本實(shí)用新型涉及真空設(shè)備使用的控制閥領(lǐng)域，具體涉及一種抽真空迅速的真空高閥。

背景技術(shù)：

真空鍍膜技術(shù)，是在真空條件下采用物理或化學(xué)的方法，使物體表面獲得所需要的膜體。真空鍍膜技術(shù)根據(jù)其采用的方法不同可分為:蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等。為了獲得更好的鍍膜效果，更快地獲得所要的真空度，在真空鍍膜室和真空泵方面作了很多改進(jìn)，但在真空閥方面一直沒(méi)什么大的改進(jìn)，而目前要快速達(dá)到最終高真空閥的真空度，一般通過(guò)多個(gè)泵設(shè)置成主泵和前置泵的方式來(lái)達(dá)到，能耗高，抽速也沒(méi)快多少。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型主要解決的技術(shù)問(wèn)題在于，提供一種抽真空迅速的真空高閥，且達(dá)到同樣的真空度時(shí)能耗還低。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：抽真空迅速的真空高閥，包括閥體、氣缸和閥罩蓋，所述閥體內(nèi)為中空結(jié)構(gòu)，閥體上設(shè)有真空容器連接口、次真空泵連接口和高真空泵連接口，所述真空容器連接口經(jīng)所述閥體內(nèi)與所述次真空泵連接口、高真空泵連接口連通；所述閥體上設(shè)置所述氣缸，氣缸與所述閥體連接處密封連接；所述氣缸的氣缸軸伸入到所述閥體內(nèi)，氣缸軸的頂端設(shè)有閥罩蓋，所述閥罩蓋朝向所述高真空泵連接口，能在所述氣缸軸驅(qū)動(dòng)下關(guān)閉或打開所述高真空泵連接口；所述次真空泵連接口至少設(shè)有兩個(gè)，且都設(shè)置在圓柱形閥體外表面的同一母線上，所述次真空泵連接口連接低真空泵和/或中真空泵。這樣的設(shè)置可以在抽真空時(shí)由于側(cè)面低真空泵的設(shè)置可以使得閥體內(nèi)的空氣具備向下向側(cè)面移動(dòng)的趨勢(shì)，再配合下方的高真空泵，閥體內(nèi)的空氣往下運(yùn)動(dòng)的趨勢(shì)被加大，而且由于側(cè)面只是低真空泵，耗能較少，卻由于其引導(dǎo)或者說(shuō)幫助協(xié)助的作用，增加了原本高真空泵的抽速，而且是起到了“1加1大于2”的效果。

作為本實(shí)用新型抽真空迅速的真空高閥的進(jìn)一步改進(jìn)，次真空泵連接口設(shè)有三個(gè)，次真空泵連接口和真空泵之間還設(shè)置有預(yù)抽真空閥，三個(gè)預(yù)抽真空閥的尺寸規(guī)格一致，但小于閥體的尺寸，三個(gè)次真空泵連接口對(duì)應(yīng)的真空泵分別為低真空泵、中真空泵和高真空泵；所述閥體內(nèi)頂壁固定設(shè)有遙控風(fēng)扇，閥體上設(shè)有允許紅外線穿透的窺視窗，窺視窗的材質(zhì)采用玻璃。這樣的設(shè)置是另一個(gè)方案，也可以不設(shè)置預(yù)抽真空閥，三個(gè)次真空泵連接口直接連低真空泵、中真空泵和高真空泵，形成一個(gè)梯度，使得閥體內(nèi)氣體具備向下的移動(dòng)趨勢(shì)，協(xié)助下方真正抽真空的高真空泵；也可以如上所述，設(shè)置預(yù)抽真空閥，在做其他準(zhǔn)備工作時(shí)（不打開預(yù)抽真空閥的預(yù)抽真空閥與閥體相連的通道）先用低真空泵、中真空泵和高真空泵分別對(duì)三個(gè)預(yù)抽真空閥抽真空至一定的真空度（由于不同真空度的真空泵的設(shè)置，由上至下的真空度是越來(lái)越高的），然后正式抽真空打開閥罩蓋和預(yù)抽真空閥的預(yù)抽真空閥與閥體相連的通道（可以關(guān)閉側(cè)面的三個(gè)真空泵，也可不關(guān)，關(guān)閉為優(yōu)選方案，節(jié)省能耗并且由于前期的抽真空所以可以關(guān)閉），由于預(yù)抽真空閥內(nèi)具備一定的真空度，所以起到引導(dǎo)協(xié)助氣流向下的作用，使得整個(gè)抽真空的過(guò)程的時(shí)間大大縮短。雖然隨著閥體內(nèi)的空氣越來(lái)越稀薄風(fēng)扇吹出的風(fēng)越來(lái)越小，但在剛開始由于閥體內(nèi)空氣很多，因此在初始階段配合預(yù)抽真空閥，能夠極大地加速剛開始的抽速，使得整體抽真空所需時(shí)間減小。遙控風(fēng)扇配合窺視窗更好地實(shí)現(xiàn)風(fēng)扇的設(shè)置，因此這樣風(fēng)扇能夠固定設(shè)置在閥體的內(nèi)頂壁無(wú)需擔(dān)心由于電線要穿過(guò)閥體而導(dǎo)致要解決的密封問(wèn)題。

