專利名稱：一種充氣接頭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及儀器儀表(分析儀器)領(lǐng)域，特別是一種分子泵用的充氣接頭。
背景技術(shù)：
分子泵是一種常用的真空獲得設(shè)備，它是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體 分子，使之獲得定向速度，使氣體被壓縮并驅(qū)向至排氣口，再使氣體被前級抽走的一種真空 泵。其中，耐腐蝕分子泵應(yīng)用于腐蝕性氣體工作環(huán)境，如離子刻蝕、等離子體和半導(dǎo)體器件 等的生產(chǎn)中。耐腐蝕分子泵的主軸與防油蓋之間存在一定的運(yùn)動間隙，在工作過程中腐蝕性氣 體會通過這一間隙進(jìn)入分子泵內(nèi)部的，對分子泵內(nèi)部的上軸承、電機(jī)、下軸承等軸系結(jié)構(gòu)的 零件進(jìn)行腐蝕破壞。因此，現(xiàn)有技術(shù)中的耐腐蝕分子泵會在上述軸系結(jié)構(gòu)中使用專用防腐 潤滑油并設(shè)置氣體保護(hù)機(jī)構(gòu)(即充入保護(hù)性氣體，如氬氣等惰性氣體，或氮?dú)?、空氣?來 實(shí)現(xiàn)對軸系結(jié)構(gòu)的保護(hù)。氣體保護(hù)機(jī)構(gòu)的設(shè)置如圖1所示，在耐腐蝕分子泵的泵體1上設(shè)置 有接頭2，所述接頭2與成型在所述泵體1內(nèi)部的氣體管路3連通，所述氣體管路3的出口 端與導(dǎo)管4連通，所述導(dǎo)管4適于插入主軸5與防油蓋6之間的間隙。在進(jìn)行充氣保護(hù)時， 外界保護(hù)性氣體的氣源通過所述接頭2進(jìn)入所述間隙，以稀釋所述間隙中的腐蝕性氣體濃 度，或者通過增大所述間隙中的氣壓來阻止腐蝕性氣體進(jìn)入所述間隙，從而實(shí)現(xiàn)對軸系結(jié) 構(gòu)的保護(hù)。但是，不同耐腐蝕分子泵在不同使用過程中所需要的保護(hù)性氣體的氣體流量是不 同的，需要根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行調(diào)節(jié)，因此現(xiàn)有技術(shù)中在保護(hù)性氣體通入所述接頭2之前，會 在耐腐蝕分子泵的外部單獨(dú)設(shè)置用于控制氣體流量的專用裝置；另外，充入所述間隙的保 護(hù)性氣體還必須要保持干燥，并且不能含有粉塵等雜質(zhì)，這是由于一旦過多的水分和雜質(zhì) 進(jìn)入軸系結(jié)構(gòu)將影響軸承的潤滑作用，縮短軸系結(jié)構(gòu)零件的使用壽命，因此現(xiàn)有技術(shù)中在 保護(hù)性氣體通入所述接頭2之前，還會在耐腐蝕分子泵的外部單獨(dú)設(shè)置一個用于干燥和過 濾保護(hù)性氣體的專用裝置，從而使保護(hù)性氣體經(jīng)過氣流控制和過濾后再通過充氣接頭進(jìn)入 軸系結(jié)構(gòu)中進(jìn)行保護(hù)。從上述敘述可以看出，現(xiàn)有技術(shù)中的充氣接頭只起到連通氣源，使保護(hù)性氣體進(jìn) 入軸系結(jié)構(gòu)的作用，而保護(hù)性氣體的氣流控制和過濾只能利用獨(dú)立設(shè)置在耐腐蝕分子泵外 部的專用裝置才能進(jìn)行，這無疑使整體設(shè)備更加龐雜，增加了設(shè)備成本，而且還會對設(shè)備的 維護(hù)造成極大不便，使設(shè)備維護(hù)的成本大大增加。

