專利名稱：基板運(yùn)輸處理系統(tǒng)及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種運(yùn)輸系統(tǒng)及方法，且特別是有關(guān)于一種基板運(yùn)輸系統(tǒng)及方 法。
背景技術(shù)：
隨著集成電路的需求及應(yīng)用的增加，如何降低制造成本便成為各半導(dǎo)體廠及/或 面板廠首要面臨的問(wèn)題。在半導(dǎo)體及/或面板工藝中，大量的工藝是在一基板上進(jìn)行，用以在此基板上制 造集成電路及/或薄膜晶體管。這些工藝包含有在基板上連續(xù)地沉積及蝕刻數(shù)層傳導(dǎo)層與 絕緣層。由于在每一個(gè)處理步驟后通常會(huì)在基板表面上留下反應(yīng)的殘留物，為了避免這些 工藝殘余物影響后續(xù)工藝的進(jìn)行，并防止反應(yīng)室與其它基板受到工藝殘余物的污染，目前 大都在完成一處理步驟后，對(duì)處理后的基板進(jìn)行清潔，藉以移除黏附于基板上的工藝殘余 物，同時(shí)也可以一并清除在運(yùn)輸過(guò)程中黏附于基板上的灰塵或臟污，來(lái)確保工藝可靠度。由于機(jī)臺(tái)多為批次加工的特性，各個(gè)機(jī)臺(tái)之間的時(shí)間配合便顯得特別重要。以目 前的機(jī)臺(tái)運(yùn)作情況而言，基板的處理效率常常會(huì)受限于機(jī)械手臂的速度以及基板取放片效 率，而無(wú)法有效提升。

發(fā)明內(nèi)容
因此本發(fā)明的目的就是在提供一種基板運(yùn)輸處理系統(tǒng)及方法，用以提升基板的搬 運(yùn)及處理效率。依照本發(fā)明一實(shí)施例，提出一種基板運(yùn)輸處理系統(tǒng)，包含基板容置卡匣、對(duì)應(yīng)于基 板容置卡匣設(shè)置的第一機(jī)械手臂、基板清潔機(jī)臺(tái)、設(shè)置于基板清潔機(jī)臺(tái)與第一機(jī)械手臂之 間的暫存機(jī)臺(tái)、對(duì)應(yīng)于第一機(jī)械手臂設(shè)置的可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)、基板加工機(jī)臺(tái)，以及設(shè)置于可 旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)與基板加工機(jī)臺(tái)之間的第二機(jī)械手臂。第一機(jī)械手臂包含第一上手臂與第二 下手臂。暫存機(jī)臺(tái)包含雙層進(jìn)片裝置與雙層出片裝置?？尚D(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)包含第一雙層取放 片裝置及第二雙層取放片裝置。第二機(jī)械手臂包含第二上手臂與第二下手臂。基板加工機(jī)臺(tái)可為物理氣相基板加工機(jī)臺(tái)或化學(xué)氣相基板加工機(jī)臺(tái)。雙層進(jìn)片裝 置與雙層出片裝置分別包含多個(gè)傳送機(jī)構(gòu)。傳送機(jī)構(gòu)包含多個(gè)滾輪。傳送機(jī)構(gòu)更包含多個(gè) 升降頂針，配置于滾輪之間。第一雙層取放片裝置及第二雙層取放片裝置分別包含多個(gè)升 降頂針。本發(fā)明的另一態(tài)樣為一種應(yīng)用前述的基板運(yùn)輸處理系統(tǒng)的基板運(yùn)輸處理方法，包 含提供多個(gè)基板于基板容置卡匣中，接著第一上手臂與第一下手臂各自從基板容置卡匣中 取出基板，并將兩基板輸送至雙層進(jìn)片裝置。雙層進(jìn)片裝置輸送兩基板至基板清潔機(jī)臺(tái)，基 板清潔機(jī)臺(tái)對(duì)兩基板進(jìn)行清潔，再將清潔完成的兩基板輸送至雙層出片裝置，第一上手臂 與第一下手臂自雙層出片裝置中取出清潔完成的兩基板，并將清潔完成的兩基板輸送至第 一雙層取放片裝置。此方法更包含將可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)第一角度，第二上手臂與第二下手臂自第一雙層取放片裝置中取出清潔完成的兩基板，并將清潔完成的兩基板輸送至基板 加工機(jī)臺(tái)?