專利名稱：帶加熱器的真空閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在理化學(xué)等機械中直接使用于反應(yīng)氣體等作動流體供給的、或使用于使用這樣的反應(yīng)氣體的真空容器的減壓等中的真空閥，更詳細地講，涉及用加熱器來防止來自上述作動流體的生成物附著在閥構(gòu)件等上的帶加熱器的真空閥。
技術(shù)背景例如，在半導(dǎo)體的制造裝置中，在真空容器內(nèi)進行的蝕刻等化學(xué)處理中使用高溫的反應(yīng)氣體，在其供給或真空容器的減壓等過程中使用真空閥?？墒?，上述反應(yīng)氣體在進行低溫化時易析出生成物，由于該生成物附著在真空閥內(nèi)部和閥構(gòu)件等上使開閉精度下降，所以在這樣的真空閥中，做成能夠防止來自作動流體的生成物的析出和向閥構(gòu)件等上附著是很重要的。
為此，以前，對用加熱器加熱殼體和閥構(gòu)件等來防止生成物的附著的帶加熱器的真空閥提出了各種方案。例如，日本專利第3005449號公報中，介紹了在開閉流路的閥構(gòu)件上安裝棒狀的加熱器，把其導(dǎo)線通過從該閥構(gòu)件延伸的中空桿的內(nèi)部導(dǎo)出到殼體的外部的方案。
可是這樣一來，當(dāng)把加熱器安裝在可動的閥構(gòu)件上，并使其導(dǎo)線通過桿原封不動地導(dǎo)出到外部時，伴隨著閥構(gòu)件的動作，導(dǎo)線也位移，由于有時被導(dǎo)入殼體內(nèi)、有時被壓出殼體外，因此，該導(dǎo)線容易掛在殼體的導(dǎo)出孔的端部或其它的構(gòu)件等上而發(fā)生糾纏，這容易成為閥構(gòu)件的開閉的障礙。在上述加熱器具有溫度傳感器的情況下，由于設(shè)置加熱器用和溫度傳感器用的多根導(dǎo)線，所以更容易產(chǎn)生上述問題。
另外，例如在上述導(dǎo)線上設(shè)置伸縮自由的螺旋部，由該螺旋部的伸縮吸收該導(dǎo)線的位移，可以解決這樣的問題，但是，當(dāng)設(shè)置這樣的螺旋部時，該部分的導(dǎo)線長度變長且重量增大，該重量有對閥構(gòu)件的開閉動作產(chǎn)生壞影響的危險。另外，當(dāng)在插通桿的內(nèi)部的導(dǎo)線部分上設(shè)置這樣的螺旋部時，每當(dāng)閥構(gòu)件開閉時，該螺旋部與桿相互摩擦，導(dǎo)線容易受傷和磨損，再有，這些滑動阻抗也會對閥構(gòu)件的開閉動作產(chǎn)生壞的影響。
本發(fā)明的技術(shù)課題在于，在開閉流路的閥構(gòu)件上設(shè)置用于防止析出來自作動流體的生成物的加熱器的真空閥中，使從該加熱器延伸出的導(dǎo)線不成為閥構(gòu)件的開閉的障礙。

發(fā)明內(nèi)容為了解決上述課題，本發(fā)明的帶加熱器的真空閥具有具有第1主口及第2主口、連結(jié)該兩主口的流路及設(shè)置在該流路中的環(huán)狀的閥座的閥殼體；連接于上述閥殼體的氣缸；設(shè)置在上述閥殼體內(nèi)并開閉上述閥座的提升閥式的閥構(gòu)件；前端部與上述閥構(gòu)件連結(jié)、基端部延伸到上述氣缸內(nèi)部的桿；滑動自由地配置在上述氣缸的內(nèi)部并連接于上述桿的基端部的、被流體壓力作用驅(qū)動的活塞；安裝在上述閥構(gòu)件上的加熱器及溫度傳感器；安裝在上述活塞上并與該活塞一起位移的端子座；安裝在上述氣缸上的連接器；分別從上述加熱器及溫度傳感器延伸出的、貫通桿的內(nèi)部后頂端與上述端子座連接的加熱器用一次導(dǎo)線及傳感器用一次導(dǎo)線；一端經(jīng)上述端子座分別與加熱器用一次導(dǎo)線及傳感器用一次導(dǎo)線連接，同時另一端與上述連接器連接，中間具有伸縮自由的螺旋部的加熱器用二次導(dǎo)線及傳感器用二次導(dǎo)線。
