技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種晶圓匣，所述晶圓匣在至少一側(cè)壁的邊緣處沿豎直方向設(shè)置有一開口，開口內(nèi)設(shè)置有沿豎直方向滑動的限位件，限位件上設(shè)置有與晶圓槽數(shù)量相等的凸塊，相鄰?fù)箟K之間的距離與相鄰晶圓槽之間的距離相等；當(dāng)晶圓匣處于裝卸晶圓的狀態(tài)時，限位件上相鄰?fù)箟K之間的間隙與晶圓槽對應(yīng)；當(dāng)晶圓匣處于運輸晶圓的狀態(tài)時，限位件上的凸塊與晶圓槽對應(yīng)。本發(fā)明提供的晶圓匣在運輸晶圓時，限位件由于重力作用自然下滑，從而使得限位件上的凸塊卡合晶圓，故不需要進行鋼條的翻轉(zhuǎn)，就有效的防止晶圓從晶圓匣中滑落，提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本。

技術(shù)研發(fā)人員：汪文堅;賈紅星;謝志峰
受保護的技術(shù)使用者：江蘇納沛斯半導(dǎo)體有限公司
文檔號碼：201610970550
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.04
技術(shù)公布日：2017.02.15