；寮庸C(jī)臺(tái)對(duì)清潔完成的兩基板進(jìn)行加工，接著，第二上手臂與第二下手臂自 基板加工機(jī)臺(tái)中取出加工完成的兩基板，并將加工完成的兩基板輸送至第二雙層取放片裝 置。此方法更包含將可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)第二角度，第一上手臂與第一下手臂自第二雙層 取放片裝置中取出加工完成的兩基板，并將加工完成的兩基板輸送至另一基板容置卡匣。 其中第一機(jī)械手臂對(duì)兩基板的平均工作時(shí)間，小于或等于基板加工機(jī)臺(tái)對(duì)兩基板的平均工 作時(shí)間。本發(fā)明減少了第一機(jī)械手臂對(duì)每一塊基板的平均工作時(shí)間，解決了現(xiàn)有技術(shù)中第 一機(jī)械手臂的搬運(yùn)效率追不上基板加工機(jī)臺(tái)的處理效率而導(dǎo)致產(chǎn)能浪費(fèi)的情形，更進(jìn)一步 地縮短工藝的關(guān)鍵時(shí)間，提升工藝效率。


為讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征、優(yōu)點(diǎn)與實(shí)施例能更明顯易懂，所附圖式的詳 細(xì)說(shuō)明如下圖1繪示本發(fā)明的基板運(yùn)輸處理系統(tǒng)一實(shí)施例的示意圖；圖2A至圖2H其分別繪示本發(fā)明的基板運(yùn)輸處理系統(tǒng)中的基板清潔階段一實(shí)施例 的不同步驟的示意圖；圖3A至圖;3H分別繪示圖1中的基板加工階段一實(shí)施例的不同步驟的示意圖；圖4繪示應(yīng)用此基板運(yùn)輸處理系統(tǒng)100的基板運(yùn)輸處理方法一實(shí)施例的流程圖。主要組件符號(hào)說(shuō)明100:基板運(yùn)輸處理系統(tǒng)110、112 基板容置卡匣120:第一機(jī)械手臂122:第一上手臂124 第一下手臂130:基板清潔機(jī)臺(tái)132:輸送帶入口134:輸送帶出口140 暫存機(jī)臺(tái)142 雙層進(jìn)片裝置144 雙層出片裝置150 可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)152 第一雙層取放片裝置154 第二雙層取放片裝置160 基板加工機(jī)臺(tái)170:第二機(jī)械手臂
具體實(shí)施例方式以下將以圖式及詳細(xì)說(shuō)明清楚說(shuō)明本發(fā)明的精神，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常
172A-Ap - 弟-二上手臂174 第二下手臂180第--基板182A-Ap - 弟-二基板186第--滾輪188A-Ap - 弟-二滾輪191第--升降頂針192A-Ap - 弟-二升降頂針193-.MiΞ升降頂針
194:第四升降頂針
195第五升降頂針
196第六升降頂針
197第七升降頂針
198第八升降頂針 210 422 步驟知識(shí)者在了解本發(fā)明的較佳實(shí)施例后，當(dāng)可由本發(fā)明所教示的技術(shù)，加以改變及修飾，其并 不脫離本發(fā)明的精神與范圍。參照?qǐng)D1，其繪示本發(fā)明的基板運(yùn)輸處理系統(tǒng)一實(shí)施例的示意圖?；暹\(yùn)輸處理 系統(tǒng)100中包含有至少一基板容置卡匣110及112、一第一機(jī)械手臂120、一基板清潔機(jī)臺(tái) 130、一暫存機(jī)臺(tái)140、一可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)150、一基板加工機(jī)臺(tái)160，以及一第二機(jī)械手臂 170。基板容置卡匣110及112用以放置多個(gè)基板?；迦葜每ㄏ?10與112的內(nèi)部側(cè) 壁上設(shè)置有多個(gè)突出部，用以支撐基板。第一機(jī)械手臂120包含有第一上手臂122與第一 下手臂124。第一機(jī)械手臂120對(duì)應(yīng)于基板容置卡匣110設(shè)置。