根據(jù)具有上述構(gòu)成的本發(fā)明的真空閥，由于不直接把上述加熱器用一次導(dǎo)線及傳感器用一次導(dǎo)線引出到氣缸的外部，而是經(jīng)過在安裝于活塞上的端子座、安裝于氣缸上的連接器及連接于它們之間的二次導(dǎo)線引出到外部，同時在這些二次導(dǎo)線上設(shè)置伸縮自由的螺旋部，伴隨閥構(gòu)件的開閉產(chǎn)生的上述一次導(dǎo)線的位移由該螺旋部的伸縮吸收，所以上述各導(dǎo)線不會一會兒被拉入氣缸內(nèi)，一會兒被推出氣缸外，從而，由于各導(dǎo)線不會被氣缸的導(dǎo)出孔或其他構(gòu)件掛住或糾纏，所以閥構(gòu)件的開閉動作穩(wěn)定。另外，由于在不與閥構(gòu)件一起位移的二次導(dǎo)線上設(shè)置螺旋部，所以該二次導(dǎo)線的重量對閥構(gòu)件的開閉動作不產(chǎn)生壞的影響，而且，由于上述螺旋部不與桿相互摩擦，所以各導(dǎo)線和管既不會受傷也不會磨損，它們的滑動阻抗完全不會對閥構(gòu)件產(chǎn)生壞的影響。
根據(jù)本發(fā)明的理想的構(gòu)成例，通過把上述加熱器用一次導(dǎo)線和傳感器用一次導(dǎo)線插入共同的管內(nèi)形成電纜狀的一次導(dǎo)線束，該導(dǎo)線束插入通過上述桿的內(nèi)部，另外，通過把上述加熱器用二次導(dǎo)線和傳感器用二次導(dǎo)線插入共同的管內(nèi)形成電纜狀的二次導(dǎo)線束，在該二次導(dǎo)線束上形成上述螺旋部。
由于該構(gòu)成，多根導(dǎo)線不相互卡定和糾纏，可以進一步穩(wěn)定閥構(gòu)件的開閉動作。
根據(jù)本發(fā)明的具體的構(gòu)成例，上述氣缸，在上述活塞的前面?zhèn)染哂信c操作口相通的驅(qū)動側(cè)壓力室，同時在活塞的背面?zhèn)染哂袑?dǎo)線收容室，在該導(dǎo)線收容室內(nèi)，上述端子座安裝在活塞的背面上，在上述氣缸的端部上安裝劃分上述導(dǎo)線收容室的蓋體，在該蓋體上安裝上述連接器，同時設(shè)置中空部，在該中空部內(nèi)收容上述螺旋部。
另外，在上述導(dǎo)線收容室內(nèi)，在上述蓋體和活塞之間設(shè)置線圈狀的復(fù)位彈簧，該復(fù)位彈簧設(shè)置在從上述蓋體上形成的筒部的周圍，該筒部包圍上述蓋體的中空部，由該筒部使之與上述螺旋部隔離。
由于上述的構(gòu)成，有效地利用上述蓋體隔離線圈彈簧和各導(dǎo)線，可以可靠且效率良好地防止它們相互干涉。

圖1是表示本發(fā)明的第1實施例在開閥狀態(tài)下的剖面圖。
圖2是在上述第1實施例的閉閥狀態(tài)下的剖面圖。
圖3是一次導(dǎo)線束的剖面圖。
圖4是端子座的立體圖。
具體實施方式圖1是表示本發(fā)明的帶加熱器的真空閾的理想的一個實施例的圖。該真空閥1適合在半導(dǎo)體制造裝置中的真空容器的減壓中使用，具有用閥構(gòu)件13開閉流體流路14的閾開閉部2、用于驅(qū)動上述閥構(gòu)件13的氣缸操作部3和介于閥開閉部2和氣缸操作部3之間的絕熱部4，在上述閥開閉部2上設(shè)置第1～第3的3組加熱機構(gòu)5，6，7。
上述閥開閉部2具有用不銹鋼(SUS)等材料形成的四角柱狀的閥殼體10。該閥殼體10具有與上述真空容器及真空泵的任何一方連接的第1主口11和與另一方連接的第2主口12，兩者朝向著相互成90°的不同方向，同時還備有連結(jié)兩主口11，12的上述流路14和設(shè)置在該流路14中的圓環(huán)狀的閥座15。
