本實(shí)用新型涉及通用機(jī)械部件領(lǐng)域，尤其涉及一種雙軸共軌直線運(yùn)動(dòng)裝置。

背景技術(shù)：

目前，在半導(dǎo)體加工領(lǐng)域，經(jīng)常需要用到直線運(yùn)動(dòng)模組，大多僅僅能滿足一個(gè)滑座的往復(fù)運(yùn)動(dòng)，當(dāng)需要兩個(gè)滑座配合運(yùn)動(dòng)時(shí)，就要安裝兩套直線運(yùn)動(dòng)模組，但其往往達(dá)不到精確控制，嚴(yán)重限制了直線運(yùn)動(dòng)模組的使用，有鑒于此，發(fā)明一種可以精確控制運(yùn)動(dòng)精度的裝置變得有尤為重要。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種結(jié)構(gòu)緊湊的雙軸共軌直線運(yùn)動(dòng)裝置。

為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是：

一種雙軸共軌直線運(yùn)動(dòng)裝置，其關(guān)鍵技術(shù)點(diǎn)在于，其包括基座、端蓋、導(dǎo)軌、第一絲杠驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和第二絲杠驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述基座的橫截面為中空U型結(jié)構(gòu)，所述基座兩端分別安裝有端蓋，所述導(dǎo)軌固定設(shè)置在所述基座上；

所述第一絲杠驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)、第一絲杠固定座、第一聯(lián)軸器、第一絲杠、第一滑座和第一軸承支座，所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)設(shè)于所述基座的一端，所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸端設(shè)有第一絲杠固定座，所述第一軸承支座設(shè)于所述基座的另一端，所述第一絲杠穿過(guò)所述第一滑座，且兩端分別連接所述第一絲杠固定座和所述第一軸承支座，所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過(guò)第一聯(lián)軸器連接所述第一絲杠；

所述第二絲杠驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)、第二絲杠固定座、第二聯(lián)軸器、第二絲杠、第二滑座和第二軸承支座，所述第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)設(shè)于所述基座的一端，所述第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸端設(shè)有第二絲杠固定座，所述第二軸承支座設(shè)于所述基座的另一端，所述第二絲杠穿過(guò)所述第二滑座，且兩端分別連接所述第二絲杠固定座和所述第二軸承支座，所述第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過(guò)第二聯(lián)軸器連接所述第二絲杠；

所述第一絲杠固定座和所述第二絲杠固定座分別設(shè)置于所述基座兩端，所述一滑座和第二滑座的底部滑動(dòng)設(shè)置于所述導(dǎo)軌上。

作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的改進(jìn)，所述基座一側(cè)設(shè)置有光電限位開(kāi)關(guān)。

采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于：

本實(shí)用新型裝有兩套絲杠驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，公用一套導(dǎo)軌，兩個(gè)驅(qū)動(dòng)電機(jī)分別通過(guò)兩個(gè)聯(lián)軸器帶動(dòng)兩個(gè)絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)兩個(gè)滑座進(jìn)行前進(jìn)及回零動(dòng)作，結(jié)構(gòu)比用兩個(gè)單軸模組節(jié)約空間，第一滑座和第二滑座配合運(yùn)動(dòng)精度高，共軌運(yùn)行絕對(duì)平順。

本實(shí)用新型的基座為一體成型中空截面的鋁合金材質(zhì)，高剛性低自重，基座可以安裝大負(fù)載的導(dǎo)軌，適合高負(fù)載低自重場(chǎng)合。

本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)和第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)兼容性強(qiáng)，兼容100W-400W功率電機(jī)，實(shí)現(xiàn)第一滑座和第二滑座同向及相向位置的精確控制，適用于高精度場(chǎng)合。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型具體實(shí)施方式或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)具體實(shí)施方式或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖是本實(shí)用新型的一些實(shí)施方式，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖。

圖1 為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的基座的橫截面示意圖；

在附圖中：1基座、2端蓋、3導(dǎo)軌、41第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)、42第一絲杠固定座、43第一聯(lián)軸器、44第一絲杠、45第一滑座、46第一軸承支座、51第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)、52第二絲杠固定座、53第二聯(lián)軸器、54第二絲杠、55第二滑座、56第二軸承支座、7光電限位開(kāi)關(guān)。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)實(shí)用新型進(jìn)行清楚、完整的描述。

如附圖1和2所示，一種雙軸共軌直線運(yùn)動(dòng)裝置，其包括基座1、端蓋2、導(dǎo)軌3、第一絲杠驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和第二絲杠驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述基座1的橫截面為中空U型結(jié)構(gòu)，所述基座1兩端分別安裝有端蓋2，所述導(dǎo)軌3為兩個(gè)，并平行固定設(shè)置在所述基座1上。

本實(shí)用新型的第一絲杠驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)41、第一絲杠固定座42、第一聯(lián)軸器43、第一絲杠44、第一滑座45和第一軸承支座46，所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)41設(shè)于所述基座1的一端，所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)41的輸出軸端設(shè)有第一絲杠固定座42，所述第一軸承支座46設(shè)于所述基座1的另一端，所述第一絲杠44穿過(guò)所述第一滑座45，且兩端分別連接所述第一絲杠固定座42和所述第一軸承支座46，所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)41通過(guò)第一聯(lián)軸器43連接所述第一絲杠44，帶動(dòng)第一絲杠44轉(zhuǎn)動(dòng)。

本實(shí)用新型的第二絲杠驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)51、第二絲杠固定座52、第二聯(lián)軸器53、第二絲杠54、第二滑座55和第二軸承支座56，所述第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)51設(shè)于所述基座1的一端，所述第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)51的輸出軸端設(shè)有第二絲杠固定座52，所述第二軸承支座56設(shè)于所述基座1的另一端，所述第二絲杠54穿過(guò)所述第二滑座55，且兩端分別連接所述第二絲杠固定座52和所述第二軸承支座56，所述第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)51通過(guò)第二聯(lián)軸器53連接所述第二絲杠54，帶動(dòng)第二絲杠54轉(zhuǎn)動(dòng)。

所述第一絲杠固定座42和所述第二絲杠固定座52分別設(shè)置于所述基座1兩端，所述一滑座45和第二滑座55的底部滑動(dòng)設(shè)置于所述導(dǎo)軌3上，可以實(shí)現(xiàn)兩個(gè)滑座同向或相向運(yùn)動(dòng)，兩個(gè)滑座分別被獨(dú)立控制，精確度高。

本實(shí)用新型的基座1一側(cè)設(shè)置有光電限位開(kāi)關(guān)7，當(dāng)?shù)谝换?5和第二滑座55分別接觸到光電限位開(kāi)關(guān)時(shí)，停止運(yùn)動(dòng)。

本實(shí)用新型的基座為定制開(kāi)模擠壓成型，為中空結(jié)構(gòu)，整體剛性強(qiáng)、自重低，可以安裝大負(fù)載的導(dǎo)軌，整個(gè)裝置結(jié)構(gòu)緊湊，精度高。

最后應(yīng)說(shuō)明的是：以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：其依然可以對(duì)前述實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。