專利名稱：一種高純二乙基鋅的安全輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種高純二乙基鋅的安全輸送裝置，尤其涉及一種用于安全 輸送薄膜太陽(yáng)能玻璃基板制備TCO膜所需的高純二乙基鋅源的輸送裝置，屬于 輸送裝置技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
2008年，歐洲OERIKON公司研制出了用于薄膜太陽(yáng)能電池制造的TC01200 系列的設(shè)備，用于在非晶硅玻璃基板上面通過(guò)氣相沉積的方式生成氧化鋅透明導(dǎo) 電薄膜，以增加太陽(yáng)能電池的導(dǎo)電率和透光率。而制備TCO薄膜用到的一種基 本原料就是二乙基鋅。二乙基鋅是一種特殊的液態(tài)化學(xué)品，具有自燃性和毒性等 危害特性，而且化學(xué)穩(wěn)定性很低，容易自身分解生成一些危害的產(chǎn)物，并且具有 爆炸的危險(xiǎn)，由于是這個(gè)工藝初次嘗試使用這種原料，所以工藝對(duì)系統(tǒng)的安全要 求和純度要求一直是研究的熱門(mén)。 發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是提供一種滿足行業(yè)要求的二乙基鋅安全輸送裝置。 為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是提供一種高純二乙基鋅的安全輸 送裝置，包括二乙基鋅源瓶和柜體，二.乙基鋅源瓶設(shè)于柜體內(nèi)，二乙基鋅源瓶的 底部設(shè)有電子秤，其特征在于，二乙基鋅源瓶的推動(dòng)氣體進(jìn)口通過(guò)第一球閥分 別與第一壓力傳感器、第一氣動(dòng)閥、第四氣動(dòng)閥進(jìn)口和第五氣動(dòng)閥進(jìn)口管道連接， 第一氣動(dòng)閥通過(guò)第二單向閥分別與第一壓力表出口和安全閥進(jìn)口管道連接，第一 壓力表進(jìn)口通過(guò)第一過(guò)濾器、第一減壓閥和第一手動(dòng)閥與推送氣體入口管道連 接，安全閥出口分別與第六氣動(dòng)閥出口、第八氣動(dòng)閥出口、第九氣動(dòng)閥出口和排 放出口管道連接，第六氣動(dòng)閥出口、第八氣動(dòng)閥出口和第九氣動(dòng)閥出口分別與排 放出口管道連接，第八氣動(dòng)閥進(jìn)口分別與第七氣動(dòng)閥出口和第二壓力傳感器管道 連接，第六氣動(dòng)閥進(jìn)口和第七氣動(dòng)閥進(jìn)口分別與過(guò)流開(kāi)關(guān)出口管道連接，過(guò)流開(kāi) 關(guān)進(jìn)口通過(guò)第二壓力表、第二過(guò)濾器、第二減壓閥、第一單向閥、第二手動(dòng)閥與吹掃氣源入口管道連接，第四氣動(dòng)閥出口與第九氣動(dòng)閥進(jìn)口管道連接，二乙基鋅 源瓶的氣體進(jìn)口通過(guò)第二球閥與源氣動(dòng)閥出口管道連接，源氣動(dòng)閥進(jìn)口分別與第 五氣動(dòng)閥出口、第二氣動(dòng)閥進(jìn)口、第三氣動(dòng)閥進(jìn)口和第十氣動(dòng)閥出口管道連接， 第二氣動(dòng)閥出口通過(guò)第二壓力傳感器與分別與第八氣動(dòng)闊進(jìn)口和第七氣動(dòng)閥出 口管道連接，第三氣動(dòng)閥出口與二乙基鋅源出口管道連接，第十氣動(dòng)闊進(jìn)口與備 用二乙基鋅源入口管道連接，在柜體頂部分別設(shè)有控制器、自動(dòng)風(fēng)閥、干粉滅火 器、紅外火焰?zhèn)蓽y(cè)器和高溫探頭，控制器與所有的閥門(mén)、自動(dòng)風(fēng)閥、干粉滅火器、 紅外火焰?zhèn)蓽y(cè)器和高溫探頭連接。
