本發(fā)明涉及將涂布液涂布于被輸送的基板上的涂布裝置。

背景技術(shù)：
在液晶顯示器等平板顯示器、太陽能電池板等上使用形成有像素、電路圖案等的基板，這樣的基板是通過利用例如涂布抗蝕劑液(涂布液)而進行的光刻技術(shù)來制造。另外，作為將涂布液涂布在基板的裝置，已公開有如下的涂布裝置，該裝置包括：平臺，用于將基板水平固定；噴嘴，在寬度方向上在內(nèi)部形成有長長的細縫口；根據(jù)該涂布裝置，通過對平臺上的基板使噴嘴向水平方向移動的同時從細縫口排出涂布液，由此，能夠在基板表面上形成由涂布液形成的涂布膜。另外，從細縫口排出涂布液時，基板和噴嘴(細縫口)之間處于設(shè)置有高度方向的間隙的狀態(tài)，因此，為了調(diào)節(jié)該間隙的值，噴嘴按照可升降的方式構(gòu)成。為了通過這樣的涂布裝置進行涂布作業(yè)，并提高基板上形成的涂布膜的品質(zhì)(使膜厚均勻)，需要將噴嘴與基板(水平面)呈平行，且使噴嘴和基板之間的間隙在寬度方向上恒定。為此，在平臺的端部與噴嘴的寬度方向兩端部相對應的位置上分別設(shè)置傳感器。并且，使噴嘴向水平方向移動至這些傳感器的上方，通過這些傳感器求出噴嘴的寬度方向兩端部的高度之差，并根據(jù)該高度差通過升降噴嘴來調(diào)節(jié)其傾斜等姿勢。由此，能夠使噴嘴處于水平狀態(tài)，且使噴嘴和基板之間的間隙恒定。如此，釆取噴嘴在平臺上向水平方向移動的方式的涂布裝置，不需要設(shè)置其它裝置，比較容易設(shè)置用于調(diào)節(jié)噴嘴姿勢的傳感器，但釆取噴嘴只是上下升降且基板向水平方向被輸送的方式的涂布裝置時，無法直接釆用上述傳感器的結(jié)構(gòu)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1特開2005-244155號公報(參照圖2)

技術(shù)實現(xiàn)要素：
因此，釆取將基板向水平方向輸送的方式的涂布裝置時，如圖6所示，可以想到下述結(jié)構(gòu)：設(shè)置從支柱90向噴嘴91的寬度方向的端部92延伸的臂93，在該臂93的前端安裝傳感器94，其中，支柱90形成為使安裝有噴嘴91的升降體95升降的導向件。但是，此時存在如下的問題，臂93長，并且，用于清掃(初始化)噴嘴91的單元(未圖示)向噴嘴91移動而接近于噴嘴91時，該單元的一部分與臂93發(fā)生干涉，因此為了避免發(fā)生這樣的情況，需要對臂93或者單元的形狀上做講究，從而結(jié)構(gòu)變得復雜。如果對臂93或者單元的形狀做講究，則能夠?qū)鞲衅?4設(shè)置在噴嘴91的寬度方向的端部92的正下方，但是為了確?；趥鞲衅?4的高的測量精度，臂93就必須具備高剛性。但是，如果為了提高臂93的剛性而使其截面積變大，則臂93和單元的干渉就變得進一步嚴重。與之相反，為了防止單元和臂93發(fā)生干涉而使臂93變細，則臂93的剛性下降，從而對傳感器94的支撐變得不穩(wěn)定而難以進行正確的測量。因此，本發(fā)明的目的是，在對被輸送的基板進行涂布的涂布裝置中，通過簡單的結(jié)構(gòu)來提高用傳感器測量的噴嘴的寬度方向兩端的高度位置的測量精度。