專利名稱：檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本申請發(fā)明涉及一種檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備和方法，在安裝電子器件的薄膜載帶(包括TAB(帶式自動焊接)帶、T-BGA(帶式球柵陣列)帶、CSP(芯片尺寸封裝)帶、ASIC(專用集成電路)帶、COF(薄膜芯片)帶、2金屬(雙面布線)帶和多層布線帶等)(它們將在下文被稱作“安裝電子器件的薄膜載帶”)發(fā)貨前最后檢查外觀引線的缺陷，然后，通過例如穿孔等方法標(biāo)識缺陷產(chǎn)品的缺陷。
背景技術(shù)：
隨著電子工業(yè)的發(fā)展，對于安裝電子器件如IC(集成電路)或LSI(大規(guī)模集成電路)的印刷電路板的需求迅速增長，而且需要在尺寸和重量上有所降低，在電子設(shè)備的功能上有所提高。作為滿足這些要求的安裝電子器件的方法，近來采用了一種用薄膜型載帶如TAB帶、T-BGA帶和ASIC帶的安裝方法。特別是，在使用需要提高精密度、減小厚度和降低液晶屏的結(jié)構(gòu)面積的液晶顯示器(LCD)的電子工業(yè)，如在個人電腦中，其重要性增大。
在這樣的安裝電子器件的薄膜載帶中，對其質(zhì)量進(jìn)行檢驗。一般地，執(zhí)行一種利用人的目視檢查的檢查方法(透射光檢查或反射光檢查)并通過穿孔、涂墨、干燥墨等顯示缺陷產(chǎn)品的缺陷，作為斷路、短路、凹痕(即布線引線寬度的減小部分)、突起及其進(jìn)一步的圖案缺陷、電鍍?nèi)毕荨螤畹淖冃?，阻焊缺陷等缺陷的各種質(zhì)量檢查的結(jié)果。
由于這個原因，傳統(tǒng)地提出一種檢查設(shè)備，其中，在一條中安裝電子器件的薄膜載帶在橫向上具有一個或多個電子器件的安裝部位，該薄膜載帶繞出退卷裝置。而且，在傳統(tǒng)的檢查設(shè)備中，在檢查區(qū)使用了預(yù)先確定的檢查，且該帶通過卷繞裝置卷繞(例如，見專利文件1-5)。
更具體地，如

圖1 3所示，在傳統(tǒng)的檢查設(shè)備100中，在一條內(nèi)安裝電子器件的薄膜載帶102，在橫向具有一個或多個電子器件的安裝部位，該薄膜載帶102繞在退卷卷軸104上。退卷卷軸104附加在退卷裝置106的退卷軸108上，以便安裝電子器件的薄膜載帶102從退卷裝置106上繞開。
從在退卷裝置106上繞開的安裝電子器件的薄膜載帶102，在檢查區(qū)110作目視檢查。然后，如果存在缺陷部位，通過缺陷標(biāo)識設(shè)備112標(biāo)識缺陷，例如穿孔。
目視檢查和缺陷標(biāo)識步驟完成之后，安裝電子器件的薄膜載帶102繞在繞卷卷軸118上，繞卷卷軸118附加在繞卷裝置114的繞卷軸116上。
日本專利公開號2001-35891[專利文件2]日本專利公開號2000-227401[專利文件3]日本專利公開號2000-182061[專利文件4]日本專利公開號10-256278[專利文件5]日本專利公開號9-92692
在此方法中，在一條里安裝電子器件的薄膜載帶102從退卷裝置106上繞開，在檢查區(qū)110中的執(zhí)行預(yù)定的檢查，薄膜載帶102通過繞卷裝置114繞卷，但是，在檢查區(qū)110中對每一條進(jìn)行檢查。
結(jié)果，每一次可被檢測安裝電子器件的薄膜載帶102是繞在一個繞卷卷軸上的薄膜載帶。因此，在現(xiàn)有的批量生產(chǎn)的情況下，檢查效率仍然是非常不夠的。
而且，在制造安裝電子器件的薄膜載帶的方法中，為了增加生產(chǎn)率，最近已經(jīng)生產(chǎn)了在橫向多條中具有多個電子器件的安裝部位的安裝電子器件的薄膜載帶(所謂的“多重繞卷(multiple take-up)”)。
當(dāng)這種在多條中安裝電子器件的薄膜載帶被檢查時，通過切割裝置執(zhí)行切割步驟，將該薄膜載帶預(yù)先分成在條中安裝電子器件的單獨的薄膜載帶，并對如此切割的薄膜載帶的每一條進(jìn)行檢查。
更具體地，扭曲產(chǎn)生在多條中安裝電子器件的薄膜載帶的橫向上。由于這個原因，不能執(zhí)行精確的檢查。而且，當(dāng)在目視檢查后對多條中安裝電子器件的薄膜載帶進(jìn)行切割時，有必要對內(nèi)部導(dǎo)線彎曲、裂紋、異物等再進(jìn)行一次檢查。而由于用戶設(shè)備的限制，在檢查前執(zhí)行切割步驟時，對分割的薄膜載帶的每一條進(jìn)行檢查。
發(fā)明概述考慮到存在的情況，本發(fā)明目的提供了一種檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備和方法，其中，該薄膜載帶在橫向多條中具有多個電子器件的安裝部位，且被切割成各條并可以被一次性地檢查，因此可以大大地提高檢查效率。而且，在檢查后，在各條中安裝電子器件的薄膜載帶可以卷在各自的繞卷卷軸上而沒有繞卷偏離。
為了解決傳統(tǒng)技術(shù)，并獲得上面所描述的目的，本發(fā)明提供了一種檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備，其中，在橫向的多條中具備了多個的電子器件安裝的部位，包括一個退卷裝置，用于對多條中的安裝電子器件的薄膜載帶退卷，其中，預(yù)先被切割和分離到各自的條中的各自的安裝電子器件的薄膜載帶分別地卷在退卷卷軸上；一個檢查區(qū)，用于同時地檢查分成條的安裝電子器件的薄膜載帶，同時使它們相互平行地運動；和一個繞卷裝置，用于同時地繞卷在檢查區(qū)被檢查的分成條的安裝電子器件的薄膜載帶在分別平行地附加在同一繞卷軸的多個繞卷卷軸之上。
而且，本發(fā)明提供了一種檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法，其中，在橫向具備多個電子器件的安裝部位，該方法的步驟包括從退卷裝置上退卷多條中安裝電子器件的薄膜載帶，其中預(yù)先被切割和分離到各自的條中的各自的安裝電子器件的薄膜載帶分別地卷在退卷卷軸上；在檢查區(qū)同時檢查分成條的安裝電子器件的薄膜載帶，同時使它們在相互平行中運動；和同時地繞卷在檢查區(qū)被檢查的分成條的安裝電子器件的薄膜載帶在分別平行地附加在同一繞卷軸的多個繞卷卷軸之上。
通過這個結(jié)構(gòu)，預(yù)先分成各自條的安裝電子器件的薄膜載帶分別地從退卷裝置的退卷卷軸上退卷，薄膜載帶相互平行的運動，并在各自的條的切割狀態(tài)下，沒有相互引起位置偏離地通過檢查區(qū)。
因此，平行地運動的多條的安裝電子器件的薄膜載帶，在檢查區(qū)每次可以同時地、準(zhǔn)確地接受為光學(xué)檢查(一個發(fā)射光檢查和一個反射光檢查)的目視檢查。作為斷開，短路，凹痕(即布線引線寬度的減小部分)，突出部分等缺陷的各種質(zhì)量檢查的結(jié)果，缺陷標(biāo)識可通過穿孔、上墨、干墨等在缺陷產(chǎn)品上執(zhí)行。
因此，安裝電子器件的薄膜載帶，在橫向的多條中具備了多個的電子器件安裝的部位，每次可以準(zhǔn)確地使用和檢查。因此，檢查效率和檢查精度大大地提高了。
此外，相互地分開在條中的各自的安裝電子器件的薄膜載帶，在檢查后，不會相互引起位置的偏離，和在卷軸上各自的安裝電子器件的薄膜載帶繞卷時沒有繞卷偏離。
特別地，根據(jù)本發(fā)明，檢查過程可以連續(xù)地、精確地大量進(jìn)行操作，其過程效率可以大大地提高。而且，該過程可以由一個操作員完成，以便降低成本。
而且，本發(fā)明提供了一種安裝電子器件的薄膜載帶的檢查設(shè)備，其中，在橫向的多條中具備多個的電子器件安裝的部位，設(shè)備包括一個退卷裝置，用于對在繞卷在退卷卷軸上的多條中安裝電子器件的薄膜載帶退卷；
一個分割裝置，用于分割從退卷卷軸上退卷的多條中安裝電子器件的薄膜載帶，成為各自的在條中安裝電子器件的薄膜載帶；一個檢查區(qū)，用于使通過分割裝置分成條的安裝電子器件的薄膜載帶相互平行地運動和同時地檢查它們；和一個繞卷裝置，用于同時地繞卷在檢查區(qū)被檢查的分成條的安裝電子器件的薄膜載帶到分別平行地附加在同一繞卷軸的多個繞卷卷軸之上。
