涂層裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及涂層裝置，更具體地涉及可提高涂層膜品質(zhì)的涂層裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在手機、MP3、顯示裝置等電子產(chǎn)品的玻璃蓋板(cover glass)或表面窗口(window)上涂層有防指紋貼膜等功能性涂層膜。其中，用于形成防指紋貼膜的涂層劑主要使用氟類物質(zhì)。
[0003]在上述的玻璃蓋板(cover glass)或表面窗口(window)等的被處理物上，即，在基板上形成功能性涂層膜的涂層裝置可以采用通過噴射固體氟涂層劑來進(jìn)行涂層的干式涂層方法和噴射液狀的氟涂層劑的濕式涂層方法。
[0004]干式涂層裝置是將固體的氟涂層劑以真空氛圍的化學(xué)氣相沉積(CVD =ChemicalVapor Deposit1n)方法來向基板表面進(jìn)行沉積的方法。由于化學(xué)氣相沉積方法在真空腔內(nèi)實施，因此，存在工序不易實施的局限性，進(jìn)而導(dǎo)致出現(xiàn)生產(chǎn)性低下的問題。
[0005]相比于干式涂層方法，濕式涂層方法的工序成本低廉，容易實現(xiàn)針對大面積基板的批量涂層，相比于干式方法，具有價格競爭力強以及生產(chǎn)性好的優(yōu)點。如同韓國公開專利2012-0120031中所公開，濕式涂層裝置包括:輸送機，用于使安置有基板的托盤向涂層工序進(jìn)行方向輸送；等離子處理機，設(shè)置于基板的輸送進(jìn)行路徑上；涂層劑噴射部以及烤爐。其中，借助輸送機來向基板工序進(jìn)行方向輸送基板，且該基板在通過等離子處理機下側(cè)并實施等離子表面處理后，通過涂層劑噴射部下側(cè)的同時，其表面被噴射涂層劑。之后，基板借助輸送機被輸送到烤爐，從而完成干燥過程。
[0006]—方面,在濕式涂層方法中，如上所述,一邊借助輸送機輸送基板，一邊完成涂層。但由于輸送機以恒定等速輸送基板，會出現(xiàn)難以變更工序條件或難以按各工序區(qū)間分別控制速度的難題。并且，輸送機因其驅(qū)動工作，會自主發(fā)生振動，而輸送機的振動會向基板傳遞。這會成為涂層劑不均勻地涂層在基板上的因素，由此導(dǎo)致出現(xiàn)涂層膜的品質(zhì)下降的問題。
[0007]并且，涂層噴射部具有多個噴嘴，如圖15所示，上述多個噴嘴512分開配置，且沿著一方向排列。更具體而言，多個噴嘴512沿著X軸方向排列配置,此時,多個噴嘴512在Y軸方向上的位置相同。并且，當(dāng)從多個噴嘴512向基板滴涂(dotting)涂層劑時，滴涂在基板上的滴點D大致呈半球形狀。此時，半球形狀的滴點D以從中心部向外圍邊緣其高度逐漸變低的形狀形成滴涂。當(dāng)以這種狀態(tài)向基板S涂層時，會導(dǎo)致形成具有不均勻的厚度的涂層膜。對此，以往為了在基板S上以均勻的厚度形成涂層膜，如圖15所示，配置有多個噴嘴512，使得相鄰的噴嘴512之間的滴涂范圍重疊。更具體而言，對于分別從兩個噴嘴512滴涂的滴點D，以滴點D的邊緣可相互重疊的方式配置噴嘴512。
[0008]但是，在這種情況下，各噴嘴512的噴射壓力會對相鄰的噴嘴512的滴涂造成影響，導(dǎo)致涂層膜的形成不均勻，由此成為涂層膜品質(zhì)下降的另一因素。
[0009]【現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)】
