部5靠近渦輪葉片部的外側(cè)壁上，相鄰兩個一級導(dǎo)流片6、筒式牽引部5外側(cè)壁和殼體I內(nèi)側(cè)壁之間形成一個流體通道，且一級導(dǎo)流片6的橫切面為弧形；
[0045]以及多個二級導(dǎo)流片7，其與一級導(dǎo)流片6同向螺旋設(shè)置在筒式牽引部5靠近排氣口的外側(cè)壁上，且二級導(dǎo)流片7與一級導(dǎo)流片6首尾部分相互交叉設(shè)置，二級導(dǎo)流片7的橫切面為弧形。
[0046]在上述方案中，一級導(dǎo)流片6以及二級導(dǎo)流片7的寬度可以是等寬，也可以是從進氣口端向出氣口端，寬度逐漸減小，以輔助增加對氣體的壓縮比；
[0047]二級導(dǎo)流片7與一級導(dǎo)流片6首尾部分相互交叉設(shè)置，可以實現(xiàn)在交叉部位對氣流進行急速壓縮分流，增大氣流壓強，提高壓縮比；一級導(dǎo)流片6和二級導(dǎo)流片7的橫切面為弧形，可以保證氣流在壓縮過程中，氣體分子與一級導(dǎo)流片6或二級導(dǎo)流片7表面的接觸面積，增大碰撞產(chǎn)生的動能，提高氣體分子的活躍度，促進氣體流動速度；并且減少氣體分子的流失；縮短抽真空時間。
[0048]復(fù)合分子泵還包括:
[0049]多個缺刻8，其設(shè)置在多個二級導(dǎo)流片7上，且一個二級導(dǎo)流片7上設(shè)置至少一個缺刻8，以使得每個二級導(dǎo)流片7上的至少一個缺刻8的中心線所在平面與筒式牽引部5的橫切面平行；在本實施方案中缺刻8為矩形。
[0050]如圖3所示，多個輔助壓縮片9，其均勻間隔開設(shè)置在殼體I內(nèi)側(cè)壁上，并且使得多個輔助壓縮片的中心線與多個缺刻8的中心線處于同一平面，輔助壓縮片9相對于殼體I的軸線傾斜設(shè)置；
[0051]其中，多個缺刻8的開口寬度大于輔助壓縮片9在殼體I軸向方向的高度。
[0052]在上一方案中，當(dāng)筒式牽引部5帶動第一導(dǎo)流片和第二導(dǎo)流片旋轉(zhuǎn)的過程中，輔助壓縮片9可以順利通過缺刻8，正常工作；
[0053]筒式牽引部5帶動第一導(dǎo)流片和第二導(dǎo)流片旋轉(zhuǎn)的過程中，輔助壓縮片9會經(jīng)過缺刻8的開口處，并且在筒式牽引部5高速旋轉(zhuǎn)的過程中配合輔助壓縮片9和缺刻8形成至少兩個氣體流動的小腔室，使氣體流動過程中不會由于進氣口處的氣壓降低發(fā)生氣體回流的情況，提高抽真空效率和真空度。
[0054]在上一方案中，兩個相鄰的輔助壓縮片9之間間隔開一定距離，可以保證氣流流動暢通。
[0055]一級導(dǎo)流片6和二級導(dǎo)流片7的弧形圓心靠近排氣口方向設(shè)置。
[0056]一級導(dǎo)流片6和二級導(dǎo)流片7的弧形的弧度為30-60度。
[0057]一級導(dǎo)流片6與二級導(dǎo)流片7的長度比例為1-3: 5。
[0058]一級導(dǎo)流片6與二級導(dǎo)流片7的交叉的長度小于一級導(dǎo)流片6長度的1/3。
[0059]輔助壓縮片9與殼體I的軸線的夾角大于10度。
[0060]在上一方案中，輔助壓縮片9給空氣分子提供一個氣體流動的推力，保證氣流的方向不會發(fā)生改變，提高氣體抽真空的速率。
[0061]渦輪葉片部還包括:
[0062]轉(zhuǎn)子體2 ；
[0063]渦輪動葉片3，其設(shè)置在轉(zhuǎn)子體2上；
[0064]渦輪靜葉片4，其設(shè)置在殼體I內(nèi)側(cè)壁上；
[0065]以及電機，其驅(qū)動轉(zhuǎn)子體2。
[0066]盡管本實用新型的實施方案已公開如上，但其并不僅僅限于說明書和實施方式中所列運用，它完全可以被適用于各種適合本實用新型的領(lǐng)域，對于熟悉本領(lǐng)域的人員而言，可容易地實現(xiàn)另外的修改，因此在不背離權(quán)利要求及等同范圍所限定的一般概念下，本實用新型并不限于特定的細節(jié)和這里示出與描述的圖例。
