專利名稱：制造流體動壓軸承和主軸電機的方法以及主軸電機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及流體動壓軸承的制造方法、主軸電機的制造方法以及主軸電機和記錄盤驅(qū)動器。
背景技術(shù)：
近年來，在硬盤和類似的記錄盤驅(qū)動器中的盤形記錄介質(zhì)上每單位面積記錄的信息量日益增加，并且信息密度在增長。日益增加的記錄密度已經(jīng)導致要求在高速旋轉(zhuǎn)下穩(wěn)定地支撐盤形記錄介質(zhì)。
同時，記錄盤驅(qū)動器不僅在傳統(tǒng)上使用驅(qū)動器的固定計算機(例如，臺式計算機和服務器)上獲得應用，而且在車載裝置、便攜裝置以及其它移動裝置上也獲得應用。這種移動應用導致對抗沖擊和耐久性更高的要求(對如在傳統(tǒng)情況下不使驅(qū)動器受到振動和沖擊環(huán)境下采用驅(qū)動器的設(shè)備未曾有過的要求)。
以此為背景，用于在高速旋轉(zhuǎn)下穩(wěn)定地支撐盤驅(qū)動器轉(zhuǎn)子單元的軸承已經(jīng)在發(fā)展中。
為了使軸承能夠符合該要求，極為重要的幾點考慮是(A)改善軸承的毛細管密封(capillary seal)部分的密封性能；(B)提高防止沿著毛細管密封部分附近的表面潤濕擴散的能力；(C)提高構(gòu)成動壓軸承和主軸電機的元件的連接強度。
考慮(A)流體動壓軸承包括軸頸單元和軸頸支撐單元，在二者之間形成有狹窄的微隙。在該微隙內(nèi)保持有潤滑流體，例如油。被稱為毛細管密封部分的油封機構(gòu)設(shè)置在軸承的、其中所述微隙向外部大氣開口的部分中。該毛細管密封部分為這樣的形式，即其中在所述軸頸和在軸承的軸頸支撐側(cè)上與該軸頸相對的密封表面之間的間隙沿著軸向向上逐漸張開。在毛細管密封部分中形成油和外部大氣之間的邊界面。
如果潤滑流體沒有通過毛細管密封部分被封入，則流體就會泄漏到外面。結(jié)果，保持在微隙中的潤滑流體變少，最終會降低軸承的使用壽命。在用于尤其是小型主軸電機中的軸承中，由于保持在軸承內(nèi)部的油的總量很少，因此即使泄漏了微量的潤滑流體，也容易發(fā)生缺油。而且，毛細管密封中的較差的密封性能問題會使軸承上的振動或其它沖擊破壞密封邊界面的完整性。
使油與構(gòu)成毛細管密封部分的元件之間的接觸角保持為較小，這對于提高毛細管密封的強度是至關(guān)重要的。
考慮(B)在構(gòu)成毛細管密封部分的外側(cè)的元件表面上施加疏油劑。施加疏油劑會防止?jié)櫥黧w由于潤濕擴散作用而從毛細管密封部分沿著軸承元件表面流動到軸承外面。
施加疏油劑的方法是將已經(jīng)溶解在溶劑中的疏油劑涂在元件表面上，并且使溶劑汽化以使疏油劑粘附在表面上。
然而，疏油劑對于密封元件表面的潤濕性很差，這意味著疏油劑對表面的粘附性還不令人滿意。因此，在制造動壓軸承中的除油或相關(guān)的結(jié)束操作都容易使疏油劑剝離。盡管由于防護劑的性能，至今都在使用諸如在元件上刻細槽或厚厚地涂覆疏油劑等工藝，但是這種工藝提高了元件的成本，而且這并不算是一種根本的解決辦法。
考慮(C)用于硬盤驅(qū)動器的主軸電機安裝有基座元件和用作定子側(cè)軸承元件的圓柱形套筒殼體，并且該套筒殼體固定在基座元件上。所述套筒殼體的外圓周表面通過插設(shè)的粘合劑而固定在形成于基座元件中的安裝孔的內(nèi)圓周表面上。
主軸電機軸承元件中的輕微翹曲或變形都會給尤其是流體動壓軸承帶來問題，這是因為軸承間隙特別小?；诖耍?jīng)常使用粘合劑而不是容易引起熱變形的焊接在多個交互元件的接合處粘合固定。
尤其在軸承上作用振動和沖擊的環(huán)境下(例如，在移動和車載裝置中)，特別大的載荷作用在元件之間的連接處。更具體地，在其中裝置可能跌落的場合會強制要求承受嚴重沖擊(大于1000G)的能力。然而，主軸電機按比率縮小的結(jié)果是，內(nèi)部元件粘合長度縮短，這對提高粘合強度帶來了挑戰(zhàn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的第一目的在于提供一種能夠提高主軸電機中的粘合強度的制造方法。
本發(fā)明的第二目的在于提供一種流體動壓軸承的制造方法，它能夠改善毛細管密封部分的密封性能。
本發(fā)明的第三目的在于提供一種流體動壓軸承的制造方法，它能夠?qū)⒂糜谑栌捅砻娴氖栌蛣┓€(wěn)定地粘著在該疏油表面上。
可實施本發(fā)明第一方面的流體動壓軸承的制造方法的流體動壓軸承具有如下結(jié)構(gòu)。即，所述流體動壓軸承包括定子單元和相對于該定子單元旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子單元。所述定子單元和轉(zhuǎn)子單元橫過一微隙彼此相對。潤滑流體填充并保持在該微隙內(nèi)。
在所述定子單元和轉(zhuǎn)子單元之間形成有與所述微隙相通的間隙。該間隙與所述微隙相通的部分用作毛細管密封部分。在所述毛細管密封部分中形成潤滑流體和外部大氣之間的邊界面。所述定子單元和轉(zhuǎn)子單元的相對表面形成該毛細管密封部分。
本發(fā)明的第一方面為剛才提出的流體動壓軸承的制造方法，包括至少如下第一和第二步驟。在第一步驟中，在構(gòu)成所述毛細管密封部分的轉(zhuǎn)子側(cè)表面和定子側(cè)表面中的至少一個表面上進行表面處理過程，該表面處理過程包括等離子照射和紫外線束照射中的至少一種。另外，在第一步驟完成之后(并不需要在完成之后立即)，可進行第二步驟，在該步驟中，向所述微隙中注入潤滑流體。
在本發(fā)明第一方面中的第一步驟可在所述流體動壓軸承的轉(zhuǎn)子單元和定子單元裝配之前進行。特別地，所述轉(zhuǎn)子單元和定子單元的相應部分可分別進行第一步驟的表面處理過程。同樣，可以在所述兩個定子單元和轉(zhuǎn)子單元上進行第一步驟的表面處理過程，其可以在所述轉(zhuǎn)子單元和定子單元上同時或不同時進行。
