閘閥的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種閘閥(100)，其特征在于，所述閘閥包括：閥片(120)，在閥殼(110)能夠密封開口部(112)；閥桿(130)，連接于所述閥片(120)，能夠進行上下及水平運動；導(dǎo)座(140)，連接于所述閥殼(110)的外側(cè)；L動作塊(L-Motion Block)(150)，結(jié)合并連接于所述閥桿(130)，在兩側(cè)面設(shè)置有導(dǎo)輥(151)；驅(qū)動塊(160)，設(shè)置于所述導(dǎo)座(140)內(nèi)部；驅(qū)動桿結(jié)合輥(172)，設(shè)置于所述閥桿(130)的下側(cè)末端；驅(qū)動桿(170)，其形成有隨著朝向下方而向密封方向(c)傾斜的驅(qū)動桿傾斜槽(171)，并且所述驅(qū)動桿結(jié)合輥(172)被插入而被引導(dǎo)；彈性提供單元(175)，設(shè)置于所述L動作塊(L-Motion Block)(150)與所述驅(qū)動桿(170)之間以提供彈力；上下驅(qū)動單元(180)，用于上下驅(qū)動所述驅(qū)動桿(170)。
【專利說明】
閘閥

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種閘閥(100)，其特征在于，包括:閥片(120)，在閥殼(110)緊貼于形成在開口部(112)的周圍的閥座(Valve-Seat) (111)，可從內(nèi)側(cè)密封所述開口部(112)；閥桿(130)，連接于所述閥片(120)，通過波紋管(131)以保持氣密性的方式從所述閥殼(110)內(nèi)部向外部突出形成，并能夠進行上下及水平運動；導(dǎo)座(140)，連接于所述閥殼
(110)的外側(cè)；L動作塊(L-Mot1n Block) (150)，設(shè)置于所述導(dǎo)座(140)的內(nèi)部，并結(jié)合于所述閥桿(130)，在兩側(cè)面設(shè)置有導(dǎo)輥(151);凸輪塊(160)，設(shè)置于所述導(dǎo)座(140)的內(nèi)部，并形成有閥桿通孔(161)以供所述閥桿(130)穿過，在兩側(cè)面分別形成有隨著朝向下方而向密封方向(c)傾斜的傾斜槽(162)，所述導(dǎo)輥(151)分別被插入到所述傾斜槽中而被引導(dǎo)；驅(qū)動桿結(jié)合輥(172)，設(shè)置于所述閥桿(130)的下側(cè)末端；驅(qū)動桿(170)，形成有隨著朝向下方而向密封方向(c)傾斜形成的驅(qū)動桿傾斜槽(171)，所述驅(qū)動桿結(jié)合輥(172)分別被插入到所述驅(qū)動桿傾斜槽中而被引導(dǎo)；彈性單元(175)，設(shè)置于所述L動作塊(L-Mot1nBlock) (150)與所述驅(qū)動桿(170)之間以提供彈力；上下驅(qū)動單元(180)，用于上下驅(qū)動所述驅(qū)動桿(170)。

【背景技術(shù)】
[0002]本發(fā)明涉及一種閘閥(gate valve),其用于打開或關(guān)閉將集成電路(IC)或其零件等加工物從某一真空處理室傳送至其他真空處理室的傳送路徑，或者打開或關(guān)閉壓縮流體或氣體等流體流動路徑或排氣流動路徑。
[0003]通常，例如在處理半導(dǎo)體晶片或液晶基板的裝置中，半導(dǎo)體晶片或液晶基板將通過連通通道(communicat1n passageways)插入于多個處理室或從多個處理室撤回(withdrawal)，然而，在該連通通道上設(shè)置有用于打開或關(guān)閉通道的閘閥。
[0004]作為閘閥的實施例，提出有多種實施例，其中，作為現(xiàn)有發(fā)明，有如大韓民國授權(quán)專利第10-0338164號(專利文獻1:發(fā)明名稱“閘閥”)的構(gòu)成。