本實(shí)用新型作為連接源瓶和終端設(shè)備(TCO1200)的橋梁，實(shí)現(xiàn)源頭對(duì)于終 端設(shè)備的全自動(dòng)不間斷供應(yīng)二乙基鋅。
本實(shí)用新型分成第一手動(dòng)閥這一路的供應(yīng)支路和維護(hù)支路，二乙基鋅液體主 要是依靠惰性氣體一般為高純氮?dú)獾臄D壓二乙基鋅源瓶的液面，使得二乙基鋅液 體推送到供應(yīng)閥組，然后再通過(guò)供應(yīng)閥組的控制閥門(mén)，實(shí)現(xiàn)對(duì)終端設(shè)備的供應(yīng)， 維護(hù)支路主要是在源瓶使用完畢需要更換新瓶之前，需要排除閥組和管路內(nèi)殘留 的二乙基鋅而設(shè)置，設(shè)置這一步目的是為了防止系統(tǒng)內(nèi)殘留的二乙基鋅液體釋放 到環(huán)境里面引起火災(zāi)及人員傷害(二乙基鋅一接觸空氣或水分即立刻發(fā)生燃燒及 分解)，而且也防止在系統(tǒng)內(nèi)燃燒反應(yīng)的產(chǎn)物污染整個(gè)系統(tǒng)(燃燒的產(chǎn)物為氧化 鋅、二氧化碳等物質(zhì))，而當(dāng)新瓶更換上去以后也需要對(duì)閥組再次進(jìn)行吹掃置換， 以驅(qū)除更換新瓶時(shí)進(jìn)入系統(tǒng)的空氣等雜質(zhì)，設(shè)置這一步的目的是為防止環(huán)境里面 的空氣等雜質(zhì)對(duì)于系統(tǒng)的污染，也為防止當(dāng)二乙基鋅供出以后與進(jìn)入系統(tǒng)的雜質(zhì) 進(jìn)行反應(yīng)，導(dǎo)致系統(tǒng)燃燒等事故的發(fā)生。閥組都為隔膜密封閥，材質(zhì)為316L， 表面進(jìn)行電拋光處理，所有連接閥件的管道也都為316L內(nèi)表面電拋光處理材料， 所有的連接方式為VCR面密封式和自動(dòng)氬弧焊接方式，管道最終經(jīng)壓力測(cè)試和 氦質(zhì)譜檢漏，最大程度的保證系統(tǒng)的氣密性，另外還需進(jìn)行痕量水分、氧分及顆 粒度檢測(cè)，保證系統(tǒng)的純度。
本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是
1) 徹底消除安全隱患；
2) 保證二乙基鋅源供應(yīng)的純度；3) 實(shí)現(xiàn)連續(xù)供液，提高產(chǎn)品質(zhì)量和工藝的穩(wěn)定性；
4) 大大降低生產(chǎn)和物流成本；
5) 有效降低環(huán)境污染。

圖1為一種高純二乙基鋅的安全輸送裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。
實(shí)施例
