真空泵的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供真空泵，能夠使纖維強(qiáng)化樹脂制成的旋轉(zhuǎn)圓筒的形變盡量減小來使旋轉(zhuǎn)圓筒和固定圓筒之間的間隙足夠小，相應(yīng)地實(shí)現(xiàn)排氣性能的提高。真空泵具備螺紋槽泵部，該螺紋槽泵部具備：固定圓筒部(2)，在其內(nèi)周面設(shè)有螺旋狀的螺紋槽部(1)；以及旋轉(zhuǎn)圓筒部(3)，其配設(shè)在該固定圓筒部(2)內(nèi)，所述螺紋槽泵部通過使該旋轉(zhuǎn)圓筒部(3)旋轉(zhuǎn)，來通過由所述螺紋槽部(1)和所述旋轉(zhuǎn)圓筒部(3)的外周面形成的螺旋狀的排氣流路進(jìn)行排氣，所述旋轉(zhuǎn)圓筒部(3)是層疊多個(gè)纖維強(qiáng)化樹脂層而構(gòu)成的，最外側(cè)的所述纖維強(qiáng)化樹脂層構(gòu)成為比相鄰的層厚。
【專利說明】真空泵
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及具備螺紋槽泵部的真空泵。
【背景技術(shù)】
[0002]在用于實(shí)現(xiàn)真空裝置的高真空環(huán)境的復(fù)合型渦輪分子泵中，在將旋轉(zhuǎn)葉片和固定葉片交替地配置而構(gòu)成的軸流泵的下游設(shè)有螺紋槽泵，該螺紋槽泵由旋轉(zhuǎn)圓筒和與該旋轉(zhuǎn)圓筒對(duì)置的固定圓筒構(gòu)成。
[0003]關(guān)于該螺紋槽泵，對(duì)置的旋轉(zhuǎn)圓筒和固定圓筒之間的間隙越小，排氣性能越高，因此，對(duì)于構(gòu)成螺紋槽泵的旋轉(zhuǎn)圓筒部分要求高精度。
[0004]因此，通常，旋轉(zhuǎn)圓筒部分為金屬制成，并通過與旋轉(zhuǎn)葉片一體地切出而形成，但為了實(shí)現(xiàn)具有該旋轉(zhuǎn)葉片和旋轉(zhuǎn)圓筒的旋轉(zhuǎn)體的輕量化，提出有下述技術(shù):將旋轉(zhuǎn)圓筒部分替換為輕量且強(qiáng)度優(yōu)異的FRP制成(纖維強(qiáng)化樹脂制成)的圓筒(例如參照專利文獻(xiàn)1、2)。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)1:日本特開2009-108752號(hào)公報(bào)
[0008]專利文獻(xiàn)2:日本特開2004-278512號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]發(fā)明要解決的課題
[0010]可是，上述旋轉(zhuǎn)體由于高速旋轉(zhuǎn)而在圓周方向上施加有載荷。并且，旋轉(zhuǎn)圓筒是只有一端被固定于旋轉(zhuǎn)軸的結(jié)構(gòu)，因此，不僅在圓周方向上，在軸向上也被施加有載荷。
[0011]因此，F(xiàn)RP制成的旋轉(zhuǎn)圓筒一般是將環(huán)繞層和螺旋層交替地層疊而成的多層結(jié)構(gòu)，其中，環(huán)繞層是沿圓周方向配置纖維而成的，螺旋層是與軸向帶有一些角度地配置纖維而成的。并且，這時(shí)，為了使旋轉(zhuǎn)圓筒的材料特性平均化，一般還盡量減小各層的厚度并增加層疊數(shù)。
[0012]然而，在為上述多層結(jié)構(gòu)的情況下，由于螺旋層中的纖維的重疊、和卷繞纖維時(shí)的略微的位置偏移等，而在表面會(huì)產(chǎn)生凹凸。
[0013]因此，旋轉(zhuǎn)圓筒通常是在以最外層為環(huán)繞層的方式卷繞纖維而成形之后，需要對(duì)表面的凹凸進(jìn)行除去加工從而精加工成規(guī)定的形狀精度。