暫存機(jī)臺(tái)140設(shè)置于基板 清潔機(jī)臺(tái)130與第一機(jī)械手臂120之間。暫存機(jī)臺(tái)140包含有雙層進(jìn)片裝置142以及雙層 出片裝置144，其中，由于基板清潔機(jī)臺(tái)130通常為上進(jìn)下出的設(shè)計(jì)，故雙層進(jìn)片裝置142較 佳地相應(yīng)設(shè)置于雙層出片裝置144上方?？尚D(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)150亦對(duì)應(yīng)于第一機(jī)械手臂120設(shè)置?？尚D(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)150包含 有第一雙層取放片裝置152以及第二雙層取放片裝置154，第一雙層取放片裝置152設(shè)置于 第二雙層取放片裝置巧4之上。第二機(jī)械手臂170設(shè)置于可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)150與基板加工 機(jī)臺(tái)160之間。第二機(jī)械手臂170包含有第二上手臂172以及第二下手臂174。第一上手 臂122、第一下手臂124、第二上手臂172及第二下手臂174均包含指狀或叉狀結(jié)構(gòu)。本發(fā)明所揭露的基板運(yùn)輸處理系統(tǒng)100可以有效提升基板的搬運(yùn)效率。具體而 言，基板可為液晶玻璃。設(shè)置在基板清潔機(jī)臺(tái)130之前的暫存機(jī)臺(tái)140具有雙層進(jìn)片裝置 142與雙層出片裝置144，使得第一機(jī)械手臂120可以同時(shí)搬運(yùn)兩片基板至?xí)捍鏅C(jī)臺(tái)140的 雙層進(jìn)片裝置142中暫放，而接著由雙層進(jìn)片裝置142依序進(jìn)入基板清潔機(jī)臺(tái)130之中清 潔。接著，清潔完的基板再?gòu)幕迩鍧崣C(jī)臺(tái)130送至?xí)捍鏅C(jī)臺(tái)140的雙層出片裝置144中 暫放，后由第一機(jī)械手臂120將兩塊基板搬運(yùn)至可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)150上。如此一來(lái)，同樣以兩塊基板的清潔工藝相比，傳統(tǒng)一次僅能搬運(yùn)一塊基板的工藝， 如需完成兩塊基板清潔，前后所花費(fèi)的時(shí)間，需包含兩次第一機(jī)械手臂120在基板容置卡 匣110與基板清潔機(jī)臺(tái)130之間移動(dòng)的時(shí)間、兩次基板清潔機(jī)臺(tái)130清潔基板的時(shí)間，以及 兩次第一機(jī)械手臂120在基板清潔機(jī)臺(tái)130與可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)150之間移動(dòng)的時(shí)間。而本 發(fā)明所需花費(fèi)的時(shí)間則是一次第一機(jī)械手臂120在基板容置卡匣110與暫存機(jī)臺(tái)140之間 移動(dòng)的時(shí)間、兩次基板清潔機(jī)臺(tái)130清潔基板的時(shí)間，以及一次第一機(jī)械手臂120在暫存機(jī) 臺(tái)140與可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)150之間移動(dòng)的時(shí)間。明顯地，花費(fèi)在基板搬運(yùn)上的時(shí)間可以大 幅地縮小，提升工藝效率。同樣地，雖然基板加工機(jī)臺(tái)160 —次僅能加工一塊基板，但是第二機(jī)械手臂170可 以同時(shí)搬運(yùn)兩塊基板，同樣可以縮減第二機(jī)械手臂170在基板加工機(jī)臺(tái)160與可旋轉(zhuǎn)暫存 機(jī)臺(tái)150之間移動(dòng)所需的時(shí)間。除此之外，以成本較為昂貴的基板加工機(jī)臺(tái)160為考慮，如物理氣相基板加工機(jī) 臺(tái)或是化學(xué)氣相基板加工機(jī)臺(tái)，若是第一機(jī)械手臂120搬運(yùn)的速度追不上基板加工機(jī)臺(tái) 160的處理速度，則會(huì)造成產(chǎn)能的浪費(fèi)。本發(fā)明的基板運(yùn)輸處理系統(tǒng)100可以減少每一塊基 板的平均搬運(yùn)時(shí)間，進(jìn)而調(diào)整基板在各站的停留時(shí)間，使得第一機(jī)械手臂120對(duì)每?jī)蓧K基 板的平均工作時(shí)間，小于或是等于基板加工機(jī)臺(tái)160對(duì)每?jī)蓧K基板的平均工作時(shí)間，藉以