而且，本發(fā)明提供了一種檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法，其中，在橫向具備多個電子器件的安裝部位，步驟包括從退卷裝置上退卷被繞卷在退卷卷軸上的多條中安裝電子器件的薄膜載帶；通過分割裝置，分割從退卷卷軸上退卷的多條中安裝電子器件的薄膜載帶，成為各自的在條中安裝電子器件的薄膜載帶；使被分割裝置分成條的安裝電子器件的薄膜載帶相互平行地運動和同時地檢查它們；和同時地繞卷在檢查區(qū)被檢查的分成條的安裝電子器件的薄膜載帶在分別平行地附加在同一繞卷軸的多個繞卷卷軸之上。
通過這種結(jié)構(gòu)，安裝電子器件的薄膜載帶，在橫向的多條中具備多個的電子器件安裝的部位，安裝電子器件的薄膜載帶沒有切割和分離地被使用和從退卷裝置中退卷，并通過分割裝置的方式將它們分成各自的在條中安裝電子器件的薄膜載帶。
因此通過切割獲得的各自的在條中安裝電子器件的薄膜載帶相互平行地運動，并沒有相互引起位置的偏離地通過檢查區(qū)。
因此，平行地運動的多條的安裝電子器件的薄膜載帶，在檢查區(qū)每次可以同時地、準(zhǔn)確地提供為光學(xué)檢查(一個發(fā)射光檢查和一個反射光檢查)的目視檢查。作為斷開，短路，凹痕(即布線引線寬度的減小部分)，突出部分和類似的缺陷的各種質(zhì)量檢查的結(jié)果，缺陷標(biāo)識可通過穿孔、上墨、干墨等在缺陷產(chǎn)品上執(zhí)行。
因此，在橫向的多條中具備多個的電子器件安裝部位的安裝電子器件的薄膜載帶，每次可以在正是這種多條的狀態(tài)下使用和檢查。因此，檢查效率和檢查精度大大地提高了。
此外，相互地分開各自的在條中安裝電子器件的薄膜載帶而不相互引起位置的偏離，和在檢查后繞卷各自的薄膜載帶在各自的繞卷卷軸上而沒有繞卷偏離是可能的。
特別地，根據(jù)本發(fā)明，檢查過程可以連續(xù)地、精確地大量進(jìn)行操作，其處理效率可以大大地提高。而且，該過程可以由一個操作員完成，以便降低成本。
根據(jù)本發(fā)明，在這些情況下，被切割為條和在檢查區(qū)被檢查的安裝電子器件的薄膜載帶也可以同時繞卷在分別平行地附加在卷繞裝置的各自的繞卷軸的多個繞卷卷軸之上。
因此，帶可以分別地繞在各自的繞卷軸的卷軸上。結(jié)果，帶可以分別地傳遞到下一步驟，非常方便。
此外，本發(fā)明的特征在于檢查區(qū)包括一個導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，可使分成條的安裝電子器件的薄膜載帶，相互平行地運動。
導(dǎo)向機(jī)構(gòu)包括在兩端的一個導(dǎo)向部分，用于引導(dǎo)在最外側(cè)薄膜載帶的兩端邊部分；和一個鄰近部件導(dǎo)向部分，在兩端的邊導(dǎo)向部分之間凸出，用于引導(dǎo)分成條的薄膜載帶的鄰近邊部分。
通過這種結(jié)構(gòu)，分成條的安裝電子器件的薄膜載帶兩端的所有鄰近邊部分及邊部分，通過在導(dǎo)向機(jī)構(gòu)中的邊導(dǎo)向部分及鄰近部件導(dǎo)向部分支撐和引導(dǎo)。
在檢查區(qū)，因此，平行運動的安裝電子器件的薄膜載帶在橫向沒有彎曲，也就是，不會分別伸縮。因此，檢查位置是平的和穩(wěn)定的。結(jié)果，對于需要在對內(nèi)部導(dǎo)向彎曲、裂紋等具有高精度的質(zhì)量檢查中，可以高精度準(zhǔn)確地執(zhí)行質(zhì)量檢查，而沒有放大鏡片的焦點偏離等。
而且，本發(fā)明的特征在于傳送從退卷裝置中繞開和通過分割裝置分成條的安裝電子器件的薄膜載帶的驅(qū)動齒輪，同時使它們相互平行地運動，驅(qū)動齒輪包括一個兩端齒輪，與在最外側(cè)的薄膜載帶兩端的邊部分上的齒孔相配合；和一個中間齒輪，在兩端齒輪之間與在分成條的薄膜載帶的鄰近邊部分上的齒孔相配合。
通過這種結(jié)構(gòu)，所有在分成條的安裝電子器件的薄膜載帶兩端的鄰近邊部分和兩端邊部分上的齒孔與在驅(qū)動齒輪中的兩端齒輪及中間齒輪相配合，且以相同的速度同時地傳送。
在檢查區(qū)，因此，平行運動的安裝電子器件的薄膜載帶的位置沒有相互偏離。因此，每次可同時地對多個安裝電子器件的薄膜載帶進(jìn)行高精度的準(zhǔn)確的質(zhì)量檢查。
此外，本發(fā)明的特征在于一個導(dǎo)向輥，導(dǎo)向輥包括在兩端的一個邊導(dǎo)向凸出部分，用于引導(dǎo)最外側(cè)薄膜載帶的兩端邊部分；和一個鄰近部件導(dǎo)向凸出部分，在兩端的邊導(dǎo)向凸出部分之間以分離和引導(dǎo)分成條的薄膜載帶鄰近邊部分。
通過這種結(jié)構(gòu)，分成條的安裝電子器件的薄膜載帶的鄰近邊部分，通過導(dǎo)向輥中的鄰近部件導(dǎo)向凸出部分在相互分離的狀態(tài)下引導(dǎo)。
在輸送中，因此，可以阻止安裝電子器件的薄膜載帶的鄰邊部分的相互接觸、磨損和破壞。因此，可以提高質(zhì)量，可以阻止由繞卷所引起的繞卷偏離等。
而且，本發(fā)明的特征在于多個繞卷卷軸，繞卷卷軸平行地附加在繞卷裝置的同一繞卷軸上，通過可拆卸的接合桿裝置的方式安裝在卷軸中心的附近的通孔中。
通過這種結(jié)構(gòu)，平行地附加在同一繞卷軸的繞卷卷軸，通過接合桿裝置插入卷軸的中心附近的孔中。
因此，繞卷卷軸在繞卷時沒有相互偏離，從而以同樣的繞卷方式，以相同的速度繞卷。因此，在不產(chǎn)生繞卷偏離的情況下同時得到在同樣的繞卷形式下的安裝電子器件的薄膜載帶是可能的。
而且，本發(fā)明的特征在于通過空氣軸構(gòu)成繞卷裝置的同一繞卷軸，該空氣軸具有接收空氣供給擴(kuò)張以增加直徑的能力，和多個繞卷卷軸平行地附加在繞卷軸上，因而相互安裝。
通過這一結(jié)構(gòu)，空氣供給給構(gòu)成繞卷軸的空氣軸。因此，該軸可擴(kuò)張和在直徑上增加，以便相互平行地附加在繞卷裝置的同一繞卷軸的多個繞卷卷軸相互安裝。
因此，繞卷卷軸在繞卷時沒有偏離，以便以同樣的繞卷方式，以相同的速度繞卷。因此，同時得到在同樣的繞卷形式下不產(chǎn)生繞卷偏離的安裝電子器件的薄膜載帶是可能的。
此外，在這種情況下，通過調(diào)節(jié)空氣的補給和釋放及空氣壓力，可以控制繞卷卷軸的附加、去除和固定、固定力和繞卷的不均勻性。因此，非常方便，而不需要復(fù)雜的工作。
而且，本發(fā)明的特征在于檢查區(qū)包括一個用于放大安裝電子器件的薄膜載帶的放大鏡片裝置，為了執(zhí)行檢查。
放大鏡片裝置包括一個用于在整個的寬度方向放大分成條的和相互平行運動的安裝電子器件的薄膜載帶的放大鏡片。
通過這樣的結(jié)構(gòu)，安裝電子器件的薄膜載帶可通過放大鏡片在整個的寬度方向放大。因此，每次可對多個安裝電子器件的薄膜載帶進(jìn)行高精度的準(zhǔn)確的質(zhì)量檢查。
此外，本發(fā)明的特征在于放大鏡片裝置具有長度放大比1.4或以上的放大率。
更具體地，如果放大鏡片裝置的放大倍數(shù)在這個范圍內(nèi)，安裝電子器件的薄膜載帶缺陷可以充分地被檢測出來。
而且，本發(fā)明的特征在于。
更進(jìn)一步地，本發(fā)明的特征在于在繞卷裝置和檢查區(qū)之間的分別提供給切割成條的安裝電子器件的薄膜載帶的分開的松緊調(diào)節(jié)輥。
分別在退卷裝置和檢查區(qū)之間及繞卷裝置和檢查區(qū)之間，分開的松緊調(diào)節(jié)輥提供給切割成條的安裝電子器件的薄膜載帶。因此，通過這些松緊調(diào)節(jié)輥，可以分別調(diào)節(jié)安裝電子器件的薄膜載帶的松開量，因而順利地執(zhí)行退卷和繞卷。
而且，本發(fā)明的特征在于在退卷裝置和檢查區(qū)之間同一個的松緊調(diào)節(jié)輥提供給切割成條的安裝電子器件的薄膜載帶。
更進(jìn)一步地，本發(fā)明的特征在于在繞卷裝置和檢查區(qū)之間同一個的松緊調(diào)節(jié)輥提供給切割成條的安裝電子器件的薄膜載帶。
通過這樣的結(jié)構(gòu)，可以調(diào)節(jié)安裝電子器件的薄膜載帶的放松量，從而簡單地通過控制在位于退卷裝置和檢查區(qū)之間及繞卷裝置和檢查區(qū)之間的同一個松緊調(diào)節(jié)輥順利地執(zhí)行退卷和繞卷。
而且，本發(fā)明的特征在于松開控制裝置，該松開控制裝置用于檢測松緊調(diào)節(jié)輥的位置，以控制安裝電子器件的薄膜載帶的松開量。
因此，可以調(diào)節(jié)安裝電子器件的薄膜載帶的松開量，因而順利地執(zhí)行退卷和繞卷。