[0010]【專利文獻(xiàn)】
[0011](專利文獻(xiàn)I)韓國公開專利2012-0120031

【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]本發(fā)明提供可提高涂層膜品質(zhì)并可縮短涂層時間的涂層裝置。
[0013]并且，本發(fā)明提供易于調(diào)節(jié)基板的輸送速度并可均勻地控制涂層液涂布量的涂層
>J-U ρ?α裝直。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的涂層裝置包括:涂層機，具有噴射單元，上述噴射單元設(shè)有用于向基板噴射涂層劑的多個噴嘴；以及涂層輸送機，使上述涂層機沿著X軸及Y軸方向進(jìn)行水平移動，且上述多個噴嘴沿著X軸及Y軸方向排列，并相互分開配置，沿著上述X軸及Y軸中的一個軸方向排列的多個噴嘴在另一軸方向上的位置相互不同。
[0015]根據(jù)本發(fā)明的涂層裝置包括:基板輸送機，具有導(dǎo)軌以及基板輸送部，上述導(dǎo)軌沿著在基板上形成涂層膜的涂層工序進(jìn)行方向延伸而成，上述基板輸送部的上部安置有基板，并沿著上述導(dǎo)軌向涂層工序進(jìn)行方向移動；等離子處理機，設(shè)置于上述涂層工序進(jìn)行方向路徑上，并向上述基板實施等離子表面處理；以及涂層機，在上述涂層工序進(jìn)行路徑上與上述等離子處理機分開設(shè)置，并具有噴射單元，上述噴射單元設(shè)有向基板噴射涂層劑的多個噴嘴。
[0016]本發(fā)明的涂層裝置包括:涂層機，具有噴射單元，上述噴射單元設(shè)有用于向基板噴射涂層劑的多個噴嘴，且多個噴嘴分別沿著X軸及Y軸方向排列并相互分開設(shè)置，多個噴嘴設(shè)置成，使得由沿著上述X軸及Y軸方向中的一軸方向排列的多個噴嘴分別形成的涂布線與由配置于上述X軸及Y軸方向中的另一軸方向上的至少一個噴嘴涂布的涂布線形成為，沿著上述X軸及Y軸方向中的一軸方向重疊，并使沿著上述X軸及Y軸方向中的另一方向排列的多個噴嘴沿著上述X軸及Y軸方向中的一軸方向的位置相互不同。
[0017]本發(fā)明的涂層裝置包括:基板輸送機，具有導(dǎo)軌以及基板輸送部，上述導(dǎo)軌沿著在基板上形成涂層膜的涂層工序進(jìn)行方向延伸而成，上述基板輸送部的上部安置有基板，并沿著上述導(dǎo)軌向涂層工序進(jìn)行方向移動；以及等離子處理機，設(shè)置于上述涂層工序進(jìn)行方向路徑上，并向上述基板實施等離子表面處理，且上述噴射單元在上述涂層工序進(jìn)行路徑上與上述等離子處理機分開設(shè)置。
[0018]由沿著上述X軸及Y軸方向中的一軸方向排列的多個噴嘴分別形成的涂布線與由配置于上述X軸及Y軸方向中的另一軸方向上的至少一個噴嘴涂布的涂布線形成為沿著上述X軸及Y軸方向中的一軸方向重疊，且沿著上述X軸及Y軸方向中的另一方向排列的多個噴嘴沿著上述X軸及Y軸方向中的一軸方向的位置相互不同。
[0019]本發(fā)明的涂層裝置包括:涂層輸送機，使上述涂層機沿著X軸及Y軸方向進(jìn)行水平移動，且上述多個噴嘴沿著X軸及Y軸方向排列，并相互分開配置，沿著上述X軸及Y軸中的一個軸方向排列的多個噴嘴在另一軸方向上的位置相互不同。
[0020]由沿著上述X軸及Y軸方向中的一軸方向排列的多個噴嘴分別形成的涂布線與由配置于上述X軸及Y軸方向中的另一軸方向上的至少一個噴嘴涂布的涂布線形成為沿著上述X軸及Y軸方向中的一軸方向重疊，且沿著上述X軸及Y軸方向中的另一方向排列的多個噴嘴沿著上述X軸及Y軸方向中的一軸方向的位置相互不同。