如圖1所示，為一種高純二乙基鋅的安全輸送裝置結(jié)構(gòu)示意圖，所述的一種 高純二乙基鋅的安全輸送裝置由二乙基鋅源瓶、柜體、電子秤、二乙基鋅源瓶、 第一球閥、第二球閥、第一壓力傳感器、第二壓力傳感器、第一手動(dòng)閥、第二手 動(dòng)閥、第一氣動(dòng)閥-第十氣動(dòng)閥、第一單向閥、第二單向閥、第一壓力表、第二 壓力表、安全閥、第一過(guò)濾器、第二過(guò)濾器、第一減壓閥、第二減壓閥、過(guò)流開(kāi) 關(guān)、推送氣體入口、吹掃氣源入口、排放出口、源氣動(dòng)閥、二乙基鋅源出口、備 用二乙基鋅源入口、自動(dòng)風(fēng)閥、干粉滅火器、紅外火焰?zhèn)蓽y(cè)器和高溫探頭和控制 器組成。
二乙基鋅源瓶安裝在柜體內(nèi)，電子秤放在二乙基鋅源瓶的底部，二乙基鋅 源瓶的推動(dòng)氣體進(jìn)口通過(guò)第一球閥分別與第一壓力傳感器、第一氣動(dòng)閥、第四氣 動(dòng)閥進(jìn)口和第五氣動(dòng)閥進(jìn)口管道連接，第一氣動(dòng)閥通過(guò)第二單向閥分別與第一壓 力表出口和安全閥進(jìn)口管道連接，第一壓力表進(jìn)口通過(guò)第一過(guò)濾器、第一減壓閥 和第一手動(dòng)閥與推送氣體入口管道連接，安全閥出口分別與第六氣動(dòng)閥出口、第 八氣動(dòng)閥出口、第九氣動(dòng)閥出口和排放出口管道連接，第六氣動(dòng)閥出口、第八氣 動(dòng)閥出口和第九氣動(dòng)閥出口分別與排放出口管道連接，第八氣動(dòng)閥進(jìn)口分別與第 七氣動(dòng)閥出口和第二壓力傳感器管道連接，第六氣動(dòng)閥進(jìn)口和第七氣動(dòng)閥進(jìn)口分
別與過(guò)流開(kāi)關(guān)出口管道連接，過(guò)流開(kāi)關(guān)進(jìn)口通過(guò)第二壓力表、第二過(guò)濾器、第二 減壓閥、第一單向閥、第二手動(dòng)閥與吹掃氣源入口管道連接，第四氣動(dòng)閥出口與 第九氣動(dòng)閥進(jìn)口管道連接，二乙基鋅源瓶的氣體進(jìn)口通過(guò)第二球閥與源氣動(dòng)閥出 口管道連接，源氣動(dòng)閥進(jìn)口分別與第五氣動(dòng)閥出口、第二氣動(dòng)閥進(jìn)口、第三氣動(dòng) 閥進(jìn)口和第十氣動(dòng)閥出口管道連接，第二氣動(dòng)閥出口通過(guò)第二壓力傳感器與分別與第八氣動(dòng)閥進(jìn)口和第七氣動(dòng)閥出口管道連接，第三氣動(dòng)閥出口與二乙基鋅源出 口管道連接，第十氣動(dòng)閥進(jìn)口與備用二乙基鋅源入口管道連接，在柜體頂部分安 裝控制器、自動(dòng)風(fēng)閥、干粉滅火器、紅外火焰?zhèn)蓽y(cè)器和高溫探頭，控制器與所有 的閥門(mén)、自動(dòng)風(fēng)閥、干粉滅火器、紅外火焰?zhèn)蓽y(cè)器和高溫探頭連接。
干粉滅火器設(shè)在柜體內(nèi)部頂端，主要是當(dāng)供應(yīng)閥組面板發(fā)生二乙基鋅泄漏而 造成燃燒時(shí)能進(jìn)行動(dòng)作，干粉滅火器是由兩個(gè)封閉半球型外殼組成，里面裝有滅 火干粉、氣體發(fā)生劑和電活化劑。當(dāng)發(fā)現(xiàn)火源，氣體發(fā)生劑混合物達(dá)到自動(dòng)啟動(dòng) 的溫度，或者電活化劑接到電流脈沖時(shí)，殼內(nèi)氣體迅速膨脹、壓力增大，將底部 外殼沖破，超細(xì)干粉向外噴射并迅速向四周彌漫。它的驅(qū)動(dòng)方式由兩種， 一種是 溫度驅(qū)動(dòng)，當(dāng)系統(tǒng)溫度到達(dá)80'C時(shí)內(nèi)容物自行膨脹分解；另外一種是電流脈沖，