而且，本發(fā)明的特征在于松開控制裝置包括一個導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，使用松緊調(diào)節(jié)輥引導(dǎo)，各自地改變在每條中安裝電子器件的薄膜載帶的導(dǎo)向路徑。
因此，當(dāng)分成條的安裝電子器件的薄膜載帶，通過同一個松緊調(diào)節(jié)輥退卷和繞卷時，例如，它們對于條退卷和繞卷，且由于退卷和繞卷的速度微小的差異，松緊調(diào)節(jié)輥傾斜，因此，松開量不能順利地控制，從而安裝電子器件的薄膜載帶相互接觸并因此磨損和損壞。但是，通過使用導(dǎo)向部件各自地改變每條中的導(dǎo)向路徑，可以使松開量相等。因此，這種情形可以有效地被阻止。
附圖概述圖1是按照本發(fā)明的實施例的安裝電子器件的薄膜載帶檢查設(shè)備的前視圖；圖2是說明按照本發(fā)明的檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法的示意圖；
圖3是用于按照本發(fā)明的檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備中的安裝電子器件的薄膜載帶的頂視圖；圖4是在檢查區(qū)的導(dǎo)向構(gòu)件的透視圖；圖5是圖4中沿A-A的剖視圖；圖6是驅(qū)動齒輪的剖視圖；圖7是反張力輥子的剖視圖；圖8是繞卷裝置的卷軸部分的前視圖；圖9是圖8中沿B-B的剖視圖；圖10是空氣軸的剖視圖；圖11是與圖1的實施例方式相同的本發(fā)明的另一個實施例的檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備的前視圖；圖12是解釋與圖2的實施例方式相同的按照本發(fā)明的檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法的示意圖；及圖13是說明根據(jù)傳統(tǒng)的技術(shù)的檢查安裝電子器件的薄膜載帶的前視圖。
具體實施例下面將參照附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實施例進(jìn)行說明。
圖1是按照本發(fā)明的實施例的安裝電子器件的薄膜載帶檢查設(shè)備的前視圖；圖2是說明按照本發(fā)明的檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法的示意圖；圖3是用于按照本發(fā)明的檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備中的安裝電子器件的薄膜載帶的頂視圖；圖4是在檢查區(qū)的導(dǎo)向構(gòu)件的透視圖；圖5是圖4中沿A-A的剖視圖；圖6是驅(qū)動齒輪的剖視圖；圖7是反張力輥子的剖視圖；圖8是繞卷裝置的卷軸部分的前視圖；圖9是圖8中沿B-B的剖視圖；圖10是空氣軸的剖視圖；如圖1所示，10整個地表示根據(jù)本發(fā)明的檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備(下文稱作“檢查設(shè)備”)。
如圖1所示，在檢查設(shè)備10中，安裝電子器件的薄膜載帶上，例如TAB，CSP或BGA，即已經(jīng)完全經(jīng)過其生產(chǎn)過程的安裝電子器件的薄膜載帶T(下文稱作“薄膜載帶”)通過一個隔離片S繞卷在卷軸R1上起來，卷軸R1連在退卷裝置12的退卷驅(qū)動軸14上。
通過驅(qū)動電動機(jī)的驅(qū)動操作，退卷驅(qū)動軸14旋轉(zhuǎn)，以便薄膜載帶T從卷軸R1連同隔離片S放出，并通過導(dǎo)向輥16和18提供給檢查區(qū)20。
薄膜載帶T是一種安裝電子器件的薄膜載帶，其中在橫向多條中具有多個電子器件的安裝部位G(被稱作所謂的“多繞卷”)，如圖3所示。
在本實施例中，為了描述方便，所示一個安裝電子器件的薄膜載帶，其中兩個電子器件安裝部位G1和G2提供在薄膜載帶T的橫向兩條中。例如，可以在兩條中(48毫米×2)使用具有寬度48毫米的薄膜載帶，在兩條中(35毫米×2)使用具有寬度35毫米的薄膜載帶等。
為了檢查薄膜載帶要檢查的部分，該部分通過在檢查區(qū)中的顯微鏡和放大鏡片50進(jìn)行放大，在同樣的視野內(nèi)，如下所述，在多條中薄膜載帶的總寬度必須是160毫米或以下，優(yōu)選130毫米或以下，更優(yōu)選110毫米或以下。
如圖1所示，退卷裝置12在垂直方向具備三個位置傳感器22。當(dāng)被切割和分成每條的薄膜載帶T(T1，T2)松開部分的低端T′，被低位置傳感器探測到時，退卷裝置12的驅(qū)動電動機(jī)的驅(qū)動操作停止，以阻止安裝電子器件的薄膜載帶過分地松開而破壞與其接觸的底面。
而當(dāng)薄膜載帶T(T1，T2)的松開部分的低端T′被高位置傳感器22檢測，退卷裝置12的驅(qū)動電動機(jī)的驅(qū)動操作啟動，為安裝電子器件的薄膜載帶維持恒定的松開度。
在圖1中，24代表松緊調(diào)節(jié)輥，用于通過其靜重維持薄膜載帶T(T1，T2)的恒定的張力。
因此，薄膜載帶T，從退卷裝置12松開和傳遞，通過切割裝置26切割成各自在成條的薄膜載帶。切割裝置26包括一個切割刀片，薄膜載帶T被切割成條和分成各自的薄膜載帶T1和T2，如圖2所示。
通過切割裝置26切割和分開薄膜載帶T成條獲得的薄膜載帶T1和T2，分別通過導(dǎo)向輥16和18。
通過導(dǎo)向輥16和18的薄膜載帶T1和T2，提供給檢查區(qū)20。
提供給檢查區(qū)20的薄膜載帶T，通過后張力棍30和驅(qū)動齒輪32傳遞。
在經(jīng)過張力棍30和驅(qū)動齒輪32之間的一個部件時，驅(qū)動齒輪32的驅(qū)動操作臨時停止。結(jié)果，薄膜載帶T的供應(yīng)停止，檢查的部分在檢查區(qū)20的預(yù)定位置上停止，即，檢查位置P。
在這種情況下，薄膜載帶T(T1，T2)通過后張力棍30的倒轉(zhuǎn)準(zhǔn)確地位于預(yù)定位置，以與例如薄膜載帶T(T1，T2)的齒孔相配合并在薄膜載帶T(T1，T2)的齒孔的基礎(chǔ)上定位。
更具體地，驅(qū)動齒輪32的驅(qū)動操作通過圖1所示的控制裝置15，臨時地被停止，以便停止薄膜載帶T(T1，T2)的供應(yīng)。
在這種情況下，驅(qū)動齒輪32的旋轉(zhuǎn)通過控制由脈沖電動機(jī)的轉(zhuǎn)動得到的內(nèi)在的脈沖進(jìn)行，該脈沖電動機(jī)是用于驅(qū)動驅(qū)動齒輪32的驅(qū)動機(jī)械。
或者不控制通過用于驅(qū)動驅(qū)動齒輪32的驅(qū)動機(jī)械的脈沖電動機(jī)得到的內(nèi)在的脈沖來控制薄膜載帶的運送的停止，驅(qū)動齒輪32的旋轉(zhuǎn)控制也可以通過放射光例如激光束的光的放射裝置和圖象接收傳感器的方式，通過薄膜載帶T(T1，T2)的齒孔檢測薄膜載帶T(T1，T2)的縱向位置執(zhí)行。
停止位置以這樣一種方式設(shè)置，被檢測的薄膜載帶T(T1，T2)的一個電子器件安裝部位G位于檢查區(qū)20中的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)34的預(yù)定位置，也就是檢查位置P。
如圖4和圖5所示，導(dǎo)向機(jī)構(gòu)34使切割成條的薄膜載帶T1和T2相互平行地運動。
導(dǎo)向機(jī)構(gòu)34包括在兩端的導(dǎo)向部分38和40，具有幾乎是U型的剖面，它們從底板36的兩端向上凸出，它們用于引導(dǎo)在最外側(cè)薄膜載帶T的雙端邊部分T3和T4。
邊導(dǎo)向部分38和40分別提供了階梯部分38a和40a，最外側(cè)薄膜載帶T的雙端邊部分T3和T4沿著階梯部分38a和40a被引導(dǎo)。
而且，鄰近部件導(dǎo)向部分42，它從底板36的兩端向上凸出，和具有一個平坦的上表面，提供在雙端的邊導(dǎo)向部分38和40之間，以便引導(dǎo)分成條的薄膜載帶T的鄰近邊部分T5和T6。
此外，分離凸出部分42a提供在鄰近部件導(dǎo)向部分42的上面的部分，以便防止薄膜載帶T的鄰近邊部分T5和T6在相互接觸時被磨損和破壞。沒有特別地限制分離凸出部分42a的寬度，但考慮到分開效果，合適地設(shè)為約3毫米。
