專利名稱：隔振裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種支撐裝置，尤其涉及一種具有隔振功能的支撐裝置。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)代半導(dǎo)體行業(yè)的自動(dòng)化和半自動(dòng)化生產(chǎn)、平板印刷設(shè)備、光學(xué)領(lǐng)域以及電子 設(shè)備行業(yè)等工業(yè)成產(chǎn)以及實(shí)驗(yàn)過程中，都需要高穩(wěn)定度的防振技術(shù)，振動(dòng)帶來的危害無疑 是致命的。然而， 一方面，我們腳下站立的這塊地板卻在無時(shí)無刻的經(jīng)受外界的各種干擾， 如地振、附近來往的車輛、沉重的正在運(yùn)轉(zhuǎn)的機(jī)械、行走中的工作人員以及其他能產(chǎn)生振動(dòng) 的動(dòng)作都會(huì)給地板帶來或大或小的振動(dòng)，對防振動(dòng)要求不高的物質(zhì)來說是沒有任何的影 響，但是對防振動(dòng)要求較高的物質(zhì)來說確是有破壞性的，比如半導(dǎo)體工業(yè)中的光刻工藝、光 柵制作以及高分辨率電子顯微鏡來說，這種干擾就已經(jīng)足夠具有致命的破壞性；另一方面， 由于設(shè)備自身的內(nèi)部運(yùn)轉(zhuǎn)部件在加速和減速時(shí)會(huì)產(chǎn)生高動(dòng)態(tài)力，從而造成機(jī)構(gòu)性的振動(dòng)現(xiàn) 象，這個(gè)振動(dòng)現(xiàn)象的強(qiáng)弱與加速和減速時(shí)候的迅速程度有關(guān)，因此，由于振動(dòng)現(xiàn)象的存在， 促使了設(shè)備在進(jìn)行敏感運(yùn)行前的的延遲現(xiàn)象。 為了盡量減小甚至避免這種振動(dòng)對工業(yè)生產(chǎn)帶來的破壞和對設(shè)備本身帶來的危 害，多年來一直在試驗(yàn)各種各樣的防振措施，在對防振要求較高的領(lǐng)域中， 一種較為常見的 方法是一種由海綿橡皮、橡膠橡皮、纖維板以及紙張為主要材料制作而成的防振裝置，用于 校正器、壓光機(jī)、壓榨、刮刀、網(wǎng)部等多個(gè)部位進(jìn)行行程調(diào)節(jié)和張力控制，橡膠空氣彈簧成為 舉升設(shè)備中常見的舉升元件，然而，這種裝置的缺點(diǎn)是，不能調(diào)整被支撐物的水平固有頻率 和水平阻尼，且還會(huì)被支撐物出現(xiàn)延遲現(xiàn)象。

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種能調(diào)整被支撐物的水平固有頻率和水平阻尼且使 被支撐物沒有延遲的隔振裝置。 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種隔振裝置，所述隔振裝置包括底架、隔振 平臺(tái)、機(jī)座、主動(dòng)電控氣動(dòng)系統(tǒng)及隔振器，所述底架具有水平安裝面，所述隔振平臺(tái)具有水 平支撐面，所述機(jī)座的一端與所述底架的水平安裝面連接，所述隔振器的一端可伸縮地與 所述機(jī)座的另一端連接，所述隔振器的另一端呈水平狀且與所述隔振平臺(tái)的水平支撐面相 抵觸，所述主動(dòng)電控氣動(dòng)系統(tǒng)與所述隔振器連接，所述主動(dòng)電控氣動(dòng)系統(tǒng)控制所述隔振器 相對于所述機(jī)座的伸縮，所述隔振平臺(tái)由多個(gè)大理石板連接而成。 較佳地，所述隔振裝置還包括支撐法蘭，所述支撐法蘭的一端與所述底架的水平 安裝面連接，所述支撐法蘭的另一端呈水平狀。