[0005]所述專利文獻I的閘閥，其特征在于，根據(jù)設(shè)置在閥箱外的操作手段利用氣密地突出于閥箱外的閥桿自如移動閥箱內(nèi)的閥桌(valve desk)使得離開或接觸于閥座，當(dāng)所述閥桿的移動結(jié)束時，所述閥桿進行傾斜運動，使所述閥箱內(nèi)的閥桿按壓所述閥桌，所述操作手段通過輥輪以及引導(dǎo)該輥輪的傾斜的長孔連接活塞氣缸裝置的活塞桿和閥桿之間，或者在兩者之間連接傾斜連桿而使兩端部自如旋轉(zhuǎn)。
[0006]但是，如圖1的(a)所示的現(xiàn)有閘閥，由于閥桌相對于上下方向及水平方向成緩慢的傾斜進行動作，因此，存在與設(shè)置于閘閥內(nèi)部的各種構(gòu)成要素發(fā)生干擾或產(chǎn)生機械磨損等而導(dǎo)致異物混入所述處理室內(nèi)的問題。
[0007]對此，專利文獻2提出了一種真空閥(大韓民國公開專利第10-2011-0073476號)，所述真空閥改善了移動路徑傾斜的閘閥的構(gòu)成，如圖1的(b)所示，在進行密封動作時，先朝上方驅(qū)動，然后朝密封位置水平移動。
[0008]所述專利文獻2的真空閥，包括:壁，具有由閥座圍繞的閥開口部；至少一個閥片，配置于真空閥的真空區(qū)域(所述閥片可從開放位置縱向移動到中間位置，且能夠從該中間位置朝相對于縱向垂直的橫向移動到密封位置)；至少一個閥桿，具備閥片(所述閥桿被引導(dǎo)至真空閥的真空區(qū)域外，并相對于壁可朝縱向(所述縱向與閥桿的縱軸平行)或橫向移動)；縱向驅(qū)動裝置及橫向驅(qū)動裝置，配置于真空閥的真空區(qū)域的外部(閥桿可朝縱向或橫向移動使得通過所述裝置移動閥板)。
[0009]但是，所述專利文獻2的真空閥，雖其動作路徑非常有效，但是，為了驅(qū)動閥門，需要縱向驅(qū)動裝置及橫向驅(qū)動裝置，因此，其構(gòu)成非常復(fù)雜、且制造費用高。并且，為正確地進行打開或關(guān)閉動作，所述縱向驅(qū)動裝置及橫向驅(qū)動裝置應(yīng)按照動作順序在正確的時間內(nèi)互相聯(lián)動動作，所述聯(lián)動動作需要非常復(fù)雜的構(gòu)成要素。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明的目的在于，解決現(xiàn)有發(fā)明所存在的問題，提供一種閥門，所述閥門僅使用一個驅(qū)動單元，其結(jié)構(gòu)不僅簡單又可靠，而且也能進行密封動作或開放動作，從而，防止與設(shè)置于閘閥內(nèi)部的各種構(gòu)成要素發(fā)生干擾，或者因機械磨損而產(chǎn)生的污染物質(zhì)進入所述處理室內(nèi)的問題，從而，能有效進行動作，其中，進行所述密封動作時，所述閥板從開放位置縱向移動到中間位置之后，從該中間位置朝垂直于縱向的橫向移動到密封位置進行密封，所述開放動作以與密封動作相反順序進行。
[0011]為達成所述目的，本發(fā)明的閘閥(100)，其特征在于，包括:閥片(120)，在閥殼(110)緊貼于形成在開口部(112)的周圍的閥座(111)，可從內(nèi)側(cè)密封所述開口部(112)；閥桿(130)，連接于所述閥片(120)，通過波紋管(131)以保持氣密性的方式從所述閥殼
(110)內(nèi)部向外部突出形成，并可進行上下及水平運動；導(dǎo)座(140)，連接于所述閥殼(110)的外側(cè)；L動作塊(L-Mot1n Block) (150)，設(shè)置于所述導(dǎo)座(140)的內(nèi)部，并結(jié)合于所述閥桿(130)，在兩側(cè)面設(shè)置有導(dǎo)輥(151);凸輪塊(160)，設(shè)置于所述導(dǎo)座(140)的內(nèi)部，并形成有閥桿通孔(161)以供所述閥桿(130)穿過，在兩側(cè)面分別形成有隨著朝向下方而向密封方向c傾斜的傾斜槽(162)，所述導(dǎo)輥(151)分別被插入到所述傾斜槽中而被引導(dǎo)；驅(qū)動桿結(jié)合輥(172)，設(shè)置于所述閥桿(130)的下側(cè)末端；驅(qū)動桿(170)，形成有隨著朝向下方而向密封方向c傾斜形成的驅(qū)動桿傾斜槽(171)，所述驅(qū)動桿結(jié)合輥(172)分別被插入到所述驅(qū)動桿傾斜槽中而被引導(dǎo)；彈性單元(175)，設(shè)置于所述L動作塊(L-Mot1n