因此，空腔44和46在邊導(dǎo)向部分38和40及鄰近部件導(dǎo)向部分42之間形成，以這種方式，可以阻止薄膜載帶T(T1，T2)在運送中磨擦等。
通過這種結(jié)構(gòu)，分成條的薄膜載帶T1和T2的鄰近邊部分T5和T6及兩端的邊部分，通過邊導(dǎo)向部分38和40及鄰近部件導(dǎo)向部分42支撐和引導(dǎo)。
在檢查區(qū)20，平行運動的薄膜載帶T1和T2在橫向沒有卷曲，也就是，各自地卷曲。因此，檢查位置P，即放大鏡片的焦點位置等保持恒定，如下所描述的。結(jié)果，質(zhì)量檢查需要在彎曲、裂紋和內(nèi)部導(dǎo)向等圖案缺陷方面具有非常高的精度，質(zhì)量檢查可以以高精度準(zhǔn)確地執(zhí)行，而沒有放大鏡片的焦點偏離等。
在本實施例中，由于在兩條中使用薄膜載帶T1和T2，提供了一個中間鄰近部件導(dǎo)向部分42。鄰近部件導(dǎo)向部分42的數(shù)量和之間間隔，根據(jù)薄膜載帶的條數(shù)進(jìn)行正確地調(diào)整。
而且，薄膜載帶T1和T2的所有鄰近邊部分T5和T6應(yīng)該通過導(dǎo)向機(jī)構(gòu)34同微小細(xì)縫的方法引導(dǎo)和傳遞，以便在相互接觸時不被磨損和破壞。
如圖1所示，檢查區(qū)20裝備了一個放大鏡片裝置，以通過人眼進(jìn)行目視檢查斷開，短路，凹痕(即布線引線寬度的減小部分)，發(fā)射和電鍍?nèi)毕荩皫У淖冃?，阻焊劑缺陷等，例如，通過使用例如一個反射光或發(fā)射光，在具有35μm或以上，優(yōu)選40μm或以上的布線圖線距的薄膜載帶的配線部分中。
放大鏡片裝置應(yīng)該由具有多個鏡片結(jié)合的顯微鏡48和具有一個鏡片的放大鏡片50組成。
在這種情況下，檢查區(qū)20應(yīng)該裝備放大鏡片50，用于執(zhí)行在顯微鏡4這一側(cè)的目視檢查。
在這種情況下，放大鏡片裝置應(yīng)該具有在長度放大比率為1.4或以上、1.4至6.0，優(yōu)選1.5-3.5，更優(yōu)選1.8-3.0的放大倍率。
更具體地，當(dāng)放大鏡片裝置放大倍率小于1.4乘方時，缺陷產(chǎn)品不能充分地檢測出來，如果放大鏡片裝置放大倍率大于6乘方時，圖案超過視野。
具體地，放大倍率應(yīng)該為1.5至2.5乘方。在立體顯微鏡具有多個鏡片的情況下，放大倍率應(yīng)該為2至6乘方。如下所描述的，在一些情況下，似乎有缺陷的產(chǎn)品的圖案在詳細(xì)地檢查時，放大倍率要提高到大約20乘方，從而執(zhí)行檢查。
更具體地，通過使用放大鏡片裝置，用于檢查薄膜載帶的方法，
①放大倍率設(shè)定為2至6乘方，例如，在這種方式下，多個圖象可同時看現(xiàn)；②原則上，不用改變放大倍率可執(zhí)行檢查。當(dāng)圖案似乎有缺陷時可被發(fā)現(xiàn)和詳細(xì)地檢查出來；③在使用放大鏡片50的情況下，以放大倍率為大約20乘方，其位置被移動來執(zhí)行檢查；和④在使用立體顯微鏡48，其放大倍率為2至6乘方的情況下，例如，放大倍率變大，檢查在放大倍率為大約20乘方下執(zhí)行。
關(guān)于切割成條并相互平行地運動的薄膜載帶T1和T2，它們通過導(dǎo)向機(jī)構(gòu)34引導(dǎo)，而且，放大鏡片裝置用于執(zhí)行薄膜載帶T1和T2的所有寬度方向同時兩條線的檢查。
而且，放大鏡片50由一個放大鏡片構(gòu)成，用于放大薄膜載帶。雖然，這個鏡片沒有被特殊地限制，可以使用一個放大倍率為大約1.5至2.5乘方的鏡片或Fresnel鏡片，例如。
在檢查區(qū)20，當(dāng)通過放大鏡片裝置執(zhí)行檢查時，可看現(xiàn)多個圖象。如果在多條中的薄膜載帶的相對位置出現(xiàn)在同一視野，它們不必相互準(zhǔn)確地重合，但是可以相互地偏離。
如圖2所示，而且，檢查區(qū)20包括一個照明裝置52，它用于照射光在被檢查的薄膜載帶上。如圖2所示，照明裝置52包括照明燈54和54，它們在檢查區(qū)20后面的上面部分，以固定的距離相互遠(yuǎn)離。
照明燈54和54具有一個結(jié)構(gòu)，光從后方和上方同時地集中在檢查位置P用于薄膜載帶T(T1，T2)。
因此，平行運動的安裝電子器件的薄膜載帶的總寬度被大大地照亮。因此，以高精度的準(zhǔn)確的質(zhì)量檢查每次可同時地執(zhí)行，超過多個安裝電子器件的薄膜載帶。
當(dāng)通過顯微鏡檢查薄膜載帶時，視野的外圍，在鏡片的周圍是黑暗的。為了補償黑暗，光可以從薄膜載帶T(T1，T2)的邊表面一起或各自地照射。
此外，照明裝置52給出明亮的照明。因此，減輕從檢查室天花板發(fā)射和通過薄膜載帶T反射的光。因此，可以執(zhí)行高精度的準(zhǔn)確的質(zhì)量檢查，沒有由于反射光而阻礙薄膜載帶的檢查。
圖1中，56代表一個發(fā)射光照明裝置，用于通過發(fā)射光執(zhí)行目視檢查。為了提供這個情況，使用發(fā)射光照明裝置56的發(fā)射光，用于發(fā)射光發(fā)射的開放部分36a，在檢查位置P導(dǎo)向機(jī)構(gòu)34的底板部分36上執(zhí)行。
額外地提供一個輸入開關(guān)，通過顯微鏡48和放大鏡片50執(zhí)行檢查，用于決定是好產(chǎn)品還是有缺陷的產(chǎn)品，和用于在檢查區(qū)20執(zhí)行檢查時輸入位置，在圖中沒有標(biāo)識。因此，電子器件安裝部位G預(yù)定順序的位置，缺陷部分帶子的縱向位置，橫向位置輸入到控制裝置15。
關(guān)于開關(guān)，例如，左手邊開關(guān)是一個驅(qū)動發(fā)動機(jī)開/關(guān)的開關(guān)，在圖中沒有標(biāo)識。關(guān)于右手邊開關(guān)，而且，兩個開關(guān)提供在左側(cè)和后側(cè)。各自的開關(guān)相應(yīng)于薄膜載帶T1和T2壓按。當(dāng)內(nèi)側(cè)的開關(guān)按下時，缺陷標(biāo)記在內(nèi)側(cè)的產(chǎn)品上。當(dāng)這側(cè)的開關(guān)按下時，缺陷標(biāo)記在這側(cè)的產(chǎn)品上。因此，可以標(biāo)記缺陷產(chǎn)品的標(biāo)記。
基于控制裝置15的輸入結(jié)果，通過提供在檢查區(qū)20的下流側(cè)的缺陷標(biāo)識裝置58的方式，缺陷標(biāo)識在預(yù)定的位置給出。缺陷標(biāo)識裝置58沒有被特別地限制，但是可以使用具有執(zhí)行缺陷標(biāo)識的任何裝置，通過用于缺陷產(chǎn)品的穿孔，墨跡，干墨等(標(biāo)記)。
如圖6所示，驅(qū)動齒輪32包括軸部分60，兩端齒輪62和64提供在軸部分60的兩端，輥體66由合成樹脂形成，例如PTFE(聚四氟乙烯)(MC尼龍)或氟化樹脂，輥體66提供在軸部分60的周圍，在兩端齒輪62和64及中間齒輪68和70之間。
在這種情況下，兩端齒輪62和64的構(gòu)成與在最外側(cè)的薄膜載帶T兩端的邊部分T3和T4上的齒孔H3和H4分別地相配合。
而且，中間齒輪68和70的構(gòu)成與齒孔H5和H6相配合，齒孔H5和H6提供在分成條的薄膜載帶的鄰近邊部分T5和T6上。
通過這種結(jié)構(gòu)，所有的齒孔H3至H6，它們提供在分成條的薄膜載帶T1和T2的兩端邊部分T3和T4和鄰近邊部分T5和T6上，與在驅(qū)動齒輪32中的兩端齒輪62和64及中間齒輪68和70相配合，以相同的速度同時地傳送。
在檢查區(qū)20，因此，平行運動的薄膜載帶T1和T2的位置不會偏離。因此，可以同時地對多個薄膜載帶，每次執(zhí)行高精度的準(zhǔn)確的檢查。
而且，薄膜載帶T(T1，T2)通過輥體66支撐。在驅(qū)動操作中，因此，驅(qū)動力不在傳動裝置中心，以便阻止齒孔被破壞。
在本實施例中，使用分成兩條的薄膜載帶T1和T2。由于這個原因，提供了兩個中間齒輪68和70，中間齒輪68和70的數(shù)量和間隔取決于薄膜載帶T的多條的數(shù)量。
此外，后張力輥30包括一個輥體30a，在兩端的邊導(dǎo)向凸出部分30b和30c從輥體30a的兩端凸出，鄰近部件導(dǎo)向凸出部分30d從兩端的邊導(dǎo)向凸出部分30b和30c的中間部分凸出。