外部給出電流信號(hào)(700mA)即進(jìn)行啟動(dòng)滅火裝置的動(dòng)作，電流信號(hào)主要由控制 器給出。當(dāng)干粉滅火裝置到達(dá)兩者任何一種狀態(tài)時(shí)滅火裝置即開(kāi)始工作，大大保 障了系統(tǒng)的安全。
高溫探頭的設(shè)置主要是在系統(tǒng)發(fā)生泄漏或溫度異常時(shí)能給出信號(hào)，關(guān)斷源頭 閥組，給干粉滅火裝置脈沖電流，驅(qū)動(dòng)干粉滅火裝置動(dòng)作。高溫探頭的啟動(dòng)溫度 為68°C。
UV/IR即紅外火焰?zhèn)蓽y(cè)器，主要探測(cè)柜體內(nèi)是否存在火焰， 一旦探知紅外火 焰將立即關(guān)端源頭閥門(mén)。
自動(dòng)風(fēng)閥的設(shè)置主要是考慮到當(dāng)系統(tǒng)柜體內(nèi)發(fā)生火災(zāi)時(shí)能第一時(shí)間關(guān)閉風(fēng) 門(mén)，以把柜體從廠務(wù)抽風(fēng)系統(tǒng)隔離出來(lái)。
電子秤用來(lái)監(jiān)控源瓶的重量，當(dāng)源瓶使用接近空瓶時(shí)，它能給控制器一個(gè)信 號(hào)，提示源瓶即將使用完畢，需要更換。
控制器位于柜體的頂端，是保證系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)的核心，主要控制閥門(mén)的開(kāi)關(guān)， 也是信號(hào)輸入輸出的模塊，它主要由PLC模塊、電磁閥、報(bào)警燈、觸摸屏等組 成，它的控制邏輯主要由編寫(xiě)的PLC程序?qū)崿F(xiàn)，它有外接的擴(kuò)展端口，可以和 有遠(yuǎn)程控制功能的模塊實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)交換和遠(yuǎn)程監(jiān)控。
柜體是用來(lái)容納二乙基鋅源瓶、控制閥組面板、干粉滅火裝置、高溫探頭、 紅外火焰?zhèn)蓽y(cè)器、自動(dòng)風(fēng)閥、電子秤和控制器，殼體由厚度為2.5mm的鋼板制造，門(mén)上的窗戶由鋼化拉絲玻璃制造，有很好的防爆性能，另外柜體頂部有抽 風(fēng)口，外接動(dòng)力系統(tǒng)的抽風(fēng)裝置，保證泄漏物不會(huì)進(jìn)入柜體外的環(huán)境，最大程度 保證系統(tǒng)的安全。
設(shè)備與設(shè)備之間的管線為不銹鋼材質(zhì)的雙套管，外管為不銹鋼，中間為氮?dú)?吹掃層，內(nèi)管為電拋光處理的316L不銹鋼，在外管的設(shè)備端入口接入吹掃氮?dú)猓?往柜體里面吹，當(dāng)管道中間有泄漏發(fā)生的話也會(huì)被柜體內(nèi)高溫探頭和紅外火焰?zhèn)?測(cè)器偵測(cè)到，而且雙層管設(shè)計(jì)的好處在于內(nèi)管發(fā)生泄漏不會(huì)直接進(jìn)入環(huán)境引起火 災(zāi)。
工作時(shí)，
1. 第一手動(dòng)閥、第一減壓閥、第一過(guò)濾器、第二單向閥保持常開(kāi)狀態(tài)。