Block)(150)與所述驅(qū)動桿(170)之間以提供彈力；上下驅(qū)動單元(180)，用于上下驅(qū)動所述驅(qū)動桿(170)。
[0012]本發(fā)明的閘閥，進一步包括:凸輪塊引導(dǎo)件(141)，分別設(shè)置于所述導(dǎo)座(140)的兩側(cè)面內(nèi)側(cè)，引導(dǎo)所述凸輪塊(Cam-Block) (160)僅朝上下方向動作；凸輪塊導(dǎo)輥(143)，設(shè)置于所述導(dǎo)座(140)的一側(cè)或兩側(cè)面內(nèi)側(cè)，以使位于所述凸輪塊引導(dǎo)件(141)的上側(cè)，引導(dǎo)所述凸輪塊(Cam-Block) (160)僅朝上下方向動作。
[0013]本發(fā)明的閘閥，進一步包括:L動作導(dǎo)槽(145)，由朝上下方向形成的上下驅(qū)動區(qū)間凹槽(146)及朝水平方向形成的開閉驅(qū)動區(qū)間凹槽(147)構(gòu)成，所述上下驅(qū)動區(qū)間凹槽分別形成于所述導(dǎo)座(140)的內(nèi)側(cè)兩側(cè)面，分別插入并引導(dǎo)所述導(dǎo)輥(151)，所述開閉驅(qū)動區(qū)間凹槽朝向密封方向(c)并連續(xù)形成于所述上下驅(qū)動區(qū)間凹槽(146)的上側(cè)；圓筒形連接件(174)，在其下面內(nèi)側(cè)結(jié)合有所述驅(qū)動桿(170)的下側(cè)，上側(cè)結(jié)合于所述閥桿通孔(161)，沿內(nèi)周緣設(shè)置有所述彈性單元(175)，其中，所述上下驅(qū)動單元(180)進一步具有活塞(182)，所述活塞設(shè)置于氣缸(181)的內(nèi)部，通過空壓進行上下驅(qū)動，上側(cè)連接于所述驅(qū)動桿(170)。
[0014]發(fā)明效果
[0015]根據(jù)本發(fā)明的閥門，僅使用一個驅(qū)動單元，其結(jié)構(gòu)不僅簡單又可靠，而且還能進行密封動作或開放動作，從而，防止與設(shè)置于閘閥內(nèi)部的各種構(gòu)成要素發(fā)生干擾，或者因機械磨損而產(chǎn)生的污染物質(zhì)進入所述處理室內(nèi)的問題，從而，能有效進行動作，其中，進行所述密封動作時，所述閥板從開放位置縱向移動到中間位置之后，從該中間位置朝垂直于縱向的橫向移動到密封位置進行密封，所述開放動作以與密封動作相反順序進行。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1的(a)和(b)是比較現(xiàn)有閘閥的動作路徑的模式圖。
[0017]圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的一實施例的閘閥的外形的主視圖。
[0018]圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的一實施例的閘閥的外形及內(nèi)部的側(cè)面投影圖。
[0019]圖4是示出根據(jù)本發(fā)明的一實施例的閘閥的外形及內(nèi)部的正面投影圖。
[0020]圖5的(a)?(C)是示出根據(jù)本發(fā)明的一實施例的閘閥的各部分的側(cè)截面圖。
[0021]圖6是示出根據(jù)本發(fā)明的一實施例的閘閥的主要構(gòu)成要素的結(jié)合關(guān)系的分解立體圖。
[0022]圖7的(a)?(C)是示出根據(jù)本發(fā)明的一實施例的閘閥的動作過程圖。