6解決因第一機(jī)械手臂120搬運(yùn)的速度追不上基板加工機(jī)臺(tái)160的處理速度而導(dǎo)致產(chǎn)能浪費(fèi) 的情形。為更具體的說(shuō)明本發(fā)明的功效，以下以物理氣相沉積機(jī)臺(tái)的基板加工機(jī)臺(tái)160說(shuō)明。以第一機(jī)械手臂120與第二機(jī)械手臂170 —次僅能取放一片基板的運(yùn)作流程而 言，自第一機(jī)械手臂120從基板容置卡匣110取出基板起至將清潔完成的基板放到可旋轉(zhuǎn) 暫存機(jī)臺(tái)150上，對(duì)每?jī)蓧K基板所花費(fèi)的平均工作時(shí)間約需120秒(每塊基板60秒的循環(huán) 時(shí)間)，而物理氣相沉積機(jī)臺(tái)對(duì)每?jī)蓧K基板所花費(fèi)的平均工作時(shí)間僅需約100秒(每塊基板 50秒的作業(yè))，因此會(huì)出現(xiàn)成本較為昂貴的物理氣相沉積機(jī)臺(tái)等待第一機(jī)械手臂120取放 片的情形，造成產(chǎn)能浪費(fèi)。應(yīng)用本發(fā)明的基板運(yùn)輸處理系統(tǒng)100之后，第一機(jī)械手臂120從基板容置卡匣110 取出兩塊基板起至將兩塊清潔完成的基板放到可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)150上所花費(fèi)的平均工作 時(shí)間約需90秒，平均每塊基板的循環(huán)時(shí)間約為45秒，小于物理氣相沉積機(jī)臺(tái)約50秒的作 業(yè)時(shí)間，便可以解決成本較為昂貴的物理氣相沉積機(jī)臺(tái)等待第一機(jī)械手臂120取放片的情形。工藝的關(guān)鍵時(shí)間從原本基板循環(huán)時(shí)間的60秒縮短至物理氣相沉積機(jī)臺(tái)的50秒， 除了解決第一機(jī)械手臂120的搬運(yùn)效率追不上基板加工機(jī)臺(tái)160的處理效率而導(dǎo)致產(chǎn)能浪 費(fèi)的情形之外，更進(jìn)一步地縮短工藝的關(guān)鍵時(shí)間，提升工藝效率。參照?qǐng)D2A至圖2H，其分別繪示本發(fā)明的基板運(yùn)輸處理系統(tǒng)中的基板清潔階段一 實(shí)施例的不同步驟的示意圖。暫存機(jī)臺(tái)140設(shè)置于第一機(jī)械手臂120與基板清潔機(jī)臺(tái)130 之間。第一機(jī)械手臂120包含有第一上手臂122以及第一下手臂124。暫存機(jī)臺(tái)140包含 有雙層進(jìn)片裝置142以及雙層出片裝置144。雙層進(jìn)片裝置142以及雙層出片裝置144分 別包含有傳送機(jī)構(gòu)，傳送機(jī)構(gòu)包含有設(shè)置于雙層進(jìn)片裝置142中之多個(gè)第一滾輪186與設(shè) 置于雙層出片裝置144中的多個(gè)第二滾輪188，第一滾輪186與第二滾輪188分別為對(duì)應(yīng)于 基板清潔機(jī)臺(tái)130的輸送帶入口 132及輸送帶出口 134設(shè)置。傳送機(jī)構(gòu)更包含有雙層地設(shè) 置在第一滾輪186之間的多個(gè)第一升降頂針191與多個(gè)第二升降頂針192，以及雙層地設(shè) 置在第二滾輪188之間的多個(gè)第三升降頂針193與第四升降頂針194。其中設(shè)置于第一滾 輪186與第二滾輪188之間的第一升降頂針191、第二升降頂針192、第三升降頂針193與 第四升降頂針194，更配置為與第一上手臂122及第一下手臂IM錯(cuò)開(kāi)。