(1)本發(fā)明的涂布裝置，其特征在于，包括：輸送機構(gòu)部，將基板向水平方向輸送；涂布機構(gòu)部，包括噴嘴和升降驅(qū)動部，相對于所述基板從所述噴嘴排出涂布液，其中，所述噴嘴在與所述輸送方向呈垂直的水平的寬度方向上長長地設(shè)置，且相對于被輸送的基板具有高度方向的間隙而相對應，所述升降驅(qū)動部使所述噴嘴在高度方向上升降；傳感器，為了調(diào)節(jié)相對于水平面的所述噴嘴的姿勢，測量所述噴嘴的寬度方向兩端部的高度位置，其中，所述輸送機構(gòu)部包括：軌道，設(shè)置在被輸送的基板的寬度方向兩側(cè)上，并向所述輸送方向延伸；基座部件，沿著所述軌道移動；支撐部，被搭載于所述基座部件上，當輸送所述基板時，支撐所述基板的寬度方向兩端部，所述傳感器與所述支撐部一同搭載于所述基座部件上。根據(jù)本發(fā)明，為了將基板通過輸送機構(gòu)部向水平的輸送方向輸送，軌道相對于水平面的尺寸精度高，并且，搭載用于支撐該基板的支撐部的基座部件也相對于水平面的尺寸精度高，且以保持水平的狀態(tài)下高精度地沿軌道移動。因此，通過傳感器搭載于這樣的基座部件上，由此相對于水平面的傳感器的安裝位置也精度高，并且通過該傳感器能夠高精度地測量噴嘴的寬度方向兩端部的高度位置。另外，支撐部是在輸送基板時支撐該基板的寬度方向兩端部的裝置，因此支撐部以及搭載該支撐部的基座部件位于與基板的寬度方向兩端部相對應的位置上。另外，通過在位于這樣的位置上的基座部件上搭載傳感器，由此，不需要如現(xiàn)有技術(shù)的長臂，能夠在與噴嘴的寬度方向兩端部相對應的位置上設(shè)置傳感器，從而設(shè)置傳感器的結(jié)構(gòu)變得簡單。(2)另外，優(yōu)選的是，所述基座部件包括相對于所述軌道的上表面使所述基座部件懸浮的懸浮機構(gòu)部，通過該懸浮機構(gòu)部，所述基座部件相對于所述軌道以懸浮的狀態(tài)移動，此時，基座部件沿著軌道能夠順利地移動。(3)并且，優(yōu)選的是，所述(2)中記載的涂布裝置在通過所述傳感器測量所述噴嘴的寬度方向兩端部的高度位置時，在搭載于所述基座部件的所述傳感器位于所述噴嘴的正下方的狀態(tài)下，解除通過所述懸浮機構(gòu)部的所述基座部件的懸浮，由此使所述基座部件坐落于所述軌道上。此時，如前面所述，軌道相對于水平面尺寸精度高，并且，基座部件也相對于水平面尺寸精度高，因此，通過使這樣的基座部件坐落于軌道上，由此搭載于該基座部件上的傳感器能夠以相對于水平面尺寸精度高的狀態(tài)位于噴嘴的正下方。因此，在該狀態(tài)下，傳感器通過測量噴嘴的寬度方向兩端部的高度位置，由此能夠提高測量精度。(4)優(yōu)選的是，所述懸浮機構(gòu)部由噴射部構(gòu)成，通過所述噴射部相對于所述軌道的上表面噴射氣體來使所述基座部件懸浮。此時，通過從噴射部噴射氣體來能夠使基座部件懸浮，并且，通過停止該噴射來能夠解除該懸浮，這些切換容易。(5)另外，優(yōu)選的是，在所述(4)中記載的涂布裝置中，在將所述基座部件坐落于所述軌道上時，使殘留于所述噴射部的氣體向外排放的流路連接在所述噴射部上。即使是要通過控制裝置停止從噴射部的氣體的噴射以使基座部件坐落于軌道上，但是如果空氣殘留于空氣噴射部內(nèi)，則基座部件部件還是處于懸浮的狀態(tài)，無法使基座部件坐落于軌道上，但是，根據(jù)該流路，能夠防止這樣的缺陷。結(jié)果，每次通過所述傳感器測量所述噴嘴的寬度方向兩端的高度位置時，能夠使基座部件的高度位置保持恒定(能夠確保再現(xiàn)性)。根據(jù)本發(fā)明，由于傳感器搭載于相對于水平面的尺寸精度高的基座部件上，因此，通過該傳感器能夠高精度地測量噴嘴的寬度方向兩端部的高度位置。另外，通過將傳感器搭載于基座部件上，由此，不需要如現(xiàn)有技術(shù)的長臂，能夠?qū)鞲衅髟O(shè)置在與噴嘴的寬度方向兩端部相對應的位置上，用于設(shè)置傳感器的結(jié)構(gòu)變得簡單。