2. 第二手動(dòng)閥、第一單向閥、第二減壓閥、第二過(guò)濾器、過(guò)流開(kāi)關(guān)保持常開(kāi) 狀態(tài)。
所有閥門(mén)的關(guān)閉不包含上述閥門(mén)。 液體輸送將高純氮?dú)馑腿胪扑蜌怏w入口，打開(kāi)第一手動(dòng)閥，氮?dú)膺M(jìn)入第一
減壓閥，將壓力調(diào)節(jié)為40Psig，氮?dú)膺M(jìn)入第一過(guò)濾器過(guò)濾，第一壓力表顯示經(jīng)調(diào)
節(jié)后的氮?dú)鈮毫?，進(jìn)入第二單向閥，打開(kāi)第一氣動(dòng)閥，第一壓力傳感器將氮?dú)鈮?力信號(hào)送至控制器，打開(kāi)第一球閥，氮?dú)饧催M(jìn)入二乙基鋅源瓶，瓶?jī)?nèi)液體受到氣 體擠壓，液體從底部管道壓入第二球閥，打開(kāi)第二球閥、源氣動(dòng)闊和第三氣動(dòng)閥， 將二乙基鋅液體送到二乙基鋅源出口供應(yīng)到設(shè)備，氣動(dòng)閥門(mén)的動(dòng)作都通過(guò)控制器 來(lái)控制，此時(shí)其他閥門(mén)保持關(guān)閉狀態(tài)。
換新瓶前準(zhǔn)備關(guān)閉上述所有閥門(mén)，打開(kāi)第一球閥、第四氣動(dòng)闊和第九氣動(dòng) 閥將瓶?jī)?nèi)壓力釋放到終端尾氣處理系統(tǒng)(尾氣處理系統(tǒng)有真空泵支持)，氣體從 排放出口排出后關(guān)閉所有閥門(mén)。
換新瓶前源氣動(dòng)閥至第二球閥內(nèi)殘液排除關(guān)閉所有闊門(mén)，高純氮?dú)夤嗳氪?掃氣源入口，打開(kāi)第二手動(dòng)閥，氮?dú)饨?jīng)第一單向閥進(jìn)入第二減壓閥，調(diào)節(jié)壓力至 15Psig左右，經(jīng)第二過(guò)濾器后第二壓力表顯示調(diào)節(jié)后壓力，氮?dú)膺M(jìn)入過(guò)流開(kāi)關(guān)(其 作用是控制氮?dú)饬髁窟^(guò)大對(duì)系統(tǒng)造成威脅)，打開(kāi)第七氣動(dòng)閥，由第二壓力傳感 器將壓力信號(hào)送至控制器，打開(kāi)第二氣動(dòng)闊、源氣動(dòng)閥和第二球闊，將殘液送回源瓶后關(guān)閉所有閥門(mén)。
二乙基鋅源瓶與供應(yīng)閥組之間管道內(nèi)惰性吹掃和置換關(guān)閉所有閥門(mén)，打開(kāi) 第七氣動(dòng)閥，由第二壓力傳感器將壓力信號(hào)送至控制器，打開(kāi)第二氣動(dòng)閥、源氣 動(dòng)閥將氮?dú)夤嗳朊姘寮岸一\源瓶之間管道內(nèi)，然后關(guān)閉所有閩門(mén)，打開(kāi)源氣 動(dòng)閥、第二氣動(dòng)閥和第八氣動(dòng)閥，內(nèi)部氮?dú)獗慌欧懦隹谡婵瘴?，然后關(guān)閉所有 閥門(mén)，如此動(dòng)作重復(fù)20次以保證系統(tǒng)內(nèi)二乙基鋅殘留被置換干凈。
源瓶更換關(guān)閉所有閥門(mén)，打開(kāi)第七氣動(dòng)閥、第二氣動(dòng)閥、第五氣動(dòng)閥、源 氣動(dòng)閥將氮?dú)夤嗳朊姘寮岸一\源瓶之間管道內(nèi)，打開(kāi)第一、第二球閥上面的 接口，保持氮?dú)獯党鲆悦馔饨缈諝膺M(jìn)入閥組面板污染系統(tǒng)，移走空瓶換上實(shí)瓶。