設(shè)置所述支撐法蘭的目的在于移動(dòng)或者運(yùn) 輸所述隔振裝置的時(shí)，利用支撐法蘭呈水平狀的一端來承載隔振平臺(tái)的水平支撐面，從而 達(dá)到支撐所述隔振平臺(tái)的目的；另，由于所述支撐法蘭的另一端成水平狀，因此能與所述隔 振平臺(tái)的水平支撐面很好地抵觸，此外，本實(shí)用新型隔振裝置不工作的時(shí)候，由所述支撐法 蘭來支撐所述隔振平臺(tái)，減短了隔振器的工作時(shí)間，因此延長了隔振器的使用壽命。[0007] 較佳地，所述隔振器包括薄膜空氣彈簧及水平空氣彈簧。薄膜空氣彈簧阻尼效果 高，能夠始終保持所述隔振平臺(tái)以及放置在本實(shí)用新型隔振裝置上的被支撐物的水平，且 具有自動(dòng)進(jìn)行水平調(diào)整的功能；水平空氣彈簧可調(diào)整水平固有平率以及水平阻尼，沒有粘 滑和滯后現(xiàn)象。 較佳地，所述主動(dòng)電控系統(tǒng)提供六個(gè)自由度的控制，每個(gè)自由度由可編程邏輯控 制器、現(xiàn)場控制總線、一控制器以及一高速氣動(dòng)伺服閥進(jìn)行控制。六個(gè)自由度的控制足以確 定與所述主動(dòng)電控系統(tǒng)相連的所述隔振器的空間位置，因此控制精度高，而設(shè)置所述控制 總線、所述控制器以及所述高速氣動(dòng)伺服閥則能夠及時(shí)地對隔振器因外界振動(dòng)而引起的位 置變化作出應(yīng)對措施，靈敏度高。 較佳地，所述底架包括方鋼和鋼板，所述方鋼焊接于所述鋼板下表面上，所述鋼板 上表面為水平安裝面。所述方鋼的質(zhì)量大穩(wěn)定性好，且機(jī)械承受能力強(qiáng)，所述鋼板設(shè)置成水 平安裝面能夠平穩(wěn)地安裝所述機(jī)座以及所述支撐法蘭，為本實(shí)用新型隔振裝置提供了一個(gè) 很好的安裝平臺(tái)。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型隔振裝置的底架具有水平安裝面，因此所述鋼板設(shè) 置成水平安裝面能夠平穩(wěn)地安裝所述機(jī)座以及所述支撐法蘭，為本實(shí)用新型隔振裝置提供 了一個(gè)很好的安裝平臺(tái)。所述隔振器的一端可伸縮地與所述機(jī)座的另一端連接，所述隔振 器的另一端呈水平狀且與所述隔振平臺(tái)的水平支撐面相抵觸，所述主動(dòng)電控氣動(dòng)系統(tǒng)與所 述隔振器連接，所述主動(dòng)電控氣動(dòng)系統(tǒng)控制所述隔振器相對于所述機(jī)座的伸縮。因此足以 控制與所述主動(dòng)電控系統(tǒng)相連的所述隔振器的空間位置，在所述底架受到外界振動(dòng)時(shí)，由 于所述隔振器相對所述機(jī)座的伸縮，以保持與所述隔振器相抵觸的水平支撐平臺(tái)保持空間 位置的不變。本實(shí)用新型隔振裝置的隔振器能夠?qū)λ焦逃蓄l率和水平阻尼進(jìn)行調(diào)整，沒 有延遲現(xiàn)象，而且隔振平臺(tái)是多個(gè)由大理石組成，大理石的自身慣性大，熱膨脹系數(shù)小，有 利于防振。 通過以下的描述并結(jié)合附圖，本實(shí)用新型將變得更加清晰，這些附圖用于解釋本 實(shí)用新型的實(shí)施例。

圖1為本實(shí)用新型隔振裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2為圖1的分解示意圖。
具體實(shí)施方式現(xiàn)在參考附圖描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，附圖中類似的元件標(biāo)號代表類似的元 件。如上所述，如圖1和圖2所示，本實(shí)用新型提供的隔振裝置100包括底架3、隔振平臺(tái) 1、機(jī)座2、主動(dòng)電控氣動(dòng)系統(tǒng)及隔振器5，所述底架3具有水平安裝面31b，所述隔振平臺(tái)1 具有水平支撐面IO，所述機(jī)座2的一端2a與所述底架3的水平安裝面31b連接，所述隔振 器5的一端5a可伸縮地與所述機(jī)座2的另一端2b連接，所述隔振器5的另一端5b呈水平 狀且與所述隔振平臺(tái)1的水平支撐面10相抵觸，所述主動(dòng)電控氣動(dòng)系統(tǒng)與所述隔振器5連 接，所述主動(dòng)電控氣動(dòng)系統(tǒng)控制所述隔振器5相對于所述機(jī)座2的伸縮，具體地，所述主動(dòng) 電控系統(tǒng)提供六個(gè)自由度的控制，每個(gè)自由度由可編程邏輯控制器、現(xiàn)場控制總線、一控制3/3頁