附圖說明圖1為表示本發(fā)明的涂布裝置的概略構(gòu)成的立體圖；圖2為從輸送方向看軌道、移動單元、懸浮平臺和噴嘴的圖；圖3為說明供給用空氣流路和排氣用空氣流路的圖；圖4為說明傳感器的圖；圖5為說明重置機構(gòu)的圖；圖6為說明現(xiàn)有的涂布裝置的圖。附圖標號說明1涂布裝置2輸送機構(gòu)部3涂布機構(gòu)部4控制裝置7傳感器16排氣用流路21軌道21a上表面22移動單元23基座部件25吸附機構(gòu)(支撐部)26噴射部(懸浮機構(gòu)部)30噴嘴32升降驅(qū)動部35端部E端部W基板具體實施方式下面，結(jié)合附圖說明本發(fā)明的實施方式。圖1為表示本發(fā)明的涂布裝置1的概略構(gòu)成的立體圖。該涂布裝置1是對于輸送中的薄板狀的基板W涂布藥液或者抗蝕劑液等液體狀的涂布液的涂布裝置，包括：輸送機構(gòu)部2，將基板W向水平輸送方向輸送；涂布機構(gòu)部3，具有噴嘴30，從該噴嘴30向通過該輸送機構(gòu)部2被輸送的基板W排出涂布液。進一步，該涂布裝置1包括控制裝置4，該控制裝置4由計算機構(gòu)成，用于控制輸送機構(gòu)部2和涂布機構(gòu)部3的動作。該涂布裝置1是基板W相對于處于固定狀態(tài)的噴嘴30向水平方向輸送方式的裝置。另外，在本實施方式中，將基板W的輸送方向作為X方向，與該X方向呈垂直的水平方向(Y方向)作為寬度方向。并且，與X方向和Y方向呈垂直的Z方向作為高度方向。本實施方式的輸送機構(gòu)部2包括：懸浮平臺20，通過從上表面噴射氣體(空氣)來使基板W懸??；軌道21，設(shè)置在該懸浮平臺20的寬度方向兩側(cè)上；移動單元22，支撐通過懸浮平臺20懸浮的基板W的寬度方向端部E而沿軌道21水平移動。另外，由于軌道21設(shè)置在寬度方向兩側(cè)上，因此，移動單元22也設(shè)置在寬度方向兩側(cè)上。懸浮平臺20被分割成多個部分，包括向輸送方向并排排列的多個平臺單元。懸浮單元20的寬度方向尺寸比基板W的左右方向尺寸小，基板W的寬度方向端部E呈從懸浮平臺20突出的狀態(tài)。噴射的空氣流量(噴射強度)通過控制裝置4來控制，并通過該控制使基板W以水平狀態(tài)的姿勢懸浮。該懸浮平臺20的上表面20a將成為在后說明的進行調(diào)節(jié)作業(yè)的基準面HO(參照圖4)，因此，高精度地設(shè)置懸浮平臺20，以使該上表面20a成為水平面。軌道21向輸送方向以直線形狀延伸，并設(shè)置在被輸送的基板W的寬度方向兩側(cè)上。另外，軌道21按照橫截面為矩形、其上表面為水平的方式高精度地被設(shè)置。移動單元22包括：基座部件23，沿著軌道21移動；驅(qū)動裝置，使該基座部件23移動；支撐部，搭載于基座部件23上，且基板W被輸送時支撐基板W的寬度方向端部E。另外，本實施方式的驅(qū)動裝置包括線性馬達24，并且，本實施方式的支撐部由吸附懸浮的基板W的寬度方向端部E下面的吸附機構(gòu)25構(gòu)成。吸附機構(gòu)25吸附被輸送到懸浮平臺20的上游側(cè)而懸浮的基板W的端部E下面，并在保持該吸附狀態(tài)的情況下，搭載該吸附機構(gòu)25的基座部件23根據(jù)控制裝置4的控制并通過線性馬達24移動至下游側(cè)。由此，基板W向水平方向被直線輸送。另外，吸附機構(gòu)25分別設(shè)置在懸浮平臺20的左右兩側(cè)上，并沿著基板W一側(cè)的端部E，按照前后方向具有規(guī)定間隔的方式設(shè)置有多臺(在本實施方式中是三臺)。