[0014]可是，存在下述問題:由于對(duì)表面的凹凸進(jìn)行除去加工(精加工)，會(huì)產(chǎn)生由內(nèi)部應(yīng)變(A )的釋放造成的內(nèi)部應(yīng)力的不均，旋轉(zhuǎn)圓筒整體會(huì)發(fā)生形變(歪t(yī)r )，因而無法使與對(duì)置的固定圓筒之間的間隙足夠小。
[0015]這被認(rèn)為是由于以下原因造成的:FRP制成的旋轉(zhuǎn)圓筒由至少2種材料(纖維和樹脂)形成；環(huán)繞層和螺旋層這些纖維定向不同的層被一體化；以及由于材料在樹脂硬化時(shí)的硬化收縮所引起的形變和熱膨脹率的差，會(huì)產(chǎn)生大的內(nèi)部應(yīng)力。[0016]另外，從另一觀點(diǎn)來看，通過對(duì)表面的凹凸進(jìn)行除去加工(精加工)，有時(shí)還因?yàn)橐韵略蚴沟眯D(zhuǎn)圓筒變形:
[0017]A)連續(xù)的纖維的切斷；
[0018]B)各向異性材料層與其它各向異性材料層的應(yīng)變平衡的破壞；
[0019]C)層的規(guī)定的部分的纖維的張力的變化。
[0020]并且，有時(shí)即使不切斷纖維，當(dāng)削去某一部分的樹脂層時(shí)，該應(yīng)變平衡也會(huì)破壞，從而導(dǎo)致旋轉(zhuǎn)圓筒變形。
[0021]另外，從又一觀點(diǎn)來看，F(xiàn)RP為與鐵等各向同性材料不同的各向異性材料，環(huán)繞層和螺旋層的材料特性不同。對(duì)于FRP，當(dāng)在一個(gè)硬化工序中使環(huán)繞層和螺旋層硬化了的情況下(即，在不是只使環(huán)繞層硬化，接著只使螺旋層硬化這一方法，而是在卷繞工序中使環(huán)繞層、螺旋層層疊卷繞，并同時(shí)一體地使環(huán)繞層和螺旋層硬化的情況下)，螺旋層和環(huán)繞層保持平衡而維持旋轉(zhuǎn)圓筒。因此，若該平衡發(fā)生破壞，則旋轉(zhuǎn)圓筒自身會(huì)產(chǎn)生大的變形。換句話說，在對(duì)環(huán)繞層或螺旋層的一部分進(jìn)行切削加工而切斷纖維，或者即使不切斷纖維而削去其樹脂層的情況下，存在這樣的問題點(diǎn):在旋轉(zhuǎn)圓筒中應(yīng)力平衡發(fā)生破壞，無法維持旋轉(zhuǎn)圓筒的形狀。
[0022]本發(fā)明解決了上述問題點(diǎn)，提供一種極其優(yōu)異的真空泵，其能夠盡量減小纖維強(qiáng)化樹脂制成的旋轉(zhuǎn)圓筒的形變并使旋轉(zhuǎn)圓筒和固定圓筒之間的間隙足夠小，相應(yīng)地實(shí)現(xiàn)排氣性能的提聞。
[0023]用于解決課題的手段
[0024]參照附圖對(duì)本發(fā)明的主旨進(jìn)行說明。
[0025]涉及一種真空泵，其特征在于，所述真空泵具備螺紋槽泵部，該螺紋槽泵部具備:固定圓筒部2，在其內(nèi)周面設(shè)有螺旋狀的螺紋槽部I ;以及旋轉(zhuǎn)圓筒部3，其配設(shè)在該固定圓筒部2內(nèi)，所述螺紋槽泵部通過使該旋轉(zhuǎn)圓筒部3旋轉(zhuǎn)，來通過由所述螺紋槽部I和所述旋轉(zhuǎn)圓筒部3的外周面形成的螺旋狀的排氣流路進(jìn)行排氣，所述真空泵的特征在于，
[0026]所述旋轉(zhuǎn)圓筒部3是層疊多個(gè)纖維強(qiáng)化樹脂層而構(gòu)成的，最外側(cè)的所述纖維強(qiáng)化樹脂層構(gòu)成為比相鄰的層厚。
[0027]并且，在技術(shù)方案I所述的真空泵的基礎(chǔ)上，真空泵的特征在于，最外側(cè)的所述纖維強(qiáng)化樹脂層構(gòu)成為比相鄰的層厚25%以上。
