光刻膠管路套管保溫裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及用以在半導(dǎo)體生產(chǎn)中涂膠單元光刻膠管路的保溫裝置，具體地說是一種光刻膠管路套管保溫裝置。在光刻膠管的外面設(shè)有雙層套管結(jié)構(gòu)，雙層套管結(jié)構(gòu)的內(nèi)層為進(jìn)水管路，外層為出水管路，形成自身閉合的循環(huán)恒溫管路，所述光刻膠管的一端與光刻膠噴嘴連接，另一端與外部供應(yīng)管路連接。本發(fā)明保溫效果好，又能節(jié)省空間，提高生產(chǎn)的質(zhì)量和效率。
【專利說明】光刻膠管路套管保溫裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及用以在半導(dǎo)體生產(chǎn)中涂膠單元光刻膠管路的保溫裝置，具體地說是一種光刻膠管路套管保溫裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，半導(dǎo)生產(chǎn)過程中，在涂膠單元中需要對光刻膠進(jìn)行恒溫保溫，傳統(tǒng)套管保溫系統(tǒng)管路進(jìn)水和回水分別是獨(dú)立的兩個管路系統(tǒng)，連接點(diǎn)增多，體積龐大，不便于生產(chǎn)和維護(hù)，容易泄露，占用更多空間。同時(shí)，單層保溫容易造成溫度波動，影響工藝精確度，很多時(shí)候單層套管更換費(fèi)時(shí)費(fèi)力，嚴(yán)重影響生產(chǎn)的產(chǎn)能，有些時(shí)候還由于單程恒溫效率，造成影響工藝的結(jié)果。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種光刻膠管路套管保溫裝置。該光刻膠管路套管保溫裝置保溫效果好，又能節(jié)省空間，提高生產(chǎn)的質(zhì)量和效率。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
[0005]一種光刻膠管路套管保溫裝置，包括光刻膠管和雙層套管結(jié)構(gòu)，其中光刻膠管穿過雙層套管結(jié)構(gòu)，所述光刻膠管的一端與光刻膠噴嘴連接，另一端與外部供應(yīng)管路連接，所述雙層套管結(jié)構(gòu)的內(nèi)層管路為進(jìn)水管路，外層管路為出水管路，所述進(jìn)水管路和出水管路在靠近光刻膠噴嘴端相互連通，進(jìn)水管路和出水管路在靠近外部供應(yīng)管路端分別設(shè)有保溫水進(jìn)口和保溫水出口，形成自身閉合的循環(huán)恒溫水管路。
[0006]所述雙層套管結(jié)構(gòu)包括噴嘴接頭、內(nèi)套管、外套管、換熱塊接頭、換熱塊及光刻膠管鎖緊接頭，所述光刻膠管從內(nèi)套管中穿過，所述內(nèi)套管的兩端均通過內(nèi)卡套分別與套設(shè)在光刻膠管上的噴嘴接頭和換熱塊接頭連接；所述內(nèi)套管從外套管中穿過，所述外套管的兩端均通過外卡套分別與噴嘴接頭和換熱塊接頭連接，所述噴嘴接頭上設(shè)有連通內(nèi)套管和外套管的通道，所述光刻膠噴嘴與噴嘴接頭連接；所述換熱塊套設(shè)于光刻膠管上、并與換熱塊接頭連接，所述換熱塊通過套設(shè)在光刻膠管上的光刻膠管鎖緊接頭與光刻膠管連接；所述換熱塊上設(shè)有保溫水進(jìn)口和保溫水出口，換熱塊與換熱塊接頭上設(shè)有相互連通、并分別將保溫水進(jìn)口與內(nèi)套管及保溫水出口與外套管連通的通道結(jié)構(gòu)。所述光刻膠噴嘴和噴嘴接頭及換熱塊接頭和換熱塊通過密封圈密封。
[0007]所述光刻膠管與內(nèi)套管之間的空隙為進(jìn)水管路，所述內(nèi)套管與外套管之間的空隙為出水管路，保溫水通過保溫水進(jìn)口依次進(jìn)入進(jìn)水管路和出水管路、并通過保溫水出口排出。
[0008]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)及有益效果是:
[0009]1.本發(fā)明采用雙層套管，恒溫保溫效果好。
[0010]2.本發(fā)明采用雙層套管，結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)省空間，維護(hù)方便。
[0011]3.本發(fā)明提高生產(chǎn)的質(zhì)量和效率。【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1為本發(fā)明的立體示意圖；
[0013]圖2為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]其中:I為光刻膠噴嘴，2為噴嘴接頭，3為內(nèi)套管，4為外套管，5為
[0015]換熱塊接頭,6為換熱塊,7為密封圈,8為光刻膠管鎖緊接頭,9為光刻膠
[0016]管，10為保溫水進(jìn)口，11為保溫水出口。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖對發(fā)明作進(jìn)一步描述。
[0018]如圖1、圖2所示，本發(fā)明是在光刻膠管9的外面設(shè)有雙層套管結(jié)構(gòu)，雙層套管結(jié)構(gòu)的內(nèi)層為進(jìn)水管路，外層為出水管路，形成自身閉合的循環(huán)恒溫管路，光刻膠管9的一端與光刻膠噴嘴I連接，另一端與外部供應(yīng)管路連接。