一側(cè)的多臺吸附機構(gòu)25都搭載于相同的基座部件23上，并作為整體來移動。圖2為從輸送方向看的軌道21、移動單元22、懸浮平臺20以及噴嘴30的圖。如前面所述，軌道21的橫截面為矩形，并且，基座部件23包括與該軌道21的上表面21a平行的上側(cè)部件11和從該上側(cè)部件11的寬度方向兩側(cè)部向下延伸的側(cè)壁部件12、13，并具有對于軌道21的上部從其上側(cè)和寬度方向兩側(cè)包圍的截面形狀。另外，基座部件23包括相對于軌道21的上表面21a以非接觸的方式使該基座部件23懸浮的懸浮機構(gòu)部，在本實施方式的懸浮機構(gòu)部是相對于軌道21的上面21a噴射空氣(壓縮空氣)的空氣噴射部26。空氣噴射部26安裝于上側(cè)部件11上，在本實施方式中在寬度方向上設(shè)置有兩個。另外，在輸送方向上也并排設(shè)置有多個空氣噴射部26?？諝鈬娚洳?6在其下部具有空氣墊27，從該空氣墊27內(nèi)向軌道21的上表面21噴射壓縮空氣，該空氣墊27呈從上表面21a微微懸浮的狀態(tài)，即呈非接觸的狀態(tài)。另外，空氣墊27可以由例如多孔質(zhì)碳、陶瓷、燒結(jié)金屬等構(gòu)成。該懸浮量，即壓縮空氣的噴射量是通過控制裝置4來控制。通過這些空氣噴射部26，基座部件23相對于軌道21能夠以懸浮的狀態(tài)沿著軌道21移動。另外，如圖3所示，空氣噴射部26上除了連接有作為壓縮空氣的供給源的泵17連接而將壓縮空氣向空氣墊27供給的供給用空氣流路15之外,還連接有將空氣噴射部26(空氣墊27)中殘留的空氣向外排放(向大氣開放)的排氣用空氣流路16。并且，在所有空氣噴射部26的泵一側(cè)(上游側(cè))的流路上設(shè)置有閥17，通過該閥17能夠選擇與該空氣噴射部26連接的供給用空氣流路15和排氣用空氣流路16中的任一空氣流路。該選擇(閥17的切換)是通過控制裝置4向閥17發(fā)送控制信號來實現(xiàn)。為了進行涂布作業(yè)而輸送基板W時，選擇供給用空氣流路15，選擇排氣用空氣流路16的情況在后面有說明，在調(diào)節(jié)相對于水平面的噴嘴30姿勢時選擇排氣用空氣流路16。根據(jù)圖1說明涂布機構(gòu)部3。如前面所述，涂布機構(gòu)部3具有在寬度方向上長長的噴嘴30。噴嘴30安裝在寬度方向上長長的升降體34上。在噴嘴30內(nèi)，在幾乎全長的寬度方向上形成有細縫口31，并且細縫口31在噴嘴30的前端(下端)上開口。向噴嘴30供給涂布液，并且在輸送基板W的同時從細縫口31排出涂布液，由此，能夠相對于基板W的幾乎全長的寬度方向上涂布涂布液。并且，噴嘴30的前端相對于被輸送的基板W呈具有高度方向的間隙而相對應的狀態(tài)。根據(jù)以上的輸送機構(gòu)部2和涂布機構(gòu)部3，基板W呈從懸浮平臺20的上表面懸浮規(guī)定高度的狀態(tài)，并在該狀態(tài)下，基板W的寬度方向端部E的下表面通過吸附機構(gòu)25被吸附。搭載該吸附機構(gòu)25的基座部件23沿著軌道21水平移動，由此基板W向水平方向被輸送，在該輸送途中，相對于基板W上表面從噴嘴30排出涂布液而形成涂布膜。另外，作為涂布機構(gòu)部3的一部分在寬度方向兩側(cè)上設(shè)置有支柱33，安裝有噴嘴30的升降體34以橫跨支柱33,33之間的方式被設(shè)置。支柱33具有支撐升降體34的寬度方向兩端部的功能的同時還具有作為向上下方向誘導升降體34的導向件的功能。并且，涂布機構(gòu)部3包括使升降體34沿著支柱33向高度方向升降的升降驅(qū)動部32。