器以及一高速氣動(dòng)伺服閥進(jìn)行控制。由于六個(gè)自由度的控制足以確定與所述主動(dòng)電控系統(tǒng) 相連的所述隔振器5的空間位置，因此控制精度高，而設(shè)置所述控制總線、所述控制器以及 所述高速氣動(dòng)伺服閥則能夠及時(shí)地對隔振器因外界振動(dòng)而引起的位置變化作出應(yīng)對措施， 使得本實(shí)用新型隔振裝置100靈敏度高。具體地，本實(shí)用新型隔振裝置100還包括支撐法 蘭4，所述支撐法蘭4的一端4a與所述底架3的水平安裝面31b連接，所述支撐法蘭4的另 一端4b呈水平狀，具體地，所述支撐法蘭4與所述底架3的水平安裝面31b分別具有相對 應(yīng)的安裝孔4c、31c，通過安裝孔4c、31c將所述支撐法蘭固定于所述水平安裝面31b上；設(shè) 置所述支撐法蘭4的目的在于移動(dòng)或者運(yùn)輸所述隔振裝置100的時(shí)候，利用支撐法蘭4呈 水平狀的一端4b來承載隔振平臺(tái)1的水平支撐面IO，從而達(dá)到支撐所述隔振平臺(tái)1的目 的；另，由于所述支撐法蘭4的另一端4b成水平狀，因此能與所述隔振平臺(tái)1的水平支撐面 10很好地抵觸，此外，本實(shí)用新型隔振裝置100不工作的時(shí)，由所述支撐法蘭4來支撐所述 隔振平臺(tái)1，減短了隔振器5的工作時(shí)間，因此延長了隔振器5的使用壽命；所述隔振平臺(tái)1 由多個(gè)大理石板11連接而成，大理石11的自身慣性大，熱膨脹系數(shù)小，有利于防防振。 較佳者，所述隔振器5包括薄膜空氣彈簧及水平空氣彈簧。薄膜空氣彈簧阻尼效 果高，能夠始終保持所述隔振平臺(tái)1以及放置在本實(shí)用新型隔振裝置100上的被支撐物的 水平，且具有自動(dòng)進(jìn)行水平調(diào)整的功能；水平空氣彈簧可調(diào)整被支撐物的水平固有頻率和 水平阻尼，且使被支撐物沒有粘滑和滯后現(xiàn)象發(fā)生。 較佳者，如圖1和圖2所示，所述底架3包括方鋼30和鋼板31，所述方鋼3焊接于 所述鋼板31下表面31a上，所述鋼板31上表面為水平安裝面31b。所述方鋼30的質(zhì)量大 穩(wěn)定性好，且機(jī)械承受能力強(qiáng)，所述鋼板31設(shè)置成水平安裝面31b能夠平穩(wěn)地安裝所述機(jī) 座2以及所述支撐法蘭4，為本實(shí)用新型隔振裝置100提供了一個(gè)很好的安裝平臺(tái)。 結(jié)合圖1及圖2，對本實(shí)用新型隔振裝置100的工作原理作一詳細(xì)的說明，本實(shí)用 新型隔振裝置100的底架3包括方鋼30和鋼板31，所述方鋼3焊接于所述鋼板31下表面 31a上，所述鋼板31上表面為水平安裝面31b，因此所述鋼板31設(shè)置成水平安裝面31b能 夠平穩(wěn)地安裝所述機(jī)座2以及所述支撐法蘭4，為本實(shí)用新型隔振裝置100提供了一個(gè)很 好的安裝平臺(tái)。所述隔振器5的一端5a可伸縮地與所述機(jī)座2的另一端2b連接，所述隔 振器5的另一端5b呈水平狀且與所述隔振平臺(tái)1的水平支撐面10相抵觸，所述主動(dòng)電控 氣動(dòng)系統(tǒng)與所述隔振器5連接，所述主動(dòng)電控氣動(dòng)系統(tǒng)控制所述隔振器5相對于所述機(jī)座 2的伸縮。因此足以控制與所述主動(dòng)電控系統(tǒng)相連的所述隔振器5的空間位置，在所述底 架3受到外界振動(dòng)時(shí)，由于所述隔振器5相對所述機(jī)座2的伸縮，以保持與所述隔振器5相 抵觸的所述水平支撐平臺(tái)IO保持空間位置的不變。本實(shí)用新型隔振裝置100的隔振器5 能夠?qū)λ焦逃蓄l率和水平阻尼進(jìn)行調(diào)整，沒有延遲現(xiàn)象，而且隔振平臺(tái)是多個(gè)由所述大 理石11組成，所述大理石11的自身慣性大，熱膨脹系數(shù)小，有利于防防振，而且所述隔振器 5的主要材料都具有防腐蝕的性能，不容易受到外界空氣或者其他物質(zhì)的腐蝕而變質(zhì)，不會(huì) 使得本實(shí)用新型隔振裝置100失效。 本實(shí)用新型隔振裝置100所涉及的薄膜空氣彈簧、水平空氣彈簧以及主動(dòng)電控系