圖2A的步驟210中，第一上手臂122與第一下手臂124由基板容置卡匣110(見(jiàn) 圖1)搬來(lái)第一基板180與第二基板182，并將第一基板180送至雙層進(jìn)片裝置142中的第 一升降頂針191上，將第二基板182送至雙層進(jìn)片裝置142中的第二升降頂針192上。圖2B的步驟220中，第一上手臂122與第一下手臂IM離開(kāi)雙層進(jìn)片裝置142。 第一升降頂針191與第二升降頂針192下降，以將第二升降頂針192上的第二基板182放 置到第一滾輪186上，再藉由第一滾輪186的輸送而將第二基板182進(jìn)入基板清潔機(jī)臺(tái)130 中清潔。2C圖的步驟230中，再一次地下降第一升降頂針191與第二升降頂針192，使得位 于第一升降頂針191上的第一基板180放置到第一滾輪186上，同樣藉由第一滾輪186的 輸送將第一基板180送入基板清潔機(jī)臺(tái)130中清潔。
圖2D的步驟240中，清潔完的第二基板182由基板清潔機(jī)臺(tái)130送出至第二滾輪 188，再由第二滾輪188輸送至預(yù)定位置。圖2E的步驟250中，第三升降頂針193與第四升降頂針194上升，使得清潔完的 第二基板182被第三升降頂針193支撐。圖2F的步驟260中，后一步清潔完成的第一基板180亦由基板清潔機(jī)臺(tái)130送出 至第二滾輪188上，再由第二滾輪188輸送至預(yù)定位置。圖2G的步驟270中，第三升降頂針193與第四升降頂針194再一次上升，使得清 潔完的第一基板180被第四升降頂針194支撐。如此一來(lái)，清潔完成的第一基板180與第 二基板182均被暫存在雙層出片裝置144之中。圖2H步驟觀0中，第一機(jī)械手臂12的第一上手臂122與第一下手臂1 分別進(jìn) 入第三升降頂針193與第四升降頂針194的下方，之后第一上手臂122與第一下手臂IM 上升或是第三升降頂針193與第四升降頂針194下降，使第一機(jī)械手臂120從雙層出片裝 置144中取出第一基板180與第二基板182，進(jìn)而將第一基板180與第二基板182送至可旋 轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)150(見(jiàn)圖1)。本實(shí)施例中的暫存機(jī)臺(tái)140亦可配合基板清潔機(jī)臺(tái)130而有其它的變形，如基板 清潔機(jī)臺(tái)130具有雙層軌道可以同時(shí)清洗兩塊基板，則升降頂針可以省略。或者，滾輪可以 換成輸送帶等。參照?qǐng)D3A至圖3H，其分別繪示圖1中的基板加工階段一實(shí)施例的不同步驟的示 意圖。第二機(jī)械手臂170設(shè)置于基板加工機(jī)臺(tái)160與可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)150之間?？尚D(zhuǎn)暫 存機(jī)臺(tái)150包含有第一雙層取放片裝置152以及第二雙層取放片裝置154。第一雙層取放 片裝置152包含有雙層設(shè)置的多個(gè)第五升降頂針195及第六升降頂針196。第二雙層取放 片裝置巧4包含有雙層設(shè)置的多個(gè)第七升降頂針197及第八升降頂針198。其中第五升降 頂針195、第六升降頂針196、第七升降頂針197與第八升降頂針198配置為與第一上手臂 122、第一下手臂124、第二上手臂172與第二下手臂174的指狀或叉狀結(jié)構(gòu)錯(cuò)開(kāi)。為方便說(shuō) 明，圖3A至圖3H未依照實(shí)際擺設(shè)位置繪制，本實(shí)施例的實(shí)際擺設(shè)位置，請(qǐng)參閱圖1。圖3A的步驟310中，第一機(jī)械手臂120的第一上手臂122與第一下手臂IM將清 潔完成的第一基板180與第二基板182送至可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)150的第一雙層取放片裝置 152中暫存，第一基板180與第二基板182分別放置在雙層設(shè)置的第五升降頂針195與第六 升降頂針196上。