本發(fā)明涉及一種真空泵、尤其是渦輪分子泵的轉子，該轉子具有以能繞轉子軸線轉動的方式受支承的轉子軸和布置在轉子軸上的、沿軸向方向連續(xù)的、分別包括多個轉子葉片的多個轉子平面。本發(fā)明還涉及一種用于制造真空泵、尤其是渦輪分子泵的轉子的方法。此外，本發(fā)明也涉及一種具有這種轉子的真空泵。

背景技術：

迄今為止，用于前述類型的真空泵的轉子盤單獨地以多個尤其是鋸和/或銑削步驟來制造，并且緊接著接合到轉子軸上。在此，轉子盤尤其就相對于與轉子軸線垂直的各個轉子平面的安裝角來說并且就轉子葉片的數量來說受生產的方式和方法制約而具有不同的幾何造型。

由于為了構造用于相應真空泵的轉子通常必須能提供多個不同的轉子盤，生產耗費因此相對很高，尤其為制造轉子盤分別需要很大數量的單獨的鋸和/或銑削過程。此外，轉子的轉子葉片結構對于真空泵的效率或者說對于其抽吸能力來說是主要的標準。

技術實現要素：

本發(fā)明的任務在于，給出一種真空泵、尤其是渦輪分子泵的轉子以及一種具有至少一個前述類型的轉子的真空泵，該轉子的轉子葉片被進一步優(yōu)化用以提高真空泵的效率。此外，應給出用于制造真空泵、尤其是渦輪分子泵的這種轉子的盡可能簡單且成本低廉的方法。

根據本發(fā)明，該任務通過具有權利要求1的特征的真空泵、尤其是渦輪分子泵的轉子，并且通過具有權利要求8的特征的真空泵以及通過具有權利要求9的特征的方法得以實現。由從屬權利要求、本發(fā)明的說明書以及附圖得到根據本發(fā)明的轉子的優(yōu)選實施方式和根據本發(fā)明的方法的優(yōu)選設計方案。

根據本發(fā)明的真空泵、尤其是渦輪分子泵的轉子具有以能繞轉子軸線轉動的方式受支承的轉子軸和布置在轉子軸上的、沿軸向方向連續(xù)的、分別包括多個轉子葉片的多個轉子平面。在此，在相應的轉子平面中的轉子葉片的數量在真空泵的抽吸側的高真空區(qū)域中比在相應的轉子平面中轉子葉片的數量在真空泵的預真空或低真空區(qū)域中更少。尤其地，每個轉子平面中的轉子葉片的數量在高真空區(qū)域中比在預真空或低真空區(qū)域中少2倍至4倍。

由于該構造方案得到了優(yōu)化的轉子葉片結構，通過它相應地提高了真空泵的效率。

轉子可以由實心材料來制造，也就是一體式地構造。替選地，轉子也可以由單獨的、互不相關地(即，不必同時在一個制造工序中)制造的多個轉子盤構成，這些轉子盤為了形成轉子在軸向彼此相疊且布置在共同的轉子軸上。

因此，本發(fā)明不受轉子是一體式地構造還是具有由各個轉子盤構成的結構的影響。

優(yōu)選地，轉子在各個轉子平面中被劃分成至少兩個沿軸向方向連續(xù)的有不同數量的轉子葉片的區(qū)域，其中，相應的轉子平面中的轉子葉片的數量沿軸向方向觀察從真空泵的高真空區(qū)域開始朝真空泵的預真空或低真空區(qū)域是增加的。

替選或附加地，根據本發(fā)明的實施方式，轉子在各個轉子平面中可以具有兩個或更多的沿軸向方向連續(xù)的有不同數量的轉子葉片的區(qū)域，其中，相應的轉子平面中的轉子葉片的數量沿軸向方向觀察從真空泵的高真空區(qū)域開始朝真空泵的預真空或低真空區(qū)域是減少的。

按照根據本發(fā)明的轉子的有利實施方式，轉子在各個轉子平面中被劃分成兩個沿軸向方向連續(xù)的有不同數量的轉子葉片的區(qū)域，其中，相應的轉子平面中的轉子葉片的數量在真空泵的高真空區(qū)域中比相應的轉子平面中的轉子葉片的數量在真空泵在緊隨其后的區(qū)域中少了2倍。