[0019]所述雙層套管結(jié)構(gòu)包括噴嘴接頭2、內(nèi)套管3、外套管4、換熱塊接頭5、換熱塊6及光刻膠管鎖緊接頭8，光刻膠管9從內(nèi)套管3中穿過，內(nèi)套管4的兩端均通過內(nèi)卡套分別與套設(shè)在光刻膠管9上的噴嘴接頭2和換熱塊接頭5連接。內(nèi)套管3從外套管4中穿過，夕卜套管4的兩端均通過外卡套分別與噴嘴接頭2和換熱塊接頭5連接，噴嘴接頭2上設(shè)有連通內(nèi)套管3和外套管4的通道，光刻膠噴嘴I與噴嘴接頭2通過螺釘連接、并通過密封圈7密封。換熱塊6套設(shè)于光刻膠管9上、并與換熱塊接頭5連接，換熱塊6與換熱塊接頭5之間通過密封圈7密封。換熱塊6通過套設(shè)在光刻膠管9上的光刻膠管鎖緊接頭8與光刻膠管9鎖緊連接，防止保溫水泄露。換熱塊6上設(shè)有保溫水進(jìn)口 10和保溫水出口 11，換熱塊6與換熱塊接頭5上設(shè)有相互連通、并分別將保溫水進(jìn)口 10與內(nèi)套管3及保溫水出口 11與外套管4連通的通道結(jié)構(gòu)。
[0020]光刻膠管9與內(nèi)套管3之間的空隙為進(jìn)水管路，內(nèi)套管3與外套管4之間的空隙為出水管路，保溫水通過保溫水進(jìn)口 10依次進(jìn)入換熱塊6、換熱塊接頭5、內(nèi)套管3及噴嘴接頭2內(nèi)，由噴嘴接頭2返回依次進(jìn)入到外套管4、換熱塊接頭5及換熱塊6內(nèi)，再通過保溫水出口 11回到設(shè)備之外的保溫水供應(yīng)系統(tǒng)中。
[0021]本發(fā)明的工作原理是:
[0022]光刻膠管9直接穿過整個雙層套管結(jié)構(gòu)的中心與光刻膠噴嘴I連接，內(nèi)套管3套在光刻膠管9的外面，兩者之間為保溫水進(jìn)水管路，外套管4套在內(nèi)套管3的外面，兩者之間為保溫水出水管路。光刻膠管9先接觸恒溫保溫入水，這樣恒溫效果直接可靠，然后恒溫保溫出水在恒溫保溫入水外面形成第二道保護(hù)層，給恒溫保溫入水和外界之間形成隔離，起到第二道屏障的作用，減少熱量損失。保溫水通過保溫水進(jìn)口 10依次進(jìn)入進(jìn)水管路和出水管路、并通過保溫水出口 11排出。
【權(quán)利要求】
1.一種光刻膠管路套管保溫裝置，其特征在于:包括光刻膠管(9)和雙層套管結(jié)構(gòu)，其中光刻膠管(9)穿過雙層套管結(jié)構(gòu)，所述光刻膠管(9)的一端與光刻膠噴嘴(I)連接，另一端與外部供應(yīng)管路連接，所述雙層套管結(jié)構(gòu)的內(nèi)層管路為進(jìn)水管路，外層管路為出水管路，所述進(jìn)水管路和出水管路在靠近光刻膠噴嘴(I)端相互連通，進(jìn)水管路和出水管路在靠近外部供應(yīng)管路端分別設(shè)有保溫水進(jìn)口(10)和保溫水出口(11)，形成自身閉合的循環(huán)恒溫水管路。
2.按權(quán)利要求1所述的光刻膠管路套管保溫裝置，其特征在于:所述雙層套管結(jié)構(gòu)包括噴嘴接頭(2)、內(nèi)套管(3)、外套管(4)、換熱塊接頭(5)、換熱塊(6)及光刻膠管鎖緊接頭(8)，所述光刻膠管(9)從內(nèi)套管(3)中穿過，所述內(nèi)套管(4)的兩端均通過內(nèi)卡套分別與套設(shè)在光刻膠管(9)上的噴嘴接頭(2)和換熱塊接頭(5)連接；所述內(nèi)套管(3)從外套管(4)中穿過，所述外套管(4)的兩端均通過外卡套分別與噴嘴接頭(2)和換熱塊接頭(5)連接，所述噴嘴接頭(2)上設(shè)有連通內(nèi)套管(3)和外套管(4)的通道，所述光刻膠噴嘴(I)與噴嘴接頭(2)連接；所述換熱塊(6)套設(shè)于光刻膠管(9)上、并與換熱塊接頭(5)連接，所述換熱塊(6)通過套設(shè)在光刻膠管(9)上的光刻膠管鎖緊接頭(8)與光刻膠管(9)連接；所述換熱塊(6)上設(shè)有保溫水進(jìn)口(10)和保溫水出口(11)，換熱塊(6)與換熱塊接頭(5)上設(shè)有相互連通、并分別將保溫水進(jìn)口(10)與內(nèi)套管(3)及保溫水出口(11)與外套管(4)連通的通道結(jié)構(gòu)。
3.按權(quán)利要求2所述的光刻膠管路套管保溫裝置，其特征在于:所述光刻膠噴嘴(I)和噴嘴接頭⑵及換熱塊接頭(5)和換熱塊(6)通過密封圈(7)密封。
4.按權(quán)利要求2所述的光刻膠管路套管保溫裝置，其特征在于:所述光刻膠管(9)與內(nèi)套管(3)之間的空隙為進(jìn)水管路，所述內(nèi)套管(3)與外套管(4)之間的空隙為出水管路，保溫水通過保溫水進(jìn)口(10)依次進(jìn)入進(jìn)水管路和出水管路、并通過保溫水出口(11)排出。
【文檔編號】F16L59/16GK103807571SQ201210439180
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2012年11月6日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月6日
【發(fā)明者】王陽 申請人:沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司