[0028]另外，涉及一種真空泵，其特征在于，所述真空泵具備螺紋槽泵部，該螺紋槽泵部具備:固定圓筒部2，在其內(nèi)周面設(shè)有螺旋狀的螺紋槽部I ;以及旋轉(zhuǎn)圓筒部3，其配設(shè)在該固定圓筒部2內(nèi)，所述螺紋槽泵通過使該旋轉(zhuǎn)圓筒部3旋轉(zhuǎn)，來通過由所述螺紋槽部I和所述旋轉(zhuǎn)圓筒部3的外周面形成的螺旋狀的排氣流路進(jìn)行排氣，所述旋轉(zhuǎn)圓筒部3是層疊多個(gè)纖維強(qiáng)化樹脂層而構(gòu)成的，在該纖維強(qiáng)化樹脂層具有將纖維螺旋卷繞而形成的螺旋層4、和將纖維環(huán)向卷繞而形成的環(huán)繞層5，最外側(cè)的所述環(huán)繞層5構(gòu)成為比相鄰的層厚。
[0029]并且，在技術(shù)方案3所述的真空泵的基礎(chǔ)上，真空泵的特征在于，最外側(cè)的所述環(huán)繞層5構(gòu)成為比相鄰的層厚25%以上。
[0030]并且，在技術(shù)方案I?4中的任一方案的真空泵的基礎(chǔ)上，真空泵的特征在于，所述旋轉(zhuǎn)圓筒部3的表面至少一部分被除去。
[0031]并且，在技術(shù)方案I?5中的任一方案的真空泵的基礎(chǔ)上，真空泵的特征在于，所述旋轉(zhuǎn)圓筒部3的最外層為環(huán)繞層5。
[0032]并且，在技術(shù)方案I?6中的任一方案的真空泵的基礎(chǔ)上，真空泵的特征在于，所述旋轉(zhuǎn)圓筒部3的最內(nèi)層為環(huán)繞層5。
[0033]并且，在技術(shù)方案7的真空泵的基礎(chǔ)上，真空泵的特征在于，所述旋轉(zhuǎn)圓筒部3的最外層和最內(nèi)層的所述環(huán)繞層5為相同厚度。
[0034]并且，在技術(shù)方案I?8中的任一方案的真空泵的基礎(chǔ)上，真空泵的特征在于，所述旋轉(zhuǎn)圓筒部3的除最外層和最內(nèi)層以外的其它層被設(shè)定為相同厚度。
[0035]發(fā)明效果
[0036]本發(fā)明如上述那樣構(gòu)成，因此，本發(fā)明為極其優(yōu)秀的真空泵能夠盡量減小纖維強(qiáng)化樹脂制成的旋轉(zhuǎn)圓筒的形變從而使旋轉(zhuǎn)圓筒和固定圓筒之間的間隙足夠小，相應(yīng)地實(shí)現(xiàn)了排氣性能的提高。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0037]圖1是本實(shí)施例的概略說明剖視圖。
[0038]圖2是現(xiàn)有的旋轉(zhuǎn)圓筒部的概略說明剖視圖。
[0039]圖3是本實(shí)施例的旋轉(zhuǎn)圓筒部的概略說明剖視圖。
[0040]圖4是表示由旋轉(zhuǎn)圓筒部的內(nèi)部應(yīng)力或?qū)拥囊?guī)定的部分的纖維的張力的差造成的變形的例子的概略說明圖。
[0041 ] 圖5是本實(shí)施例的旋轉(zhuǎn)圓筒部的概略說明剖視圖。
[0042]圖6是本實(shí)施例的另一例的概略說明剖視圖。
[0043]圖7是表示最外層(最外側(cè)的環(huán)繞層)的厚度與除去加工前后的表面的凹凸量的模擬結(jié)果的曲線圖。
【具體實(shí)施方式】
[0044]對(duì)于優(yōu)選的本發(fā)明的實(shí)施方式，根據(jù)附圖示出本發(fā)明的作用并簡(jiǎn)單地進(jìn)行說明。
[0045]通過使最外側(cè)的纖維強(qiáng)化樹脂層(例如環(huán)繞層5)比相鄰的層厚，能夠相對(duì)地減小除去加工中導(dǎo)致的、由內(nèi)部應(yīng)變的釋放造成的內(nèi)部應(yīng)力的不均，由此，能夠減小纖維強(qiáng)化樹脂制成的旋轉(zhuǎn)圓筒部3的形變。并且，能夠相對(duì)地減小除去加工導(dǎo)致的、由連續(xù)的纖維的切斷、各向異性材料層與其它各向異性材料層的應(yīng)變平衡的破壞、和層的規(guī)定的部分的纖維的張力的變化造成的影響，由此，能夠減小纖維強(qiáng)化樹脂制成的旋轉(zhuǎn)圓筒部3的形變。