可在所述第一和第二步驟之間進行包括裝配、加熱、加壓和清洗的軸承制造工序。
實施本發(fā)明第一方面提高了構(gòu)成毛細管密封部分的表面相對于有機物質(zhì)的潤濕性，從而使?jié)櫇窠菢O小。因此，提高的潤濕性改善了毛細管密封的密封性能。另一優(yōu)點是，對(一個或多個)毛細管密封部分表面進行紫外線束和等離子照射分解并清除了金屬表面粘附的有機物質(zhì)，這些有機物質(zhì)會使?jié)櫥黧w的質(zhì)量變差。又一好處在于，進行紫外線束和等離子照射不需要使用對環(huán)境有害的化學制劑。而且，與使用化學制劑或通過機械加工相關(guān)部件的表面處理相比，進行紫外線束和等離子照射的工作簡單并且操作時間較短。因此，提高了可操作性和生產(chǎn)率。
此外，通過所述毛細管密封部分可更有利地進行在所述軸承間隙中填充潤滑流體的第二步驟過程。通過已經(jīng)進行紫外線束或等離子照射而提高了潤濕性的(一個或多個)表面來填充軸承間隙，這可以防止?jié)櫥黧w中混入氣泡。因此，可以更精確地調(diào)節(jié)潤滑流體的注入量。
另外根據(jù)本發(fā)明的第一方面，有利地，構(gòu)成所述毛細管密封部分的所述定子單元和轉(zhuǎn)子單元表面中至少一個表面由樹脂材料形成。樹脂通過等離子照射或紫外線束照射而被表面激活，因此由樹脂材料構(gòu)成所述密封部分的(一個或多個)表面提高了(一個或多個)表面對于潤滑流體的潤濕性。
仍根據(jù)本發(fā)明的第一方面，構(gòu)成所述毛細管密封部分的定子單元和轉(zhuǎn)子單元表面中的至少一個表面可以由金屬形成。在這種情況下的制造方法中，有利地，可以通過等離子照射和紫外線束照射中的至少一種在金屬元件上更大程度地進行第一步驟中的表面處理過程?；诘入x子的清洗或使用紫外線束的清洗溶解了粘附在金屬表面上的油脂或其它塵垢，因此適于理想地清洗要求較高清潔度的軸承元件。通過第一步驟進行的清洗能夠使清潔過程和表面處理過程同時進行，這使得該制造方法具有良好的可操作性。
還根據(jù)本發(fā)明的第一發(fā)面，可包括第十四步驟，其中在構(gòu)成所述微隙的定子單元表面和轉(zhuǎn)子單元表面中的至少一個表面上，進行包括等離子照射和紫外線束照射的一組表面處理過程中的至少一種表面處理過程。
所述微隙的表面構(gòu)成流體動壓軸承的軸承表面。提高表面對于潤滑流體的潤濕性，這增強了軸承保持所述定子單元表面和轉(zhuǎn)子單元表面之間潤滑流體的能力。提高的表面間滑潤劑的保持能力有助于防止所述定子單元表面和轉(zhuǎn)子單元表面接觸，即使在軸承承受更強大的沖擊和振動的情況下也是如此。
可實施本發(fā)明第二方面的流體動壓軸承制造方法的流體動壓軸承具有如下的結(jié)構(gòu)。即，以與本發(fā)明第一方面中的流體動壓軸承的相同的方式，該流體動壓軸承以包括定子單元和相對于該定子單元旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子單元。而且，以與在本發(fā)明第一方面中相同的方式形成毛細管密封部分。在該毛細管密封部分中形成潤滑流體和外部大氣之間的邊界面。
此外，在所述定子單元或轉(zhuǎn)子單元中至少一個上設(shè)置鄰接所述毛細管密封部分的干燥區(qū)域表面。形成該干燥區(qū)域表面以使所述表面涂覆有疏油劑。
如上所述的本發(fā)明第二方面的流體動壓軸承的制造方法包括如下第四、第五和第六步驟。在第四步驟中，在軸承的定子側(cè)或轉(zhuǎn)子側(cè)的至少一個上的干燥區(qū)域表面上進行包括等離子照射和紫外線束照射中至少一個的表面處理過程。而且，在第四步驟之后(并不需要在完成之后立即)進行第五步驟，在該步驟中向(一個或多個)干燥區(qū)域表面施加疏油劑。此外，在第五步驟之后(并不需要在完成之后立即)進行第六步驟，在該步驟中在所述微隙內(nèi)部填充潤滑流體。
與在本發(fā)明第一方面中第一步驟的情況相同，第四步驟在軸承裝配過程之前或之后都不重要。而且，在所述定子單元和轉(zhuǎn)子單元上進行第四步驟的過程中，對于所述兩個單元可同時或不同時進行。此外，可根據(jù)需要在第四步驟和第五步驟之間或在第五步驟和第六步驟之間進行其它與制造軸承有關(guān)的步驟(包括裝配、加熱、加壓以及清洗)。
通過實施本發(fā)明的第二方面提高了在(一個或多個)干燥區(qū)域表面中在該(一個或多個)干燥區(qū)域表面和疏油劑之間的潤濕性。該提高的潤濕性防止了疏油劑脫落(剝離)。因此，防止了潤滑流體在與毛細管密封部分連續(xù)的(一個或多個)干燥區(qū)域表面上由于潤濕擴散而流動。
因為尤其是轉(zhuǎn)子單元的干燥區(qū)域表面由于轉(zhuǎn)子單元旋轉(zhuǎn)時的離心力而易于潤濕擴散，所以在所述轉(zhuǎn)子單元的干燥區(qū)域表面上有利地進行第四步驟，從而使疏油劑不會剝離。
在本發(fā)明的第二方面中，還有利地包括第七步驟，其中在所述定子單元和轉(zhuǎn)子單元的一個上形成毛細管密封部分處進行包括等離子照射和紫外線照射中至少一個的表面處理過程。
而且，由于構(gòu)成所述(一個或多個)干燥區(qū)域表面的(一個或多個)表面和構(gòu)成所述毛細管密封部分的表面彼此鄰接，因此第四步驟和第七步驟同時進行有助于進行高效率的制造工作。
上述表面處理過程提高了毛細管密封部分的潤滑流體保持能力，并且防止了疏油劑剝離，這些都能有效地防止?jié)櫥黧w泄漏。
還根據(jù)本發(fā)明的第二方面，有利地，構(gòu)成所述毛細管密封部分的定子單元表面和轉(zhuǎn)子單元表面中至少一個表面由樹脂材料形成。通過等離子照射或紫外線束照射容易使樹脂在表面激活，從而用樹脂材料構(gòu)成所述密封部分的(一個或多個)表面提高了該(一個或多個)表面和疏油劑之間的粘著力。