圖;3B的步驟320中，可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)150旋轉(zhuǎn)第一角度，以轉(zhuǎn)向置放于第一雙層 取放片裝置152中的第一基板180與第二基板182。在本實(shí)施例中，由于可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái) 150僅具有一個(gè)取放口，故第一角度并不會(huì)等于零。然而在其它實(shí)施例中，可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái) 150可以具有多個(gè)取放口，故可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)150并不需要特意旋轉(zhuǎn)，亦即第一角度可以為零。3C圖的步驟330中，第二機(jī)械手臂170之第二上手臂172與第二下手臂174伸入 第一雙層取放片裝置152中，以取出清潔完并轉(zhuǎn)向的第一基板180與第二基板182。圖3D的步驟340中，第二機(jī)械手臂170轉(zhuǎn)向，將第一基板180送入基板加工機(jī)臺(tái) 160中加工，第二基板182暫時(shí)先放置在第二上手臂172上。圖3E中的步驟350中，加工完成的第一基板180由第二下手臂174取回暫放，第二上手臂172再將第二基板182送入基板加工機(jī)臺(tái)160中加工。在本實(shí)施例中，基板加工 機(jī)臺(tái)160與基板清潔機(jī)臺(tái)130類似，亦通常為上進(jìn)下出的設(shè)計(jì)。加工完成的第二基板182 再由第二上手臂172取出(圖中未示)。圖3F中的步驟360中，第一基板180與第二基板182均已加工完成，第二機(jī)械手 臂170再次轉(zhuǎn)向，將加工完成的第一基板180與第二基板182送入可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)150的 第二雙層取放片裝置154中暫存。其中第一基板180與第二基板182分別放置在第七升降 頂針197與第八升降頂針198上。圖3G的步驟370中，可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)150旋轉(zhuǎn)第二角度。接著，第一上手臂122 與第一下手臂1 伸入第二雙層取放片裝置154中，以將加工完成的第一基板180與第二 基板182從第二雙層取放片裝置154中取出。與圖;3B的步驟320類似，第二角度也可以為零。圖3H的步驟380中，第一機(jī)械手臂120將加工完成的第一基板180與第二基板 182送入另一基板容置卡匣112之中。綜合上述的實(shí)施例，以第一機(jī)械手臂120的一次工作程序而言，第一機(jī)械手臂120 始于將第一基板180與第二基板182從基板容置卡匣110中取出，接著，將第一基板180與 第二基板182送入雙層進(jìn)片裝置142之后，第一上手臂122與第一下手臂124即可移動(dòng)至 雙層出片裝置144，取出前一批清潔完成的第一基板180與第二基板182。接著，再將清潔 完成的第一基板180與第二基板182搬運(yùn)至可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)15的第一雙層取放片裝置152 中，然后第一上手臂122與第一下手臂IM再移動(dòng)至第二雙層取放片裝置154中，取出前一 批加工完成的第一基板180與第二基板182，最后，再將加工完成的第一基板180與第二基 板182送入另一基板容置卡匣112之中。其中第一機(jī)械手臂120完成一次工作程序，包含前述由基板容置卡匣110取出第 一基板180與第二基板182至將加工完成之第一基板180與第二基板182放回另一基板容 置卡匣112的每?jī)苫宓钠骄ぷ鲿r(shí)間，小于或是等于基板加工機(jī)臺(tái)160加工第一基板180 與第二基板182的每的兩基板平均工作時(shí)間。參照?qǐng)D4，其繪示應(yīng)用此基板運(yùn)輸處理系統(tǒng)100的基板運(yùn)輸處理方法一實(shí)施例的 流程圖。