統(tǒng)的工作原理都是本技術(shù)領(lǐng)域工程技術(shù)人人員所熟悉，在此不再贅述。 以上結(jié)合最佳實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行了描述，但本實(shí)用新型并不局限于以上揭
示的實(shí)施例，而應(yīng)當(dāng)涵蓋各種根據(jù)本實(shí)用新型發(fā)明的本質(zhì)進(jìn)行的修改、等效組合。
權(quán)利要求一種隔振裝置，其特征在于包括底架、隔振平臺(tái)、機(jī)座、主動(dòng)電控氣動(dòng)系統(tǒng)及隔振器，所述底架具有水平安裝面，所述隔振平臺(tái)具有水平支撐面，所述機(jī)座的一端與所述底架的水平安裝面連接，所述隔振器的一端可伸縮地與所述機(jī)座的另一端連接，所述隔振器的另一端呈水平狀且與所述隔振平臺(tái)的水平支撐面相抵觸，所述主動(dòng)電控氣動(dòng)系統(tǒng)與所述隔振器連接，所述主動(dòng)電控氣動(dòng)系統(tǒng)控制所述隔振器相對于所述機(jī)座的伸縮，所述隔振平臺(tái)由多個(gè)大理石板連接而成。
2. 如權(quán)利要求l所述的隔振裝置，其特征在于還包括支撐法蘭，所述支撐法蘭的一端 與所述底架的水平安裝面連接，所述支撐法蘭的另一端呈水平狀。
3. 如權(quán)利要求1所述的隔振裝置，其特征在于所述隔振器包括薄膜空氣彈簧及水平 空氣彈簧。
4. 如權(quán)利要求1所述的隔振裝置，其特征在于所述主動(dòng)電控系統(tǒng)提供六個(gè)自由度的 控制，每個(gè)自由度由可編程邏輯控制器、現(xiàn)場控制總線、一控制器及一高速氣動(dòng)伺服閥進(jìn)行 控制。
5. 如權(quán)利要求l所述的隔振裝置，其特征在于所述底架包括方鋼和鋼板，所述方鋼焊 接于所述鋼板下表面上，所述鋼板上表面為水平安裝面。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種隔振裝置，其中，包括底架、隔振平臺(tái)、機(jī)座、主動(dòng)電控氣動(dòng)系統(tǒng)及隔振器，底架具有水平安裝面，隔振平臺(tái)具有水平支撐面，機(jī)座的一端與底架的水平安裝面連接，隔振器的一端可伸縮地與機(jī)座的另一端連接，隔振器的另一端呈水平狀且與隔振平臺(tái)的水平支撐面相抵觸，主動(dòng)電控氣動(dòng)系統(tǒng)與隔振器連接，主動(dòng)電控氣動(dòng)系統(tǒng)控制隔振器相對于機(jī)座的伸縮，隔振平臺(tái)由多個(gè)大理石板連接而成。本實(shí)用新型隔振裝置的隔振器可對水平固有頻率和水平阻尼進(jìn)行調(diào)整，沒有延遲現(xiàn)象，且隔振平臺(tái)是由大理石組成，自身慣性大，熱膨脹系數(shù)小，有利于防振。
文檔編號F16F15/027GK201448399SQ20092005925
公開日2010年5月5日 申請日期2009年6月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月26日
發(fā)明者張永紅, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良 申請人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司