最外側(cè)薄膜載帶T的雙端邊部分T3和T4，通過兩端的邊導(dǎo)向凸出部分30b和30c引導(dǎo)。此外，分成條的薄膜載帶T1和T2的鄰近邊部分T5和T6，通過鄰近部件導(dǎo)向凸出部分30d分離和引導(dǎo)。
通過這種結(jié)構(gòu)，可以阻止薄膜載帶T1和T2的鄰近邊部分T5和T6在運送中相互接觸的磨損和破壞等。因此，提高了質(zhì)量，更進(jìn)一步地阻止了繞卷引起的繞卷偏離等。
同時導(dǎo)向輥16，18，72，74，82和84是普通的輥子，它們與后張力輥30具有同樣的結(jié)構(gòu)。
因此，薄膜載帶T1和T2置于檢查區(qū)20的預(yù)定質(zhì)量檢查中，通過缺陷標(biāo)識裝置58，經(jīng)過導(dǎo)向輥72和74和繞卷裝置76繞卷，在預(yù)定的位置給出缺陷標(biāo)識。
更具體地，薄膜載帶T1和T2同時地繞卷在卷帶卷軸R2和R3上，卷帶卷軸R2和R3平行地附加在繞卷裝置76的同一個繞卷驅(qū)動軸78上。
在這種情況下，薄膜載帶T1和T2通過驅(qū)動電機(jī)的驅(qū)動操作，通過繞卷驅(qū)動軸78的旋轉(zhuǎn)以相同的速度分別地繞卷，沒有在圖中顯示。
在這種情況下，如圖1所示，隔離片S1和S2，通過退卷裝置12的卷帶卷軸R1繞卷，通過分割裝置80與薄膜載帶T1和T2的同樣方式切割和分離成兩條，通過導(dǎo)向輥82和84提供給卷帶卷軸R2和R3。在這種情況下，薄膜載帶T1和T2與各自的隔離片S1、S2分別地繞在卷帶卷軸R2和R3上。結(jié)果，薄膜載帶T1和T2通過各自的隔離片S1、S2分別地夾入中間。因此，可以阻止由于薄膜載帶的相互接觸而引起的墨粘貼，保護(hù)薄膜載帶不被破壞。
在本實施例中，同時隔離片S通過分割裝置80切割成兩條，它可以被分別地繞卷和再次使用，不用通過分割裝置80進(jìn)行分割。在這種情況下，隔離片S1和S2已經(jīng)分割成具有預(yù)定尺寸，可以從另外兩個隔離片退卷卷軸R2和R3上繞卷，沒有在圖中顯示。此外，薄膜載帶T1和T2與各自的隔離片S1、S2分別地繞在卷帶卷軸R2和R3上。結(jié)果，薄膜載帶T1和T2通過各自的隔離片S1、S2分別地夾入中間。
如圖1所示，與退卷裝置12相同的方式，繞卷裝置76裝備了垂直方向的三個傳感器88。當(dāng)薄膜載帶T(T1，T2)的松開部分的低端T′通過低位置傳感器檢測，繞卷裝置76的驅(qū)動電動機(jī)發(fā)動以阻止薄膜載帶T(T1，T2)過分地松開而破壞與其接觸的底面。
當(dāng)薄膜載帶T(T1，T2)的松開部分的低端T′通過上位置傳感器88檢測時，繞卷裝置76的驅(qū)動電動機(jī)的驅(qū)動操作停止，以阻止過分地松開而破壞與其接觸的底面。
位置傳感器88，相應(yīng)于薄膜載帶T1和T2的數(shù)量相應(yīng)地分別提供。
如圖1所示，90代表松緊調(diào)節(jié)輥，通過靜重，用于維持薄膜載帶T(T1，T2)的恒定的張力。
在薄和輕的薄膜載帶的情況下，例如COF，松緊調(diào)節(jié)輥24和90優(yōu)選地用于本實施例中。在具有靜重的薄薄膜載帶的情況下，例如普通的TAB帶，不必使用松緊調(diào)節(jié)輥24和90。
繞卷裝置76，此外，可拆卸的接合桿裝置94，通過孔92插入和安裝在卷軸中心的附近，以便繞卷卷軸R2和R3平行地附加在繞卷裝置76的相同的繞卷軸78上，相互安裝如圖8和圖9所示。
在圖8和圖9中，96代表提供在軸上的一個鍵槽，98代表提供在繞卷軸78上的鍵，用于接合鍵槽96。通過它們的接合，繞卷軸78的轉(zhuǎn)動傳給卷軸。
在這種情況下，接合桿裝置94優(yōu)選可拆卸的，其結(jié)構(gòu)沒有被特殊地限制，但是公知的結(jié)構(gòu)，如螺釘-螺母型或接線板型。
通過這種結(jié)構(gòu)，在相互繞卷中，繞卷卷軸R2和R3不會偏離。因此，繞卷以相同的速度，同樣的方法執(zhí)行。因此，可以同時得到不產(chǎn)生繞卷偏離并以相同的繞卷方法繞卷的薄膜載帶。
此外，繞卷卷軸R2和R3附加在各自的繞卷軸上，如果其中心重合，可分離的接合桿裝置94可以通過孔92插入，如上所述。
而且，繞卷軸78本身可以由具有通過空氣供給增加其直徑擴(kuò)張能力的空氣軸構(gòu)成。
圖10是空氣軸的剖視圖。
空氣軸11包括桶形的氣球裝置13，它提供在空氣軸體11a，多個卡軸裝置17提供在氣球裝置13的外圍。它們以恒定的角度分離，并可以自由地凸出。
空氣從空氣源(沒有標(biāo)識)通過空氣管線19供給給充氣部件13，以便卡軸裝置17頻繁地出現(xiàn)，如圖10的箭頭所示，以便直徑自由地增加。
通過這種結(jié)構(gòu)，繞卷卷軸在繞卷時沒有相互的偏離。因此，繞卷以相同的速度相同的方法執(zhí)行。因此，可以同時得到不產(chǎn)生繞卷偏離并以相同的繞卷方法繞卷的薄膜載帶。
此外，在這種情況下，通過調(diào)節(jié)空氣的補給和釋放及空氣壓力，可以控制繞卷卷軸的附加、去除和固定、固定力和繞卷的不均勻性。因此，非常方便，而不需要復(fù)雜的工作。
在使用空氣軸的情況下，當(dāng)它通過位置傳感器88檢測時，薄膜載帶T1和T2的松開度彼此是不同的，空氣軸的空氣供給可自動地釋放，卷軸R2和R3的固定可通過控制裝置15的控制放松以調(diào)整繞卷的不均勻性。
在退卷裝置12的松緊調(diào)節(jié)輥24中，分成條的薄膜載帶T(T1，T2)的退卷速度相互間有微小的差異。在同一松緊調(diào)節(jié)輥24中，因此，分成條的薄膜載帶T(T1，T2)的松緊量相互間有微小的差異。因此，同一松緊調(diào)節(jié)輥24會傾斜。
當(dāng)松緊調(diào)節(jié)輥24傾斜時，松緊量不能順利地控制，薄膜載帶T(T1，T2)相互接觸前進(jìn)，因而它們會磨損和破壞。
由于這個原因，如圖1所示，導(dǎo)向機(jī)構(gòu)21和導(dǎo)向輥包括輥子等，用于分別地改變各自的導(dǎo)向路徑，它們應(yīng)該與水平的傳感器(沒有標(biāo)識)一起提供，通過松緊調(diào)節(jié)輥24，用于引導(dǎo)分成條的薄膜載帶。
更具體地，如圖1所示，當(dāng)通過松緊調(diào)節(jié)輥24被引導(dǎo)的分成條的薄膜載帶在堅固的位置松開時，導(dǎo)向機(jī)構(gòu)21在如虛線所示的箭頭方向水平地移動。結(jié)果，薄膜載帶T(T1，T2)和同一松緊調(diào)節(jié)輥24可以通過導(dǎo)向輥23引導(dǎo)和可以移動到如虛線所示的位置。即，同一松緊調(diào)節(jié)輥24可在水平位置安置。相反地，當(dāng)排除松開時，優(yōu)選導(dǎo)向機(jī)構(gòu)21應(yīng)該從如虛線所示的位置移動到如實線所示的位置。
當(dāng)同一松緊調(diào)節(jié)輥24傾斜時，松緊量不能順利地控制，薄膜載帶T(T1，T2)相互接觸前進(jìn)，因而它們會磨損和破壞。但是，通過導(dǎo)向機(jī)構(gòu)21分別地改變每條的導(dǎo)向路徑，在本發(fā)明中，可以設(shè)置相等的松緊量。因此，可有效地阻止這種情形。
關(guān)于繞卷裝置76的松緊調(diào)節(jié)輥90，類似地，導(dǎo)向機(jī)構(gòu)71和導(dǎo)向輥73以相同的方式提供，如圖1所示。因此，各自條的路徑分別地通過導(dǎo)向機(jī)構(gòu)71改變，以便可以設(shè)置相等的松緊量。因此，可以有效地阻止這樣的情形，即松緊量不能順利地控制，薄膜載帶T(T1，T2)相互接觸前進(jìn)，因而它們會磨損和破壞。
圖11是檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備的前視圖，是本發(fā)明的另一個實施例，與圖1的實施例相同。圖12是解釋檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備的剖視圖，根據(jù)本發(fā)明，與圖2的實施例相同。
在本實施例中，根據(jù)圖1所采用的實施例，基本地與薄膜載帶的檢查設(shè)備10相同。因此，省略了具有相同的參考數(shù)字的相同的元件和其詳細(xì)的描述。
根據(jù)本實施例，在薄膜載帶的檢查設(shè)備10中，薄膜載帶T1和T2預(yù)先在條中分成各自的薄膜載帶T1和T2，各自地繞卷在退卷裝置12的退卷卷軸R1和R1′上。