[0046]實(shí)施例
[0047]根據(jù)附圖對(duì)本發(fā)明的具體的實(shí)施例進(jìn)行說明。
[0048]本實(shí)施例的真空泵具備螺紋槽泵部，該螺紋槽泵部具備:固定圓筒部2，在其內(nèi)周面設(shè)有螺旋狀的螺紋槽部I ;以及旋轉(zhuǎn)圓筒部3，其配設(shè)在該固定圓筒部2內(nèi)，螺紋槽泵部通過使該旋轉(zhuǎn)圓筒部3旋轉(zhuǎn)，來通過由所述螺紋槽部I和所述旋轉(zhuǎn)圓筒部3的外周面形成的螺旋狀的排氣流路進(jìn)行排氣，所述旋轉(zhuǎn)圓筒部3是層疊多個(gè)纖維強(qiáng)化樹脂層而構(gòu)成的，在該纖維強(qiáng)化樹脂層具有將纖維螺旋卷繞而形成的螺旋層4、和將纖維環(huán)向卷繞而形成的環(huán)繞層5，最外側(cè)的所述環(huán)繞層5的表面被除去，該除去后的最外側(cè)的所述環(huán)繞層5構(gòu)成為比相鄰的層厚。[0049]具體來說，如圖1所示，本實(shí)施例為將旋轉(zhuǎn)體7(轉(zhuǎn)子)以能夠旋轉(zhuǎn)的方式配置在筒狀的泵殼體6內(nèi)而成的螺紋槽泵。旋轉(zhuǎn)體7由旋轉(zhuǎn)圓筒部3和金屬制成的圓盤狀的安裝部10構(gòu)成，其中，該安裝部10安裝于DC馬達(dá)8的旋轉(zhuǎn)軸9，該安裝部10與該旋轉(zhuǎn)圓筒部3配合連結(jié)。圖中，標(biāo)號(hào)11為與腔室12連通的進(jìn)氣口，標(biāo)號(hào)13為排氣口，標(biāo)號(hào)14為徑向電磁鐵，標(biāo)號(hào)15為軸向電磁鐵。
[0050]關(guān)于安裝部10和旋轉(zhuǎn)圓筒部3，例如使安裝部10的外徑和旋轉(zhuǎn)圓筒部3的內(nèi)徑為大致同徑，通過將安裝部10利用液氮等冷卻并插入配合于旋轉(zhuǎn)圓筒部3的上部的所謂冷套進(jìn)行配合連結(jié)。
[0051]并且，本實(shí)施例的旋轉(zhuǎn)圓筒部3是將使用公知的纖維纏繞法形成的纖維強(qiáng)化樹脂層層疊多層而構(gòu)成的，旋轉(zhuǎn)圓筒部3是將螺旋層4和環(huán)繞層5交替層疊多層而形成的，螺旋層4是利用纖維相對(duì)于芯棒的軸心的卷繞角度小于80°的螺旋卷而形成的，環(huán)繞層5是利用纖維相對(duì)于芯棒的軸心的卷繞角度為80°以上的環(huán)形卷而形成的。
[0052]具體來說，本實(shí)施例的旋轉(zhuǎn)圓筒部3是將螺旋層4 (相對(duì)于芯棒軸心的卷繞角度為±20° )和環(huán)繞層5以至少最內(nèi)層和最外層為環(huán)繞層5的方式交替地層疊包括環(huán)繞層/螺旋層/環(huán)繞層結(jié)構(gòu)的3層以上而形成的(優(yōu)選為大約5?7層。)。
[0053]螺旋層4是為了獲得相對(duì)軸向的力的耐力而設(shè)置的，環(huán)繞層5是為了獲得相對(duì)圓周方向的力的耐力而設(shè)置的。并且，由于各層越厚、層疊數(shù)越少，層間的形變就越大，因此，通過增加層疊數(shù)并減小各層的厚度能夠減小層間的形變。另外，最外層和最內(nèi)層不限于環(huán)繞層5，也可以是螺旋層4或只有樹脂的層，但在為環(huán)繞層5能夠進(jìn)一步減小旋轉(zhuǎn)圓筒部3的形變。