【具體實施方式】
[0023]以下，參照附圖詳細說明根據(jù)本發(fā)明的一實施例的閘閥。首先，應(yīng)注意在圖中對相同的構(gòu)成要素或零件標(biāo)注相同的符號。在說明本發(fā)明時，省略對相關(guān)公知功能或構(gòu)成的詳細說明以防本發(fā)明的要旨不明確。
[0024]如圖3及4所示，本發(fā)明的閘閥大致包括:閥片(120)、閥桿(130)、導(dǎo)座(140)、L動作塊(L-Mot1n Block) (150)、凸輪塊(Cam-Block) (160)、驅(qū)動桿(170)以及上下驅(qū)動單元(180)。
[0025]首先，對閥片(120)進行說明。如圖5的(a)?(C)所示，所述閥片在閥殼(110)緊貼于形成在開口部(112)周圍的閥座(Valve-seatUll，其具有從內(nèi)側(cè)密封所述開口部
(112)的功能。通過所述閥片(120)開放或密封所述開口部(112)來實現(xiàn)本發(fā)明閘閥(100)的開放及密封動作。
[0026]接著，對閥桿(130)進行說明。如圖5的(a)?(C)所示，所述閥桿(130)連接于所述閥片(120)，如圖3及4所示，設(shè)置為:通過波紋管(131)以保持氣密性的方式從所述閥殼(110)的內(nèi)部向外部突出形成，以使能夠進行上下及水平運動。
[0027]如圖5的(a)?(C)及圖6所示，優(yōu)選為，在所述閥桿(130)的下側(cè)末端設(shè)置有驅(qū)動桿結(jié)合輥(172)，所述驅(qū)動桿結(jié)合輥插入于形成在所述驅(qū)動桿(170)的后述驅(qū)動桿傾斜槽(171)，隨著所述驅(qū)動桿(170)的動作，使所述閥桿(130)的下側(cè)能夠與上側(cè)一同做上下及水平動作。
[0028]接著，對導(dǎo)座(140)進行說明。如圖4及6所示，所述導(dǎo)座(140)連接于所述閥殼(110)的外側(cè)，在內(nèi)部安裝所述L動作塊(L-Mot1n Block) (150)及所述凸輪塊(160)等主要動作單元，以進行保護。
[0029]接著，對L動作塊(L-Mot1n Block) (150)進行說明。如圖4及6所示，所述L動作塊(L-Mot1n Block) (150)設(shè)置于所述導(dǎo)座(140)的內(nèi)部，并結(jié)合連接于所述閥桿(130)。如圖4及6所示，在所述L動作塊(L-Mot1n Block) (150)的兩側(cè)面設(shè)置有導(dǎo)輥(151)。
[0030]接著，對凸輪塊(Cam-Block) (160)進行說明。如圖4及6所示，所述凸輪塊(Cam-Block) (160)設(shè)置于所述導(dǎo)座(140)的內(nèi)部，并形成有閥桿通孔(161)，所述閥桿通孔形成為具有可供所述閥桿(130)自如通過、并能夠朝上下及水平方向驅(qū)動所述閥桿的大小。如圖5的(a)及圖6所示，在所述凸輪塊(Cam-Block) (160)的兩側(cè)面分別形成有隨著朝向下方而向密封方向(c)側(cè)傾斜形成的傾斜槽(162)，所述導(dǎo)輥(151)分別被插入到所述傾斜槽中而被引導(dǎo)。
[0031]接著，對驅(qū)動桿(170)進行說明。如圖5的(a)?(C)及圖6所示，在所述驅(qū)動桿(170)形成有驅(qū)動桿傾斜槽(171)，在所述驅(qū)動桿傾斜槽插入驅(qū)動桿結(jié)合輥(172)進行引導(dǎo)，所述驅(qū)動桿傾斜槽朝下方的密封方向(c)傾斜形成。另外，所述驅(qū)動桿(170)結(jié)合于所述凸輪塊(Cam-Block) (160)的下側(cè)，所述凸輪塊(Cam-Block) (160)隨著所述驅(qū)動桿(170)的動作而動作。