相應(yīng)地，預(yù)先分割的隔離片S1和S2用于隔離。
在本實施例中，因此，沒有提供分割裝置26和80，而且，提供了兩組導(dǎo)向輥16，18，72和74，為了各自地引導(dǎo)薄膜載帶T1和T2。
即使使用在條中預(yù)先分割成各自的安裝電子器件的薄膜載帶，可獲得與圖1所示的實施例相同的功能和效果。
根據(jù)本實施例，在薄膜載帶的檢查設(shè)備中，接合桿裝置94和空氣軸11應(yīng)該用在退卷裝置12的退卷卷軸R1和R1′上，以獲得相同的退卷速度，阻止電子器件的安裝部位在檢查區(qū)20里偏離，阻礙不平坦的繞卷和在繞卷中產(chǎn)生的偏離。
此外，在說明書中術(shù)語“平行”的意思是“來回地，左右地，上下地，或以一個角度”。
同時本發(fā)明的優(yōu)選實施例已經(jīng)在上文中描述，本發(fā)明不僅限于此。雖然，根據(jù)實施例，目視在檢查區(qū)20中執(zhí)行，例如，還可以通過CCD照相機(jī)等使用圖象識別，自動地進(jìn)行質(zhì)量檢查。因此，對本發(fā)明進(jìn)行各種變化，不會背離本發(fā)明的范圍。
此外，在說明書中術(shù)語“平行”的意思是“來回地，并排地，上下地，或以一個角度”。
另外，本發(fā)明的檢查薄膜載帶的設(shè)備和方法也可以應(yīng)用于已安裝了電子器件的薄膜載帶的表面檢查。
根據(jù)本發(fā)明，各自的安裝電子器件的薄膜載帶，預(yù)先地分割成條，從退卷裝置的退卷卷軸繞出，相互平行地運動，在分割狀態(tài)下經(jīng)過檢查區(qū)，沒有引起相互的位置偏離。
根據(jù)本發(fā)明，而且，安裝電子器件的薄膜載帶，在橫向多條中提供多個安裝電子器件，正確地使用和從退卷裝置上繞開，通過切割裝置的方式正確地在多條中切割安裝電子器件的薄膜載帶。
在條中各自的安裝電子器件的薄膜載帶，在相互平行的運動中切割，和通過檢查區(qū)，沒有引起位置偏離。
因此，平行地運動的多條的安裝電子器件的薄膜載帶，在檢查區(qū)每次可以同時地、準(zhǔn)確地提供目視檢查而成為目視檢查(一個發(fā)射光檢查和一個反射光檢查)。作為各種質(zhì)量檢查結(jié)果，斷開，短路，裂紋，突出部分和類似的缺陷，缺陷標(biāo)識可通過穿孔，上墨，干墨等在缺陷產(chǎn)品上執(zhí)行。
因此，在橫向多條里的多個電子器件的安裝電子器件的薄膜載帶，每次可以正確地使用和檢查多個電子器件的安裝部位裝備，以便可以大大地提高檢查效率。
此外，相互地分開在條中的各自的安裝電子器件的薄膜載帶，在檢查后，不會相互引起位置的偏離，和繞卷在繞卷卷軸上的各自的安裝電子器件的薄膜載帶沒有繞卷偏離。
特別地，根據(jù)本發(fā)明，檢查過程可以連續(xù)地、精確地大量進(jìn)行操作，其過程效率可以大大地提高。而且，該過程可以由一個操作員完成，以便降低成本。
根據(jù)本發(fā)明，此外，所有分成條的安裝電子器件的薄膜載帶兩端的鄰近邊部分及兩端的邊部分，通過邊導(dǎo)向部分及鄰近部件導(dǎo)向部分支撐和引導(dǎo)。
在檢查區(qū)，因此，平行運動的安裝電子器件的薄膜載帶在橫向沒有卷曲，也就是，各自地卷曲。因此，檢查位置是恒定的。結(jié)果，對于需要在對內(nèi)部導(dǎo)向彎曲、裂紋等具有高精度的質(zhì)量檢查，可以高精度準(zhǔn)確地執(zhí)行質(zhì)量檢查，而沒有放大鏡片的焦點偏離等。
根據(jù)本發(fā)明，而且，所有的齒孔，它們提供在分成條的安裝電子器件的薄膜載帶兩端的鄰近邊部分和兩端邊部分上，與在驅(qū)動齒輪中的兩端齒輪及中間齒輪相配合，以相同的速度同時地傳送。
在檢查區(qū)，因此，平行運動的安裝電子器件的薄膜載帶的位置沒有相互偏離。因此，每次可同時地對多個安裝電子器件的薄膜載帶進(jìn)行準(zhǔn)確的質(zhì)量檢查。
根據(jù)本發(fā)明，而且，分成條的安裝電子器件的薄膜載帶的鄰近邊部分，通過導(dǎo)向輥中的鄰近部件導(dǎo)向凸出部分在相互分離的狀態(tài)下引導(dǎo)。
在運送中，因此，安裝電子器件的薄膜載帶的鄰邊部分阻止與其他的接觸，磨損和破壞。因此，可以提高質(zhì)量，可以阻止由繞卷所引起的繞卷卷軸的偏離等。
根據(jù)本發(fā)明，而且，平行地附加在同一繞卷軸的繞卷卷軸，通過配合桿狀構(gòu)件插入卷軸的中心附近的孔中。
因此，繞卷卷軸在繞卷時沒有偏離，以便以同樣的繞卷方式，以相同的速度繞卷。因此，同時得到安裝電子器件的薄膜載帶在同樣的繞卷形式下，不產(chǎn)生繞卷偏離。
根據(jù)本發(fā)明，而且，空氣供給給構(gòu)成繞卷軸的空氣軸。因此，該軸可擴(kuò)張和在直徑上增加，以便平行地附加在同一繞卷軸的繞卷卷軸相互安裝。
因此，繞卷卷軸在繞卷時沒有偏離，以便以同樣的繞卷方式，以相同的速度繞卷。因此，同時得到安裝電子器件的薄膜載帶在同樣的繞卷形式下，不產(chǎn)生繞卷偏離。
此外，在這種情況下，通過調(diào)節(jié)空氣的補給和釋放及空氣壓力，可以控制繞卷卷軸的附加、去除和固定、固定力和繞卷的不均勻性。因此，非常方便，而不需要復(fù)雜的工作。
根據(jù)本發(fā)明，此外，安裝電子器件的薄膜載帶可通過放大鏡片在整個的寬度方向放大。因此，每次可對多個安裝電子器件的薄膜載帶進(jìn)行準(zhǔn)確的質(zhì)量檢查。
根據(jù)本發(fā)明，此外，當(dāng)分成條的安裝電子器件的薄膜載帶通過同一松緊調(diào)節(jié)輥退卷和繞卷時，例如，它們從條中退卷，由于退卷和繞卷的速度微小的差異，松緊調(diào)節(jié)輥傾斜。因此，安裝電子器件的薄膜載帶的鄰邊部分阻止與其他的接觸，磨損和破壞。因此，松開量不能順利地控制。但是，使用松緊調(diào)節(jié)輥引導(dǎo)，通過各自地改變在每條中安裝電子器件的薄膜載帶的導(dǎo)向路徑，可以使松開量相等。因此，這種情形可以有效地被阻止。因此，本發(fā)明非常的優(yōu)異，以致使產(chǎn)生各種的功能和效果。
權(quán)利要求
1.一種用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備，該安裝電子器件的薄膜載帶在橫向多條中具有多個電子器件的安裝部位，該設(shè)備包括一個退卷裝置，用于對在多條中安裝電子器件的薄膜載帶退卷，其中預(yù)先切割和分離成各自條的安裝電子器件的薄膜載帶，分別繞在退卷卷軸上；一個檢查區(qū)，用于同時檢查被分成條的安裝電子器件的薄膜載帶，同時使安裝電子器件的薄膜載帶相互平行地運動；和一個繞卷裝置，用于同時地繞卷在檢查區(qū)檢查的被切割為條的安裝電子器件的薄膜載帶到分別平行地附加在同一繞卷軸的多個繞卷卷軸之上；此外，繞卷卷軸R2和R3附加在各自的驅(qū)動軸上，如果其中心重合，可拆卸的接合桿裝置94可插入通孔92。
2.一種用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備，該安裝電子器件的薄膜載帶在橫向多條中具有多個安裝部位，該設(shè)備包括一個退卷裝置，用于對在多條中安裝電子器件的薄膜載帶退卷，其中預(yù)先切割成各自條的安裝電子器件的薄膜載帶繞在退卷卷軸上；一個檢查區(qū)，用于同時檢查被分成條的安裝電子器件的薄膜載帶，同時使安裝電子器件的薄膜載帶相互平行地運動；和一個繞卷裝置，用于同時地繞卷在檢查區(qū)檢查的被切割為條的安裝電子器件的薄膜載帶到分別在平行地附加在分離的繞卷軸的多個繞卷卷軸之上；此外，繞卷卷軸R2和R3附加在各自的驅(qū)動軸上，如果其中心重合，可拆卸的接合桿裝置94可插入通孔92。
3.一種用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備，該安裝電子器件的薄膜載帶在橫向多條中具有多個安裝部位，該設(shè)備包括一個退卷裝置，用于對繞在退卷卷軸上的多條安裝電子器件的薄膜載帶退卷；一個分割裝置，用于分割從退卷卷軸上退卷的多條中安裝電子器件的薄膜載帶成為在條中安裝電子器件的各自的薄膜載帶；一個檢查區(qū)，用于使被分割裝置分成條的安裝電子器件的薄膜載帶相互平行地運動和同時地檢查它們；和一個繞卷裝置，用于同時地繞卷在檢查區(qū)檢查的被切割為條的安裝電子器件的薄膜載帶在分別平行地附加在同一繞卷軸的多個繞卷卷軸之上；此外，繞卷卷軸R2和R3附加在各自的驅(qū)動軸上，如果其中心重合，可拆卸的接合桿裝置94可插入通孔92。