[0054]例如，旋轉(zhuǎn)圓筒部3是這樣形成的:將浸潰有樹脂的碳纖維卷繞層疊于芯棒，將環(huán)繞層5和螺旋層4交替地層疊，使樹脂加熱硬化，然后，將芯棒脫模。另外，關(guān)于樹脂，從苯酚樹脂、不飽和聚酯樹脂和環(huán)氧樹脂等中選取與用途相適合的即可。
[0055]另外，在芯棒脫模后，對(duì)旋轉(zhuǎn)圓筒部3的最外層的表面(的凹凸)稍微地進(jìn)行研磨(除去加工)，以使旋轉(zhuǎn)圓筒部3的外徑為規(guī)定的尺寸(形狀)。
[0056]為了盡量減小對(duì)表面的凹凸進(jìn)行除去加工(精加工)所致的、由內(nèi)部應(yīng)變的釋放造成的內(nèi)部應(yīng)力的不均，在本實(shí)施例中構(gòu)成為使最外側(cè)的環(huán)繞層5的厚度比相鄰的層厚。并且，為了盡量減小對(duì)表面的凹凸進(jìn)行除去加工(精加工)所致的、由連續(xù)的纖維的切斷、各向異性材料層與其它各向異性材料層的應(yīng)變平衡的破壞和層的規(guī)定的部分的纖維的張力的變化造成的影響，在本實(shí)施例中構(gòu)成為使最外的環(huán)繞層5的厚度比相鄰的層厚。另外，其它層的厚度設(shè)定為相同厚度。
[0057]這里，圖2是表示以最外層和各層的厚度相同的方式纏繞纖維成形的現(xiàn)有的旋轉(zhuǎn)圓筒部3’的最外層的厚度最大時(shí)的圖(a)和厚度最小時(shí)(b)的圖，圖3是以最外層的厚度為最大的方式纏繞纖維成形的本實(shí)施例的旋轉(zhuǎn)圓筒部3的最外層的厚度最大時(shí)的圖(a)和厚度最小時(shí)(b)的圖。圖中，標(biāo)號(hào)4’和4為螺旋層,標(biāo)號(hào)5’和5為環(huán)繞層。
[0058]根據(jù)圖2、圖3可知，在內(nèi)側(cè)層(除最外層和最內(nèi)層以外的內(nèi)側(cè)的層)的厚度不均的累積差a為最大，且除去加工量的差b為最大的情況下(最外層的厚度中的、加工前的厚度與加工后的厚度的差為最大的情況下)，可知圖3中最外層的厚度變化的影響程度更小。另外，圖4是由于內(nèi)部應(yīng)力或?qū)拥囊?guī)定的部分的纖維的張力的差造成的變形的例子，由于像這樣發(fā)生變形，因此在各部分處除去加工量的差b產(chǎn)生差異。
[0059]在除去加工之后的最外層(最外的環(huán)繞層5)的厚度小的情況下，該變形的影響大，有時(shí)旋轉(zhuǎn)圓筒部3的真圓度反而比除去加工前變差。因此，優(yōu)選該最外層(最外側(cè)的環(huán)繞層5)的厚度盡量厚，以便減小前述的內(nèi)部應(yīng)力或?qū)拥囊?guī)定的部分的纖維的張力的差。
[0060]這里，最外層(最外側(cè)的環(huán)繞層5)的厚度與除去加工前后的表面的凹凸量的關(guān)系例如如圖7所示。
[0061]在圖7的例子中，由于螺旋層中的纖維的重疊、和卷繞纖維時(shí)的略微的位置偏移等，在除去加工前的表面產(chǎn)生了 0.25mm的凹凸。為了除掉該凹凸而進(jìn)行除去加工，但有時(shí)即使除掉由于纖維的重疊等引起的凹凸，也會(huì)由于加工不均而產(chǎn)生由內(nèi)部應(yīng)變的釋放造成的內(nèi)部應(yīng)力的不均，從而圓筒整體較大地形變。并且，有時(shí)由于加工不均而產(chǎn)生連續(xù)的纖維的切斷、各向異性材料層與其它各向異性材料層的應(yīng)變平衡的破壞、和層的規(guī)定的部分的纖維的張力的變化，從而圓筒整體也會(huì)發(fā)生形變。而且，纖維強(qiáng)化樹脂制成的樹脂硬化后的圓筒通過切斷纖維，有時(shí)該纖維的張力會(huì)變化，從而圓筒整體發(fā)生形變。