新瓶供液前吹掃關(guān)閉所有閥門(mén)，打開(kāi)第七氣動(dòng)閥、第二氣動(dòng)閥、第五氣動(dòng) 閥、源氣動(dòng)閥將氮?dú)夤嗳朊姘寮岸一\源瓶之間管道內(nèi)，然后關(guān)閉所有閥門(mén)， 打開(kāi)源氣動(dòng)閥、第五氣動(dòng)閥、第二氣動(dòng)閥和第八氣動(dòng)閥，內(nèi)部氮?dú)獗慌欧懦隹谡?空吸走，然后關(guān)閉所有閥門(mén)，如此動(dòng)作重復(fù)20次以保證系統(tǒng)內(nèi)外界污染物被置 換干凈。
送液前壓力檢查打開(kāi)第七、第二、第五及源氣動(dòng)閥將氮?dú)庖胂到y(tǒng)，觀察 第二壓力傳感器看壓力在IO分鐘內(nèi)是否有波動(dòng)。如果存在壓力下降需要檢查接 口等處是否銜接完整，如沒(méi)有則進(jìn)入真空狀態(tài)檢查，關(guān)閉所有閥門(mén)，然后打開(kāi)第 八、第二、第五及源氣動(dòng)閥，內(nèi)部氮?dú)獗慌欧懦隹谡婵瘴?，，并保持?nèi)部的真 空度，然后關(guān)閉所有闊門(mén)，觀察第二壓力傳感器看壓力在10分鐘內(nèi)是否有波動(dòng)， 如果上升則需要檢査接口等處是否銜接完整，如沒(méi)有則進(jìn)入液體輸送步驟。
直接使用外部二乙基鋅源供應(yīng)，關(guān)閉所有閥門(mén)，將外部二乙基鋅源送入備用 二乙基鋅入口 ，在系統(tǒng)處于真空狀態(tài)打開(kāi)第三手動(dòng)閥直接實(shí)現(xiàn)二乙基鋅源至設(shè)備 的供應(yīng)。
輸送裝置采用高純氮?dú)?，將二乙基鋅壓送到TCO1200設(shè)備附近的蒸發(fā)器內(nèi)，
供液信號(hào)來(lái)源于工藝設(shè)備端的需求指令，輸送裝置容納一個(gè)鋼瓶，配置電子秤， 監(jiān)測(cè)鋼瓶重量。所有閥和管道均安裝在面板上，采用兩塊獨(dú)立的面板，氣體面板、
液體控制面板，P&ID顯示在一起，化學(xué)品輸送面板均采用不銹鋼材質(zhì)元件，設(shè)
備采用抽風(fēng)柜體，配置泄露偵測(cè)器，輸送裝置配置高真空泵，以便更換鋼瓶時(shí)輔助吹掃。
當(dāng)柜體內(nèi)的發(fā)生泄漏時(shí)，高溫探頭及紅外火焰?zhèn)蓽y(cè)器任何一者探知即立刻將 信號(hào)傳給控制器，再由控制器將源頭氣動(dòng)閥門(mén)關(guān)閉，另外控制器會(huì)同時(shí)給信號(hào)至 自動(dòng)風(fēng)閥，關(guān)閉抽風(fēng)系統(tǒng)，同時(shí)啟動(dòng)干粉滅火裝置，進(jìn)行滅火的動(dòng)作。