按照根據本發(fā)明的轉子的替選的有利實施方式，轉子在各個轉子平面中被劃分成三個沿軸向方向連續(xù)的有不同數量的轉子葉片的區(qū)域，其中，相應的轉子平面中的轉子葉片的數量在真空泵的高真空區(qū)域中比相應的轉子平面中的轉子葉片的數量在真空泵的緊隨其后的區(qū)域、尤其是中間真空區(qū)域中例如少了2倍，并且比相應的轉子平面中的轉子葉片的數量在真空泵的預真空或低真空區(qū)域中例如少了3倍或4倍。

按照根據本發(fā)明的轉子的另外的有利實施方式，轉子在各個轉子平面中被劃分成四個沿軸向方向連續(xù)的有不同數量的轉子葉片的區(qū)域，其中，相應的轉子平面中的轉子葉片的數量從真空泵的高真空區(qū)域到真空泵的預真空或低真空區(qū)域以比率1:2:3:4增加。

尤其也有利的是，轉子葉片結構從真空泵的預真空或低真空區(qū)域到真空泵的高真空區(qū)域是更敞開的。敞開性在這里可以理解為沿軸向方向的透光性，即，轉子葉片的結構在轉子的特定的軸向區(qū)域中(例如越過轉子平面)越封閉，則沿周向方向分別在兩個連續(xù)的葉片之間存在的中間空間就越小，光線可以穿過轉子的這些軸向區(qū)域抵達在這些中間空間之間。

優(yōu)選地，轉子包括轉子葉片，轉子葉片相對于與轉子軸線至少基本上垂直的各個轉子平面的安裝角在20°至35°的范圍內。優(yōu)選地，在每個轉子平面中，所有轉子葉片都具有相同的安裝角，其中，這個統一的安裝角優(yōu)選在所有轉子平面中都相同。

此外優(yōu)選設置的是，至少兩個轉子平面就它們的轉子葉片的軸向高度來說彼此有區(qū)別。所安裝的轉子葉片的軸向高度決定了該葉片結構的敞開性。去除轉子平面中的轉子葉片同樣明顯提高了敞開性。轉子葉片在轉子平面中的軸向高度可以是該轉子平面中的轉子葉片的額定數量的函數，也就是說，在從該轉子平面中必要時去除轉子葉片之前的轉子葉片的數量。該函數可以根據真空泵的期望的或所需的抽吸特性來選定。

轉子軸和轉子葉片尤其彼此一體式地構造。轉子優(yōu)選通過由實心材料構成的、尤其是圓柱形的基體制成。

根據本發(fā)明的用于制造真空泵、尤其是渦輪分子泵的轉子的方法的特征在于，包括轉子軸和多個布置在轉子軸上的轉子葉片的轉子通過由實心材料構成的圓柱形的基體一體式地制成，其方式是：為了產生布置在該轉子軸上、沿軸向方向連續(xù)的、分別包括多個轉子葉片的多個轉子平面，在圓柱形的基體中切出螺紋，并且在分別至少基本上垂直于轉子軸線的不同的平面中將退刀槽引入到基體中，并且緊接著為了產生沿軸向方向觀察朝向真空泵的高真空區(qū)域敞開的轉子葉片結構，在真空泵的高真空區(qū)域中去除至少一個轉子平面的所產生的轉子葉片的一部分。

由于方法的這種設計方案，可以以相對少的耗費并且因此相應成本低廉地制造轉子。

在此，按照根據本發(fā)明的用于制造分別包括多個轉子葉片的轉子平面的方法的有利設計方案，首先在圓柱形的基體中切出螺紋。緊接著，在分別至少基本上垂直于轉子軸線的不同的平面中引入退刀槽。

按照根據本發(fā)明的用于制造分別包括多個轉子葉片的轉子平面的方法的替選設計方案，首先在分別至少基本上垂直于轉子軸線的不同的平面中，將退刀槽引入到基體中，其中，緊接著在圓柱形的基體中切出螺紋。