仍根據(jù)本發(fā)明第二方面，在所述軸承的定子單元側(cè)和轉(zhuǎn)子單元側(cè)中至少一個上的干燥區(qū)域表面可由金屬形成。在這種情況下的制造方法中，有利地，可以通過等離子照射和紫外線束照射中至少之一在金屬元件上更大程度地進行第四步驟中的表面處理過程?；诘入x子的清洗或使用紫外線束的清洗溶解了粘附在金屬表面上的油脂或其它塵垢，因此理想地適于清洗要求較高清潔度的軸承元件。通過第四步驟進行的清洗能夠使清潔過程和表面處理過程同時進行，這使得該制造方法具有極好的可操作性。
還根據(jù)本發(fā)明第二方面，可包括第十五步驟，其中在構(gòu)成所述微隙的定子單元表面和轉(zhuǎn)子單元表面中的至少一個表面上進行包括等離子照射和紫外線束照射的一組表面處理過程中的至少一種表面處理過程。
所述微隙的表面構(gòu)成流體動壓軸承的軸承表面。提高所述表面對于潤滑流體的潤濕性，這增強了軸承保持所述定子單元表面和轉(zhuǎn)子單元表面之間潤滑流體的能力。提高的表面間滑潤劑的保持能力有助于防止所述定子單元表面和轉(zhuǎn)子單元表面接觸，即使在軸承承受更強大的沖擊和振動的情況下也是如此。
可實施本發(fā)明第二方面的主軸電機的制造方法的主軸電機具有如下的結(jié)構(gòu)。即，所述主軸電機裝配有基座元件、固定在該基座元件上的定子單元、以及被支撐以相對于該定子單元旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子單元。所述基座元件為主軸電機的底板。在主軸電機是直流無刷電機的情況下，圍繞其纏繞有線圈的定子固定在所述基座元件或定子單元上。
定子單元限定了一外圓周表面。所述基座元件設(shè)有與所述定子單元外圓周表面的形狀相對應結(jié)構(gòu)的粘結(jié)表面。所述定子單元粘附地固定在基座元件上。
如上所述的本發(fā)明第三方面的主軸電機的制造方法包括如下第八到第十步驟。即，在第八步驟中，在所述定子單元的外圓周表面或所述基座元件的粘結(jié)表面中至少一個表面上進行包括等離子照射和紫外線束照射的一組表面處理過程中至少一種表面處理過程。在第九步驟中(其在第八步驟之后進行)，在所述定子單元的外圓周表面或所述基座元件的粘結(jié)表面中的至少一個表面上施加粘結(jié)劑。隨后，在第十步驟中，將所述定子單元插入所述基座元件中，同時使所述定子單元的外圓周表面裝配在所述基座元件的粘結(jié)表面上，從而使所述定子單元和所述基座元件通過粘結(jié)劑而粘結(jié)。此外在第十步驟中，所述粘結(jié)劑硬化，從而將所述定子單元固定在所述基座元件上。如何使所述粘結(jié)劑硬化的示例包括如果所述粘結(jié)劑為熱固性的，則對其加熱；如果所述粘結(jié)劑為厭氧型的，則將其與空氣隔離；如果所述粘結(jié)劑為紫外硬化的，則用紫外線束照射它；以及如果所述粘結(jié)劑為雙組分物系，則使其與硬化劑混合。
實施本發(fā)明的第三方面提高了通過粘結(jié)劑粘結(jié)的表面相對于有機物質(zhì)的潤濕性，因此提高了粘結(jié)劑和粘結(jié)表面之間的粘附性。這樣，當粘結(jié)劑固定時就提高了粘合強度。而且，所述表面相對于粘結(jié)劑的潤濕性提高的事實，使粘結(jié)劑能夠進入所述定子單元和基座元件之間的狹窄間隙中，以產(chǎn)生更強大的粘合強度。因此，可使主軸電機更堅固，尤其是抗干擾能力(例如，沖擊和振動)，這使電機的使用壽命更長。
還根據(jù)本發(fā)明的第三方面，有利地，所述定子單元的外圓周表面和所述底板的粘結(jié)表面中至少一個由樹脂材料形成。通過等離子照射或紫外線束照射容易使樹脂在表面處激活，因此使樹脂材料構(gòu)成所述定子單元/底板的(一個或多個)表面提高了該(一個或多個)表面和粘結(jié)劑之間的潤濕性。
仍根據(jù)本發(fā)明第三方面，所述定子單元的外圓周表面和所述底板的粘結(jié)表面中至少一個表面可由金屬形成。在這種情況下的制造方法中，有利地，可以通過等離子照射和紫外線束照射中至少之一在所述定子單元和底板上更大程度地進行第八步驟中的表面處理過程?；诘入x子的清洗或使用紫外線的清洗溶解了粘附在金屬表面上的油脂或其它塵垢，因此理想地適于清洗要求較高清潔度的主軸電機。通過第八步驟進行的清洗能夠使清潔過程和表面處理過程同時進行，這使得該制造方法具有極好的可操作性。
在利用通過本發(fā)明第一方面的制造方法制造的流體動壓軸承的主軸電機中，毛細管密封部分的性能優(yōu)越，并且提高該毛細管密封的性能有助于生產(chǎn)具有延長的使用壽命且抗沖擊的主軸電機。
另外，采用通過本發(fā)明第二方面的制造方法制造的流體動壓軸承的主軸電機，能夠使疏油劑所施加的表面保持穩(wěn)定的疏油性，這有助于通過防止?jié)櫥黧w的潤濕擴散而生產(chǎn)具有延長使用壽命的主軸電機。
采用通過本發(fā)明第三方面的制造方法制造的主軸電機的記錄盤驅(qū)動器，尤其提高了該電機的使用壽命和抗沖擊性能。在所述基座元件構(gòu)成盤驅(qū)動器殼體的情況下，能夠防止記錄盤驅(qū)動器的內(nèi)部/外部空氣溢出/進入，這就避免了污染物進入殼體的內(nèi)部。


從下面結(jié)合附圖的詳細描述中，本發(fā)明的上述和其它目的、特征、方面和優(yōu)點對本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言將變得顯而易見。
圖1為本發(fā)明的記錄盤驅(qū)動器的剖視圖；圖2為涉及本發(fā)明第一實施例的流體動壓軸承以及應用該軸承的主軸電機的剖視圖；圖3為涉及本發(fā)明第二實施例的流體動壓軸承以及應用該軸承的主軸電機的剖視圖；圖4為涉及本發(fā)明第三實施例的流體動壓軸承以及應用該軸承的主軸電機的剖視圖；以及圖5為顯示本發(fā)明的流體動壓軸承的關(guān)鍵特征的局部放大剖視圖，其中插入了毛細管密封部分的放大視圖。
具體實施例方式
下面將參照

實施本發(fā)明的方式。應該理解在這些實施例的說明中，當使用沒有特殊標記的表示方向的術(shù)語時，該術(shù)語表示在圖中所表示的方向；因此，這種注釋并不限制在實施本發(fā)明中的方向。