[0032]另外，如圖7的(a)?(C)所示，優(yōu)選為，在所述L動作塊(L-Mot1n Block) (150)和所述驅(qū)動桿(170)之間設(shè)置彈性單元(175)以提供彈力，從而使其能夠順利地進行開放動作。即在進行開放動作時，所述L動作塊(L-Mot1n Block) (150)重新向開放方向(ο)進行水平移動的過程中，所述凸輪塊(Cam-Block) (160)進行下降動作，此時，若不防止所述L動作塊(L-Mot1n Block) (150)的下降動作，則所述L動作塊(L-Mot1n Block) (150)并不朝水平方向進行開放動作，而是朝下側(cè)傾斜方向動作，從而導(dǎo)致發(fā)生誤動作或干擾的可能性較大。因此，優(yōu)選為，通過所述彈性單元(175)來防止所述L動作塊(L-Mot1n Block)(150)的上下移動，直到朝水平方向完全開放動作為止，從而能夠順利進行動作。此時，所述彈性單元(175)可由各種實施例中選擇一種，作為一例，可使用如圖7的(a)?(c)所示的螺旋彈簧。
[0033]此時，使得所述彈性單元(175)設(shè)置于所述L動作塊(L-Mot1n Block) (150)和所述驅(qū)動桿(170)之間的同時，為了使所述驅(qū)動桿(170)有效結(jié)合于所述凸輪塊(Cam-Block)(160)的下側(cè)，優(yōu)選為，進一步具備圓筒形連接件(174)，所述圓筒形連接件，在其下面內(nèi)側(cè)結(jié)合所述驅(qū)動桿(170)的下側(cè)，而上側(cè)結(jié)合于所述閥桿通孔(161)，沿其內(nèi)周緣設(shè)置所述彈性單元(175)。此時，所述圓筒形連接件(174)不僅能夠以單獨的構(gòu)成要素結(jié)合于所述驅(qū)動桿(170)而構(gòu)成，還可以與所述驅(qū)動桿(170) —體構(gòu)成，或者，如圖6所示，可以與后述的活塞(182)構(gòu)成為一體。
[0034]接著，對上下驅(qū)動單元(180)進行說明。如圖4及5所示，所述上下驅(qū)動單元(180)具有能夠上下驅(qū)動所述驅(qū)動桿(170)的功能。構(gòu)成所述上下驅(qū)動單元(180)的實施例可以有多種實施例。作為體現(xiàn)所述上下驅(qū)動單元(180)的一實施例，如圖4及圖5的(a)?(c)所示，優(yōu)選為，可進一步包括活塞(182)，所述活塞設(shè)置于氣缸(181)的內(nèi)部，通過空壓上下驅(qū)動，上側(cè)連接于所述驅(qū)動桿(170)。此時，優(yōu)選為，所述氣缸(181)結(jié)合于所述導(dǎo)座(140)的下側(cè)，使得在維修本發(fā)明的閘閥(100)時容易分解及結(jié)合，并制作成一體。
[0035]另外，為了順利動作，優(yōu)選為，使所述凸輪塊(Cam-Block) (160)僅朝上下方向動作，而不以水平方向移動。從而，為了使所述凸輪塊(Cam-Block) (160)僅朝上下方向動作，而不以水平方向(開放/密封方向)的移動，如圖4及5所示，優(yōu)選為，在所述導(dǎo)座(140)的兩側(cè)面內(nèi)側(cè)分別設(shè)置凸輪塊引導(dǎo)件(141)，使得引導(dǎo)所述凸輪塊(Cam-Block) (160)僅朝上下方向動作。
[0036]此外，在所述凸輪塊(Cam-Block) (160)移動到上側(cè)的狀態(tài)下進行密封動作時，由于所述凸輪塊(Cam-Block) (160)受到圖7的(a)?(c)中朝表不為開放方向(ο)的方向的拉力，因此，動作上可能發(fā)生負載或者會妨礙順利動作。從而，優(yōu)選為，在所述凸輪塊(141)的上側(cè)，所述導(dǎo)座(140)的一側(cè)或兩側(cè)面內(nèi)側(cè)進一步分別設(shè)置所述凸輪塊導(dǎo)輥(143)，用于所述凸輪塊(Cam-Block) (160)移動到上方時引導(dǎo)所述凸輪塊僅朝上下方向動作，從而在所受負載大的位置，使所述凸輪塊(Cam-Block) (160)僅朝上下方向順利動作。