在圓柱形的基體中切出單線或多線的螺紋。

按照適宜方式，借助圓形的鋸盤或盤式銑削器在圓柱形的基體中切出螺紋。

按照適宜方式，在車床上或借助鋸盤或盤式銑削機，將退刀槽引入到圓柱形的基體中。

由于退刀槽之間的不同的軸向間距，可以產生軸向高度相應不同的轉子葉片。

優(yōu)選地，產生斜置的轉子葉片，轉子葉片的相對于與轉子軸線至少基本上垂直的各個轉子平面的安裝角通過螺紋在該轉子平面的區(qū)域中的斜率來確定。

通過在由實心材料構成的圓柱形的基體中切出螺紋并引入凹槽，首先出現具有相同數量的轉子葉片的轉子平面。根據如何選定切槽時的軸向間距，斜置的轉子葉片在軸向高度上的延伸不同。轉子葉片相對于與轉子軸線至少基本上垂直的各個轉子平面的安裝角通過引入到圓柱形的基體中的螺紋的斜率來確定。各個轉子平面的軸向延伸并且因此是其軸向的轉子葉片高度可以是變化的。在此，轉子葉片例如在高真空區(qū)域中具有比在其他區(qū)域中更大的軸向延伸。

如已闡述的那樣，要么首先切出螺紋并且緊接著引入退刀槽，或者也可以首先引入退刀槽并且隨后切出螺紋。緊接著，為了產生沿軸向方向觀察朝向真空泵的高真空區(qū)域敞開的、即透光的轉子葉片結構，去除在真空泵的高真空區(qū)域中的至少一個轉子平面的所產生的轉子葉片的一部分。各轉子葉片的去除例如可以借助指形銑刀或類似裝置來進行。在真空泵的高真空區(qū)域中，轉子葉片優(yōu)選不相疊，從而在這里存在比較敞開的葉片結構。優(yōu)選地，在必要時存在的中間真空區(qū)域中也不存在轉子葉片的相疊。尤其在真空泵的預真空或低真空區(qū)域中得到轉子葉片的相疊。在此，在預真空或低真空區(qū)域中可以保留所有通過螺紋切割和退刀槽產生的轉子葉片。

例如，可以在由實心材料構成的圓柱形的基體中切出36線螺紋，從而在真空泵的預真空或低真空區(qū)域中在每個轉子平面中產生三十六個葉片。在中間真空區(qū)域中，例如可以去除每兩個中的第二個轉子葉片，而在高真空區(qū)域中例如僅保留每三個中的第三個轉子葉片。于是，針對從真空泵的預真空或低真空區(qū)域起的轉子平面中的轉子葉片的數量得到了關于每個轉子平面的轉子葉片的數量的例如3:2:1的比率。

原則上，引入到由實心材料構成的基體中的螺紋也可以具有其他的線數量(即其他的線形式)，并且選定其他的轉子葉片結構，其中，優(yōu)選相應的轉子平面中的轉子葉片的數量在真空泵的抽吸側的高真空區(qū)域中比在相應的轉子平面中的轉子葉片的數量在真空泵的預真空或低真空區(qū)域中少2倍至4倍。

為了確保不出現不平衡，在不同的轉子平面中的轉子葉片優(yōu)選分別沿周向方向均勻地分布。

如果在切槽時轉子葉片的靠上和靠下的棱邊在一定程度上例如借助圓形的鋸盤或盤式銑削器來磨掉或者說通過這種類型的生產可以完全不產生轉子葉片上的靠上或靠下的棱邊，那么轉子葉片的橫截面就不是矩形而尤其是平行四邊形。

如已闡述的那樣，轉子葉片的安裝角優(yōu)選在20°至35°的范圍內。安裝角的優(yōu)選值在27°的范圍內。

例如在使用沿徑向方向具有恒定的厚度的圓形的鋸盤或盤式銑削器的情況下，得到具有沿徑向方向恒定的橫截面的轉子葉片。然而原則上，退刀槽和螺紋例如也可以借助沿徑向方向具有增大或減小的厚度的圓形的鋸盤或盤式銑削器來引入，由此得到具有沿徑向方向錐形擴大或漸細的橫截面的轉子葉片。

