一種真空管和真空裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種真空管和真空裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，如圖1所示，真空裝置包括真空腔室100、真空栗300以及連接真空腔室100和真空栗300的真空管道200。
[0003]當(dāng)真空栗300抽取真空腔室100中的氣體時(shí)，對(duì)氣體做功，真空管道200內(nèi)氣體的內(nèi)能減少，溫度降低。根據(jù)熱力學(xué)定律，真空管道200內(nèi)氣體的內(nèi)能減少，需要外界提供熱能，故在真空管道200的管壁外側(cè)空氣中的水氣會(huì)凝結(jié)成水珠，這是一個(gè)放熱的過(guò)程，也就是說(shuō)，在真空管道200的管壁外側(cè)空氣中的水氣凝結(jié)成水珠給真空管道200提供熱能，而這些水珠會(huì)影響真空管道200內(nèi)的真空度。
[0004]另外，真空栗200抽取氣體是在較短時(shí)間內(nèi)完成的。在真空閥關(guān)閉后，真空管道200與外界存在能量傳遞，根據(jù)理想氣體的狀態(tài)方程PV = nRT，體積不變，溫度升高，壓強(qiáng)也會(huì)隨之升高，進(jìn)而影響真空度。然而，真空度不穩(wěn)定，會(huì)引起設(shè)備的頻繁報(bào)警，影響生產(chǎn)的正常進(jìn)行。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有的真空栗抽取真空腔室中的氣體時(shí)，真空管道外壁產(chǎn)生的水珠以及真空管道內(nèi)壓強(qiáng)不穩(wěn)定導(dǎo)致的真空度不穩(wěn)定的問(wèn)題，提供一種能夠使真空管道內(nèi)的真空度穩(wěn)定的真空管和真空裝置。
[0006]解決本實(shí)用新型技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是一種真空管，包括外管、內(nèi)管、真空閥和連接管道，所述內(nèi)管位于所述外管內(nèi)，所述連接管道連接所述外管和所述內(nèi)管，所述真空閥位于所述連接管道上，所述真空閥用于通過(guò)連接管道控制所述外管的內(nèi)壁與所述內(nèi)管的外壁之間的空隙的真空度。
[0007]優(yōu)選地，所述真空閥為真空單向截止閥。
[0008]優(yōu)選地，所述外管的內(nèi)壁設(shè)置有第一防輻射材料層，所述內(nèi)管的外壁設(shè)置有第二防輻射材料層。
[0009]優(yōu)選地，所述外管的內(nèi)壁與所述內(nèi)管的外壁之間的空隙為真空環(huán)境。
[0010]優(yōu)選地，所述內(nèi)管的長(zhǎng)度大于所述外管的長(zhǎng)度。
[0011]作為另一技術(shù)方案，本實(shí)用新型還提供一種真空裝置，包括真空腔室、真空栗和真空管，所述真空管連接所述真空腔室和所述真空栗，所述真空管為上述任意一項(xiàng)所述的真空管。
[0012]本實(shí)用新型的真空管和真空裝置中，該真空管包括外管、內(nèi)管、真空閥和連接管道，內(nèi)管位于外管內(nèi)，連接管道連接外管和內(nèi)管，真空閥位于連接管道上，真空閥用于通過(guò)連接管道控制外管的內(nèi)壁與內(nèi)管的外壁之間的空隙的真空度，因此，該真空管不會(huì)與外界發(fā)生接觸傳熱，以確保真空管內(nèi)的溫度不會(huì)受到外界環(huán)境的影響，根據(jù)理想氣體的狀態(tài)方程PV = nRT,由于真空管內(nèi)的溫度不變，故真空管內(nèi)的壓強(qiáng)也不會(huì)發(fā)生變化，從而能夠達(dá)到使壓強(qiáng)穩(wěn)定的目的，即真空度穩(wěn)定。
【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1為現(xiàn)有的真空裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2為本實(shí)用新型的實(shí)施例2的真空管的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]其中，附圖標(biāo)記為:100、真空腔室；200、真空管道；300、真空栗；1、內(nèi)管；2、外管;3、連接管道；4、真空閥；21、第一防輻射材料層；11、第二防輻射材料層。
【具體實(shí)施方式】
[0016]為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0017]實(shí)施例1:
[0018]本實(shí)施例提供一種真空管，包括外管、內(nèi)管、真空閥和連接管道，內(nèi)管位于外管內(nèi)，連接管道連接外管和內(nèi)管，真空閥位于連接管道上，真空閥用于通過(guò)連接管道控制外管的內(nèi)壁與內(nèi)管的外壁之間的空隙的真空度。