升降驅(qū)動部32分別設(shè)置在兩側(cè)的支柱33上，并且由使將升降體34的寬度方向端部獨立地上下移動的往返運動氣缸構(gòu)成。另外，該升降驅(qū)動部32能夠根據(jù)來自控制裝置4的控制信號來進行動作,如果寬度方向兩側(cè)的升降驅(qū)動部32同時進行動作，則能夠使噴嘴30向高度方向平行移動，另外，能夠通過只有一側(cè)的升降驅(qū)動部32進行動作來調(diào)節(jié)噴嘴30的姿勢(調(diào)節(jié)作業(yè))。例如，噴嘴30相對于水平面傾斜時，通過調(diào)節(jié)作業(yè)能夠消除該傾斜。通過具有以上結(jié)構(gòu)的涂布裝置1能夠進行將涂布液涂布在基板W上的涂布作業(yè)，但是為了提高用涂布液在該基板W上形成的涂布膜的品質(zhì)(使膜厚均勻)，優(yōu)選的是，噴嘴30相對于基板W的上表面(水平面)平行，且噴嘴30和基板W的間隙在寬度方向上恒定。因此，例如將噴嘴30從升降體34取下來進行更換時，應進行使更換后的噴嘴30的姿勢呈水平的調(diào)節(jié)作業(yè)。如此地，為了調(diào)節(jié)相對于水平面的噴嘴30的姿勢，如圖2所示，涂布裝置1包括用于檢測噴嘴30的寬度方向端部35的高度位置的傳感器7。并且，該傳感器7與吸附機構(gòu)25一同搭載于基座部件23上。另外，基座部件23設(shè)置在寬度方向兩側(cè)上，由此，傳感器7也被設(shè)置在寬度方向兩側(cè)上，在兩側(cè)的這些傳感器7,7配置在向?qū)挾确较蜓由斓耐恢本€(假想線)上。另外，在寬度方向兩側(cè)的各基座部件23上，傳感器7與吸附機構(gòu)25以在輸送方向上直線形狀并排配置的方式被搭載。由于傳感器7搭載于基座部件23上，因此通過使基座部件23移動至噴嘴30的下方位置來能夠使傳感器7位于噴嘴30的正下方。另外，基座部件23的位置是通過控制裝置4來進行管理，通過控制裝置4的控制，能夠使傳感器7位于噴嘴30的正下方位置上。如圖4所示，本實施方式的傳感器7是接觸式傳感器，包括能夠接觸到噴嘴30的寬度方向端部35的下端面的接觸子8和用于測量從基準面HO到接觸子8的前端的高度位置的測量儀9，通過使接觸子8的前端接觸到噴嘴30的端部35的下端面，用測量儀9能夠測量從基準面HO到噴嘴30的端部35的下端面的高度h。另外，在本實施方式中，基準面HO是懸浮平臺20的上表面20a。并且，在寬度方向兩側(cè)上被測量基于傳感器7的、從基準面HO到噴嘴30的端部35的下端面的高度值h，并將其測量值輸出至控制裝置4上?？刂蒲b置4根據(jù)該測量值能夠求出高度h的差，并根據(jù)該差能夠進行使噴嘴30呈水平的調(diào)節(jié)作業(yè)。另外，為了進行該調(diào)節(jié)作業(yè)，可以是當通過傳感器7測量噴嘴30的寬度方向端部35的高度位置時，從基座部件23所包括的空氣噴射部26(參照圖2)噴射壓縮空氣而使基座部件23相對于軌道21呈懸浮的狀態(tài)，但是，在本實施方式中，為了進行調(diào)節(jié)作業(yè)，控制裝置4通過控制使得搭載于基座部件23的傳感器7位于噴嘴30的正下方位置的狀態(tài)時停止所有從空氣噴射部26的壓縮空氣的噴射。如前面所述，用于噴射壓縮空氣的空氣墊27呈從軌道21的上表面21a微微懸浮的狀態(tài)，通過停止壓縮空氣的噴射，空氣噴射部26與軌道21的上表面21a呈接觸的狀態(tài)(處于懸浮被解除的狀態(tài))。即，為了進行調(diào)節(jié)作業(yè)，使懸浮的基座部件23呈坐落于軌道21的狀態(tài)。