[0021]本發(fā)明的涂層裝置包括涂層輸送機，使上述涂層機沿著X軸及Y軸方向進(jìn)行水平移動，所述涂層輸送機包括:基板輸送機，具有導(dǎo)軌以及基板輸送部，上述導(dǎo)軌沿著在基板上形成涂層膜的涂層工序進(jìn)行方向延伸而成，上述基板輸送部的上部安置有基板，并沿著上述導(dǎo)軌向涂層工序進(jìn)行方向移動；以及等離子處理機，設(shè)置于上述涂層工序進(jìn)行方向路徑上，并向上述基板實施等離子表面處理，且上述涂層機在上述涂層工序進(jìn)行路徑上與上述等離子處理機分開設(shè)置。
[0022]在基板上滴涂從上述多個噴嘴排出的多個涂層劑時，所形成的多個滴點相互形成間隔，并且沿著X軸方向排列的上述多個噴嘴在Y軸方向上的位置相互不同。
[0023]上述噴射單元一邊沿著X軸方向進(jìn)行水平移動，一邊向基板噴射涂層劑，在上述基板上形成有涂布線，上述涂布線借助分別從上述多個噴嘴排出并連續(xù)被滴涂的滴點來形成，并且各自以沿著X軸方向延伸的方式而形成，從各個噴嘴涂布而成的涂布線的部分區(qū)域與從沿著X軸方向分開配置的其他噴嘴涂布而成的涂布線中的至少一個形成為沿著Y軸方向重疊，且沿著上述X軸方向排列的多個噴嘴在Y軸方向的位置相互不同。
[0024]沿著上述X軸方向排列的多個噴嘴以在Y軸方向的位置相互不同的方式配置，使得上述涂布線的沿著Y軸方向的重疊區(qū)域為35%至45%。
[0025]配置于X軸方向的相互不同的位置且沿著Y軸方向相鄰地配置的一噴嘴的中心和另一噴嘴的中心之間的距離為上述重疊面積的1.3至1.7倍。
[0026]本發(fā)明的涂層裝置包括多個噴嘴組，分別具有沿著Y軸方向排列并分開設(shè)置的上述多個噴嘴，上述多個噴嘴組沿著X軸方向排列并相互分開配置，沿著X軸方向排列的上述多個噴嘴組在Y軸方向上的位置相互不同。
[0027]上述多個噴嘴組以之字形配置。
[0028]上述多個噴嘴組配置為，使得通過分別構(gòu)成隔著一噴嘴組而沿著X軸方向的兩側(cè)分開配置的兩個噴嘴組的一噴嘴涂布的涂布線的一部分沿著Y軸方向相互重疊。
[0029]上述基板輸送機包括:第一基板輸送機，具有第一導(dǎo)軌和第一基板輸送部，上述第一導(dǎo)軌從擬形成涂層膜的基板被引入的區(qū)域向上述噴射單元所在位置的方向延伸而成，上述第一基板輸送部的上部安置有基板，并能夠沿著上述第一導(dǎo)軌進(jìn)行水平移動；以及第二基板輸送機，具有第二導(dǎo)軌和至少一個基板輸送部，上述第二導(dǎo)軌從形成上述涂層膜的基板被引出的區(qū)域向上述等離子處理機所在位置的方向延伸而成，上述至少一個基板輸送部的上部安置有基板，并能夠沿著上述第二導(dǎo)軌進(jìn)行水平移動。
[0030]上述第一基板輸送部安置為了形成涂層膜而被弓I入的基板，從而向上述等離子處理機所在方向進(jìn)行移動，上述第一基板輸送機包括:第一水平驅(qū)動部，以與第一基板輸送部相連接的方式設(shè)置，提供使上述第一基板輸送部沿著上述第一導(dǎo)軌進(jìn)行水平移動的驅(qū)動力；以及第一動力源，與上述第一水平驅(qū)動部相連接，使上述第一水平驅(qū)動部旋轉(zhuǎn)工作，上述第一水平驅(qū)動部為滾珠絲杠。
[0031]上述第一基板輸送部包括:一對移動塊，以分別安裝于上述一對第一導(dǎo)軌的方式設(shè)置，并能夠沿著上述一對第一導(dǎo)軌進(jìn)行水平移動；基板安放臺，安裝于上述移動塊的上偵U，在上部安放有基板；以及升降驅(qū)動部，與上述基板安放臺相連接，使上述基板安放臺進(jìn)行升降。
