕質(zhì)材料咬口拼裝而成，上部在拼裝時(shí)預(yù)埋99剛玉管，有效的克服了爐頂在使用中的坍塌和開(kāi)裂現(xiàn)象，耐火層 13選用莫來(lái)石纖維制品，加熱腔6底部有放置物料的承燒板14，承燒板14選用剛玉莫來(lái)石材質(zhì)，選用U型硅鉬棒15加熱，硅鉬棒15在加熱腔6兩側(cè)布置，用夾具懸掛在加熱腔6頂部，以提高加熱腔的溫度均勻性，保證物料的燒結(jié)品質(zhì)。真空系統(tǒng)3外面的機(jī)械框架1側(cè)面裝有循環(huán)冷卻水接口 11。
權(quán)利要求1.一種真空爐，主要有機(jī)械框架(1)、爐膛O)、真空系統(tǒng)(3)組成，其特征在于所述的機(jī)械框架(1)為立式結(jié)構(gòu)，上部固定爐膛O)，里面裝有真空系統(tǒng)(3)，底部裝有滾輪(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空爐，其特征在于所述的爐膛(2)為外密封式，由真空罐(5)和加熱腔(6)組成，真空罐(5)由雙層鋼板焊成密封圓桶形，真空罐(5)前門可開(kāi)啟式，帶手動(dòng)鎖緊裝置(7)，真空罐( 頂部裝有壓力表(8)、安全閥(9)、放氣閥(10)，側(cè)面布置有電源線接口(12)，真空罐( 前后封頭通過(guò)法蘭連接，硅膠圈密封，夾層通水冷卻。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種真空爐，其特征在于所述的加熱腔(6)為整體式，可以進(jìn)出真空罐(5)，加熱腔(6)采用全纖維輕質(zhì)材料咬口拼裝而成，耐火層(1 選用莫來(lái)石纖維制品，加熱腔(6)底部有放置物料的承燒板(14)，承燒板(14)選用剛玉莫來(lái)石材質(zhì)，選用U型硅鉬棒(15)加熱，硅鉬棒(15)在加熱腔(6)兩側(cè)布置，用夾具懸掛在加熱腔(6)頂部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空爐，其特征在于所述的真空系統(tǒng)(3)外面的機(jī)械框架(1)側(cè)面裝有循環(huán)冷卻水接口(11)。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種真空爐，涉及用于半導(dǎo)體器件、金屬材料的熱處理和還原性燒結(jié)工藝，也可用于炭化試驗(yàn)。所要解決的技術(shù)問(wèn)題是傳統(tǒng)的真空爐滿足不了高溫工藝實(shí)驗(yàn)的要求，不能在高溫時(shí)連續(xù)抽真空，爐膛溫度不均勻等。其技術(shù)要點(diǎn)是機(jī)械框架為立式結(jié)構(gòu)，上部固定爐膛，里面裝有真空系統(tǒng)，底部裝有滾輪。爐膛由真空罐和加熱腔組成，真空罐由雙層鋼板焊成密封圓桶形，前門可開(kāi)啟式，帶手動(dòng)鎖緊裝置，頂部裝有壓力表、安全閥、放氣閥，側(cè)面布置有電源線接口，加熱腔中耐火層選用莫來(lái)石纖維制品，加熱選用U型硅鉬棒，機(jī)械框架側(cè)面裝有循環(huán)冷卻水接口。本實(shí)用新型滿足了高溫工藝實(shí)驗(yàn)的要求，實(shí)現(xiàn)了高溫時(shí)連續(xù)抽真空，爐膛溫度均勻。
文檔編號(hào)F27D7/06GK202092460SQ20112017336
公開(kāi)日2011年12月28日 申請(qǐng)日期2011年5月27日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月27日
發(fā)明者呂文強(qiáng), 杜可棟, 譚宏勝, 趙鳳 申請(qǐng)人:合肥高歌熱處理應(yīng)用技術(shù)有限公司