[0019]本實(shí)施例的真空管，包括外管、內(nèi)管、真空閥和連接管道，真空閥用于通過(guò)連接管道控制外管的內(nèi)壁與內(nèi)管的外壁之間的空隙的真空度，該真空管不會(huì)與外界發(fā)生接觸傳熱，以確保真空管內(nèi)的溫度不會(huì)受到外界環(huán)境的影響，根據(jù)理想氣體的狀態(tài)方程PV = nRT,由于真空管內(nèi)的溫度不變，故真空管內(nèi)的壓強(qiáng)也不會(huì)發(fā)生變化，從而能夠達(dá)到使壓強(qiáng)穩(wěn)定的目的，即真空度穩(wěn)定。
[0020]實(shí)施例2:
[0021]請(qǐng)參照?qǐng)D2，本實(shí)施例提供一種真空管，包括外管2、內(nèi)管1、真空閥4和連接管道3，內(nèi)管1位于外管2內(nèi)，連接管道3連接外管2和內(nèi)管1，真空閥4位于連接管道3上，真空閥4用于通過(guò)連接管道3控制外管2的內(nèi)壁與內(nèi)管1的外壁之間的空隙的真空度。
[0022]其中，真空閥4為真空單向截止閥。
[0023]之所以如此設(shè)置，是由于當(dāng)真空閥4為真空單向截止閥時(shí)，空氣介質(zhì)單向移動(dòng)，當(dāng)內(nèi)管1的真空度小于外管2的內(nèi)壁與內(nèi)管1的外壁之間的空隙的真空度時(shí)，真空截止閥打開，真空栗會(huì)抽取外管2的內(nèi)壁與內(nèi)管1的外壁之間的空隙中的空氣；當(dāng)內(nèi)管1的真空度大于外管2的內(nèi)壁與內(nèi)管1的外壁之間的空隙的真空度時(shí)，空氣不會(huì)發(fā)生逆流，從而保持外管2的內(nèi)壁與內(nèi)管1的外壁之間的空隙的真空度，以避免對(duì)流傳熱方式導(dǎo)致內(nèi)管1內(nèi)的溫度發(fā)生變化，進(jìn)而影響真空度，使真空度發(fā)生變化而不穩(wěn)定。
[0024]其中，外管2的內(nèi)壁設(shè)置有第一防輻射材料層21，內(nèi)管1的外壁設(shè)置有第二防輻射材料層11。
[0025]可以理解的是，為了避免輻射傳熱，第一防輻射材料層21完全覆蓋外管2的內(nèi)壁，第二防輻射材料層11完全覆蓋內(nèi)管1的外壁，之所以如此設(shè)置，是由于第一防輻射材料層21和第二防輻射材料層11可以有效避免輻射傳熱，從而避免輻射傳熱方式導(dǎo)致內(nèi)管1內(nèi)的溫度發(fā)生變化，進(jìn)而影響真空度，使真空度發(fā)生變化而不穩(wěn)定。
[0026]當(dāng)然，第一防輻射材料層21和第二防輻射材料層11可以設(shè)置為相同的材料，以簡(jiǎn)化制備工藝，節(jié)約制造成本。
[0027]其中，外管2的內(nèi)壁與內(nèi)管1的外壁之間的空隙為真空環(huán)境。
[0028]之所以如此設(shè)置，是由于當(dāng)外管2的內(nèi)壁與內(nèi)管1的外壁之間的空隙為真空環(huán)境時(shí)，由于真空環(huán)境中氣體密度低，接近理想真空狀態(tài)，因此，該外管2的內(nèi)壁與內(nèi)管1的外壁之間的空隙失去了傳熱介質(zhì)，不會(huì)發(fā)生對(duì)流傳熱和接觸傳熱，起到了隔熱的作用，不會(huì)使內(nèi)管1內(nèi)的溫度發(fā)生變化，進(jìn)而影響真空度，使真空度發(fā)生變化而不穩(wěn)定。
[0029]其中，內(nèi)管1的長(zhǎng)度大于外管2的長(zhǎng)度。
[0030]本實(shí)施例的真空管，包括外管2、內(nèi)管1、真空閥4和連接管道3，真空閥4于通過(guò)連接管道3控制外管2的內(nèi)壁與內(nèi)管1的外壁之間的空隙的真空度，該真空管不會(huì)與外界發(fā)生接觸傳熱，以確保真空管內(nèi)的溫度不會(huì)受到外界環(huán)境的影響，根據(jù)理想氣體的狀態(tài)方程PV = nRT,由于真空管內(nèi)的溫度不變，故真空管內(nèi)的壓強(qiáng)也不會(huì)發(fā)生變化，從而能夠達(dá)到使壓強(qiáng)穩(wěn)定的目的，即真空度穩(wěn)定；同時(shí)，由于真空閥4為真空單向截止閥，可以保持外管2的內(nèi)壁與內(nèi)管1的外壁之間的空隙的真空度，以避免對(duì)流傳熱方式導(dǎo)致內(nèi)管1內(nèi)的溫度發(fā)生變化，且由于第一防輻射材料層21和第二防輻射材料層11可以有效避免輻射傳熱，從而避免輻射傳熱方式導(dǎo)致內(nèi)管1內(nèi)的溫度發(fā)生變化，因此，由于真空管內(nèi)的溫度不變，故真空管內(nèi)的壓強(qiáng)也不會(huì)發(fā)生變化，從而能夠達(dá)到使壓強(qiáng)穩(wěn)定的目的，即真空度穩(wěn)定。
[0031]實(shí)施例3:
[0032]本實(shí)施例提供一種真空裝置，包括真空腔室、真空栗和真空管，真空管連接真空腔室和真空栗，真空管為實(shí)施例1或?qū)嵤├?所述的真空管。
[0033]本實(shí)施例的真空裝置包括真空管，該真空管包括外管2、內(nèi)管1、真空閥4和連接管道3，真空閥4于通過(guò)連接管道3控制外管2的內(nèi)壁與內(nèi)管1的外壁之間的空隙的真空度，該真空管不會(huì)與外界發(fā)生接觸傳熱，以確保真空管內(nèi)的溫度不會(huì)受到外界環(huán)境的影響，根據(jù)理想氣體的狀態(tài)方程PV = nRT,由于真空管內(nèi)的溫度不變，故真空管內(nèi)的壓強(qiáng)也不會(huì)發(fā)生變化，從而能夠達(dá)到使壓強(qiáng)穩(wěn)定的目的，即真空度穩(wěn)定；同時(shí)，由于真空閥4為真空單向截止閥，可以保持外管2的內(nèi)壁與內(nèi)管1的外壁之間的空隙的真空度，以避免對(duì)流傳熱方式導(dǎo)致內(nèi)管1內(nèi)的溫度發(fā)生變化，且由于第一防輻射材料層21和第二防輻射材料層11可以有效避免輻射傳熱，從而避免輻射傳熱方式導(dǎo)致內(nèi)管1內(nèi)的溫度發(fā)生變化，因此，由于真空管內(nèi)的溫度不變，故真空管內(nèi)的壓強(qiáng)也不會(huì)發(fā)生變化，從而能夠達(dá)到使壓強(qiáng)穩(wěn)定的目的，即真空度穩(wěn)定。
[0034]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說(shuō)明本實(shí)用新型的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本實(shí)用新型并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本實(shí)用新型的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種真空管，其特征在于，包括外管、內(nèi)管、真空閥和連接管道，所述內(nèi)管位于所述外管內(nèi)，所述連接管道連接所述外管和所述內(nèi)管，所述真空閥位于所述連接管道上，所述真空閥用于通過(guò)連接管道控制所述外管的內(nèi)壁與所述內(nèi)管的外壁之間的空隙的真空度。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空管，其特征在于，所述真空閥為真空單向截止閥。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空管，其特征在于，所述外管的內(nèi)壁設(shè)置有第一防輻射材料層，所述內(nèi)管的外壁設(shè)置有第二防輻射材料層。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空管，其特征在于，所述外管的內(nèi)壁與所述內(nèi)管的外壁之間的空隙為真空環(huán)境。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空管，其特征在于，所述內(nèi)管的長(zhǎng)度大于所述外管的長(zhǎng)度。6.一種真空裝置，其特征在于，包括真空腔室、真空栗和真空管，所述真空管連接所述真空腔室和所述真空栗，所述真空管為權(quán)利要求1至5任意一項(xiàng)所述的真空管。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種真空管和真空裝置，屬于機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，其可解決現(xiàn)有的真空泵抽取真空腔室中的氣體時(shí)，真空管道外壁產(chǎn)生的水珠以及真空管道內(nèi)壓強(qiáng)不穩(wěn)定導(dǎo)致的真空度不穩(wěn)定的問(wèn)題。本實(shí)用新型的一種真空管，包括外管、內(nèi)管、真空閥和連接管道，所述內(nèi)管位于所述外管內(nèi)，所述連接管道連接所述外管和所述內(nèi)管，所述真空閥位于所述連接管道上，所述真空閥用于通過(guò)連接管道控制所述外管的內(nèi)壁與所述內(nèi)管的外壁之間的空隙的真空度。
【IPC分類】F16L59/065, F16L55/07, F16L9/18
【公開號(hào)】CN204986063
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520780456
【發(fā)明人】陳慶友, 魏振, 郭世波, 俞健陽(yáng), 李風(fēng)
【申請(qǐng)人】合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
【公開日】2016年1月20日
【申請(qǐng)日】2015年9月30日