步驟402為提供多個(gè)基板于基板容置卡匣中。接著，步驟404為第一上手臂與第一 下手臂自基板容置卡匣中取出該些基板中的兩基板，并將兩基板輸送至雙層進(jìn)片裝置。步 驟406中，雙層進(jìn)片裝置輸送兩基板至基板清潔機(jī)臺(tái)。接著，步驟408為基板清潔機(jī)臺(tái)對(duì)兩 基板進(jìn)行清潔，再將清潔完成的兩基板輸送至雙層出片裝置。步驟410為第一上手臂與第 一下手臂自雙層出片裝置中取出清潔完成的兩基板，并將清潔完成的兩基板輸送至第一雙 層取放片裝置。步驟412為將可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)第一角度。接著，步驟414中，第二上手臂與第 二下手臂自第一雙層取放片裝置中取出清潔完成的兩基板，并將清潔完成的兩基板輸送至 基板加工機(jī)臺(tái)。步驟416為基板加工機(jī)臺(tái)對(duì)清潔完成的兩基板進(jìn)行加工。步驟418中，第 二上手臂與第二下手臂自基板加工機(jī)臺(tái)中取出加工完成的兩基板，并將加工完成之兩基板 輸送至第二雙層取放片裝置。步驟420為可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)第二角度。步驟422中，第一上手臂與第一下手 臂自第二雙層取放片裝置中取出加工完成的兩基板，并將加工完成的兩基板輸送至另一基板容置卡匣。由上述本發(fā)明較佳實(shí)施例可知，應(yīng)用本發(fā)明具有下列優(yōu)點(diǎn)。本發(fā)明減少了第一機(jī) 械手臂對(duì)每一塊基板的平均工作時(shí)間，解決了現(xiàn)有技術(shù)中第一機(jī)械手臂的搬運(yùn)效率追不上 基板加工機(jī)臺(tái)之的處理效率而導(dǎo)致產(chǎn)能浪費(fèi)的情形，更進(jìn)一步地縮短工藝的關(guān)鍵時(shí)間，提 升工藝效率。雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，在不背離本發(fā) 明精神及其實(shí)質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員當(dāng)可根據(jù)本發(fā)明作出各種相應(yīng)的改變和 變形，但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明所附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種基板運(yùn)輸處理系統(tǒng)，其特征在于，包含一基板容置卡匣；一第一機(jī)械手臂，對(duì)應(yīng)于該基板容置卡匣設(shè)置，該第一機(jī)械手臂包含一第一上手臂與 一第一下手臂；一基板清潔機(jī)臺(tái)；一暫存機(jī)臺(tái)，設(shè)置于該基板清潔機(jī)臺(tái)與該第一機(jī)械手臂之間，該暫存機(jī)臺(tái)包含一雙層 進(jìn)片裝置與一雙層出片裝置；一可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)，對(duì)應(yīng)于該第一機(jī)械手臂設(shè)置，該可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)包含一第一雙層 取放片裝置及一第二雙層取放片裝置；一基板加工機(jī)臺(tái)；以及一第二機(jī)械手臂，設(shè)置于該可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)與該基板加工機(jī)臺(tái)之間，該第二機(jī)械手臂 包含一第二上手臂與一第二下手臂。
2.如權(quán)利要求1所述的基板運(yùn)輸處理系統(tǒng)，其特征在于，該基板加工機(jī)臺(tái)為一物理氣 相基板加工機(jī)臺(tái)或一化學(xué)氣相基板加工機(jī)臺(tái)。
3.如權(quán)利要求1所述的基板運(yùn)輸處理系統(tǒng)，其特征在于，該雙層進(jìn)片裝置及該雙層出 片裝置，分別包含多個(gè)傳送機(jī)構(gòu)。