[0032]上述基板安放臺在為了形成涂層膜而引入基板的基板引入?yún)^(qū)域中，借助上述升降驅(qū)動部來進(jìn)行升降，從而使被引入上述基板引入?yún)^(qū)域的基板安放在上述基板安放臺上。
[0033]本發(fā)明包括:基板傳遞部，設(shè)置于上述第一基板輸送部的水平移動路徑上，為了向上述第二基板輸送機的基板輸送部傳遞基板，支撐從上述第一基板輸送部移動的基板；以及涂層支撐部，設(shè)置于上述第二基板輸送機的移動路徑上，在上部安置有基板從而實施涂層工序。
[0034]上述第二基板輸送機包括:第二基板輸送部，安置支撐于上述基板傳遞部之上的基板，從而使基板向上述噴射單元所在方向移動；第三基板輸送部，在上述第二導(dǎo)軌之上，設(shè)置于上述第二基板輸送部的前方，沿著上述第二導(dǎo)軌進(jìn)行水平移動，從而安置支撐于上述涂層支撐部的基板，使基板向基板引出區(qū)域移動；固定條，以連接上述第二基板輸送部和上述第三基板輸送部之間的方式設(shè)置；第二水平驅(qū)動部，以與上述第二基板輸送部及第三基板輸送部中的任意一個相連接的方式設(shè)置，提供上述第二基板輸送部及第三基板輸送部能夠沿著上述第二導(dǎo)軌進(jìn)行水平移動的驅(qū)動力；以及第二動力源，與上述第二水平驅(qū)動部相連接，使上述第二水平驅(qū)動部旋轉(zhuǎn)工作。
[0035]上述第二水平驅(qū)動部為滾珠絲杠。
[0036]上述第二基板輸送部及第三基板輸送部包括:移動塊，以分別安裝于上述一對第二導(dǎo)軌的方式設(shè)置，并能夠沿著上述一對第二導(dǎo)軌進(jìn)行水平移動；基板安放臺，安裝于上述移動塊的上側(cè)，在上部安放有基板；以及升降驅(qū)動部，與上述基板安放臺相連接，使上述基板安放臺進(jìn)行升降。
[0037]在支撐于上述基板傳遞部之上的基板下側(cè)，通過由上述第二基板輸送部的升降驅(qū)動部對上述第二基板輸送部的基板安放臺進(jìn)行升降，來使支撐于上述基板傳遞部之上的基板安置于上述第二基板輸送部的基板安放臺；在支撐于上述涂層支撐部的基板下側(cè)，通過由上述第三基板輸送部的升降驅(qū)動部對上述第三基板輸送部的基板安放臺進(jìn)行升降，來使支撐于上述涂層支撐部的基板安置于上述第三基板輸送部的基板安放臺。
[0038]上述涂層輸送機包括:第一涂層導(dǎo)軌，位于上述涂層支撐部的上側(cè)，并使上述噴射單元沿著X軸方向進(jìn)行水平移動；以及第二涂層導(dǎo)軌，與上述第一涂層導(dǎo)軌的兩端相連接，向Y軸方向延伸而成，使上述第一涂層導(dǎo)軌和噴射單元沿著Y軸方向進(jìn)行水平移動。
[0039]上述多個噴嘴分別包括:涂層劑供給管，與從涂層劑罐供給涂層劑的注射泵相連接；氣體供給管，與從氣體罐供給氣體的流量控制部相連接；以及止回閥，具有阻斷部件和彈簧，上述阻斷部件在上述多個噴嘴和上述涂層劑供給管之間用于阻斷上述涂層劑或上述氣體的回流，上述彈簧與上述阻斷部件相連接。
[0040]根據(jù)本發(fā)明的實施形態(tài)，在對構(gòu)成噴射單元的多個噴嘴進(jìn)行配置時，使得沿著X軸及Y軸中的一個軸方向排列的多個噴嘴在另一軸方向上的位置相互不同。由此，當(dāng)從多個噴嘴分別排出涂層劑并滴涂(dotting)到基板時，滴涂的多個滴點不會像以往一樣重疊。
[0041]并且，當(dāng)以一邊沿著X軸方向進(jìn)行水平移動噴射單元