4.一種用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備，該安裝電子器件的薄膜載帶在橫向多條中具有多個安裝部位，該設(shè)備包括一個退卷裝置，用于對繞在退卷卷軸上的多條安裝電子器件的薄膜載帶退卷；一個分割裝置，用于分割從退卷卷軸上退卷的多條中安裝電子器件的薄膜載帶，成為在條中安裝電子器件的各自的薄膜載帶；一個檢查區(qū)，使被分割裝置分成條的安裝電子器件的薄膜載帶相互平行地運動和同時地檢查它們；和一個繞卷裝置，用于同時地繞卷在檢查區(qū)檢查的被切割為條的安裝電子器件的薄膜載帶在分別平行地附加在各自繞卷軸的多個繞卷卷軸之上；此外，繞卷卷軸R2和R3附加在各自的驅(qū)動軸上，如果其中心重合，可拆卸的接合桿裝置94可插入通孔92。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備，其中檢查區(qū)包括一個導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，用于使分成條的安裝電子器件的薄膜載帶相互平行地運動，導(dǎo)向機(jī)構(gòu)包括在兩端的一個導(dǎo)向部分，用于引導(dǎo)在最外側(cè)薄膜載帶的兩端邊部分；和一個鄰近部件導(dǎo)向部分，它在兩端的邊導(dǎo)向部分之間凸出，用于引導(dǎo)分成條的安裝電子器件的薄膜載帶的鄰近邊部分。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備，進(jìn)一步包括一個驅(qū)動齒輪，用于傳送從退卷卷軸上退卷和通過切割裝置分成條的安裝電子器件的薄膜載帶，同時使它們相互平行地運動，驅(qū)動齒輪包括一個兩端齒輪，與在最外側(cè)的薄膜載帶兩端的邊部分上的齒孔相配合；和一個中間齒輪，在兩端齒輪之間與在分成條的薄膜載帶的鄰近邊部分上的齒孔相配合。
7.根據(jù)權(quán)利要求6的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備，進(jìn)一步包括一個導(dǎo)向輥，導(dǎo)向輥包括在兩端的一個邊導(dǎo)向凸出部分，用于引導(dǎo)最外側(cè)的安裝電子器件的薄膜載帶的兩端邊部分；和一個鄰近部件導(dǎo)向凸出部分，在兩端邊導(dǎo)向凸出部分之間凸出以分離和引導(dǎo)最外側(cè)的安裝電子器件的薄膜載帶的兩端鄰近邊部分，該鄰近部件導(dǎo)向部分。
8.根據(jù)權(quán)利要求1，3和5-7任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備，其中，多個繞卷卷軸平行地附加在繞卷裝置的同一繞卷軸上，通過可拆卸的接合桿裝置的方式安裝在卷軸中心的附近的孔中。
9.根據(jù)權(quán)利要求2和4-7任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備，其中，多個繞卷卷軸平行地附加在繞卷裝置的各自的繞卷軸上，通過可拆卸的接合桿裝置的方式安裝在卷軸中心的附近的孔中。
10.根據(jù)權(quán)利要求1，3和5-8任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備，其中，通過空氣軸構(gòu)成繞卷裝置的同一繞卷軸，該空氣軸具有接收空氣供給擴(kuò)張以增加直徑的能力，和多個繞卷卷軸平行地附加在繞卷軸上，因而相互地安裝。
11.根據(jù)權(quán)利要求2，4-7和9任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備，其中，繞卷裝置的各自繞卷軸通過空氣軸構(gòu)成，該空氣軸具有接收空氣供給擴(kuò)張以增加直徑的能力，和多個繞卷卷軸平行地附加在繞卷軸上，因而分別地安裝。
12.根據(jù)權(quán)利要求1-11任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備，其中，檢查區(qū)包括一個放大鏡片裝置，用于放大安裝電子器件的薄膜載帶，為了執(zhí)行檢查，放大鏡片裝置包括一個用于在整個的寬度方向放大分成條的和相互并排運動的安裝電子器件的薄膜載帶的放大鏡片。
13.根據(jù)權(quán)利要求1-12任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備，其中，放大鏡片裝置具有長度放大率為1.4或以上的放大倍數(shù)。
14.根據(jù)權(quán)利要求1-13任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備，其中，在退卷裝置和檢查區(qū)之間各自的松緊調(diào)節(jié)輥分別提供給切割成條的安裝電子器件的薄膜載帶。
15.根據(jù)權(quán)利要求1-14任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備，其中，在繞卷裝置和檢查區(qū)之間各自的松緊調(diào)節(jié)輥分別提供給切割成條的安裝電子器件的薄膜載帶。
16.根據(jù)權(quán)利要求1-13和15任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備，其中，在退卷裝置和檢查區(qū)之間同一的松緊調(diào)節(jié)輥提供給切割成條的安裝電子器件的薄膜載帶。
17.根據(jù)權(quán)利要求1-14和16任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備，其中，在繞卷裝置和檢查區(qū)之間同一松緊調(diào)節(jié)輥提供給切割成條的安裝電子器件的薄膜載帶。
18.根據(jù)權(quán)利要求14-17任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備，更進(jìn)一步地包括一個松開控制裝置，用于檢測松緊調(diào)節(jié)輥的位置，以控制安裝電子器件的薄膜載帶的松開量。
19.根據(jù)權(quán)利要求18的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備，其中，松開控制裝置包括一個導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，通過松緊調(diào)節(jié)輥引導(dǎo)，該導(dǎo)向機(jī)構(gòu)用于各自地改變在每條中安裝電子器件的薄膜載帶的導(dǎo)向路徑。
20.一種用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法，該安裝電子器件的薄膜載帶在橫向多條中具有多個電子器件的安裝部位，該方法包括以下步驟從退卷裝置上退卷多條中安裝電子器件的薄膜載帶，其中預(yù)先被切割的各自的安裝電子器件的薄膜載帶分別地卷在退卷卷軸上；在檢查區(qū)同時地檢查分成條的安裝電子器件的薄膜載帶，同時使它們相互平行地運動；和同時地繞卷在檢查區(qū)被檢查的分成條的安裝電子器件的薄膜載帶在分別平行地附加在同一繞卷軸的多個繞卷卷軸之上。
21.一種用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法，其中該安裝電子器件的薄膜載帶在橫向多條中具有多個電子器件的安裝部位，該方法包括以下步驟從退卷裝置上退卷多條中安裝電子器件的薄膜載帶，其中預(yù)先被切割成條的各自的安裝電子器件的薄膜載帶分別地卷在退卷卷軸上；在檢查區(qū)同時地檢查分成條的安裝電子器件的薄膜載帶，同時使它們相互平行地運動；和同時地繞卷在檢查區(qū)被檢查的分成條的安裝電子器件的薄膜載帶在分別平行地附加在各自繞卷軸的多個繞卷卷軸之上。