在上述閥殼體10的內(nèi)部設(shè)置開閉閥座15的提升閥式的上述閥構(gòu)件13。該閥構(gòu)件13在做成圓盤形的基體件13a的下面外周上安裝與上述閥座15接離的橡膠制的密封構(gòu)件13b。在該閥構(gòu)件13的背面中央部安裝呈中空狀的驅(qū)動用的桿16的前端部，該桿16的基端部貫通閥殼體10的端部的隔壁17及上述絕熱部4延伸到上述氣缸操作部3，與活塞21連結(jié)。另外，在上述閥構(gòu)件13的背面與隔壁17之間安裝伸縮自由的波紋管18，該波紋管18包圍上述桿16的周圍。
另一方面，上述氣缸操作部3具有通過上述絕熱部4連結(jié)到上述閥殼體10的一端部上的氣缸20。該氣缸20的絕熱部4側(cè)的端部由隔壁20a閉塞，氣缸20的相反側(cè)的端部由蓋體23閉塞，在該氣缸20的內(nèi)部通過密封構(gòu)件22滑動自由地收容上述活塞21。而且，上述桿16通過密封構(gòu)件28及導(dǎo)向構(gòu)件29滑動自由地貫通上述隔壁20a的中央部，達到活塞21。
在上述活塞21的前面?zhèn)?，在該活?1和上述隔壁20a之間形成驅(qū)動側(cè)壓力室24，該壓力室24與設(shè)置在氣缸20的側(cè)面上的操作口25連接。另外，在上述活塞21的背面?zhèn)?，在該活?1和上述蓋體21之間形成復(fù)位側(cè)壓力室26，在該壓力室26內(nèi)，在上述活塞21和蓋體23之間設(shè)置線圈狀的復(fù)位彈簧27。
而且，當(dāng)從上述操作口25向壓力室24內(nèi)供給壓縮空氣等壓力流體時，如圖1所示。由于在壓縮復(fù)位彈簧27的同時活塞21及桿16后退，所以該桿16的頂端的閥構(gòu)件13后退而打開上述閥座15。另外，當(dāng)打開上述操作口25時，如圖2所示，由復(fù)位彈簧27的彈性力使上述活塞21及桿16前進，閥構(gòu)件13坐在閥座15上而關(guān)閉該閥座15。
上述第1加熱機構(gòu)5安裝在上述閥構(gòu)件13上。即，在該閾構(gòu)件13的前面，在閉閥時在位于上述閥座15的內(nèi)孔15a內(nèi)并面向流路14的部分上用螺釘32裝卸自由地安裝一個以上的第1加熱器31，同時用螺釘34氣密地且裝卸自由地安裝覆蓋該第1加熱器31的加熱器罩33。在該第1加熱器31上內(nèi)藏由熱電偶等構(gòu)成的溫度傳感器35，由從該溫度傳感器35出來的檢測信號用未圖示的加熱器控制回路控制上述第1加熱器31的發(fā)熱溫度。
再有，上述第1加熱器31，可以通過把鎳鉻耐熱合金線等電阻發(fā)熱體在電絕緣的狀態(tài)下收容在傳熱性能良好的金屬制的外皮內(nèi)來形成。也可以是其他的構(gòu)成。其形狀可以做成圓板形、圓環(huán)形、圓弧形、旋渦形或直棒形等。
從上述第1加熱器31及第1溫度傳感器35中分別延伸出多根加熱器用一次導(dǎo)線31a及傳感器用一次導(dǎo)線35a。當(dāng)這些一次導(dǎo)線31a、35a，從閥構(gòu)件13的背面中央部的孔13c導(dǎo)入中空的桿16的內(nèi)部時，貫通該桿16并導(dǎo)出到上述活塞21的背面?zhèn)鹊膹?fù)位側(cè)壓力室26內(nèi)，它們的頂端分別連接在安裝在上述活塞21的背面上并與該活塞21一起位移的端子座37的所需要的端子37a上。這些導(dǎo)線31a，35a如圖3所示，通過插入通過玻璃管等的最好具有撓性的一個管38內(nèi)，匯總成電纜狀且直線狀的一次導(dǎo)線束39，在該一次導(dǎo)線束39的狀態(tài)下插入通過上述桿16的中空部內(nèi)。但是，也可以不把上述各導(dǎo)線31a，35a插入通過管38中而是直接插入通過桿16內(nèi)。