進一歩，停止向所有空氣噴射部26的壓縮空氣的供給的同時，控制裝置4向閥17(參照圖3)發(fā)送控制信號而進行流路的切換，并通過控制使所有空氣噴射部26與排氣用流路16連接。由此，使基座部件23坐落于軌道21上時，能夠?qū)埩粲谒锌諝鈬娚洳?6的空氣向外排放(向大氣開放)。即使是通過控制裝置4停止從空氣噴射部26的壓縮空氣的噴射而要使基座部件23坐落于軌道21上，但如果空氣殘留于空氣噴射部26(空氣墊27)內(nèi)，則基座部件23還是呈懸浮的狀態(tài)，因此無法使基座部件23可靠地坐落于軌道21上。此時，每次進行所述調(diào)節(jié)作業(yè)時，無法使基座部件23處于特定的高度位置而其再現(xiàn)性無法確保，結(jié)果，測量值發(fā)生誤差。但是，在本實施方式中，能夠?qū)埩粲诳諝鈬娚洳?6的壓縮空氣通過排氣用空氣流路16向外部排放，因此，能夠使基座部件23可靠地坐落于軌道21上，并且，每次進行所述調(diào)節(jié)作業(yè)時能夠可靠地再現(xiàn)該狀態(tài)。另外，壓縮空氣通過排氣用空氣流路16向外部排放，由此，基座部件23能夠迅速地坐落于軌道21上。因此，用傳感器7能夠迅速地進行測量。如上所述，在本實施方式的涂布裝置中，為了將基板W向水平的輸送方向輸送，軌道21相對于水平面的尺寸精度高且精確地被設(shè)置，另外，搭載用于支撐該基板W的吸附機構(gòu)25的基座部件23也相對于水平面的尺寸精度高且以保持水平的狀態(tài)高精度地沿著軌道21移動。并且，通過在這樣的基座部件23上搭載傳感器7，由此相對于水平面的傳感器7的安裝位置的精度也高，通過該傳感器7能夠測量噴嘴30的寬度方向兩端部35的高度位置。例如，每當進行調(diào)節(jié)作業(yè)時，相對于水平面的傳感器7的位置可以再現(xiàn)，由此能夠提高測量精度。進一歩，搭載于基座部件23上的吸附機構(gòu)25是輸送基板W時支撐該基板W的寬度方向兩端部E(參照圖1)的機構(gòu)，因此，該吸附機構(gòu)25和搭載該吸附機構(gòu)25的基座部件23位于與基板W的寬度方向兩端部E相對應的位置上。并且，通過將傳感器7搭載于位于這樣的位置上的基座部件23上，由此，不需要設(shè)置如圖6所示的現(xiàn)有的長長的臂，能夠?qū)鞲衅?設(shè)置在與噴嘴30的寬度方向兩端部35相對應的位置，用于設(shè)置傳感器7的結(jié)構(gòu)變得簡單。進一步，在本實施方式中，為了進行調(diào)節(jié)作業(yè)，搭載于基座部件23的傳感器7位于噴嘴30的正下方30位置的狀態(tài)時停止從空氣噴射部26的壓縮空氣的噴射，使基座部件23坐落于軌道21上。因此，如前面所述，軌道21相對于水平面構(gòu)成的尺寸精度高，并且，搭載用于支撐基板W的吸附機構(gòu)25的基座部件23也相對于水平面構(gòu)成的尺寸精度高，因此，通過使這樣的基座部件23在噴嘴30的正下方位置坐落于軌道21上，由此搭載于該基座部件23的傳感器7能夠以相對于水平面的尺寸精度高的狀態(tài)位于噴嘴30的正下方。因此，在該狀態(tài)下，通過傳感器7測量噴嘴30的寬度方向兩端部35的高度位置，由此能夠提高其測量精度。另外，吸附機構(gòu)25吸附保持基板W的寬度方向兩端部E，但是進行涂布作業(yè)時，噴嘴30的寬度方向端部35位于該基板W的端部E的上方。因此，如果通過將傳感器7以與吸附機構(gòu)25在輸送方向上并排的配置方式搭載于基座部件23上使該基座部件23沿著軌道21移動而使傳感器7位于噴嘴30的正下方，則能夠?qū)鞲衅?