作為本實(shí)用新型抽真空迅速的真空高閥的進(jìn)一步改進(jìn)，真空高閥通過(guò)高真空泵連接口與高真空泵連通；所述高真空泵連接口設(shè)置在閥體的內(nèi)底壁上。

本實(shí)用新型通過(guò)多個(gè)次真空泵的設(shè)置，在抽真空初始給予空氣助推，使得閥體內(nèi)空氣更易于向高真空泵處移動(dòng)，使得抽真空更迅速，達(dá)到同樣的真空度時(shí)能耗較以前的技術(shù)方案低；本實(shí)用新型可以在抽真空時(shí)由于側(cè)面低真空泵的設(shè)置可以使得閥體內(nèi)的空氣具備向下向側(cè)面移動(dòng)的趨勢(shì)，再配合下方的高真空泵，閥體內(nèi)的空氣往下運(yùn)動(dòng)的趨勢(shì)被加大，而且由于側(cè)面只是低真空泵，耗能較少，卻由于其引導(dǎo)或者說(shuō)幫助協(xié)助的作用，增加了原本高真空泵的抽速，而且是起到了“1加1大于2”的效果。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型抽真空迅速的真空高閥實(shí)施例一的縱剖圖；

圖2為本實(shí)用新型未連接下方高真空泵的正視圖；

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例二的縱剖圖。

圖中：1、閥體 2、氣缸 3、遙控風(fēng)扇 4、真空容器連接口 5、次真空泵連接口 6、氣缸軸 7、閥罩蓋 8、預(yù)抽真空閥 9、高真空泵連接口 10、窺視窗 11、低真空泵 12、中真空泵 13、高真空泵。

具體實(shí)施方式

為了對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)特征、目的以及效果有更加清楚地了解，現(xiàn)對(duì)照附圖詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式。

實(shí)施例一：

如圖1、圖2所示，抽真空迅速的真空高閥，包括閥體1、氣缸2和閥罩蓋7，所述閥體1內(nèi)為中空結(jié)構(gòu)，閥體1上設(shè)有真空容器連接口4、次真空泵連接口5和高真空泵連接口9，所述真空容器連接口4經(jīng)所述閥體1內(nèi)與所述次真空泵連接口5、高真空泵連接口9連通；所述閥體1上設(shè)置所述氣缸2，氣缸2與所述閥體1連接處密封連接；所述氣缸2的氣缸軸6伸入到所述閥體1內(nèi)，氣缸軸6的頂端設(shè)有閥罩蓋7，所述閥罩蓋7朝向所述高真空泵連接口9，能在所述氣缸軸6驅(qū)動(dòng)下關(guān)閉或打開所述高真空泵連接口9；所述次真空泵連接口5至少設(shè)有兩個(gè)，且都設(shè)置在圓柱形閥體1外表面的同一母線上，所述次真空泵連接口5連接低真空泵11和/或中真空泵12。次真空泵連接口5設(shè)有三個(gè)，三個(gè)次真空泵連接口5對(duì)應(yīng)的真空泵分別為低真空泵11、中真空泵12和高真空泵13；所述閥體1內(nèi)頂壁固定設(shè)有遙控風(fēng)扇3，閥體1上設(shè)有允許紅外線穿透的窺視窗10，窺視窗10的材質(zhì)采用玻璃。真空高閥通過(guò)高真空泵連接口9與高真空泵13連通；所述高真空泵連接口9設(shè)置在閥體1的內(nèi)底壁上。

實(shí)施例二：

與實(shí)施例一的不同在于，如圖3所示，次真空泵連接口5和真空泵之間還設(shè)置有預(yù)抽真空閥8，三個(gè)預(yù)抽真空閥8的尺寸規(guī)格一致，但小于閥體1的尺寸

以上內(nèi)容是結(jié)合具體的優(yōu)選技術(shù)方案對(duì)本實(shí)用新型所作的進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，不能認(rèn)定本實(shí)用新型的具體實(shí)施只局限于這些說(shuō)明。對(duì)于本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干簡(jiǎn)單推演或替換，都應(yīng)當(dāng)視為屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。