在上述氣缸20的一端上，在上述蓋體23的中央部安裝可連接來自未圖示的加熱器控制回路的外部導(dǎo)線41的連接器42，在該連接器42和上述端子座37上連接多根加熱器用二次導(dǎo)線31b和傳感器用二次導(dǎo)線35b。這些二次導(dǎo)線31b，35b與上述加熱器用一次導(dǎo)線31a及傳感器用一次導(dǎo)線35a分別形成，它們的一端通過上述端子座37的各端子37a分別與上述各一次導(dǎo)線31a，35a連接，同時另一端與上述連接器42連接，在上述復(fù)位側(cè)壓力室26內(nèi)是這些一次導(dǎo)線31a，35a和上述連接器42之間的中繼線。從而，上述復(fù)位側(cè)壓力室26兼做二次導(dǎo)線的收容室。
上述各二次導(dǎo)線31b，35b通過插入一個撓性的管43內(nèi)匯總成電纜狀的二次導(dǎo)線束44，在該二次導(dǎo)線束44的中間部設(shè)置伸縮自由的螺旋部44a，該螺旋部44a收容在形成于上述蓋體23的中央部的中空部23a內(nèi)，在該中空部23a內(nèi)進行伸縮。另外，在該蓋體23的面臨壓力室26的前端面上形成包圍上述中空部23a的筒部23b，包圍該筒部23b的外周地配置上述復(fù)位彈簧27，由該筒部23b隔離該復(fù)位彈簧27和上述二次導(dǎo)線束44，使之不相互干擾。再有，上述各二次導(dǎo)線31b，35b，也可以不插入通過上述管43內(nèi)地直接設(shè)置。在這種情況下，由這些二次導(dǎo)線31b，35b直接形成螺旋部44a。
這樣，由于不直接把上述加熱器用一次導(dǎo)線31a及傳感器用一次導(dǎo)線35a引出到氣缸20的外部，而是經(jīng)過在安裝于活塞21上的端子座37和安裝于氣缸20上的連接器42之間連接的中繼用的二次導(dǎo)線31b，35b引出到外部，同時在這些二次導(dǎo)線31b，35b上設(shè)置伸縮自由的螺旋部44a，伴隨閥構(gòu)件13的開閉，上述各一次導(dǎo)線31a，35a的位移由該螺旋部44a的伸縮吸收，所以上述各導(dǎo)線不會一會兒被拉入氣缸20內(nèi)，一會兒被推出氣缸20外，從而，由于各導(dǎo)線不會被導(dǎo)線孔或其他構(gòu)件掛住或糾纏住，所以閥構(gòu)件13的開閉動作穩(wěn)定。另外，由于在不收容于桿16內(nèi)的二次導(dǎo)線31b，35b上設(shè)置螺旋部44a，所以該二次導(dǎo)線31b，35b的重量對閥構(gòu)件13的開閉動作不產(chǎn)生壞的影響，而且，由于上述螺旋部44a不與桿16相互摩擦，所以各導(dǎo)線31b，35b和管43即不會受傷也不會磨損，它們的滑動阻抗完全不會對閥構(gòu)件13產(chǎn)生壞的影響。
在這里，上述端子座37，只要能可靠且容易地進行各導(dǎo)線的連接，哪種構(gòu)成都可以，但實施例所示的端子座37，如圖4所示，具有用螺釘46固定在活塞21上的法蘭盤狀的臺座部37b、從該臺座部37b的中央部立起的圓柱狀的連接部37c和在該連接部37c上形成為放射狀的多個上述端子37a，在這些各端子37a上連接上述各一次導(dǎo)線31a，35a和二次導(dǎo)線31b，35b。