22.一種用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法，其中該安裝電子器件的薄膜載帶在橫向多條中具有多個電子器件的安裝部位，該方法包括以下步驟從退卷裝置上退卷被卷在退卷卷軸上多條中安裝電子器件的薄膜載帶；通過分割裝置，分割從退卷卷軸上退卷的多條中的安裝電子器件的薄膜載帶，成為各自的在條中安裝電子器件的薄膜載帶；使通過分割裝置分割成條的安裝電子器件的薄膜載帶相互平行地運動和在檢查區(qū)同時檢查安裝電子器件的薄膜載帶；和同時地繞卷在檢查區(qū)被檢查的分成條的安裝電子器件的薄膜載帶在分別平行地附加在同一繞卷軸的多個繞卷卷軸之上。
23.一種用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法，其中該安裝電子器件的薄膜載帶在橫向多條中具有多個電子器件的安裝部位，該方法包括以下步驟從退卷裝置上退卷被卷在退卷卷軸上的在多條中安裝電子器件的薄膜載帶；通過分割裝置，分割從退卷卷軸上退卷的多條中安裝電子器件的薄膜載帶，成為各自的在條中安裝電子器件的薄膜載帶；使通過分割裝置分割成條的安裝電子器件的薄膜載帶相互平行地運動和在檢查區(qū)同時檢查它們；和同時地繞卷在檢查區(qū)被檢查的分成條的安裝電子器件的薄膜載帶在分別平行地附加在各自繞卷軸的多個繞卷卷軸之上。
24.根據(jù)權(quán)利要求20-23任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法，其中檢查區(qū)包括一個導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，用于使分成條的安裝電子器件的薄膜載帶相互平行地運動，導(dǎo)向機(jī)構(gòu)包括在兩端的一個導(dǎo)向部分，用于引導(dǎo)在最外側(cè)薄膜載帶的兩端邊部分；和一個鄰近部件導(dǎo)向部分，它在兩端的導(dǎo)向部分之間凸出，用于引導(dǎo)分成條的薄膜載帶的鄰近邊部分。
25.根據(jù)權(quán)利要求20-24的任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法，進(jìn)一步包括一個驅(qū)動齒輪，用于傳送從退卷卷軸上退卷和通過切割裝置分成條的安裝電子器件的薄膜載帶，同時使它們相互平行地運動，驅(qū)動齒輪包括一個兩端齒輪，與在最外側(cè)的薄膜載帶兩端的邊部分上的齒孔相配合；和一個中間齒輪，在兩端齒輪之間與在分成條的薄膜載帶的鄰近邊部分上的齒孔相配合。
26.根據(jù)權(quán)利要求25的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法，進(jìn)一步包括一個導(dǎo)向輥，導(dǎo)向輥包括在兩端的一個邊導(dǎo)向凸出部分，用于引導(dǎo)最外側(cè)的安裝電子器件的薄膜載帶的兩端邊部分；和一個鄰近部件導(dǎo)向凸出部分，在兩端的邊導(dǎo)向凸出部分之間凸出以分離和引導(dǎo)分成條的安裝電子器件的薄膜載帶的鄰近邊部分。
27.根據(jù)權(quán)利要求20，22和24-26任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法，其中，多個繞卷卷軸平行地附加在繞卷裝置的同一繞卷軸上，通過可拆卸的接合桿裝置的方式安裝在卷軸中心的附近的通孔中。
28.根據(jù)權(quán)利要求21和23-26任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法，其中，多個繞卷卷軸平行地附加在繞卷裝置的各自的繞卷軸上，通過可拆卸的接合桿裝置的方式安裝在卷軸中心的附近的通孔中。
29.根據(jù)權(quán)利要求20，22和24-27任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法，其中，繞卷裝置的同一繞卷軸通過空氣軸構(gòu)成，該空氣軸具有接收空氣供給擴(kuò)張以增加直徑的能力，和多個繞卷卷軸相互平行地附加在繞卷軸上，因而相互安裝。
30.根據(jù)權(quán)利要求21，23-26和28任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法，其中，繞卷裝置的各自的繞卷軸通過空氣軸構(gòu)成，該空氣軸具有接收空氣供給擴(kuò)張以增加直徑的能力，和多個繞卷卷軸相互平行地附加在繞卷軸上，因而分別地安裝。
31.根據(jù)權(quán)利要求20-30任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法，其中，檢查區(qū)包括一個照明裝置，用于照射光在安裝電子器件的薄膜載帶上，以執(zhí)行檢查，照明裝置具有兩個照明燈，相互分離地設(shè)置，用于從后方和上方照射光在安裝電子器件的薄膜載帶上以相對于該分成條和相互平行地運動的安裝電子器件的薄膜載帶聚焦。
32.根據(jù)權(quán)利要求20-31任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法，其中，檢查區(qū)包括一個放大鏡片裝置，用于放大安裝電子器件的薄膜載帶，以執(zhí)行檢查，放大鏡片裝置包括一個用于在整個的寬度方向放大分成條并相互并排地運動的安裝電子器件的薄膜載帶的放大鏡片。
33.根據(jù)權(quán)利要求20-32任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法，其中，放大鏡片裝置具有長度放大率為1.4或以上的放大倍數(shù)。
34.根據(jù)權(quán)利要求20-33任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法，其中，在退卷裝置和檢查區(qū)之間各自的松緊調(diào)節(jié)輥提供給切割成條的安裝電子器件的薄膜載帶。
35.根據(jù)權(quán)利要求20-34任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法，其中，在繞卷裝置和檢查區(qū)之間各自的松緊調(diào)節(jié)輥提供給切割成條的安裝電子器件的薄膜載帶。
36.根據(jù)權(quán)利要求20-33和35任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法，其中，在退卷裝置和檢查區(qū)之間同一松緊調(diào)節(jié)輥提供給切割成條的安裝電子器件的薄膜載帶。
37.根據(jù)權(quán)利要求20-34和36任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法，其中，在繞卷裝置和檢查區(qū)之間同一松緊調(diào)節(jié)輥提供給切割成條的安裝電子器件的薄膜載帶。
38.根據(jù)權(quán)利要求34-37任何一項的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法，更進(jìn)一步地包括一個松開控制裝置，用于檢測松緊調(diào)節(jié)輥的位置，以控制安裝電子器件的薄膜載帶的松開量。
39.根據(jù)權(quán)利要求38的用于檢查安裝電子器件的薄膜載帶的方法，其中，松開控制裝置包括一個導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，使用松緊調(diào)節(jié)輥引導(dǎo)，用于各自地改變各條中安裝電子器件的薄膜載帶的導(dǎo)向路徑。
全文摘要
本發(fā)明的目的是提供一種檢查安裝電子器件的薄膜載帶的設(shè)備和方法，精確地使用在橫向的多條中具備多個電子器件安裝部位的安裝電子器件的薄膜載帶，并且可以一次性地檢查多個安裝部位，從而大大地提高檢查效率。而且，在檢查后，安裝電子器件的薄膜載帶可分成單個的條，和它們可以各自繞卷在繞卷卷軸上而沒有繞卷偏離。從退卷裝置中退卷的在多條中安裝電子器件的薄膜載帶，通過切割裝置分成各自的安裝電子器件的薄膜載帶，使得它們在相互平行中運動和在檢查區(qū)同時檢查，然后，它們分別地在附加在繞卷裝置中同一繞卷軸的多個繞卷卷軸上繞卷。
文檔編號G01M99/00GK1523654SQ200410006310
公開日2004年8月25日 申請日期2004年2月23日 優(yōu)先權(quán)日2003年2月21日
發(fā)明者山本昌彥, 金子英明, 明 申請人:三井金屬礦業(yè)株式會社