一種復(fù)合分子泵的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及獲得真空技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種復(fù)合分子泵。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著科技的發(fā)展，要求分子泵具有大抽速、高壓縮比和較強(qiáng)的前級(jí)抗壓能力。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中的分子泵主要有兩種類型:一種為渦輪分子泵，一種為盤型渦輪復(fù)合分子泵。
[0004]渦輪分子泵(專利號(hào):85101627)具有較大的抽速，但是只能在氣體為分子流狀態(tài)下工作，在氣體壓強(qiáng)高于IPa時(shí)，抽速非常低，而一些半導(dǎo)體工業(yè)在該壓強(qiáng)范圍要求大的抽氣量，禍輪分子泵難以適合。
[0005]盤型渦輪復(fù)合分子泵主要由渦輪葉片級(jí)與盤式牽引級(jí)組成(專利號(hào):CN87103994)。該種泵集合了渦輪泵與盤式牽引泵的優(yōu)點(diǎn)，較渦輪分子泵在抽速和比上有所改觀。但該種類泵存在以下缺點(diǎn):(I)氣體在渦輪級(jí)葉片之間流動(dòng)為軸向流動(dòng)，到盤式牽引級(jí)變?yōu)閺较蛄鲃?dòng)，增加了流阻，造成大量氣體反流；(2)盤型牽引級(jí)抽氣效率較低，與渦輪級(jí)葉片匹配性較差，易造成氣體反流；(3)多級(jí)牽引級(jí)定片與動(dòng)片交替組合，由于盤型制造誤差及裝配誤差造成氣體流導(dǎo)不均勻性，影響抽氣性能。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)缺陷，提供一種結(jié)構(gòu)較簡(jiǎn)單，成本低，操作方便，實(shí)用安全的復(fù)合分子泵，為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提出的技術(shù)方案是:
[0007]一種復(fù)合分子泵，該復(fù)合分子泵自進(jìn)氣口至排氣口由渦輪葉片部和筒式牽引部串聯(lián)而成，其特征在于，包括:
[0008]殼體；
[0009]多個(gè)一級(jí)導(dǎo)流片，其螺旋設(shè)置在筒式牽引部靠近所述渦輪葉片部的外側(cè)壁上，相鄰兩個(gè)所述一級(jí)導(dǎo)流片、筒式牽引部外側(cè)壁和殼體內(nèi)側(cè)壁之間形成一個(gè)流體通道，且所述一級(jí)導(dǎo)流片的橫切面為弧形；
[0010]以及多個(gè)二級(jí)導(dǎo)流片，其與所述一級(jí)導(dǎo)流片同向螺旋設(shè)置在筒式牽引部靠近排氣口的外側(cè)壁上，且所述二級(jí)導(dǎo)流片與所述一級(jí)導(dǎo)流片首尾部分相互交叉設(shè)置，所述二級(jí)導(dǎo)流片的橫切面為弧形。
[0011]所述二級(jí)導(dǎo)流片與所述一級(jí)導(dǎo)流片首尾部分相互交叉設(shè)置，可以實(shí)現(xiàn)在交叉部位對(duì)氣流進(jìn)行急速壓縮分流，增大氣流壓強(qiáng)，提高壓縮比。
[0012]所述一級(jí)導(dǎo)流片和所述二級(jí)導(dǎo)流片的橫切面為弧形，可以保證氣流在壓縮過程中，氣體分子與所述一級(jí)導(dǎo)流片或所述二級(jí)導(dǎo)流片表面的接觸面積，增大碰撞產(chǎn)生的動(dòng)能，提高氣體分子的活躍度，促進(jìn)氣體流動(dòng)速度；并且減少氣體分子的流失；縮短抽真空時(shí)間。
[0013]優(yōu)選的是，所述的復(fù)合分子泵還包括:
[0014]多個(gè)缺刻，其設(shè)置在所述多個(gè)二級(jí)導(dǎo)流片上，且一個(gè)所述二級(jí)導(dǎo)流片上設(shè)置至少一個(gè)所述缺刻，以使得每個(gè)所述二級(jí)導(dǎo)流片上的至少一個(gè)所述缺刻的中心線所在平面與所述筒式牽引部的橫切面平行；
[0015]多個(gè)輔助壓縮片，其均勻間隔開設(shè)置在所述殼體內(nèi)側(cè)壁上，并且使得多個(gè)輔助壓縮片的中心線與所述多個(gè)缺刻的中心線處于同一平面，所述輔助壓縮片相對(duì)于所述殼體的軸線傾斜設(shè)置；
[0016]其中，所述多個(gè)缺刻的開口寬度大于所述輔助壓縮片在所述殼體軸向方向的高度。
[0017]筒式牽引部帶動(dòng)第一導(dǎo)流片和第二導(dǎo)流片旋轉(zhuǎn)的過程中，輔助壓縮片會(huì)經(jīng)過缺刻的開口處，并且在筒式牽引部高速旋轉(zhuǎn)的過程中配合輔助壓縮片和缺刻形成至少兩個(gè)氣體流動(dòng)的小腔室，使氣體流動(dòng)過程中不會(huì)由于進(jìn)氣口處的氣壓降低發(fā)生氣體回流的情況，提高抽真空效率和真空度。