【主權(quán)項】
1.一種復(fù)合分子泵，該復(fù)合分子泵自進氣口至排氣口由渦輪葉片部和筒式牽引部串聯(lián)而成，其特征在于，包括: 殼體； 多個一級導(dǎo)流片，其螺旋設(shè)置在筒式牽引部靠近所述渦輪葉片部的外側(cè)壁上，相鄰兩個所述一級導(dǎo)流片、筒式牽引部外側(cè)壁和殼體內(nèi)側(cè)壁之間形成一個流體通道，且所述一級導(dǎo)流片的橫切面為弧形； 以及多個二級導(dǎo)流片，其與所述一級導(dǎo)流片同向螺旋設(shè)置在筒式牽引部靠近排氣口的外側(cè)壁上，且所述二級導(dǎo)流片與所述一級導(dǎo)流片首尾部分相互交叉設(shè)置，所述二級導(dǎo)流片的橫切面為弧形。
2.如權(quán)利要求1所述的復(fù)合分子泵，其特征在于，還包括: 多個缺刻，其設(shè)置在所述多個二級導(dǎo)流片上，且一個所述二級導(dǎo)流片上設(shè)置至少一個所述缺刻，以使得每個所述二級導(dǎo)流片上的至少一個所述缺刻的中心線所在平面與所述筒式牽引部的橫切面平行； 多個輔助壓縮片，其均勻間隔開設(shè)置在所述殼體內(nèi)側(cè)壁上，并且使得多個輔助壓縮片的中心線與所述多個缺刻的中心線處于同一平面，所述輔助壓縮片相對于所述殼體的軸線傾斜設(shè)置； 其中，所述多個缺刻的開口寬度大于所述輔助壓縮片在所述殼體軸向方向的高度。
3.如權(quán)利要求1所述復(fù)合分子泵，其特征在于，所述一級導(dǎo)流片和所述二級導(dǎo)流片的弧形圓心靠近排氣口方向設(shè)置。
4.如權(quán)利要求3所述的復(fù)合分子泵，其特征在于，所述一級導(dǎo)流片和所述二級導(dǎo)流片的弧形的弧度為30-60度。
5.如權(quán)利要求1所述復(fù)合分子泵，其特征在于，所述一級導(dǎo)流片與所述二級導(dǎo)流片的長度比例為1-3: 5。
6.如權(quán)利要求5所述的復(fù)合分子泵，其特征在于，所述一級導(dǎo)流片與所述二級導(dǎo)流片的交叉的長度小于所述一級導(dǎo)流片長度的1/3。
7.如權(quán)利要求2所述的復(fù)合分子泵，其特征在于，所述缺刻為矩形。
8.如權(quán)利要求2所述的復(fù)合分子泵，其特征在于，所述輔助壓縮片與所述殼體的軸線的夾角大于10度。
9.如權(quán)利要求1-8中任一項所述的復(fù)合分子泵，其特征在于，渦輪葉片部還包括: 轉(zhuǎn)子體； 渦輪動葉片，其設(shè)置在轉(zhuǎn)子體上； 渦輪靜葉片，其設(shè)置在所述殼體內(nèi)側(cè)壁上； 以及電機，其驅(qū)動轉(zhuǎn)子體。
【專利摘要】本實用新型公開了一種復(fù)合分子泵，該復(fù)合分子泵自進氣口至排氣口由渦輪葉片部和筒式牽引部串聯(lián)而成，其特征在于，包括：殼體；多個一級導(dǎo)流片，其螺旋設(shè)置在筒式牽引部靠近所述渦輪葉片部的外側(cè)壁上，相鄰兩個所述一級導(dǎo)流片、筒式牽引部外側(cè)壁和殼體內(nèi)側(cè)壁之間形成一個流體通道，且所述一級導(dǎo)流片的橫切面為弧形；以及多個二級導(dǎo)流片，其與所述一級導(dǎo)流片同向螺旋設(shè)置在筒式牽引部靠近排氣口的外側(cè)壁上，且所述二級導(dǎo)流片與所述一級導(dǎo)流片首尾部分相互交叉設(shè)置，所述二級導(dǎo)流片的橫切面為弧形。本實用新型結(jié)構(gòu)較簡單，操作方便，能夠?qū)崿F(xiàn)大抽速、高壓縮比以及高真空度，并且具有較強的前級抗壓能力的優(yōu)點。
【IPC分類】F04D19-04, F04D29-54
【公開號】CN204327532
【申請?zhí)枴緾N201420773924
【發(fā)明人】張殿偉
【申請人】北京中凱威科技發(fā)展有限責(zé)任公司
【公開日】2015年5月13日
【申請日】2014年12月10日