第一實施例在本實施例中，在旋轉(zhuǎn)盤形記錄介質(zhì)的主軸電機3中采用利用本發(fā)明的制造方法制造的流體動壓軸承。
硬盤驅(qū)動器參考圖1，該圖為顯示作為實施本發(fā)明的記錄盤驅(qū)動裝置的硬盤驅(qū)動器1的剖視圖。該硬盤驅(qū)動器1位于殼體11的內(nèi)部，其設(shè)有使記錄盤12旋轉(zhuǎn)的主軸電機3、從記錄盤12讀取信息和向記錄盤12寫信息的磁頭13、以及致動器單元14，該致動器單元14使磁頭13移動到記錄盤12之上的選定位置處。
主軸電機的結(jié)構(gòu)輪廓如圖2所示，主軸電機3設(shè)有轉(zhuǎn)子轂21，其具有承載表面，所述記錄盤12載于該承載表面上；安裝在轉(zhuǎn)子轂21上的環(huán)形轉(zhuǎn)子磁鐵32；用作基座元件的支座27；由多個線圈組成的定子31；以及流體動壓軸承2，其相對于支座27和定子31旋轉(zhuǎn)地支撐轉(zhuǎn)子轂21和轉(zhuǎn)子磁鐵32。定子31與轉(zhuǎn)子磁鐵32的內(nèi)圓周表面徑向相對地固定在支座27上。流體動壓軸承2一體地安裝在支座27中。應該注意，該支座27可與殼體11一體形成，以便構(gòu)成底板(基座元件)。
流體動壓軸承的結(jié)構(gòu)流體動壓軸承2設(shè)有固定在轉(zhuǎn)子轂21中的軸24；裝配在軸24上的套筒22；在套筒22的徑向外側(cè)上基本為杯狀的軸承殼體23，并且套筒22插入其中；以及密封襯套26，其安裝在套筒22的上側(cè)的位置處。轉(zhuǎn)子轂21和軸24構(gòu)成了轉(zhuǎn)子單元；而軸承殼體23、套筒22和密封襯套26構(gòu)成了定子單元。
軸24限定了一圓柱形外圓周表面。套筒22由燒結(jié)的多孔金屬形成，并且套筒22限定了與軸24的外圓周表面徑向相對的圓柱形內(nèi)圓周表面。套筒22的外圓周表面粘附地固定在軸承殼體23的內(nèi)圓周表面上。軸承殼體23由樹脂(例如，液晶聚合物)形成。
在軸24和套筒22之間徑向延伸且軸向延伸的間隙填充并保持有潤滑流體35。例如將酯基或聚(α-烯烴)基油用作潤滑流體35。應該注意的是，對于潤滑流體35，也可以采用根據(jù)所述潤滑流體如何表現(xiàn)而適當?shù)剡x擇并調(diào)整的油或者其它流體。
軸24的外圓周表面和套筒22的內(nèi)圓周表面的至少一部分徑向相對地間隔開幾個微米，其中就形成了徑向動壓軸承42。軸24鄰近其下側(cè)的端部凸緣化，形成徑向向外延伸的凸緣25，并且凸緣25的上表面和下表面與軸承殼體23的底面和套筒22的下端面軸向相對，其中分別構(gòu)成了推力動壓軸承43a和43b。
所述徑向動壓軸承42和推力動壓軸承43在壓力作用下相對于套筒22旋轉(zhuǎn)地支撐軸24和轉(zhuǎn)子轂21，該壓力是由于保持在旋轉(zhuǎn)軸24和與該軸相對的套筒22之間的間隙中的潤滑流體35的流速差而產(chǎn)生的。而且，在構(gòu)成徑向軸承的套筒22的內(nèi)圓周表面上形成有人字形的動壓凹槽(未示出)，當軸24相對于套筒22旋轉(zhuǎn)時，該凹槽在潤滑流體35上沿著這樣的方向施加泵送作用，即，使該流體聚集在徑向動壓軸承42的軸向拉伸部(axial stretch)中的方向。
現(xiàn)在對圖5進行描述，該圖為圖2的局部放大視圖，顯示了密封襯套26和軸24的關(guān)鍵特征。軸24的外圓周表面和密封襯套26的內(nèi)圓周表面之間的間距隨著間隔朝向上而張開。這里，軸承2設(shè)置成在密封襯套26的下端處，該間隔大約為20μm，而在密封襯套26的上端處，該間隔大約為300μm。在該間隔中，在潤滑流體35和外部大氣之間形成邊界面44，其構(gòu)成了毛細管密封41。邊界面44的位置取決于作用在潤滑流體35和外部大氣之間的界面上的表面張力的大小；該表面張力越大，邊界面44就保持得越穩(wěn)定。毛細管密封41的間隔大小以及在潤滑流體35和構(gòu)成毛細管密封部分41的表面之間的潤濕角θ1的大小極大地影響表面張力的強度。
制造方法制造流體動壓軸承2的方法如下。
制造和清洗即，首先分別制造/形成轉(zhuǎn)子轂21、套筒22、軸承殼體23、軸24、密封襯套26和基座元件27。之后，清洗這些元件。使用純凈水、溶劑、酸性/堿性溶液、表面活性劑等來進行清洗。
這里，可以通過紫外線束照射或等離子(例如，紫外光臭氧)清洗來進行清洗。使用紫外線或等離子進行清洗能夠高效地清除由于有機殘留而引起的塵垢。而且，可以結(jié)合使用基于液體或基于照射的清洗過程。
紫外線束照射套筒外圓周表面下面，使用紫外線束來照射套筒22的外圓周表面。紫外線束具有特殊的波長，例如使用汞燈時為365nm，而在使用低壓汞燈的情況下，波長為185nm、254nm；在采用雙分子激發(fā)態(tài)紫外燈(excimer lamp)的情況下，波長為126nm、146nm、172nm、222nm。為了使照射為僅在特定帶寬內(nèi)的紫外線，可根據(jù)需要對光進行過濾和分束，以提供專門的單一波長分量。照射時間大約為20秒。
隨后，用紫外線束照射軸承殼體23的外圓周表面。紫外線照射與在套筒22的外圓周表面上進行的相同。照射時間大約為20秒。
紫外線束照射密封襯套下面，用紫外線束照射密封襯套26的上端面和內(nèi)圓周表面。該紫外線束與照射套筒22的外圓周表面使用的相同，并且從同一光源輸出。照射時間大約為20秒，并且累積劑量設(shè)定為35kJ/m2。密封襯套26的上端面用作定子側(cè)疏油劑涂覆表面46a，而密封襯套26的內(nèi)圓周表面用作構(gòu)成毛細管密封41的定子側(cè)密封表面45a。
應該注意的是，這些紫外線照射操作能夠獲得有效的表面清洗。使用紫外線或等離子進行清洗，能夠高效清除由于有機殘留而引起的塵垢。