實(shí)用新型內(nèi)容為此，本實(shí)用新型所要解決現(xiàn)有技術(shù)中充氣接頭只能起到連通氣源和導(dǎo)通氣體的 作用，而保護(hù)性氣體的氣流控制只能利用獨(dú)立設(shè)置在耐腐蝕分子泵外部的專用裝置才能進(jìn) 行的問題，而提供一種能夠?qū)Τ淙氲谋Ｗo(hù)性氣體有效地進(jìn)行流量控制的充氣接頭。另外，本 實(shí)用新型提供的充氣接頭還能對充入的保護(hù)性氣體進(jìn)行過濾。[0007]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下一種充氣接頭，包括本體，所述本體的內(nèi)部成型有充氣孔；所述充氣接頭還包括 用于控制氣體流量的氣流控制機(jī)構(gòu)，所述氣流控制機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述充氣孔內(nèi)。 上述充氣接頭中，所述充氣孔的靠近進(jìn)氣口的一端為裝配通孔，靠近出氣口的一 端為通氣小孔，所述通氣小孔比所述裝配通孔的橫截面積小；所述氣流控制機(jī)構(gòu)為可限位 地安裝在所述裝配通孔中的限流部件，所述限流部件包括限位體和閥針，所述限位體成型 有與所述充氣孔連通的氣體通道，所述閥針為上大下小且適于插入所述通氣小孔中的尖錐 形；所述限流部件和所述裝配通孔之間還設(shè)有限位機(jī)構(gòu)。上述充氣接頭中，所述充氣孔的所述進(jìn)氣口與所述限流部件之間設(shè)置有氣體過濾 機(jī)構(gòu)，保護(hù)性氣體通過所述氣體過濾機(jī)構(gòu)進(jìn)入所述氣體通道。上述充氣接頭中，所述氣體過濾機(jī)構(gòu)包括過濾芯體和鎖緊部件，所述過濾芯體設(shè) 置在所述限流部件和所述鎖緊部件之間，所述鎖緊部件可拆卸地設(shè)置在所述裝配通孔中， 且所述鎖緊部件內(nèi)成型有與所述充氣孔連通的通氣孔。上述充氣接頭中，所述鎖緊部件內(nèi)部還成型有腔室，所述過濾芯體設(shè)置于所述腔室中。上述充氣接頭中，所述限流部件內(nèi)部成型有容納腔，所述過濾芯體設(shè)置于所述容 納腔中。上述充氣接頭中，所述鎖緊部件成型有向所述進(jìn)氣口凹陷的鎖緊部件凹槽，所述 限流部件成型有向所述出氣口凹陷的限流部件凹槽，所述鎖緊部件凹槽和所述限流部件凹 槽相互配合形成用于容納所述過濾芯體的容納腔。上述充氣接頭中，所述氣體通道為氣體導(dǎo)孔。上述充氣接頭中，所述限位機(jī)構(gòu)包括成型在所述裝配通孔內(nèi)壁的內(nèi)螺紋和成型在 所述限流部件外表面、與所述內(nèi)螺紋配合的外螺紋。上述充氣接頭中，所述鎖緊部件和所述限流部件的上表面均成型有操作槽。本實(shí)用新型的上述技術(shù)方案相比現(xiàn)有技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn)①本實(shí)用新型的充氣接 頭，在充氣孔內(nèi)設(shè)置有氣體流量控制機(jī)構(gòu)，可對所充入的保護(hù)性氣體流量進(jìn)行有效控制，取 代了現(xiàn)有技術(shù)中獨(dú)立設(shè)置在耐腐蝕分子泵外部的專用氣體流量控制裝置，節(jié)約了整體設(shè)備 的制造成本，使整體設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，且維護(hù)方便、成本低；②本實(shí)用新型的充氣接頭，其中氣 體流量控制機(jī)構(gòu)為可限位地安裝在裝配通孔中的限流部件，限流部件包括限位體和閥針， 閥針為上大下小且適于插入通氣小孔中的尖錐形，通過限位機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)閥針插入通氣小孔的 多少，來調(diào)節(jié)通氣小孔用于導(dǎo)通氣體的橫截面的大小，從而控制氣體的流量，上述結(jié)構(gòu)簡 單、易于實(shí)現(xiàn)，而且可根據(jù)實(shí)際需要隨時調(diào)節(jié)、改變氣體流量的大小，操作簡易、方便；③本 實(shí)用新型的充氣接頭，在充氣孔的進(jìn)氣口與限流部件之間還設(shè)有氣體過濾機(jī)構(gòu)，能夠?qū)Τ?