另外，上述閥構(gòu)件13在上述那樣地設(shè)置用于引出加熱器用一次導(dǎo)線31a及傳感器用一次導(dǎo)線35a的孔13c的情況下，存在由該孔13c損害閥構(gòu)件13的表里面之間的氣密性的危險。為此，在該閥構(gòu)件13的前面安裝上述加熱器罩43，使之氣密地覆蓋該孔13c和第1加熱器31及溫度傳感器35，由該加熱罩43保護上述第1加熱器31及溫度傳感器35，使之不與氣體接觸，同時良好地保持上述閥構(gòu)件13的表里面之間的氣密性。
這樣，由于在閥構(gòu)件13的前面的與反應(yīng)氣體接觸的部分上安裝上述第1加熱器31，并直接加熱該接觸面，所以可以可靠地防止反應(yīng)氣體的凝結(jié)等產(chǎn)生的副生成物的附著。并且，由于上述第1加熱器31安裝在閥構(gòu)件13的前面，所以在由于故障或發(fā)熱量的變更等原因更換該第1加熱器31時，可以容易地把上述加熱器罩43取下來并進行交換作業(yè)。
另外，上述第2加熱機構(gòu)6安裝在閥殼體10的外面上，構(gòu)成如下，即，該第2加熱機構(gòu)6具有角柱狀的傳熱罩50，該傳熱罩50覆蓋在上述閥殼體10上，使之包圍其外周面全體。該傳熱罩50由鋁那樣的熱傳導(dǎo)性優(yōu)良的硬質(zhì)材料形成，有某種程度的壁厚，在緊密接觸的狀態(tài)下安裝在上述閥殼體10的外面上，該傳熱罩50，可以把全體做成一體，也可以組合幾個部分來形成，例如，按閥殼體10的四個側(cè)面來被分割多個部分。
在上述傳熱罩50的壁厚內(nèi)，與閥殼體10的軸線平行地穿設(shè)多個加熱器孔51，在各加熱器孔51內(nèi)每一個都插入做成棒狀的第2加熱器52。來自這些第2加熱器52的熱量通過傳熱罩50被均勻地分散，均勻地傳遞到閥殼體10全體。該第2加熱器52也有溫度傳感器53，把來自這些第2加熱器52及溫度傳感器53的導(dǎo)線束成電纜狀的導(dǎo)線束54，延伸到外部，與圖未示的加熱器控制回路連接。
上述第2加熱器52的設(shè)置位置既可以是傳熱罩50的四角，也可以是各側(cè)面的中央部。另外，該第2加熱器52的數(shù)量不限定于四個，既可以是三個，也可以是五個以上，根據(jù)加熱條件也可以只設(shè)置一個。
在上述傳熱罩50的各側(cè)面的外側(cè)上覆蓋設(shè)置絕熱罩57，用于防止從它們的各側(cè)面向外部傳遞熱量。該絕熱罩57通過在由硅橡膠或氟橡膠或者發(fā)泡氟橡膠等構(gòu)成的平板狀的絕熱板57a的內(nèi)側(cè)面上安裝具有擴散來自上述傳熱罩50的熱量的功能的薄的熱擴散板57b來形成，在通過夾設(shè)襯墊58使其與傳熱罩50之間保持一定的空隙59的狀態(tài)下用螺釘60固定在上述傳熱罩50的各側(cè)面上。這時，一部分的絕熱罩57的螺釘60由于其頂端與上述第2加熱器52接觸，所以最好兼作該第2加熱器52的固定用。
上述熱擴散板57b，可以用鋁等傳熱性材料形成，也可以是其他材料。另外，上述絕熱罩57既可以分成與傳熱罩50的各側(cè)面對應(yīng)的四個，也可以全體是一個整體。
由于上述第2加熱機構(gòu)6有這樣的構(gòu)成，所以來自第2加熱器52的發(fā)熱傳到上述傳熱罩50后均勻地分散到該罩全體，再均勻地傳遞到閥殼體10的外周面全體。其結(jié)果，上述閥殼體10即使用SUS那樣的傳熱性不太佳的材料形成，也可以由廉價的棒狀的加熱器52經(jīng)上述傳熱罩50效率良好地加熱其外周面全體。