附圖說明

下面參考附圖結合實施例詳細闡述了本發(fā)明。其中：

圖1示出真空泵的示例性實施方式的示意圖，該真空泵可以配設有根據本發(fā)明的轉子；

圖2示出示例性地由實心材料構成的圓柱形的基體的示意圖，真空泵、尤其是渦輪分子泵的根據本發(fā)明的轉子能按照根據本發(fā)明的方法由該基體來制造；

圖3示出示例性地在根據圖2的由實心材料構成的基體中切出的螺紋的示意圖；

圖4示出按照根據本發(fā)明的方法制造的根據本發(fā)明的轉子的示例性實施方式的示意圖，該轉子通過將退刀槽引入到根據圖3的配設有螺紋的基體中而得到；

圖5示出引入到根據圖2的由實心材料構成的基體中的示例性的退刀槽的示意圖；

圖6示出按照根據本發(fā)明的方法制造的根據本發(fā)明的轉子的示例性實施方式的示意圖，該轉子通過在根據圖5的配設有退刀槽的基體中切出螺紋而得到，并且

圖7示出根據本發(fā)明的轉子的按照根據本發(fā)明的方法制造的示例性的轉子葉片結構的示意圖。

主要元件符號說明

10 真空泵

12 入口法蘭

14 泵入口

16 殼體

18 旋轉軸線

20 轉子軸

22 轉子盤

24 定子盤

26 隔環(huán)

28 吸取區(qū)域

30 箭頭

32 轉子轂

34 霍爾維克轉子套筒

36 霍爾維克轉子套筒

38 霍爾維克定子套筒

40 霍爾維克定子套筒

42 滾動軸承

44 永磁體軸承

46 轉子側的軸承半體

48 定字側的軸承半體

50 永磁環(huán)

52 永磁環(huán)

54 徑向軸承間隙

56 安全軸承或止推軸承

58 圓錐的頂端螺母

60 可抽吸的盤

62 驅動馬達

64 控制單元

66 轉子

68 轉子軸線

70 轉子軸

72 轉子葉片

72' 去除的轉子葉片

74 高真空區(qū)域

76 預真空或低真空區(qū)域

78 圓柱形的基體

80 螺紋

82 退刀槽

84 中真空區(qū)域

86 鋸路徑

具體實施方式

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖對本發(fā)明的具體實施方式做詳細的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細節(jié)以便于充分理解本發(fā)明。但是本發(fā)明能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實施，本領域技術人員可以在不違背本發(fā)明內涵的情況下做類似改進，因此本發(fā)明不受下面公開的具體實施的限制。

圖1以示意圖示出真空泵10的示例性實施方式，該真空泵可以配設有根據本發(fā)明的轉子。

圖1中示出的真空泵10包括由入口法蘭12包圍的泵入口14以及多個泵階梯部，它們用于將在泵入口14處等候處理的氣體傳輸到圖1未示出的泵出口。真空泵包括具有靜止殼體16的定子和布置在殼體16中的轉子，該轉子具有以能繞旋轉軸線18轉動的方式受支承的轉子軸20。

真空泵構造為渦輪分子泵并且包括多個以起泵作用的方式(pumpwirksam)彼此串聯聯接的渦輪分子的泵級，它們具有多個與轉子軸20連接的渦輪分子的轉子盤22和多個沿軸向方向布置在轉子盤22中間且固定在殼體16中的渦輪分子的定子盤24，這些定子盤通過隔環(huán)26彼此保持有期望的軸向間距。轉子盤22和定子盤24在吸取區(qū)域26中提供了指向沿箭頭30的方向的軸向泵作用。

真空泵還包括三個沿徑向方向交錯地布置且以起泵作用的方式彼此串聯聯接的霍爾維克泵級?；魻柧S克泵級的轉子側部分包括與轉子軸20連接的轉子轂32和兩個緊固在轉子轂32上且由其承載的圓柱套形的霍爾維克轉子套筒34、36，這些霍爾維克轉子套筒與轉子軸線18同軸地定向并沿徑向方向交錯地嵌套。此外，設置有兩個圓柱套形的霍爾維克定子套筒38、40，它們同樣與轉子軸線18同軸地定向并且沿徑向方向交錯地嵌套?；魻柧S克泵級的主動泵送的表面分別通過霍爾維克轉子套筒34、36和霍爾維克定子套筒38、40各自的在構造出緊密的徑向的霍爾維克間隙的情況下相對置的徑向的外周面來形成。在此，其中一個主動泵送的表面分別平滑地構造，在當前情況下，霍爾維克轉子套筒34或36的主動泵送的表面以及霍爾維克定子套筒38、40的相對置的主動泵送的表面具有如下的結構化部，即其具有螺旋線狀繞旋轉軸線18沿軸向方向延伸的槽，在這些槽中，通過轉子的旋轉向前推動氣體，并且由此泵送氣體。

