專利名稱：改進(jìn)的瓶裝高純氣體充裝系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及瓶裝高純氣體充裝系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
高純氣體系指純度彡99.999%的氣體，包括高純N2、Ar、H2、He等，其中以高純N2、Ar在工業(yè)上用途最為廣泛。高純氣體充裝時，要求灌裝瓶中的雜質(zhì)02、H20和THC等雜質(zhì)的總含量低于lOppm。為了保證灌裝氣的質(zhì)量，傳統(tǒng)的方法是，先檢查待灌裝瓶底氣中氧和水等雜質(zhì)含量，將底氣雜質(zhì)含量合格的灌裝瓶與充裝排連接，接著至少需要加入3次高純原料氣l_2MPa進(jìn)行置換。充裝前的一些操作存在以下問題:1、空瓶底氣檢驗耗時較長，影響充裝效率，以充裝24瓶/組為例，24個空瓶檢驗合格需時40min ;2、充裝過程中置換放空的大量高純氣體，嚴(yán)重浪費原料氣，增加了生產(chǎn)成本。

實用新型內(nèi)容針對現(xiàn)有技術(shù)中的上述不足，本實用新型提供了一種改進(jìn)的瓶裝高純氣體充裝系統(tǒng)，其設(shè)置的真空泵和雜質(zhì)分析裝置解決了充裝前空瓶底氣檢驗耗時長、充裝中置換浪費大量的高純氣及成本投入高的問題。為了達(dá)到上述發(fā)明目的，本實用新型采用的技術(shù)方案為:提供一種改進(jìn)的瓶裝高純氣體充裝系統(tǒng)，其包括一種改進(jìn)的瓶裝高純氣體充裝系統(tǒng)，包括灌裝瓶、充裝排和安裝在充氣排入口處的充裝閥；其特征在于:還包括與設(shè)置在充裝閥和第一個灌裝瓶之間的充裝排上的采樣點連接的雜質(zhì)分析裝置及設(shè)置在采樣點和充裝閥之間的真空泵。
按照本實用新型所述的改進(jìn)的瓶裝高純氣體充裝系統(tǒng)，其特征在于:所述雜質(zhì)分析裝置包括分別與采樣點連接的水分分析儀和微量氧分析儀。本實用新型的有益效果為:該充裝系統(tǒng)設(shè)置的真空泵對灌裝瓶進(jìn)行抽真空處理后，經(jīng)充裝排加入一定量的高純氣體，用雜質(zhì)分析裝置對灌裝瓶內(nèi)的氧和水雜質(zhì)含量進(jìn)行測量，省去了充裝前空瓶底氣雜質(zhì)檢驗工序、減少了置換耗用的高純氣用量，有效地節(jié)約了高純氣體資源、提高了生產(chǎn)效率、降低了生產(chǎn)成本。

圖1為改進(jìn)的瓶裝高純氣體充裝系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。其中，1、灌裝瓶；2、充裝排；21、充裝閥；3、真空泵；4、雜質(zhì)分析裝置；41、水分分析儀；42、微量氧分析儀。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型做進(jìn)一步地說明:如圖1所示，該改進(jìn)的瓶裝高純氣體充裝系統(tǒng)包括灌裝瓶1、充裝排2和安裝在充氣排2入口處的充裝閥21 ;其特征在于:還包括與設(shè)置在充裝閥21和第一個灌裝瓶I之間的充裝排2上的采樣點連接的雜質(zhì)分析裝置4及設(shè)置在采樣點和充裝閥21之間的真空泵3 ;所述雜質(zhì)分析裝置4包括水分分析儀41和微量氧分析儀42 ;所述水分分析儀41和微量氧分析儀42分別與充裝排2上的采樣點連接。灌裝瓶I進(jìn)行高純氣體充裝前，不需進(jìn)行空瓶底氣雜質(zhì)檢驗，將待灌裝瓶I與充裝排2連接，關(guān)閉充裝閥21 ;接著啟動真空泵3，對灌裝瓶I抽將近5分鐘的真空；接著打開充裝閥21，加入一定量的約0.5-lMPa高純氣體，關(guān)閉充裝閥21，啟動雜質(zhì)檢測裝置對灌裝瓶I內(nèi)的成分進(jìn)行分析；最后，當(dāng)氧和水份雜質(zhì)的含量達(dá)到控制值后，將灌裝瓶I內(nèi)余壓放空，再打開充裝閥21對灌裝瓶I進(jìn)行充裝到滿瓶；若氧和水份的含量未達(dá)到控制值，將灌裝瓶I中的0.5-lMPa高純氣體放空后，再次加入一定量的約0.5-lMPa高純氣體后進(jìn)行檢測，待氧和水份的含量達(dá)到 控制值后，放空后進(jìn)行高純氣體充裝到滿瓶。
權(quán)利要求1.一種改進(jìn)的瓶裝高純氣體充裝系統(tǒng)，包括灌裝瓶(I)、充裝排(2)和安裝在充氣排(2)入口處的充裝閥(21);其特征在于:還包括與設(shè)置在充裝閥(21)和第一個灌裝瓶(I)之間的充裝排(2)上的采樣點連接的雜質(zhì)分析裝置(4)以及設(shè)置在采樣點和充裝閥(21)之間的真空泵(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改進(jìn)的瓶裝高純氣體充裝系統(tǒng)，其特征在于:所述雜質(zhì)分析裝置(4)包括分別與采樣點 連接的水分分析儀(41)和微量氧分析儀(42)。
專利摘要本實用新型公開了一種改進(jìn)的瓶裝高純氣體充裝系統(tǒng)，包括灌裝瓶、充裝排、安裝在充氣排入口處的充裝閥、與設(shè)置在充裝閥和第一個灌裝瓶之間的充裝排上的采樣點連接的雜質(zhì)分析裝置及設(shè)置在采樣點和成分分析裝置之間的真空泵。該充裝系統(tǒng)設(shè)置的真空泵對灌裝瓶進(jìn)行抽真空處理后，經(jīng)充裝排加入一定量的高純氣體，用雜質(zhì)分析裝置對灌裝瓶內(nèi)的氧和水含量進(jìn)行測量，省去了充裝前的空瓶底氣檢驗工序，減少了置換灌裝瓶內(nèi)的高純氣體用量，有效地節(jié)約了高純氣體資源、提高了生產(chǎn)效率、降低了生產(chǎn)成本。
文檔編號F17C5/00GK203099312SQ201220725818
公開日2013年7月31日 申請日期2012年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月26日
發(fā)明者朱剛 申請人:成都成鋼梅塞爾氣體產(chǎn)品有限公司