位于與噴嘴30的寬度方向的端部35相對應的位置上。因此，能夠用傳感器7迅速開始測量噴嘴30的高度位置。另外，在圖4中，將規(guī)定的水平面作為基準面HO，按照能夠精確測量噴嘴30的端部35的下端面的高度位置的方式設(shè)定傳感器7的測量儀9，但是為了應對有必要對該設(shè)定重新考慮的情況，本實施方式的涂布裝置1包括重置機構(gòu)。如圖5所示，該重置機構(gòu)包括設(shè)置在基準面HO上的基準部件40和將該基準部件40輸送到基準面HO上的規(guī)定位置的往復運動氣缸(未圖示)。在本實施方式中，基準面HO是懸浮平臺20的上表面21a。往復運動氣缸具有進行直線伸縮動作的結(jié)構(gòu)，如果該往復運動氣缸伸張，則將基準部件40放置在懸浮平臺20的上表面20a上，如果往復運動氣缸縮短，則將基準部件40退避至退避位置。該退避位置是當進行涂布作業(yè)等時基準部件40不構(gòu)成障礙的位置。如果基準部件40的底面41載置于懸浮平臺20的上表面20a，則底面41的一部分從懸浮平臺20的寬度方向端部突出，能夠使傳感器7的接觸子8的前端與該突出的部分的底面41接觸?；鶞什考?0的底面41為水平面，能夠使接觸子8的前端和懸浮平臺20的上表面20a的高度一致。并且，在使其高度一致的狀態(tài)下，測量儀9重新設(shè)定傳感器7的原點。由此，在傳感器7中，懸浮平臺20的上表面20a被重新設(shè)定為基準面HO。結(jié)果，在需要重新設(shè)定傳感器7(測量儀9)的情況下，通過重置機構(gòu)能夠迅速進行其作業(yè)。另外，本發(fā)明的涂布裝置并不局限于圖示的方式，在本發(fā)明的范圍內(nèi)可以是其它方式的涂布裝置。例如，本實施方式的懸浮平臺20是關(guān)于用空氣使基板W懸浮的情況進行了說明，但并不局限于此，可以使用超聲波。另外，基板W的輸送還可以是除了懸浮輸送之外的其它方式。另外，傳感器7是接觸式，但也可以是非接觸式。進一步，作為支撐基板W的端部E的支撐部，說明了基于空氣吸引的吸附機構(gòu)25，但也可以是另外的方式。進一步，在所述實施方式中，關(guān)于懸浮機構(gòu)部是噴射空氣的空氣噴射部26、通過空氣使基座部件23懸浮的情況進行了說明，但是還可以使用空氣之外的氮氣等其它氣體。另外，基座部件23相對于軌道21的構(gòu)成為非接觸式、即，懸浮機構(gòu)部的構(gòu)成除了基于氣體噴射的構(gòu)成之外，還可以是，例如磁懸浮、超聲波懸浮、靜電懸浮等。另外，在所述實施方式中，關(guān)于使基座部件23坐落于軌道21上時，通過排氣用空氣流路16(參照圖3)將殘留于空氣噴射部26的空氣向外排放(向大氣開放)的情況進行了說明，但是，為了使基座部件23進一步迅速地坐落于軌道21上，可以設(shè)置未圖示的強制排放空氣噴射部26(空氣墊27)內(nèi)的空氣的吸引裝置。作為吸引裝置，可以使用泵、鼓風機等，將這些吸引裝置連接在排氣用空氣流路16上就可以。此時，通過吸引裝置產(chǎn)生的負壓來能夠使空氣噴射部26(空氣墊27)吸附于軌道21上?；蛘撸瑸榱耸够考?3迅速地坐落，基座部件23(至少其一部分)還可以做成磁性體，例如在軌道21中內(nèi)置電磁鐵，通過該電磁鐵的磁力使基座部件23吸附于軌道21上。進一步，作為使基座部件23迅速地坐落的其它裝置,還可以是如下的構(gòu)成，即，通過伸縮氣缸等往復運動氣缸或者通過馬達來驅(qū)動的臂等部件，相對于基座部件23施加向軌道21的上表面21a的方向的外力，將基座部件23推壓至軌道21上。