裝配下面，將軸24插入套筒22中，然后將套筒-軸組件插入軸承殼體23中。套筒22的外圓周表面和軸承殼體23的內(nèi)圓周表面彼此粘附地固定在一起。通過壓配將套筒22插入軸承殼體23中，這會有在套筒22中產(chǎn)生變形的危險，而粘結(jié)固定能夠使套筒22限定在軸承殼體23中，而不會使套筒22變形。而且，由于在裝配之前已經(jīng)使用紫外線照射套筒22的外圓周表面，因此所述粘結(jié)劑34容易粘結(jié)在套筒表面上，從而顯著地提高了套筒22和軸承殼體23之間的粘合強度。
隨后，將密封襯套26插入軸承殼體23中，并且粘附地固定在殼體的內(nèi)圓周表面上。軸24的與密封襯套26的內(nèi)圓周表面相對的部分用作構(gòu)成毛細管密封41的轉(zhuǎn)子側(cè)密封表面45b。
涂覆疏油劑33在軸承2的制造過程的下一階段，在位于軸24的密封表面45b的上側(cè)的轉(zhuǎn)子側(cè)疏油劑涂覆表面46b上涂覆疏油劑33。使用用于此目的的專用分配器來涂覆疏油劑33。在軸的疏油劑涂覆表面46b中形成用于標記疏油劑33涂覆位置的凹槽。
注入潤滑流體35接下來，通過在密封襯套26和軸24之間的間隙，將潤滑流體35注入在徑向動壓軸承42和推力動壓軸承43之間的間隙中。當裝配組件處于真空下時，潤滑流體35流進，從而隱藏(conceal)軸承殼體26和軸24之間的間隙；然后將裝配組件逐漸恢復到接近大氣壓力，從而使?jié)櫥黧w35進入并保持在構(gòu)成徑向和推力動壓軸承的間隙內(nèi)。潤滑流體35的注入量為使得所述間隙的內(nèi)部將充滿該潤滑流體35。
隨后，通過測量在潤滑流體35和外部大氣之間的邊界面44的高度，來檢查潤滑流體35是否適量。當潤滑流體35適量時，會在定子側(cè)密封表面45a和轉(zhuǎn)子側(cè)密封表面45b之間中形成邊界面44的位置。
通過上述方法，就完成了由套筒22、軸承殼體23、軸24、密封襯套26、以及保持在徑向流體動壓軸承45和推力流體動壓軸承43中的潤滑流體35組成的流體動壓軸承2。
安裝轉(zhuǎn)子轂通過將轉(zhuǎn)子轂21壓配在軸24的上端，就將其上安裝有轉(zhuǎn)子磁鐵32的轉(zhuǎn)子轂21安裝在軸24上。作為提高粘合強度的一種方法，以及為了防止元件變形，可以使用粘結(jié)劑將所述轂固定在所述軸上。
將軸承單元固定在基座上接下來，將軸承殼體23粘附地固定在其上已安裝有定子31的支座27上。在支座27中形成有結(jié)構(gòu)基本與軸承殼體23的外圓周表面相同的安裝孔27a。在粘結(jié)劑34的介入下，軸承殼體23的外圓周表面沿著安裝孔27a的內(nèi)圓周表面貼近(snug)，從而該殼體圓周表面粘附地固定在該內(nèi)圓周表面上。由于在將殼體固定在支座中之前已經(jīng)使用紫外線照射了軸承殼體23的外圓周表面，因此粘結(jié)劑34容易粘著在殼體表面上，從而顯著地提高了在軸承殼體23的外圓周表面和支座27中的安裝孔27a之間的粘合強度。
通過這些步驟來制造主軸電機3。
實施例效果/結(jié)果將在下面給出在根據(jù)本發(fā)明制造方法制造的第一實施例中的流體動壓軸承2的毛細管密封部分41中的潤濕角的變化。當使用酯基油作為潤滑流體35時，其在紫外線照射之前相對于密封襯套26的潤濕角為大約60°。在使用具有185nm的主波長的紫外線束照射20秒之后，潤濕角變成20°～30°。十分明顯的是，潤濕角顯著降低。而且，即使在紫外線照射七天之后，該潤濕角仍保持基本不變。
在制造流體動壓軸承中進行紫外線照射操作之前，疏油劑33極易脫落，從而必須進行識別涂覆后剝落并再次涂覆疏油劑的制造操作。相反，疏油劑33對于由具有185nm主波長的紫外線束照射20秒的密封表面的粘附性極好，因此在涂覆后的檢查中，幾乎沒有物品需要再次涂覆疏油劑。因此，使得實際上不需要再次涂覆工作。
軸承殼體23的直徑大約為10mm，而軸承殼體23和支座27中的安裝孔之間配合裝配的長度為大約5mm。到目前為止，已經(jīng)使用丙稀基厭氧粘結(jié)劑、紫外線硬化粘結(jié)劑以及環(huán)氧基熱硬化粘結(jié)劑作為粘結(jié)劑34。在制造流體動壓軸承中進行紫外照射操作之前，從支座27拉出流體動壓軸承2的軸承殼體23所需的力為30-100kgf。相反，當在相同條件下進行粘結(jié)操作時，在使用具有185nm主波長的紫外線束對所述殼體的粘結(jié)表面照射20秒之后，從支座27拉出流體動壓軸承2的軸承殼體23所需的力顯著地提高為60-120kgf。此外，由于粘結(jié)劑容易粘結(jié)在元件表面上，因此所述粘結(jié)劑沿著結(jié)合表面均勻分布。因此，在粘結(jié)劑和元件之間不易形成裂口，從而可更加防止污染物從外部經(jīng)過這些裂口而侵入記錄盤驅(qū)動器的內(nèi)部。
第二實施例使用如圖3所示的主軸電機103來替換第一實施例中的主軸電機3。記錄盤12由主軸電機103的轉(zhuǎn)子轂121承載并旋轉(zhuǎn)。
以與第一實施例中相同的方式，該主軸電機103由流體動壓軸承102、定子32以及轉(zhuǎn)子磁鐵132組成。同樣，在主軸電機103中，構(gòu)成用于記錄盤驅(qū)動器1的殼體11的一部分的底板127用作基座元件。
該流體動壓軸承102包括柱狀軸124，其安裝在轉(zhuǎn)子轂121的旋轉(zhuǎn)中心部分中；套筒122，其具有與軸124的外圓周表面徑向相對的內(nèi)圓周表面；以及轉(zhuǎn)子轂121，其具有與套筒122的上端面軸向相對的下側(cè)表面。軸124由淬火的馬氏體不銹鋼制成，而套筒122由易切削不銹鋼構(gòu)成。圍繞套筒122的圓柱形壁狀構(gòu)件126安裝在轉(zhuǎn)子轂121上。圓柱形壁狀構(gòu)件126的內(nèi)圓周表面126a與套筒122的外圓周表面徑向相對。轉(zhuǎn)子轂121、軸124以及轉(zhuǎn)子磁鐵132構(gòu)成了主軸電機103的轉(zhuǎn)子單元。同時，套筒122、定子131以及底板127形成了主軸電機103的定子單元。