通過在泵出口的區(qū)域中的滾動軸承42和在泵入口14的區(qū)域中的永磁體軸承44實現了轉子軸20的可轉動的支承。

永磁體軸承44包括轉子側的軸承半體46和定子側的軸承半體48，它們分別包括由多個沿軸向方向彼此相疊地堆疊的永磁環(huán)50、52組成的環(huán)形疊片，其中，磁環(huán)50、52在構成徑向軸承間隙54的情況下相對而置。

在永磁體軸承44之中，設置有安全軸承(Notlager)或止推軸承56，其構造為未潤滑的滾動軸承，并且在真空泵的正常運行中以無碰觸的方式空轉，并且首先在轉子相對定子過度地徑向偏轉時起作用，以便形成用于轉子的徑向止擋，其防止了轉子側的結構件與定子側的結構件的碰撞。

在滾動軸承42的區(qū)域中，在轉子軸20上設置有圓錐形的頂端螺母58，其具有朝向滾動軸承42增大的外直徑，該頂端螺母與運行介質存儲器的卸料器滑動接觸，該運行介質存儲器包括多個以運行介質(例如潤滑劑)浸濕的可抽吸的盤60。在運行中，運行介質通過毛細作用從運行介質存儲器經由卸料器運輸到旋轉的頂端螺母58，并且由于離心力沿著頂端螺母58沿頂端螺母58的變大的外直徑的方向輸送到滾動軸承42，在那里該運行介質例如起到潤滑的功能。

真空泵10包括用于以轉動方式驅動轉子的驅動馬達62，該驅動馬達的轉動部位通過轉子軸20來形成。控制單元64控制該驅動馬達62。

渦輪分子的泵級在吸取區(qū)域28中提供沿箭頭30的方向的泵送作用。

下面結合圖2至圖7詳細描述了根據本發(fā)明的轉子66的示例性實施方式以及根據本發(fā)明的用于制造這種轉子的方法的示例性設計方案。

轉子66分別包括以能繞轉子軸線68轉動的方式受支承的轉子軸70和布置在轉子軸70上的、沿軸向方向連續(xù)的、分別包括多個轉子葉片72的多個轉子平面。在此，相應的轉子平面中的轉子葉片72的數量在真空泵的抽吸側的高真空區(qū)域中比相應的轉子平面中的轉子葉片的數量在真空泵的預真空或低真空區(qū)域76中例如少了2倍至4倍。

轉子66可以在各個轉子平面中被劃分成至少兩個沿軸向方向連續(xù)的有不同數量的轉子葉片72的區(qū)域，其中，相應的轉子平面中的轉子葉片72的數量沿軸向方向觀察從真空泵的高真空區(qū)域74開始朝真空泵的預真空或低真空區(qū)域76是減少的(參見圖7)。

在此，相應的轉子平面中的轉子葉片72的數量在高真空區(qū)域中比相應的轉子平面中的轉子葉片的數量在真空泵的緊隨其后的區(qū)域中例如少了2倍。

轉子66也可以在各個轉子平面中被劃分成三個沿軸向方向連續(xù)的有不同數量的轉子葉片72的區(qū)域。相應的轉子平面中的轉子葉片72的數量在真空泵的高真空區(qū)域中比相應的轉子平面中的轉子葉片72的數量在真空泵的緊隨其后的區(qū)域中例如少了2倍，并且比相應的轉子平面中的轉子葉片72的數量在真空泵的預真空或低真空區(qū)域76中例如少了3倍或4倍。

轉子66也可以在各個轉子平面中被劃分成四個沿軸向方向連續(xù)的有不同數量的轉子葉片72的區(qū)域。在此，相應的轉子平面中的轉子葉片72的數量從真空泵的高真空區(qū)域74到真空泵的預真空或低真空區(qū)域76以比率1:2:3:4增加。

如同尤其結合圖7可看到的，轉子葉片結構從預真空或低真空區(qū)域76到真空泵的高真空區(qū)域74沿軸向方向就更透光的意義來說是更敞開的。

轉子66包括斜置的轉子葉片72，轉子葉片相對于與轉子軸線68至少基本上垂直的各個轉子平面的安裝角在20°至35°的范圍內。

包括轉子軸70和布置在轉子軸70上的多個轉子葉片72的轉子66一體式地由實心材料制成，該實心材料由圓柱形的基體78構成(參見圖2)。為了產生布置在轉子軸70上、沿軸向方向連續(xù)、分別包括多個轉子葉片的多個轉子平面，在圓柱形的基體78中切出螺紋80，并且在分別至少基本上垂直于轉子軸線68的不同平面中，將退刀槽82引入到基體78中(參見圖3至圖6)。