入的保護(hù)性氣體進(jìn)行干燥和過濾，去除保護(hù)性氣體中的水分和粉塵等雜質(zhì)，取代了現(xiàn)有技 術(shù)中獨(dú)立設(shè)置在耐腐蝕分子泵外部的專用過濾裝置，節(jié)約了整體設(shè)備的制造成本，使整體 設(shè)備結(jié)構(gòu)更加緊湊，且維護(hù)方便、成本低，能夠?qū)δ透g分子泵中軸系結(jié)構(gòu)進(jìn)行有效保護(hù)； ④本實(shí)用新型的充氣接頭，其中氣體過濾機(jī)構(gòu)包括過濾芯體和鎖緊部件，過濾芯體設(shè)置在 限流部件和鎖緊部件之間，過濾芯體可設(shè)置在鎖緊部件內(nèi)的腔室中，在調(diào)節(jié)好保護(hù)性氣體 的流量后，通過安裝鎖緊部件，來防止限流部件發(fā)生松動，而且還能有效防止由于誤操作而導(dǎo)致的氣體流量變化，從而確保氣體流量控制的準(zhǔn)確性；⑤本實(shí)用新型的充氣接頭，其中過 濾芯體還可設(shè)置在限流部件內(nèi)部的容納腔中，或者設(shè)置在由鎖緊部件凹槽和限流部件凹槽 相互配合形成的容納腔中，使結(jié)構(gòu)更加緊湊嚴(yán)密；⑥本實(shí)用新型的充氣接頭，其中限位機(jī)構(gòu) 包括成型在裝配通孔內(nèi)壁的內(nèi)螺紋和成型在限流部件外表面、與內(nèi)螺紋配合的外螺紋，上 述限位機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單、易于實(shí)現(xiàn)而且操作方便，利于進(jìn)行氣體流量控制；⑦本實(shí)用新型的充 氣接頭，鎖緊部件和限流部件的上表面均成型有操作槽，能與螺絲刀等工具配合，以轉(zhuǎn)動限 流部件調(diào)節(jié)氣體流量和擰緊/松開鎖緊部件。

為了使本實(shí)用新型的內(nèi)容更容易被清楚的理解，下面根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施 例并結(jié)合附圖，對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明，其中圖1是現(xiàn)有技術(shù)中耐腐蝕分子泵的剖視示意圖；圖2是本實(shí)用新型充氣接頭的裝配示意圖；圖3是圖2的俯視圖；圖4是本實(shí)用新型充氣接頭中本體的示意圖；圖5是圖4的俯視圖；圖6是本實(shí)用新型充氣接頭中鎖緊部件的示意圖；圖7是圖6的俯視圖；圖8是本實(shí)用新型充氣接頭中限流部件的示意圖；圖9是圖8的俯視圖。圖中附圖標(biāo)記表示為1_泵體，2-接頭，3-氣體管路，4-導(dǎo)管，5-主軸，6-防油蓋， 7-本體，8-裝配通孔，9-通氣小孔，10-限流部件，11-氣體導(dǎo)孔，12-過濾芯體，13-鎖緊部 件，14-通氣孔，15-限位體，16-閥針，17-腔室，18-操作槽。
具體實(shí)施方式
如圖2和3所示，是本實(shí)用新型充氣接頭的優(yōu)選實(shí)施例。所述充氣接頭包括本體 7，氣流控制機(jī)構(gòu)和氣體過濾機(jī)構(gòu)。所述本體7的內(nèi)部成型有充氣孔，所述氣流控制機(jī)構(gòu)和所述氣體過濾機(jī)構(gòu)均設(shè)置 在所述充氣孔內(nèi)。如圖4和5所示，所述充氣孔靠近進(jìn)氣口的一端為裝配通孔8，靠近出氣 口的一端為通氣小孔9，所述通氣小孔9比所述裝配通孔8的橫截面積小。所述氣流控制機(jī)構(gòu)用于控制充入的保護(hù)性氣體的氣體流量，所述氣流控制機(jī)構(gòu)包 括限流部件10，所述限流部件10可限位地安裝在所述裝配通孔8，所述限流部件10和所述 裝配通孔8之間設(shè)有限位機(jī)構(gòu)。如圖8和9所示，所述限流部件10包括限位體15和閥針 16，所述限位體15成型有與所述充氣孔連通的氣體通道，在本實(shí)施例中所述氣體通道為氣 體導(dǎo)孔11。