使軸124的外圓周表面和套筒122的內(nèi)圓周表面之間的直徑間隙的至少一部分測量為幾個微米。同樣，使套筒122的上端面和轉(zhuǎn)子轂121的下側(cè)表面之間的軸向間隙的一部分測量為幾個微米到大約20微米。潤滑流體35填充并保持在這些間隙中在直徑間隙中，潤滑流體135被保持以形成徑向動壓軸承142；而在軸向間隙中，潤滑流體35被保持以形成推力動壓軸承143。此外，圓柱形壁狀構(gòu)件126的內(nèi)圓周表面126a為轉(zhuǎn)子側(cè)密封表面145a。沿著套筒122的外圓周表面，與轉(zhuǎn)子側(cè)密封表面145a相對的部分為定子側(cè)密封表面145b。轉(zhuǎn)子側(cè)密封表面145a和定子側(cè)密封表面145b之間的直徑間隙從該間隙的上端到下端張開。該間隙構(gòu)成了毛細管密封部分141。在構(gòu)成毛細管密封部分141的間隙中，形成在潤滑流體135和外部大氣之間的邊界面144。
制造上述流體動壓軸承的方法如下。
即，與第一實施例中的情況一樣，制造/形成各元件，然后清洗各元件。
接著，在套筒122的外圓周表面上進行等離子表面處理過程。在本實施例中，使用臭氧清洗作為等離子表面處理過程。通過使用紫外線束使氧氣變成臭氧并且用產(chǎn)生的臭氧等離子照射套筒122的外圓周表面來進行臭氧清洗。應該知道，能夠在該表面處理過程的同時將粘著在元件表面上的油脂和其它有機殘留物清除。
這里，可以在轉(zhuǎn)子轂121上的圓柱形壁狀構(gòu)件126的內(nèi)圓周表面126a上以及在底板127中安裝孔的鄰近進行等離子表面處理過程。
接下來，將軸124安裝在轉(zhuǎn)子轂121中。然后，將套筒122裝配在軸124上，并且將圓柱形壁狀構(gòu)件126固定在轉(zhuǎn)子轂121的底側(cè)表面上。因此，圓柱形壁狀構(gòu)件126用于鎖定轉(zhuǎn)子轂121，防止其從套筒122中出來。然后，用端板125來覆蓋套筒122的下端(底部)。因此，套筒122的內(nèi)部制成密封空間。
隨后，沿著套筒122的外圓周側(cè)面，在位于定子側(cè)密封表面145b的下側(cè)的區(qū)域中，圍繞該圓周涂覆疏油劑33。套筒122的涂覆有疏油劑33的外圓周表面用作定子側(cè)疏油劑涂覆表面146a。接著，也在圓柱形壁狀構(gòu)件126的內(nèi)圓周表面126a的下部涂覆疏油劑33。圓柱形壁狀構(gòu)件126的涂覆有疏油劑33的內(nèi)圓周表面126a用作轉(zhuǎn)子側(cè)疏油劑涂覆表面146b。然后，通過將流體動壓軸承102加熱到大約100℃而繼續(xù)該軸承制造方法，以使疏油劑33粘著在疏油劑涂覆表面146上。關(guān)于等離子表面處理的功效，應該注意的是，即使將軸承加熱達到120℃，也不會使最終的效果減弱。
此時，潤滑流體35通過毛細管密封部分141，從而使徑向動壓軸承142和推力動壓軸承143的間隙填充有該流體。在真空環(huán)境下，隨著套筒122向上而轉(zhuǎn)子轂121向下，潤滑流體35流進毛細管密封部分141開口中。潤滑流體的容積為這樣的量，即根據(jù)該容積量將在由毛細管密封部分141限定的限度內(nèi)形成流體-大氣邊界面。在軸承填充有潤滑流體35之后，檢查/檢驗邊界面是否形成在正確位置。之后，對軸承環(huán)境再加壓以逐漸達到大氣壓力，從而使間隙充滿潤滑流體35。在這里，潤滑流體35通過作用在間隙中的毛細力而穩(wěn)定地保持在軸承間隙中。
接著，將流體動壓軸承102粘附地固定在底板127上。在底板127中形成一圓形安裝孔，該安裝孔與套筒122的外圓周表面緊密配合。將粘結(jié)劑34涂覆在該安裝孔的內(nèi)圓周表面上，然后將套筒122插入其中。
定子131預先安裝在底板127上，而轉(zhuǎn)子磁鐵132預先安裝在轉(zhuǎn)子轂121上。以前述的方式，就完成了主軸電機103。
可以確定的是，在本實施例中，對毛細管密封部分141中的潤滑流體35的潤濕角的影響與當軸承元件進行紫外線照射時基本相同，在該紫外線照射中，使用了紫外線束和相同的潤滑劑。
也可以確定使疏油劑35的沉積物易于剝離的相同效果。特別地，在涂覆疏油劑之后對軸承加熱中，使用抹布以100gf的力將已經(jīng)用等離子進行表面處理的疏油劑涂覆表面146b擦洗幾十次，然而卻沒有疏油劑粘在抹布上。從這些驗證中可以知道，通過在經(jīng)過基于等離子的表面處理過程的定子側(cè)疏油劑涂覆表面146a上涂覆疏油劑33，疏油劑33的粘附性得到極大的提高。
而且，也提高了底板127和套筒122之間的粘合強度，與其中未進行等離子處理的表面相比為其粘合強度的至少兩倍多。因此，顯著地提高了組件的抗振動或其它沖擊的耐久性。
第三實施例下面參考圖4，該圖為表示在本發(fā)明又一實施例中主軸電機203和流體動壓軸承202的視圖。
圖4顯示出流體動壓軸承202，其中軸224固定在支座227中。該流體動壓軸承202包括套筒222，其安裝在主軸電機203的轉(zhuǎn)子轂221中；軸224，其插在套筒222中；以及凸緣225，其安裝在軸224的上端部分上。套筒222和軸224之間的間隙填充并保持有潤滑流體35。徑向動壓軸承242形成于軸224的外圓周表面和套筒222的內(nèi)圓周表面之間。而且，推力動壓軸承243a和243b形成于凸緣225的頂部和底部表面與套筒222的與該頂部/底部表面軸向相對的部分之間。
在該流體動壓軸承202中，套筒222的外圓周表面和套筒222的下端面經(jīng)受等離子表面處理過程。應該知道，也可以用紫外線束對這些區(qū)域進行照射。該表面處理步驟可以在裝配流體動壓軸承202之前或之后。
在套筒222的下端面涂覆有疏油劑33，之后對該表面進行加熱以便獲得轉(zhuǎn)子側(cè)疏油劑涂覆表面246a。
接著，在所述間隙中注入潤滑流體35，通過該間隙形成徑向動壓軸承242和推力動壓軸承243。潤滑流體35的注入方法與第一實施例的方法相同。
