專利名稱：真空系統(tǒng)用流導(dǎo)閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及ー種電動(dòng)閥門機(jī)構(gòu)，特別是涉及ー種真空系統(tǒng)用流導(dǎo)閥。
背景技術(shù)：
各類真空系統(tǒng)通常都能根據(jù)使用要求提供一個(gè)相對(duì)穩(wěn)定的真空環(huán)境，穩(wěn)定時(shí)真空室工作壓カ僅與真空室穩(wěn)態(tài)時(shí)的總氣體出氣量以及真空泵的有效抽速有關(guān)。如果真空室穩(wěn)態(tài)時(shí)的總氣體出氣量不變，那么僅需調(diào)節(jié)真空泵的有效抽速即可實(shí)現(xiàn)真空室工作壓カ的調(diào)節(jié)。事實(shí)上真空泵的有效抽速與真空泵的抽速以及管路流導(dǎo)有夫，當(dāng)配置的真空泵沒有改變的時(shí)候，要想調(diào)節(jié)真空室工作壓カ只有調(diào)節(jié)管路流導(dǎo)，流導(dǎo)的大小說明在管路元件兩端的壓強(qiáng)差一定的條件下流經(jīng)管路元件的氣流量的多少，而目前常規(guī)的管路閥門均無法精確調(diào)節(jié)管路流動(dòng)能力。如蝶形閥其流動(dòng)控制元件是一有傾角的盤，圓盤固定在心軸上，并以能旋轉(zhuǎn)的心軸來控制開閉，開、閉為90度旋轉(zhuǎn)，精度較差；閘板閥是依靠閥桿帶動(dòng)閥板一起升降來調(diào)節(jié)閥門開度及啟閉狀態(tài)，同樣閘板位置不易準(zhǔn)確控制，調(diào)節(jié)精度不夠。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的任務(wù)在于提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單并且可較高精度調(diào)節(jié)發(fā)么開度的電動(dòng)閥門機(jī)構(gòu)，適用于真空系統(tǒng)中調(diào)節(jié)真空室工作壓力。本實(shí)用新型的任務(wù)是這樣來完成的，真空系統(tǒng)用流導(dǎo)閥，包括閥體，閥桿和步進(jìn)電機(jī)，其特征在于，所述閥桿的一端通過聯(lián)軸器與步進(jìn)電機(jī)連接，其另一端設(shè)有調(diào)節(jié)盤，調(diào)節(jié) 盤上布有若干個(gè)通孔，所述閥體與調(diào)節(jié)盤上通孔對(duì)應(yīng)的布有若干個(gè)通孔。優(yōu)選地，所述調(diào)節(jié)盤上的通孔為沿調(diào)節(jié)盤周向開設(shè)的弧形通孔。有益效果本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，由步進(jìn)電機(jī)通過閥桿帶動(dòng)調(diào)節(jié)盤轉(zhuǎn)動(dòng)ー定的角度，使得調(diào)節(jié)盤上通孔與閥體上通孔形成一定的重疊，控制步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)角度即可控制通孔重疊程度，進(jìn)而控制閥門的開度。

圖I為本實(shí)用新型的實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為調(diào)節(jié)盤結(jié)構(gòu)示意圖
具體實(shí)施方式
為了使專利局的審查員尤其是公眾能夠更加清楚地理解本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)和有益效果，申請(qǐng)人將在下面以實(shí)施例的方式作詳細(xì)說明，但是實(shí)施例的描述均不是對(duì)本實(shí)用新型方案的限制，任何依據(jù)本實(shí)用新型構(gòu)思所作出的僅僅為形式上的而非實(shí)質(zhì)性的等效變換都應(yīng)視為本實(shí)用新型的技術(shù)方案范疇。實(shí)施例請(qǐng)見附圖I及附圖2，步進(jìn)電機(jī)I通過聯(lián)軸器2與閥桿3 —端連接，閥桿3的另ー端固定有調(diào)節(jié)盤4，沿調(diào)節(jié)盤4周向開設(shè)弧形通孔6，閥體5與調(diào)節(jié)盤4對(duì)應(yīng)地開設(shè)弧形通孔7，閥體5進(jìn)ロ與出口成90度布置。由步進(jìn)電機(jī)通過閥桿帶動(dòng)調(diào)節(jié)盤轉(zhuǎn)動(dòng)一定的角度，使得調(diào)節(jié)盤上通孔與閥體上通孔形成一定的重疊，控制步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)角度即可控制通孔重疊 程度，進(jìn)而控制閥門的開度。
權(quán)利要求1.真空系統(tǒng)用流導(dǎo)閥，包括閥體(5)，閥桿(3)和步進(jìn)電機(jī)(I)，其特征在于，所述閥桿(3)的一端通過聯(lián)軸器⑵與步進(jìn)電機(jī)⑴連接，其另一端設(shè)有調(diào)節(jié)盤(4)，調(diào)節(jié)盤⑷上布有若干個(gè)通孔出)，所述閥體(5)與調(diào)節(jié)盤(4)上通孔(6)對(duì)應(yīng)的布有若干個(gè)通孔(7)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的真空系統(tǒng)用流導(dǎo)閥，其特征在于，所述調(diào)節(jié)盤(4)上的通孔(6)為沿調(diào)節(jié)盤(4)周向開設(shè)的弧形通孔。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種真空系統(tǒng)用流導(dǎo)閥，包括閥體，閥桿和步進(jìn)電機(jī)，所述閥桿的一端通過聯(lián)軸器與步進(jìn)電機(jī)連接，其另一端設(shè)有調(diào)節(jié)盤，調(diào)節(jié)盤上布有若干個(gè)通孔，所述閥體與調(diào)節(jié)盤上通孔對(duì)應(yīng)的布有若干個(gè)通孔。由步進(jìn)電機(jī)通過閥桿帶動(dòng)調(diào)節(jié)盤轉(zhuǎn)動(dòng)一定的角度，使得調(diào)節(jié)盤上通孔與閥體上通孔形成一定的重疊，控制步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)角度即可控制通孔重疊程度，進(jìn)而控制閥門的開度。
文檔編號(hào)F16K3/08GK202531877SQ20122013522
公開日2012年11月14日 申請(qǐng)日期2012年4月1日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月1日
發(fā)明者戴建新 申請(qǐng)人:常熟市虞華真空設(shè)備科技有限公司