再有，上述第3加熱機構(gòu)7，備有沿桿16配置在上述閥殼體10的內(nèi)部的波紋管18內(nèi)的上述傳熱體62和內(nèi)藏于該傳熱體62內(nèi)的一個以上的第3加熱器63。上述傳熱體62由鋁那樣傳熱優(yōu)良的金屬材料形成圓筒狀，在上述桿16的周圍保持微小的間隙并配置成同心狀，由于其基端部用螺栓固定在上述隔壁17上，所以被固定地設(shè)置在閥殼體10的一定位置上。在該傳熱體62的壁厚內(nèi)與該傳熱體62的中心軸線平行地形成一個以上的加熱器孔64，在該加熱器孔64內(nèi)與上述桿16平行地內(nèi)藏棒狀的上述第3加熱器63。另外，該傳熱體62的前端部成為環(huán)狀的傳熱面62a，該傳熱面62a如圖2所示，與前進到閉閥位置的閥構(gòu)件13離開一定距離而相互不接觸。如圖1所示，當(dāng)該閥構(gòu)件從開閥后退時，與該閥構(gòu)件13的背面的環(huán)狀的受熱面13c相互接觸。
上述第3加熱器63也有溫度傳感器65，把來自這些第3加熱器63及傳感器65的導(dǎo)線扎束成電纜狀的導(dǎo)線束66從上述絕熱部4的側(cè)面的孔4b導(dǎo)出到外部。這時，由于第3加熱器63不位移，所以其導(dǎo)線束66不需要撓曲成線圈狀。
上述第3加熱器機構(gòu)7具有如下功能，即，如圖2所示，當(dāng)上述閥構(gòu)件13關(guān)閉閥座15時，該閥構(gòu)件13離開傳熱體62一定的距離，來自第3加熱器63的熱量不會經(jīng)該傳熱體62傳到受熱面13c上。但是，如圖1所示，當(dāng)上述閥構(gòu)件13后退并開放閥座15時，該閥構(gòu)件13的受熱面13d與上述傳熱體62的頂端的傳熱面62a接觸，來自上述第3加熱器63的熱量被從傳熱體62傳出并被加熱。這樣，當(dāng)上述閥構(gòu)件13開閥并與大量的反應(yīng)氣體接觸時，由于該閥構(gòu)件13被第3加熱器63直接加熱，因為其加熱效果非常有效，所以可靠地防止了副生成物的附著。另外，伴隨著上述閥構(gòu)件13的開閉動作，波紋管18進行伸縮，即使該波紋管18內(nèi)部進行呼吸產(chǎn)生暫時的溫度下降，由于該波紋管18的內(nèi)部經(jīng)常由上述第3加熱器63經(jīng)傳熱體62加熱，所以其溫度下降的幅度被抑制成非常小，可以高溫加熱閥構(gòu)件13。
再有，上述絕熱部4由具有多個通氣孔4b的圓筒形的絕熱構(gòu)件4a形成，該絕熱材料4a在上述閥殼體10和氣缸20之間包圍上述桿16并設(shè)置成同心狀，由流通該絕熱材料4a的內(nèi)部的空氣冷卻上述桿16。即，從上述第1加熱器31及第3加熱器63傳到桿16的熱量，也從該桿16流向活塞21側(cè)，但是其熱量的大部分因被絕熱部4a散熱而被遮斷，幾乎傳不到活塞21上。
再有，在上述實施例中，真空閥備有第1～第3的3個加熱機構(gòu)5～7，但是，也可以省略例如第3加熱機構(gòu)7，只具有第1及第2加熱機構(gòu)5及6。
另外，上述復(fù)位彈簧27，如圖示那樣設(shè)置在活塞21的背后的復(fù)位側(cè)壓力室26內(nèi)，也代替，而是設(shè)置在波紋管18內(nèi)的隔壁1和閥構(gòu)件13之間。
再有，閥殼體10的形狀不限于四角柱形，也有做成圓柱狀或其他形狀的，在這種情況下，當(dāng)然第2加熱機構(gòu)6中的傳熱體62和絕熱罩57也要做成適合它們的形狀。
根據(jù)本發(fā)明的真空閥，由于不把從設(shè)置在閥構(gòu)件上的加熱器及溫度傳感器延伸出的一次導(dǎo)線直接引出到外部，而是經(jīng)過二次導(dǎo)線引出，在該二次導(dǎo)線上設(shè)置螺旋部，伴隨著閥構(gòu)件的開閉產(chǎn)生的上述一次導(dǎo)線的變位由該螺旋部的伸縮吸收，因此，可以解決原有的問題并可以穩(wěn)定的進行閥構(gòu)件的開閉動作。