套筒222的外圓周表面隨著粘接劑34的介入而插入設(shè)在支座227中的安裝孔227a中。
第三實施例的流體動壓軸承202由于其穩(wěn)定地保持潤滑流體35而具有較長的使用壽命；其中，抑制了潤滑流體35由于沖擊作用而泄漏。此外，還在主軸電機203中，支座227和流體動壓軸承202之間的粘合強度較強，這使得電機承受沖擊的能力增強。
應該知道，本發(fā)明并不只限于所述實施例中提出的范圍，這是因為可在不脫離本發(fā)明的本質(zhì)的范圍內(nèi)進行各種修改。例如，無論通過進行哪一種表面處理(通過紫外線束照射進行的表面處理過程，或者等離子表面處理過程)都能夠獲得基本相同的效果。基于等離子的表面處理過程包括各種清洗裝置，例如用于離子清洗、臭氧清洗或者紫外臭氧清洗的清洗裝置，以及通過帶電粒子束和高能射頻照射的照射裝置。
此外，迄今為止已經(jīng)采用了各種結(jié)構(gòu)的流體動壓軸承，本發(fā)明可適用于設(shè)有毛細管密封的流體動壓軸承。同樣，本發(fā)明可適用于其中流體動壓軸承和其它元件通過粘接劑而結(jié)合的主軸電機，而不用考慮電機的形式或軸承的形式如何。
其它修改包括，可以根據(jù)使用和設(shè)計來改變粘結(jié)劑類型、疏油劑類型、潤滑劑類型、以及構(gòu)成流體動壓軸承和主軸電機的元件的材料和物質(zhì)。同樣，本發(fā)明的記錄盤驅(qū)動器并不必限于硬盤驅(qū)動器；本發(fā)明可應用于各種類型的記錄盤驅(qū)動器，例如可移動盤驅(qū)動器、光盤驅(qū)動器以及磁光盤驅(qū)動器。而且，本發(fā)明的流體動壓軸承的制造方法可以用于制造這樣的軸承，該軸承用于以高速旋轉(zhuǎn)并且必需高旋轉(zhuǎn)精度的電機，例如用于多面境的電機和風扇電機。
權(quán)利要求
1.一種流體動壓軸承的制造方法，該流體動壓軸承設(shè)有定子單元；可相對于該定子單元旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子單元；由該定子單元的表面和與該定子單元表面相對的轉(zhuǎn)子單元的表面構(gòu)成的間隙；動壓軸承機構(gòu)，其由形成在構(gòu)成所述間隙的定子單元表面上的定子側(cè)軸承表面、形成在構(gòu)成所述間隙的轉(zhuǎn)子單元表面上的轉(zhuǎn)子側(cè)軸承表面、以及填充一微隙的潤滑流體組成，所述轉(zhuǎn)子側(cè)軸承表面橫過所述微隙與所述定子側(cè)軸承表面相對；以及毛細管密封部分，其構(gòu)成所述間隙的一部分且與所述微隙相通，并且在潤滑流體和外部大氣之間形成的邊界面位于該毛細管密封部分中；所述流體動壓軸承的制造方法包括第一步驟，在構(gòu)成所述毛細管密封部分的所述定子單元表面和轉(zhuǎn)子單元表面中至少一個表面上，進行包括等離子照射和紫外線束照射的一組表面處理過程中的至少一種表面處理過程；以及第二步驟，在所述第一步驟之后，向所述微隙中注入一定量的潤滑流體，通過該數(shù)量的潤滑流體在所述毛細管密封部分中形成所述邊界面。
2.如權(quán)利要求1所述的流體動壓軸承的制造方法，其特征在于，所述第二步驟中潤滑流體的注入通過所述毛細管密封部分來實現(xiàn)。
3.一種流體動壓軸承的制造方法，該流體動壓軸承設(shè)有定子單元；可相對于該定子單元自由旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子單元；由該定子單元的表面和與該定子單元表面相對的轉(zhuǎn)子單元的表面構(gòu)成的間隙；動壓軸承機構(gòu)，其由形成于構(gòu)成所述間隙的定子單元表面上的定子側(cè)軸承表面、構(gòu)成所述間隙的轉(zhuǎn)子單元表面上的轉(zhuǎn)子側(cè)軸承表面、以及填充一微隙的潤滑流體組成，所述轉(zhuǎn)子側(cè)軸承表面橫過所述微隙與所述定子側(cè)軸承表面相對；毛細管密封部分，其構(gòu)成所述間隙一部分且與所述微隙相通，并且在所述潤滑流體和外部大氣之間形成的邊界面位于該毛細管密封部分中；以及位于所述毛細管密封表面附近的干燥區(qū)域表面，其形成于分別在所述定子單元表面和轉(zhuǎn)子單元表面上的所述邊界面的外部大氣側(cè)；所述流體動壓軸承的制造方法包括第四步驟，在所述干燥區(qū)域表面上進行包括等離子照射和紫外線束照射的一組表面處理過程中的至少一種表面處理過程；第五步驟，在第四步驟之后，將疏油劑涂覆在所述干燥區(qū)域表面上；以及第六步驟，在第五步驟之后，向所述微隙中注入一定量的潤滑流體，通過該數(shù)量的潤滑流體在所述毛細管密封部分中形成所述邊界面。
4.如權(quán)利要求3所述的流體動壓軸承的制造方法，其特征在于，還包括第七步驟，該步驟與所述第四步驟同時或不同時、并在所述第六步驟之前進行，在該步驟中，在構(gòu)成所述毛細管密封部分的所述定子單元表面和轉(zhuǎn)子單元表面中的至少一個表面上，進行包括等離子照射和紫外線照射的一組表面處理過程中的至少一種表面處理過程。
5.一種主軸電機的制造方法，該主軸電機設(shè)有定子單元；相對于該定子單元自由轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)子單元；由該定子單元的表面和與該定子單元表面相對的轉(zhuǎn)子單元的表面構(gòu)成的間隙；以及動壓軸承機構(gòu)，其由形成在構(gòu)成所述間隙的定子單元表面上的定子側(cè)軸承表面、在構(gòu)成所述間隙的轉(zhuǎn)子單元表面上的轉(zhuǎn)子側(cè)軸承表面、以及填充一微隙的潤滑流體組成，所述轉(zhuǎn)子側(cè)軸承表面橫過所述微隙與定子側(cè)軸承表面相對；其中，所述定子單元、轉(zhuǎn)子單元、間隙以及動壓軸承機構(gòu)構(gòu)成了流體動壓軸承；并且還設(shè)有具有粘結(jié)表面的基座元件，所述定子單元沿著該粘結(jié)表面粘附地固定在所述基座元件中，其中所述定子單元外圓周表面與該粘結(jié)表面相對；所述主軸電機的制造方法包括第八步驟，在所述基座元件的粘結(jié)表面和與該粘結(jié)表面相對的定子單元的外圓周表面中的至少一個表面上，進行包括等離子照射和紫外線照射的一組表面處理過程中的至少一種表面處理過程；第九步驟，在所述第八步驟之后，在所述基座元件的粘結(jié)表面和與該粘結(jié)表面相對的定子單元的外圓周表面中的至少一個表面上涂覆粘結(jié)劑；以及第十步驟，在所述第九步驟之后，將所述定子單元的外圓周表面粘著在所述基座元件的粘結(jié)表面上，以將所述定子單元固定在所述基座元件中。