所述閥針16為上大下小且適于插入所述通氣小孔9中的尖錐形。在本實(shí)施例 中，所述限位機(jī)構(gòu)包括成型在所述裝配通孔8內(nèi)壁的內(nèi)螺紋和成型在所述限流部 件10外表 面、與所述內(nèi)螺紋配合的外螺紋。另外，在所述限流部件10的上表面還成型有操作槽18，所 述操作槽18能與螺絲刀等工具配合，以調(diào)節(jié)所述閥針16進(jìn)入所述通氣小孔9中的多少，來 改變所述通氣小孔9用于導(dǎo)通氣體的橫截面的大小，從而實(shí)現(xiàn)對充入的保護(hù)性氣體的流量控制。所述氣體過濾機(jī)構(gòu)用于對充入的保護(hù)性氣體進(jìn)行干燥和過濾，去除保護(hù)性氣體中的水分和粉塵等雜質(zhì)。所述氣體過濾機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述充氣孔的所述進(jìn)氣口與所述限流部件 10之間，保護(hù)性氣體通過所述氣體過濾機(jī)構(gòu)進(jìn)入所述限流部件10的所述氣體導(dǎo)孔11。所 述氣體過濾機(jī)構(gòu)包括過濾芯體12和鎖緊部件13，所述過濾芯體12設(shè)置在所述限流部件10 和所述鎖緊部件13之間。所述鎖緊部件13的外表面成型有與所述裝配通孔8內(nèi)壁的所述 內(nèi)螺紋相配合的外螺紋，使所述鎖緊部件13可拆卸地設(shè)置在所述裝配通孔8中。所述鎖緊 部件13內(nèi)成型有與所述充氣孔連通的通氣孔14和腔室17，如圖6和7所示，所述過濾芯體 12設(shè)置于所述腔室17中；所述鎖緊部件13的上表面還成型有操作槽18，所述操作槽18能 與螺絲刀等工具配合，以鎖緊固定。利用本實(shí)用新型提供的所述充氣接頭進(jìn)行充氣的具體工作過程詳述如下第一，將所述充氣接頭安裝在耐腐蝕分子泵的泵體1上，將保護(hù)氣體的氣源接頭 與所述充氣接頭固定連通；第二，充入保護(hù)性氣體，所述保護(hù)性氣體將從所述充氣孔的所述進(jìn)氣口進(jìn)入所述 充氣接頭，并通過所述過濾芯體12進(jìn)入所述限流部件10的所述氣體導(dǎo)孔11，所述保護(hù)性氣 體進(jìn)而通過由所述閥針16與所述通氣小孔9形成的氣道進(jìn)入所述耐腐蝕性分子泵的軸系 結(jié)構(gòu)，以實(shí)現(xiàn)對所述軸系結(jié)構(gòu)的保護(hù)。在其他實(shí)施例中，所述限流部件10內(nèi)部還可成型有容納腔，使所述過濾芯體12設(shè) 置在所述容納腔中。在其他實(shí)施例中，所述鎖緊部件13還成型有向所述進(jìn)氣口凹陷的鎖緊 部件凹槽，所述限流部件10還成型有向所述出氣口凹陷的限流部件凹槽，所述鎖緊部件凹 槽和所述限流部件凹槽相互配合形成容納腔，所述過濾芯體12可設(shè)置在該容納腔中。在其他實(shí)施例中，所述限位體15的所述氣體通道還可為通氣槽等。顯然，上述實(shí)施例僅僅是為清楚地說明所作的舉例，而并非對實(shí)施方式的限定。對 于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或 變動。這里無需也無法對所有的實(shí)施方式予以窮舉。而由此所引伸出的顯而易見的變化或 變動仍處于本實(shí)用新型創(chuàng)造的保護(hù)范圍之中。