權(quán)利要求
1.一種帶加熱器的真空閥，其特征在于，該真空閥具有具有第1主口及第2主口、連結(jié)該兩主口的流路及設(shè)置在該流路中的環(huán)狀的閥座的閥殼體；連接于上述閥殼體的氣缸；設(shè)置在上述閥殼體內(nèi)并開閉上述閥座的提升閥式的閥構(gòu)件；前端部與上述閥構(gòu)件連結(jié)、基端部延伸到上述氣缸內(nèi)部的中空的桿；滑動自由地配置在上述氣缸的內(nèi)部并連接于上述桿的基端部的被由流體壓力作用驅(qū)動的活塞；安裝在上述閥構(gòu)件上的加熱器及溫度傳感器；安裝在該活塞上而與該活塞一起位移的端子座；安裝在上述氣缸的端部上的連接器；分別從上述加熱器及溫度傳感器延伸出的、貫通桿的內(nèi)部后頂端與上述端子座連接的加熱器用一次導(dǎo)線及傳感器用一次導(dǎo)線；一端通過上述端子座分別與加熱器用一次導(dǎo)線及傳感器用一次導(dǎo)線連接、同時另一端與上述連接器連接的、中間具有伸縮自由的螺旋部的加熱器用二次導(dǎo)線及傳感器用二次導(dǎo)線。
2.如權(quán)利要求1所述的真空閥，其特征在于，通過把上述加熱器用一次導(dǎo)線和傳感器用一次導(dǎo)線插入共同的管內(nèi)形成電纜狀的一次導(dǎo)線束，該導(dǎo)線束插入通過上述桿的內(nèi)部，另外，通過把上述加熱器用二次導(dǎo)線和傳感器用二次導(dǎo)線插入到共同的管內(nèi)形成電纜狀的二次導(dǎo)線束，在該二次導(dǎo)線束上形成上述螺旋部。
3.如權(quán)利要求1或2所述的真空閥，其特征在于，上述氣缸，在上述活塞的前面?zhèn)染哂信c操作口相通的驅(qū)動側(cè)壓力室，同時在活塞的背面?zhèn)染哂袑?dǎo)線收容室，在該導(dǎo)線收容室內(nèi)，上述端子座安裝在活塞的背面上，在上述氣缸的端部上安裝劃分上述導(dǎo)線收容室的蓋體，在該蓋體上安裝上述連接器、同時設(shè)置中空部，在該中空部內(nèi)收容上述螺旋部。
4.如權(quán)利要求3所述的真空閥，其特征在于，在上述導(dǎo)線收容室內(nèi)，在上述蓋體和活塞之間設(shè)置線圈狀的復(fù)位彈簧，該復(fù)位彈簧設(shè)置在從上述蓋體上形成的筒部的周圍，該筒部包圍上述蓋體的中空部，由該筒部使上述復(fù)位彈簧與上述螺旋部隔離。
全文摘要
帶有加熱器的真空閥，其中從設(shè)置在閥構(gòu)件上的加熱器及溫度傳感器延伸出的導(dǎo)線不成為閥構(gòu)件關(guān)閉的障礙。在由活塞(21)經(jīng)桿(16)開閉驅(qū)動的閥構(gòu)件(13)上安裝加熱器(31)及溫度傳感器(35)，把從這些加熱器(31)及溫度傳感器(35)延伸出的一次導(dǎo)線(31a，35a)連接在活塞(21)上的端子座(37)上，同時在該端子座(37)和安裝在蓋體(23)上的連接器(42)之間連接具有伸縮自由的螺旋部(44a)的二次導(dǎo)線(31b，35b)，由該螺旋管(44a)的伸縮吸收伴隨上述構(gòu)件(13)的開閉而產(chǎn)生的一次導(dǎo)線(31a，35a)的位移。
文檔編號F15B15/14GK1445470SQ0310642
公開日2003年10月1日 申請日期2003年2月25日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月20日
發(fā)明者福田守, 桜井豐信 申請人:速睦喜股份有限公司