權(quán)利要求1.一種高純二乙基鋅的安全輸送裝置，包括二乙基鋅源瓶和柜體，二乙基鋅源瓶設(shè)于柜體內(nèi)，二乙基鋅源瓶的底部設(shè)有電子秤，其特征在于，二乙基鋅源瓶的推動(dòng)氣體進(jìn)口通過(guò)第一球閥分別與第一壓力傳感器、第一氣動(dòng)閥、第四氣動(dòng)閥進(jìn)口和第五氣動(dòng)閥進(jìn)口管道連接，第一氣動(dòng)閥通過(guò)第二單向閥分別與第一壓力表出口和安全閥進(jìn)口管道連接，第一壓力表進(jìn)口通過(guò)第一過(guò)濾器、第一減壓閥和第一手動(dòng)閥與推送氣體入口管道連接，安全閥出口分別與第六氣動(dòng)閥出口、第八氣動(dòng)閥出口、第九氣動(dòng)閥出口和排放出口管道連接，第六氣動(dòng)閥出口、第八氣動(dòng)閥出口和第九氣動(dòng)閥出口分別與排放出口管道連接，第八氣動(dòng)閥進(jìn)口分別與第七氣動(dòng)閥出口和第二壓力傳感器管道連接，第六氣動(dòng)閥進(jìn)口和第七氣動(dòng)閥進(jìn)口分別與過(guò)流開(kāi)關(guān)出口管道連接，過(guò)流開(kāi)關(guān)進(jìn)口通過(guò)第二壓力表、第二過(guò)濾器、第二減壓閥、第一單向閥、第二手動(dòng)閥與吹掃氣源入口管道連接，第四氣動(dòng)閥出口與第九氣動(dòng)閥進(jìn)口管道連接，二乙基鋅源瓶的氣體進(jìn)口通過(guò)第二球閥與源氣動(dòng)閥出口管道連接，源氣動(dòng)閥進(jìn)口分別與第五氣動(dòng)閥出口、第二氣動(dòng)閥進(jìn)口、第三氣動(dòng)閥進(jìn)口和第十氣動(dòng)閥出口管道連接，第二氣動(dòng)閥出口通過(guò)第二壓力傳感器與分別與第八氣動(dòng)閥進(jìn)口和第七氣動(dòng)閥出口管道連接，第三氣動(dòng)閥出口與二乙基鋅源出口管道連接，第十氣動(dòng)閥進(jìn)口與備用二乙基鋅源入口管道連接，在柜體頂部分別設(shè)有控制器、自動(dòng)風(fēng)閥、干粉滅火器、紅外火焰?zhèn)蓽y(cè)器和高溫探頭，控制器與所有的閥門(mén)、自動(dòng)風(fēng)閥、干粉滅火器、紅外火焰?zhèn)蓽y(cè)器和高溫探頭連接。
專利摘要一種高純二乙基鋅的安全輸送裝置，包括二乙基鋅源瓶和柜體，二乙基鋅源瓶設(shè)于柜體內(nèi)，二乙基鋅源瓶的底部設(shè)有電子秤，其特征在于，推動(dòng)氣體進(jìn)口用過(guò)第一手動(dòng)閥、第一單向閥、第一過(guò)濾閥、第一過(guò)濾器、第一減壓閥、第二單向閥、第一氣動(dòng)閥、第一壓力傳感器、第五氣動(dòng)閥、二乙基鋅源瓶、源氣動(dòng)閥、第三氣動(dòng)閥、第一球閥、第二球閥和二乙基鋅源出口組成供應(yīng)支路，吹掃氣源入口、排放出口、第五氣動(dòng)閥、二乙基鋅源瓶、源氣動(dòng)閥、第一球閥、第二球閥及閥門(mén)組成維護(hù)支路，在柜體頂部分別設(shè)有自動(dòng)風(fēng)閥、干粉滅火器、紅外火焰?zhèn)蓽y(cè)器和高溫探頭。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是徹底消除安全隱患，實(shí)現(xiàn)連續(xù)供液，提高產(chǎn)品質(zhì)量和工藝的穩(wěn)定性。
文檔編號(hào)F17D1/04GK201348138SQ200920067428
公開(kāi)日2009年11月18日 申請(qǐng)日期2009年1月24日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月24日
發(fā)明者明 馮, 李東升, 龔小雷 申請(qǐng)人:上海正帆超凈技術(shù)有限公司