[0037]另外，為了輔助所述導(dǎo)輥(151)插入于所述傾斜槽(162)而被引導(dǎo)的動作，如圖4所示，所述導(dǎo)輥(151)被設(shè)置為直到延長至所述導(dǎo)座(140)的兩側(cè)內(nèi)面深處。此時，優(yōu)選為，如圖5的(a)?(c)及圖6所示,在所述導(dǎo)座(140)內(nèi)側(cè)的兩側(cè)面分別進一步形成L動作導(dǎo)槽(145)，所述L動作導(dǎo)槽由朝上下方向形成的上下驅(qū)動區(qū)間凹槽(146)與朝水平方向形成的開閉驅(qū)動區(qū)間凹槽(147)構(gòu)成，所述上下驅(qū)動區(qū)間凹槽分別插入所述導(dǎo)輥(151)進行引導(dǎo)，所述開閉驅(qū)動區(qū)間凹槽在所述上下驅(qū)動區(qū)間凹槽(146)的上側(cè)，朝向密封方向(c)連續(xù)形成，從而所述導(dǎo)輥(151)不僅由所述凸輪塊(160)也還被所述導(dǎo)座(140)支撐、引導(dǎo)并進行動作。
[0038]此時，所述L動作塊導(dǎo)槽(145)整體上呈倒“L”字型，即具有類似“?！钡男螤?。
[0039]以下，對本發(fā)明的一實施例的閘閥(100)的動作進行說明。
[0040]首先，說明所述閘閥(100)的密封過程。
[0041]在如圖7的(a)所示的開放狀態(tài)下，所述上下驅(qū)動單元(180)啟動，并如圖7的(b)所示，直到所述閥片(120)上升到最高上升位置為止，所述閥桿(130)、所述L動作塊(150)、所述凸輪塊(160)以及所述驅(qū)動桿(170)將一起上升。
[0042]然后，如圖7的(C)所示，所述凸輪塊(Cam-Block) (160)及所述驅(qū)動桿(170) —起進一步上升時，沿著所述凸輪塊(Cam-Block) (160)的所述傾斜槽(162)引導(dǎo)所述L動作塊(L-Mot1n Block) (150)的所述導(dǎo)輥(151)，同時，所述L動作塊(150)以及所述閥桿
(130)朝密封方向(c)水平移動。
[0043]此時，設(shè)置于所述閥桿(130)的下側(cè)的所述驅(qū)動桿結(jié)合輥(172)也沿所述驅(qū)動桿傾斜槽(171)移動，所述閥桿(130)的下側(cè)也朝密封方向(c)水平移動。
[0044]由此，結(jié)合于所述L動作塊(L-Mot1n Block) (150)的所述閥桿(130)的中間部與所述閥桿(130)的下側(cè)一起朝密封方向(c)水平移動，因此，所述閥桿(130)整體上相對于所述垂直方向保持平行的狀態(tài)，并朝密封方向(c)水平移動，而且，連接于所述閥桿(130)上側(cè)的所述閥片(120)密封所述開口部(112)從而完成密封動作。
[0045]另外，所述閘閥(100)的開放過程按照與所述閘閥(100)的密封過程相反順序進行。此時，如圖7的(b)所示，即便所述凸輪塊(Cam-Block) (160)及所述驅(qū)動桿(170)通過所述彈性單元(175)下降預(yù)定距離，直到所述L動作塊(L-Mot1n Block) (150)朝水平方向完全開放為止，通過所述彈性單元(175)提供的彈力防止所述L動作塊(L-Mot1n Block)(150)的上下移動，從而，能順利進行開放動作。
[0046]附圖及說明書公開了最佳實施例。在此雖使用了特定術(shù)語，但是，這些只是說明本發(fā)明的目的而使用的，并不是用來限定含義或者限制權(quán)利要求范圍所記載的本發(fā)明的范疇。因此，本發(fā)明所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可由此進行各種變形及均等的其他實施例。并且，本發(fā)明的真正的技術(shù)保護范圍應(yīng)由權(quán)利要求范圍的技術(shù)思想而決定。
【權(quán)利要求】