6.如權(quán)利要求1所述的流體動壓軸承的制造方法，其特征在于，構(gòu)成所述流體動壓軸承的毛細管密封部分的定子單元表面和轉(zhuǎn)子單元表面中的至少一個表面由樹脂材料形成。
7.如權(quán)利要求3所述的流體動壓軸承的制造方法，其特征在于，構(gòu)成流體動壓軸承中所述干燥區(qū)域表面的所述定子單元表面和轉(zhuǎn)子單元表面中的至少一個表面由樹脂材料形成。
8.如權(quán)利要求5所述的主軸電機的制造方法，其特征在于，所述定子單元的外圓周表面和所述基座元件的粘結(jié)表面中的至少一個表面由樹脂材料形成。
9.如權(quán)利要求1所述的流體動壓軸承的制造方法，其特征在于構(gòu)成所述流體動壓軸承的定子單元和轉(zhuǎn)子單元的元件中的至少一個是由金屬形成的金屬元件；并且在所述第一步驟中，通過包括等離子照射和紫外線束照射中之一的表面處理過程對所述金屬元件進行表面清洗。
10.如權(quán)利要求3所述的流體動壓軸承的制造方法，其特征在于構(gòu)成所述流體動壓軸承的定子單元和轉(zhuǎn)子單元的元件中的至少一個是由金屬形成的金屬元件；并且在所述第四步驟中，通過包括等離子照射和紫外線束照射中之一的表面處理過程對所述金屬元件進行表面清洗。
11.如權(quán)利要求5所述的主軸電機的制造方法，其特征在于構(gòu)成所述定子單元的外圓周表面和所述基座元件的粘結(jié)表面的主軸電機元件中的至少一個為由金屬形成的金屬元件；并且在所述第八步驟中，通過包括等離子照射和紫外線束照射中之一的表面處理過程對所述金屬元件進行表面清洗。
12.如權(quán)利要求1所述的流體動壓軸承的制造方法，其特征在于，還包括第十四步驟，該步驟與所述第一步驟同時或不同時、并在所述第三步驟之前進行，在該步驟中，在構(gòu)成所述微隙的所述定子單元表面和轉(zhuǎn)子單元表面中的至少一個表面上，進行包括等離子照射和紫外線束照射的一組表面處理過程中的至少一種表面處理過程。
13.如權(quán)利要求3所述的流體動壓軸承的制造方法，其特征在于，還包括第十五步驟，該步驟與所述第四步驟同時或不同時、并在所述第六步驟之前進行，在該步驟中，在構(gòu)成所述微隙的所述定子單元表面和轉(zhuǎn)子單元表面中的至少一個表面上，進行包括等離子照射和紫外線束照射的一組表面處理過程中的至少一種表面處理過程。
14.一種主軸電機，包括流體動壓軸承，其由如權(quán)利要求1所述的流體動壓軸承的制造方法制成；安裝在所述轉(zhuǎn)子單元上的轉(zhuǎn)子轂；固定在所述轉(zhuǎn)子單元上的轉(zhuǎn)子磁鐵；固定在所述定子單元上的基座元件；以及定子，其固定在所述定子單元或所述基座元件上，并且與所述轉(zhuǎn)子磁鐵徑向相對；其中，所述主軸電機使所述轉(zhuǎn)子單元相對于所述定子單元旋轉(zhuǎn)。
15.一種主軸電機，包括流體動壓軸承，其由如權(quán)利要求3所述的流體動壓軸承的制造方法制成；安裝在所述轉(zhuǎn)子單元上的轉(zhuǎn)子轂；固定在所述轉(zhuǎn)子單元上的轉(zhuǎn)子磁鐵；固定在所述定子單元上的基座元件；以及定子，其固定在所述定子單元或所述基座元件上，并且與所述轉(zhuǎn)子磁鐵徑向相對；其中，所述主軸電機使所述轉(zhuǎn)子單元相對于所述定子單元旋轉(zhuǎn)。
16.一種記錄盤驅(qū)動器，包括主軸電機，其由如權(quán)利要求5所述的主軸電機的制造方法制成；磁頭，用于從由所述主軸電機旋轉(zhuǎn)的盤形記錄介質(zhì)上讀取信息；殼體，用于容納所述主軸電機和所述磁頭。
17.一種記錄盤驅(qū)動器，包括如權(quán)利要求15所述的主軸電機；磁頭，用于從由所述主軸電機旋轉(zhuǎn)的盤形記錄介質(zhì)上讀取信息；殼體，用于容納所述主軸電機和所述磁頭。
18.一種記錄盤驅(qū)動器，包括如權(quán)利要求16所述的主軸電機；磁頭，用于從由所述主軸電機旋轉(zhuǎn)的盤形記錄介質(zhì)上讀取信息；殼體，用于容納所述主軸電機和所述磁頭。
全文摘要
在軸頸安裝有流體動壓軸承的主軸電機中，尤其在應用于經(jīng)受振動和沖擊的記錄盤驅(qū)動器中的主軸電機中，電機轉(zhuǎn)子側(cè)軸承表面和定子側(cè)軸承表面之間形成的毛細管密封的密封性能、在鄰近毛細管密封部分的轉(zhuǎn)子側(cè)/定子側(cè)干燥區(qū)域表面上的疏油劑的粘附性、以及電機元件間的粘合強度都得到了提高。構(gòu)成密封部分的轉(zhuǎn)子側(cè)/定子側(cè)表面在預定條件下暴露于等離子或紫外線下，以提高表面對于軸承流體的潤濕性。干燥區(qū)域表面受到同樣照射，以提高其對于疏油劑的潤濕性。粘附結(jié)合的元件表面受到同樣照射，以提高其對于粘結(jié)劑的潤濕性，從而提高粘合強度。暴露表面可由合成樹脂構(gòu)成，以進一步提高其潤濕性，或由金屬制成，以從等離子/紫外線照射中獲得清洗功效。
文檔編號F16C33/14GK1704202SQ20051007305
公開日2005年12月7日 申請日期2005年5月27日 優(yōu)先權(quán)日2004年6月1日
發(fā)明者五明正人, 玉岡健人 申請人:日本電產(chǎn)株式會社