4.如權(quán)利要求3所述的基板運(yùn)輸處理系統(tǒng)，其特征在于，該些傳送機(jī)構(gòu)包含多個(gè)滾輪。
5.如權(quán)利要求4所述的基板運(yùn)輸處理系統(tǒng)，其特征在于，該些傳送機(jī)構(gòu)包含多個(gè)升降 頂針，配置于該些滾輪之間。
6.如權(quán)利要求1所述的基板運(yùn)輸處理系統(tǒng)，其特征在于，該第一雙層取放片裝置及該 第二雙層取放片裝置分別包含多個(gè)升降頂針。
7.一種應(yīng)用于如權(quán)利要求1至6中的任一所述的基板運(yùn)輸處理系統(tǒng)的基板運(yùn)輸處理方 法，其特征在于，包含提供多個(gè)基板于該基板容置卡匣中；該第一上手臂與該第一下手臂自該基板容置卡匣中取出該些基板中之兩基板，并將該 兩基板輸送至該雙層進(jìn)片裝置；該雙層進(jìn)片裝置輸送該兩基板至該基板清潔機(jī)臺(tái)；該基板清潔機(jī)臺(tái)對(duì)該兩基板進(jìn)行清潔，再將清潔完成的該兩基板輸送至該雙層出片裝 置；以及該第一上手臂與該第一下手臂自該雙層出片裝置中取出清潔完成的該兩基板，并將清 潔完成的該兩基板輸送至該第一雙層取放片裝置。
8.如權(quán)利要求7所述的基板運(yùn)輸處理方法，其特征在于，還包含將該可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)一第一角度；該第二上手臂與該第二下手臂自該第一雙層取放片裝置中取出清潔完成的該兩基板， 并將清潔完成的該兩基板輸送至該基板加工機(jī)臺(tái)；該基板加工機(jī)臺(tái)對(duì)清潔完成的該兩基板進(jìn)行加工；以及該第二上手臂與該第二下手臂自該基板加工機(jī)臺(tái)中取出加工完成的該兩基板，并將加 工完成的該兩基板輸送至該第二雙層取放片裝置。
9.如權(quán)利要求8所述的基板運(yùn)輸處理方法，其特征在于，還包含將該可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)一第二角度；該第一上手臂與該第一下手臂自該第二雙層取放片裝置中取出加工完成的該兩基板， 并將加工完成的該兩基板輸送至另一基板容置卡匣。
10.如權(quán)利要求9所述的基板運(yùn)輸處理方法，其特征在于，該第一機(jī)械手臂對(duì)該兩基板 的平均工作時(shí)間，小于或等于該基板加工機(jī)臺(tái)對(duì)該兩基板的平均工作時(shí)間。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種基板運(yùn)輸處理系統(tǒng)，包含基板容置卡匣、對(duì)應(yīng)于基板容置卡匣設(shè)置的第一機(jī)械手臂、基板清潔機(jī)臺(tái)、設(shè)置于基板清潔機(jī)臺(tái)與第一機(jī)械手臂之間的暫存機(jī)臺(tái)、對(duì)應(yīng)于第一機(jī)械手臂設(shè)置的可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)、基板加工機(jī)臺(tái)，以及設(shè)置于可旋轉(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)與基板加工機(jī)臺(tái)之間的第二機(jī)械手臂。暫存機(jī)臺(tái)包含雙層進(jìn)片裝置與雙層出片裝置?？尚D(zhuǎn)暫存機(jī)臺(tái)包含第一雙層取放片裝置及第二雙層取放片裝置。一種應(yīng)用此基板運(yùn)輸處理系統(tǒng)的方法亦在此揭露。
文檔編號(hào)H01L21/677GK102064126SQ20101053568
公開(kāi)日2011年5月18日 申請(qǐng)日期2010年11月4日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月4日
發(fā)明者劉榮其, 洪世政, 陳盈吉, 陳碩彥 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司