[0018]兩個(gè)相鄰的輔助壓縮片之間間隔開一定距離，可以保證氣流流動(dòng)暢通。
[0019]優(yōu)選的是，所述一級(jí)導(dǎo)流片和所述二級(jí)導(dǎo)流片的弧形圓心靠近排氣口方向設(shè)置。
[0020]優(yōu)選的是，所述一級(jí)導(dǎo)流片和所述二級(jí)導(dǎo)流片的弧形的弧度為30-60度。
[0021]優(yōu)選的是，所述一級(jí)導(dǎo)流片與所述二級(jí)導(dǎo)流片的長(zhǎng)度比例為1-3: 5。
[0022]優(yōu)選的是，所述一級(jí)導(dǎo)流片與所述二級(jí)導(dǎo)流片的交叉的長(zhǎng)度小于所述一級(jí)導(dǎo)流片長(zhǎng)度的1/3。
[0023]優(yōu)選的是，所述缺刻為矩形。
[0024]優(yōu)選的是，所述輔助壓縮片與所述殼體的軸線的夾角大于10度。
[0025]這樣設(shè)置，可以保證輔助壓縮片給空氣分子提供一個(gè)氣體流動(dòng)的推力，保證氣流的方向不會(huì)發(fā)生改變，提高氣體抽真空的速率。
[0026]優(yōu)選的是，渦輪葉片部還包括:
[0027]轉(zhuǎn)子體；
[0028]渦輪動(dòng)葉片，其設(shè)置在轉(zhuǎn)子體上；
[0029]渦輪靜葉片，其設(shè)置在所述殼體內(nèi)側(cè)壁上；
[0030]以及電機(jī)，其驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子體。
[0031]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0032]所述二級(jí)導(dǎo)流片與所述一級(jí)導(dǎo)流片首尾部分相互交叉設(shè)置，可以實(shí)現(xiàn)在交叉部位對(duì)氣流進(jìn)行急速壓縮分流，增大氣流壓強(qiáng)，提高壓縮比；
[0033]所述一級(jí)導(dǎo)流片和所述二級(jí)導(dǎo)流片的橫切面為弧形，可以保證氣流在壓縮過程中，氣體分子與所述一級(jí)導(dǎo)流片或所述二級(jí)導(dǎo)流片表面的接觸面積，增大碰撞產(chǎn)生的動(dòng)能，提高氣體分子的活躍度，促進(jìn)氣體流動(dòng)速度；并且減少氣體分子的流失；縮短抽真空時(shí)間；
[0034]筒式牽引部帶動(dòng)第一導(dǎo)流片和第二導(dǎo)流片旋轉(zhuǎn)的過程中，輔助壓縮片會(huì)經(jīng)過缺刻的開口處，并且在筒式牽引部高速旋轉(zhuǎn)的過程中配合輔助壓縮片和缺刻形成至少兩個(gè)氣體流動(dòng)的小腔室，使氣體流動(dòng)過程中不會(huì)由于進(jìn)氣口處的氣壓降低發(fā)生氣體回流的情況，提高抽真空效率和真空度；
[0035]兩個(gè)相鄰的輔助壓縮片之間間隔開一定距離，可以保證氣流流動(dòng)暢通；
[0036]輔助壓縮片與所述殼體的軸線的夾角大于10度設(shè)置為，可以保證輔助壓縮片給空氣分子提供一個(gè)氣體流動(dòng)的推力，保證氣流的方向不會(huì)發(fā)生改變，提高氣體抽真空的速率;
[0037]綜上所述，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)較簡(jiǎn)單，操作方便，能夠?qū)崿F(xiàn)大抽速、高壓縮比以及高真空度，并且具有較強(qiáng)的前級(jí)抗壓能力的優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說明】
[0038]圖1為本實(shí)用新型所述的復(fù)合分子泵的主視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0039]圖2為本實(shí)用新型所述的復(fù)合分子泵的一級(jí)導(dǎo)流片和二級(jí)導(dǎo)流片的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0040]圖3為本實(shí)用新型所述的復(fù)合分子泵的的輔助壓縮片的部分殼體展開的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0041]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的詳細(xì)說明，以令本領(lǐng)域技術(shù)人員參照說明書文字能夠據(jù)以實(shí)施。
[0042]如圖1所示，一種復(fù)合分子泵，該復(fù)合分子泵自進(jìn)氣口至排氣口由渦輪葉片部和筒式牽引部5串聯(lián)而成，其特征在于，包括:
[0043]殼體I ;
[0044]如圖2所示，多個(gè)一級(jí)導(dǎo)流片6，其螺旋設(shè)置在筒式牽引