緊接著，為了產生沿軸向方向觀察朝向真空泵的高真空區(qū)域74敞開的、即透光的轉子葉片結構，去除在真空泵的高真空區(qū)域74中的至少一個轉子平面的所產生的轉子葉片72的一部分(參見圖7)。

在此，例如可以首先在圓柱形的基體78中切出螺紋80，其中，緊接著將退刀槽82引入到分別至少基本上垂直于轉子軸線68的不同平面中。

替選地，相反地可以首先將退刀槽82引入到基體78中，其中，緊接著在已配設有退刀槽82的圓柱形的基體78中切出螺紋80(參見圖5和圖6)。

在此，在圓柱形的基體78中切出單線或多線的螺紋80。

螺紋18例如可以借助圓形的鋸盤或盤式銑削器在圓柱形的基體78中切出。退刀槽82例如可以在車床上或同樣借助鋸盤或盤式銑削機引入到圓柱形的基體78中。

由于退刀槽之間的不同的軸向間距，可以相產生軸向高度相應不同的轉子葉片72。

可以產生斜置的轉子盤72，轉子盤的相對于與轉子軸線68至少基本上垂直的各個轉子平面的安裝角通過螺紋80在該轉子平面的區(qū)域中的斜率來確定。

圖2示出由實心材料構成的圓柱形的基體78。在根據圖3和圖4的視圖中，在引入退刀槽82之前，首先在由實心材料構成的基體78中切出螺紋80。相反地，在根據圖5和圖6的視圖中，在基體78中切出螺紋18之前，首先將退刀槽82引入到由實心材料構成的基體78中。

利用根據圖3和圖4或者說圖5和圖6執(zhí)行的方法步驟，首先分別得到具有相同數量的轉子葉片72的轉子平面。

為了產生沿軸向方向觀察朝向真空泵的高真空區(qū)域74敞開的、即透光的轉子葉片結構，緊接著去除在真空泵的高真空區(qū)域72中的至少一個轉子平面的所產生的轉子葉片72的一部分(參見圖7)。

在此，轉子66根據圖7的視圖例如在各個轉子平面中被劃分成三個沿軸向方向連續(xù)的有不同數量的轉子葉片72的區(qū)域。在該實例中，相應的轉子平面中的轉子葉片72的數量在真空泵的高真空區(qū)域74中比相應的轉子平面中的轉子葉片72的數量在真空泵的緊隨其后的區(qū)域(在這里是中間真空區(qū)域84)中例如少了2倍，并且比相應的轉子平面中的轉子葉片72的數量在真空泵的預真空或低真空區(qū)域76中例如少了3倍。

在此，轉子盤在預真空或低真空區(qū)域76中例如具有36個轉子葉片72。在中間真空區(qū)域84中，在另一加工步驟中可以去除例如每兩個中的第二個轉子葉片72。于是，在相應的轉子平面中仍存在18個轉子葉片72。在高真空區(qū)域中，在相應的轉子平面中分別去除兩個連續(xù)的轉子葉片72，從而在相應的轉子平面中在高真空區(qū)域74中只保留12個轉子葉片。這得到了具有1:2:3的比率的葉片結構。

在這里純示例性闡述的替選的具有在預真空或低真空區(qū)域中的較大的最大葉片數量并且具有例如1:2:4的比率的葉片結構中，葉片數量例如為48、24、12。通常任意的比率都是可行的。

隨后被去除的葉片72'在圖7中通過虛線標出。此外，在圖7中也能看到鋸路徑86，例如它們在將螺紋80引入到由實心材料構成的基體78中時得到。但是如已經闡述的那樣，也能想到不同于此的轉子葉片結構。

轉子葉片的期望覆蓋率或敞開性尤其可以通過轉子葉片72在期望的區(qū)域中的不同的軸向高度來實現。

根據本發(fā)明的方法制成的根據本發(fā)明的轉子66例如可以應用在圖1所示類型的真空泵10中。

以上所述實施例僅表達了本發(fā)明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本發(fā)明專利范圍的限制。應當指出的是，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發(fā)明構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發(fā)明的保護范圍。因此，本發(fā)明專利的保護范圍應以所附權利要求為準。