[0062]其結(jié)果是，有時(shí)使由纖維的重疊等引起的凹凸、和由圓筒整體的形變引起的凹凸合并后的表面的全凹凸量反而比除去加工前變差。在圖7的例子中，在與本實(shí)施例相同的結(jié)構(gòu)中，在使最外層的厚度變化的情況下，在加工不均(內(nèi)側(cè)層的厚度不均)比較少的情況(0.05mm)與比較多的情況(0.07mm)兩種情況下，模擬了表面的全凹凸量。其結(jié)果是得到了以下結(jié)果:在除去加工后的最外層的厚度薄的情況下，表面的全凹凸量比除去加工前大，而當(dāng)增加除去加工后的最外層的厚度時(shí)，表面的全凹凸量降低，例如，在加工不均為0.07mm的情況下，在除去加工后的最外層的厚度為0.1mm時(shí)，除去加工后的表面的全凹凸量增加至0.35mm,而當(dāng)使除去加工后的最外層的厚度為1.6mm時(shí),表面的全凹凸量降低至0.17mm。并且，可以推測(cè):表面的凹凸量比加工前小(具有某種程度的富余)的話，為大致0.5mm(其它層的0.4mm的1.25倍)，因而優(yōu)選表面除去后的厚度比其它層厚25%以上。
[0063]通過像上述那樣設(shè)定最外的環(huán)繞層5的厚度，即使利用除去加工除去的纖維量產(chǎn)生不均，也能夠相對(duì)地減小由該除去加工時(shí)除去的纖維量的不均引起的、由內(nèi)部應(yīng)變的釋放造成的內(nèi)部應(yīng)力的不均，由此，能夠減小纖維強(qiáng)化樹脂制成的旋轉(zhuǎn)圓筒部3的形變，相應(yīng)地能夠使旋轉(zhuǎn)圓筒和固定圓筒之間的縫隙足夠(在金屬制成的情況下不遜色，例如至大約Imm)小，從而相應(yīng)地實(shí)現(xiàn)了排氣性能的提高。并且，能夠相對(duì)地減小由除去加工時(shí)除去的纖維量的不均引起的、由連續(xù)的纖維的切斷、各向異性材料層與其它各向異性材料層的應(yīng)變平衡的破壞、和層的規(guī)定的部分的纖維的張力的變化造成的影響，能夠獲得與上述同樣的效果。
[0064]而且，也可以構(gòu)成為將最內(nèi)層的厚度設(shè)定為與最外層相同(也可以構(gòu)成為最外層和最內(nèi)層具有最大厚度。)。這是因?yàn)?如圖5中圖示的那樣，與最外層和最內(nèi)層的厚度不相同的情況(a)相比，在使最外層和最內(nèi)層的厚度相同(對(duì)稱)的情況(b)下，內(nèi)部應(yīng)力內(nèi)外對(duì)稱，能夠防止力矩的產(chǎn)生，能夠抵消內(nèi)部應(yīng)力。并且，還能夠相對(duì)減小除去加工所致的、由規(guī)定的部分的張力的變化造成的內(nèi)外的張力的差。另外，在該情況下，使最外層和最內(nèi)層比除最外層和最內(nèi)層以外的其它層(最小厚度的層)厚25%以上。由此，即使最外層由于除去加工而變薄，也能夠保持旋轉(zhuǎn)圓筒部3的真圓度(形狀)。
[0065]并且，本實(shí)施例對(duì)螺紋槽泵進(jìn)行了說明，但只要是圖6中圖示出的另一例那樣的復(fù)合型的渦輪分子泵等、具有螺紋槽泵部的結(jié)構(gòu)，就也能夠同樣地采用上述結(jié)構(gòu)。圖中，標(biāo)號(hào)16為在泵殼體6的內(nèi)壁面隔開規(guī)定的間隔地突出設(shè)置多段的固定葉片，標(biāo)號(hào)17為與固定葉片16交替地配設(shè)的旋轉(zhuǎn)葉片(一體地設(shè)置于在DC馬達(dá)8的旋轉(zhuǎn)軸9安裝的金屬制成的安裝部10上)，將在安裝部10的下端部設(shè)置的環(huán)狀的配合部18通過冷套而與旋轉(zhuǎn)圓筒部3配合連結(jié)。其余與圖1的情況相同。
[0066]由于本實(shí)施例如上述那樣構(gòu)成，所以極其優(yōu)秀，能夠盡量減小纖維強(qiáng)化樹脂制成的旋轉(zhuǎn)圓筒部3的形變而使旋轉(zhuǎn)圓筒部3和固定圓筒部2之間的間隙足夠小，相應(yīng)地了實(shí)現(xiàn)排氣性能的提高。