權(quán)利要求一種充氣接頭，包括本體(7)，所述本體(7)的內(nèi)部成型有充氣孔；其特征在于所述充氣接頭還包括用于控制氣體流量的氣流控制機(jī)構(gòu)，所述氣流控制機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述充氣孔內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的充氣接頭，其特征在于所述充氣孔的靠近進(jìn)氣口的一端 為裝配通孔(8)，靠近出氣口的一端為通氣小孔(9)，所述通氣小孔(9)比所述裝配通孔 (8)的橫截面積??；所述氣流控制機(jī)構(gòu)為可限位地安裝在所述裝配通孔(8)中的限流部件 (10)，所述限流部件(10)包括限位體(15)和閥針(16)，所述限位體(15)成型有與所述充 氣孔連通的氣體通道，所述閥針(16)為上大下小且適于插入所述通氣小孔(9)中的尖錐 形；所述限流部件(10)和所述裝配通孔(8)之間還設(shè)有限位機(jī)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的充氣接頭，其特征在于所述充氣孔的所述進(jìn)氣口與所述限 流部件(10)之間設(shè)置有氣體過濾機(jī)構(gòu)，保護(hù)性氣體通過所述氣體過濾機(jī)構(gòu)進(jìn)入所述氣體 通道。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的充氣接頭，其特征在于所述氣體過濾機(jī)構(gòu)包括過濾芯體 (12)和鎖緊部件(13)，所述過濾芯體(12)設(shè)置在所述限流部件(10)和所述鎖緊部件(13) 之間，所述鎖緊部件(13)可拆卸地設(shè)置在所述裝配通孔(8)中，且所述鎖緊部件(13)內(nèi)成 型有與所述充氣孔連通的通氣孔(14)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的充氣接頭，其特征在于所述鎖緊部件(13)內(nèi)部還成型有腔 室(17)，所述過濾芯體(12)設(shè)置于所述腔室(17)中。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的充氣接頭，其特征在于所述限流部件(10)內(nèi)部成型有容納 腔，所述過濾芯體(12)設(shè)置于所述容納腔中。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的充氣接頭，其特征在于所述鎖緊部件(13)成型有向所述進(jìn) 氣口凹陷的鎖緊部件凹槽，所述限流部件(10)成型有向所述出氣口凹陷的限流部件凹槽， 所述鎖緊部件凹槽和所述限流部件凹槽相互配合形成用于容納所述過濾芯體(12)的容納 腔。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的充氣接頭，其特征在于所述氣體通道為氣體導(dǎo)孔(11)。
9.根據(jù)權(quán)利要求2-8任一所述的充氣接頭，其特征在于所述限位機(jī)構(gòu)包括成型在所 述裝配通孔(8)內(nèi)壁的內(nèi)螺紋和成型在所述限流部件(10)外表面、與所述內(nèi)螺紋配合的外 螺紋。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的充氣接頭，其特征在于所述鎖緊部件(13)和所述限流部 件(10)的上表面均成型有操作槽(18)。
專利摘要一種充氣接頭，包括本體(7)，所述本體(7)的內(nèi)部成型有充氣孔；所述充氣接頭還包括用于控制氣體流量的氣流控制機(jī)構(gòu)，所述氣流控制機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述充氣孔內(nèi)。本實(shí)用新型提供的充氣接頭能對充入的保護(hù)性氣體進(jìn)行流量控制。
文檔編號F04D29/00GK201593524SQ20092035074
公開日2010年9月29日 申請日期2009年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月30日
發(fā)明者曾秋林, 趙海標(biāo) 申請人:北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責(zé)任公司