1.一種真空泵、尤其是渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子(66)，所述轉(zhuǎn)子具有以能繞轉(zhuǎn)子軸線(68)轉(zhuǎn)動的方式受支承的轉(zhuǎn)子軸(70)和布置在所述轉(zhuǎn)子軸(70)上的、沿軸向方向連續(xù)的、分別包括多個轉(zhuǎn)子葉片(72)的多個轉(zhuǎn)子平面，其中，在相應的轉(zhuǎn)子平面中的轉(zhuǎn)子葉片(72)的數(shù)量在真空泵的抽吸側(cè)的高真空區(qū)域(74)中比在相應的轉(zhuǎn)子平面中轉(zhuǎn)子葉片的數(shù)量在真空泵的預真空或低真空區(qū)(76)域中更少，尤其是少2倍至4倍。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)子，其特征在于，所述轉(zhuǎn)子(66)在各個轉(zhuǎn)子平面中被劃分成至少兩個沿軸向方向連續(xù)的有不同數(shù)量的轉(zhuǎn)子葉片(72)的區(qū)域，其中，相應的轉(zhuǎn)子平面中的轉(zhuǎn)子葉片(72)的數(shù)量沿軸向方向觀察從所述真空泵的高真空區(qū)域(74)開始朝所述真空泵的預真空或低真空區(qū)域(76)是增加的。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的轉(zhuǎn)子，其特征在于，所述轉(zhuǎn)子(66)在各個轉(zhuǎn)子平面中被劃分成兩個沿軸向方向連續(xù)的有不同數(shù)量的轉(zhuǎn)子葉片(72)的區(qū)域，并且相應的轉(zhuǎn)子平面中的轉(zhuǎn)子葉片的數(shù)量在所述真空泵的高真空區(qū)域(74)中比相應的轉(zhuǎn)子平面中的轉(zhuǎn)子葉片(72)的數(shù)量在真空泵在緊隨其后的區(qū)域中少了2倍。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的轉(zhuǎn)子，其特征在于，所述轉(zhuǎn)子(66)在各個轉(zhuǎn)子平面中被劃分成三個沿軸向方向連續(xù)的有不同數(shù)量的轉(zhuǎn)子葉片(72)的區(qū)域，其中，相應的轉(zhuǎn)子平面中的轉(zhuǎn)子葉片(72)的數(shù)量在所述真空泵的高真空區(qū)域(74)中比相應的轉(zhuǎn)子平面中的轉(zhuǎn)子葉片(72)的數(shù)量在真空泵的緊隨其后的區(qū)域、尤其是中間真空區(qū)域中例如少了2倍，并且比相應的轉(zhuǎn)子平面中的轉(zhuǎn)子葉片(72)的數(shù)量在所述真空泵的預真空或低真空區(qū)域(76)中例如少了3倍或4倍。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的轉(zhuǎn)子，其特征在于，所述轉(zhuǎn)子(66)在各個轉(zhuǎn)子平面中被劃分成四個沿軸向方向連續(xù)的有不同數(shù)量的轉(zhuǎn)子葉片(72)的區(qū)域，并且相應的轉(zhuǎn)子平面中的轉(zhuǎn)子葉片(72)的數(shù)量從所述真空泵的高真空區(qū)域(74)開始朝所述真空泵的預真空或低真空區(qū)域(76)以比率1:2:3:4增加。
6.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項所述的轉(zhuǎn)子，其特征在于，轉(zhuǎn)子葉片結(jié)構(gòu)從所述真空泵的預真空或低真空區(qū)域(76)開始朝所述真空泵的高真空區(qū)域(74)是更敞開的。
7.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項所述的轉(zhuǎn)子，其特征在于，所述轉(zhuǎn)子(66)包括斜置的轉(zhuǎn)子葉片(72)，所述轉(zhuǎn)子葉片相對于與所述轉(zhuǎn)子軸線(68)至少基本上垂直的各個轉(zhuǎn)子平面的安裝角在20°至35°的范圍內(nèi)。
8.一種具有至少一個根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項所述的轉(zhuǎn)子(66)的真空泵、尤其是渦輪分子泵。
9.一種用于制造真空泵、尤其是渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子(66)的方法，其尤其用于制造真空泵的根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的轉(zhuǎn)子(66)，
在其中，包括轉(zhuǎn)子軸(70)和多個布置在所述轉(zhuǎn)子軸上的轉(zhuǎn)子葉片(72)的轉(zhuǎn)子(66)通過由實心材料構(gòu)成的圓柱形的基體(78)一體式地制成，其方式是：為了產(chǎn)生布置在所述轉(zhuǎn)子軸(70)上的、沿軸向方向連續(xù)的、分別包括多個轉(zhuǎn)子葉片(72)的多個轉(zhuǎn)子平面，在圓柱形的所述基體(78)中切出螺紋(80)，并且在分別至少基本上垂直于轉(zhuǎn)子軸線(68)的不同的平面中，將退刀槽(82)引入到所述基體(78)中，并且
緊接著為了產(chǎn)生沿軸向方向觀察朝向真空泵的高真空區(qū)域(74)敞開的轉(zhuǎn)子葉片結(jié)構(gòu)，在所述真空泵的高真空區(qū)域(74)中去除至少一個轉(zhuǎn)子平面的所產(chǎn)生的轉(zhuǎn)子葉片(72)的一部分。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，為了產(chǎn)生分別包括多個轉(zhuǎn)子葉片(72)的轉(zhuǎn)子平面，首先在圓柱形的所述基體(78)中切出螺紋(80)并且緊接著在分別至少基本上垂直于所述轉(zhuǎn)子軸線(68)的不同的平面中引入退刀槽(82)，或者相反地進行上述步驟。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的方法，其特征在于，在圓柱形的所述基體(78)中切出單線或多線的螺紋(80)。
12.根據(jù)權(quán)利要求9至11中任一項所述的方法，其特征在于，借助圓形的鋸盤或盤式銑削器在圓柱形的所述基體(78)中切出螺紋(80)。
13.根據(jù)權(quán)利要求9至12中任一項所述的方法，其特征在于，在車床上或借助鋸盤或盤式銑削機，將所述退刀槽(82)引入到圓柱形的所述基體(78)中。
14.根據(jù)權(quán)利要求9至13中任一項所述的方法，其特征在于，由于退刀槽(82)之間的不同的軸向間距，產(chǎn)生軸向高度相應不同的轉(zhuǎn)子葉片(72)。
15.根據(jù)權(quán)利要求9至14中任一項所述的方法，其特征在于，產(chǎn)生斜置的轉(zhuǎn)子葉片(72)，所述轉(zhuǎn)子葉片的相對于與所述轉(zhuǎn)子軸線(68)至少基本上垂直的各個轉(zhuǎn)子平面的安裝角通過所述螺紋(80)在所述轉(zhuǎn)子平面的區(qū)域中的斜率來確定。