[0067]標(biāo)號(hào)說明
[0068]1:螺紋槽部；
[0069]2:固定圓筒部；
[0070]3:旋轉(zhuǎn)圓筒部；
[0071]4:螺旋層；
[0072]5:環(huán)繞層。
【權(quán)利要求】
1.一種真空泵，所述真空泵具備螺紋槽泵部，該螺紋槽泵部具備:固定圓筒部，在其內(nèi)周面設(shè)有螺旋狀的螺紋槽部；以及旋轉(zhuǎn)圓筒部，其配設(shè)在該固定圓筒部?jī)?nèi)，所述螺紋槽泵部通過使該旋轉(zhuǎn)圓筒部旋轉(zhuǎn)，來通過由所述螺紋槽部和所述旋轉(zhuǎn)圓筒部的外周面形成的螺旋狀的排氣流路進(jìn)行排氣，所述真空泵的特征在于， 所述旋轉(zhuǎn)圓筒部是層疊多個(gè)纖維強(qiáng)化樹脂層而構(gòu)成的，最外側(cè)的所述纖維強(qiáng)化樹脂層構(gòu)成為比相鄰的層厚。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于， 最外側(cè)的所述纖維強(qiáng)化樹脂層構(gòu)成為比相鄰的層厚25%以上。
3.一種真空泵，所述真空泵具備螺紋槽泵部，該螺紋槽泵部具備:固定圓筒部，在其內(nèi)周面設(shè)有螺旋狀的螺紋槽部；以及旋轉(zhuǎn)圓筒部，其配設(shè)在該固定圓筒部?jī)?nèi)，所述螺紋槽泵部通過使該旋轉(zhuǎn)圓筒部旋轉(zhuǎn)，來通過由所述螺紋槽部和所述旋轉(zhuǎn)圓筒部的外周面形成的螺旋狀的排氣流路進(jìn)行排氣，所述真空泵的特征在于， 所述旋轉(zhuǎn)圓筒部是層疊多個(gè)纖維強(qiáng)化樹脂層而構(gòu)成的，在該纖維強(qiáng)化樹脂層具有將纖維螺旋卷繞而形成的螺旋層、和將纖維環(huán)向卷繞而形成的環(huán)繞層，最外側(cè)的所述環(huán)繞層構(gòu)成為比相鄰的層厚。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空泵，其特征在于， 最外側(cè)的所述環(huán)繞層構(gòu)成為比相鄰的層厚25%以上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1?4中的任一項(xiàng)所述的真空泵，其特征在于， 所述旋轉(zhuǎn)圓筒部的表面至少一部分被除去。
6.根據(jù)權(quán)利要求1?5中的任一項(xiàng)所述的真空泵，其特征在于， 所述旋轉(zhuǎn)圓筒部的最外層為環(huán)繞層。
7.根據(jù)權(quán)利要求1?6中的任一項(xiàng)所述的真空泵，其特征在于， 所述旋轉(zhuǎn)圓筒部的最內(nèi)層為環(huán)繞層。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空泵，其特征在于， 所述旋轉(zhuǎn)圓筒部的最外層和最內(nèi)層的所述環(huán)繞層為相同厚度。
9.根據(jù)權(quán)利要求1?8中的任一項(xiàng)所述的真空泵，其特征在于， 所述旋轉(zhuǎn)圓筒部的除最外層和最內(nèi)層以外的其它層被設(shè)定為相同厚度。
【文檔編號(hào)】F04D19/04GK103998789SQ201280057028
【公開日】2014年8月20日 申請(qǐng)日期:2012年11月28日 優(yōu)先權(quán)日:2011年11月30日
【發(fā)明者】樺澤剛志, 川合裕一, 堀正樹, 飯吉孝弘 申請(qǐng)人:埃地沃茲日本有限公司, 株式會(huì)社有澤制作所