1.一種閘閥(100),其特征在于，包括: 閥片(120),在閥殼(110)中，緊貼于形成在開口部(112)的周圍的閥座(111),可從內(nèi)側(cè)密封所述開口部(112)； 閥桿(130),連接于所述閥片(120),通過波紋管(131)以保持氣密性的方式從所述閥殼(110)內(nèi)部向外部突出形成，并能夠進行上下及水平運動；導(dǎo)座(140),連接于所述閥殼(110)的外側(cè)； I動作塊仏-104011 8100^) (150),設(shè)置于所述導(dǎo)座(140)的內(nèi)部，結(jié)合并連接于所述閥桿(130),在兩個側(cè)面上設(shè)置有導(dǎo)輥(151)； 凸輪塊(160),設(shè)置于所述導(dǎo)座(140)的內(nèi)部，形成有閥桿通孔(161)以供所述閥桿(130)穿過，在兩個側(cè)面分別形成有隨著朝向下方而向密封方向化)傾斜的傾斜槽(162),所述導(dǎo)輥(151)分別被插入到所述傾斜槽中而被引導(dǎo)； 驅(qū)動桿結(jié)合輥(172),設(shè)置于所述閥桿(130)的下側(cè)末端； 驅(qū)動桿(170),結(jié)合于所述凸輪塊(160),并形成有隨著朝向下方而向密封方向化)傾斜的驅(qū)動桿傾斜槽(171),所述驅(qū)動桿結(jié)合輥(172)分別被插入到所述驅(qū)動桿傾斜槽中而被引導(dǎo)； 彈性提供單元(175)，設(shè)置于所述[動作塊(1-101:1011 8100^) (150)與所述驅(qū)動桿(170)之間以提供彈力； 上下驅(qū)動單元(180),用于上下驅(qū)動所述驅(qū)動桿(170).
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閘閥(100),其特征在于，進一步包括: 凸輪塊引導(dǎo)件(141),分別設(shè)置于所述導(dǎo)座(140)的兩個側(cè)面的內(nèi)側(cè)，引導(dǎo)所述凸輪塊(160)僅朝上下方向動作； 凸輪塊導(dǎo)輥(143),設(shè)置于所述導(dǎo)座(140)的一個或兩個側(cè)面的內(nèi)側(cè)，以使其位于所述凸輪塊引導(dǎo)件(141)的上側(cè)，引導(dǎo)所述凸輪塊(160)僅朝上下方向動作。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的閘閥(100)，其特征在于，進一步包括: [動作導(dǎo)槽(145),由朝上下方向形成的上下驅(qū)動區(qū)間凹槽(146)及朝水平方向形成的開閉驅(qū)動區(qū)間凹槽(147)構(gòu)成，所述上下驅(qū)動區(qū)間凹槽(146)分別形成于所述導(dǎo)座(140)的內(nèi)側(cè)的兩個側(cè)面，所述導(dǎo)輥(151)分別被插入到所述上下驅(qū)動區(qū)間凹槽(146)中而被引導(dǎo)，所述開閉驅(qū)動區(qū)間凹槽(147)朝向密封方向化)并連續(xù)形成于所述上下驅(qū)動區(qū)間凹槽(146)的上側(cè)； 圓筒形連接件(174),在其下表面的內(nèi)側(cè)結(jié)合有所述驅(qū)動桿(170)的下側(cè)，上側(cè)結(jié)合于所述閥桿通孔(161),沿內(nèi)周緣設(shè)置有所述彈性單元(175), 其中，所述上下驅(qū)動單元(180)進一步具有活塞(182),所述活塞(182)設(shè)置于氣缸(181)的內(nèi)部，通過空壓進行上下驅(qū)動，所述活塞(182)的上側(cè)連接于所述驅(qū)動桿(170).
【文檔編號】F16K3/18GK104321569SQ201380018569
【公開日】2015年1月28日 申請日期:2013年4月8日 優(yōu)先權(quán)日:2012年4月6日
【發(fā)明者】池晨瑛 申請人:普利西斯株式會社