專利名稱：檢測傳感器和檢測裝置及有該傳感器的氣體絕緣電氣設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及檢測將六氟化硫(SF6)氣體等絕緣氣體密封在金屬容器中使用的氣體絕緣電氣設(shè)備的局部放電的傳感器，局部放電檢測裝置和氣體絕緣電氣設(shè)備，尤其是涉及具有因絕緣異常引起的局部放電檢測功能的氣體絕緣電氣設(shè)備。
背景技術(shù)：
氣體絕緣開關(guān)裝置、氣體絕緣變壓器等和氣體絕緣母線具有在密封有SF6等絕緣氣體的金屬容器內(nèi)絕緣地支撐著固定及活動接點、線圈、高壓導體等的結(jié)構(gòu)。
這些氣體絕緣電氣設(shè)備往往由于在金屬容器內(nèi)混入了異物、在高壓導體上所形成的突起或在絕緣支撐體內(nèi)產(chǎn)生了空隙等內(nèi)部異常而在施加高壓電場時產(chǎn)生局部放電，從而使絕緣性能降低并最終導致絕緣破壞的事故。為將氣體絕緣電氣設(shè)備的絕緣破壞事故防止于未燃，必須高精度地檢測稱為絕緣破壞前兆現(xiàn)象的局部放電。
作為高精度檢測局部放電的方法之一有檢測源于局部放電產(chǎn)生電磁波的方法。公知的電磁波的檢測方法是在金屬容器內(nèi)部的探孔中設(shè)置金屬制的檢測電極，利用該檢測電極檢測電磁波的方法(例如，參照專利文獻1-日本特開平8-271574號公報的摘要和專利文獻2-日本特開第3299547號公報的權(quán)利要求1)。
這種電磁波的檢測方法可以對例如，利用頻譜分析儀對用檢測傳感器檢測到的信號在數(shù)百MHz-數(shù)GHz的頻帶范圍內(nèi)進行頻率分析，測定頻率-信號強度特性，確認在數(shù)百MHz-數(shù)GHz的頻帶范圍內(nèi)是否存在局部放電信號。另外，作為別的方法有，使以檢測傳感器檢測出的信號通過數(shù)百MHz-數(shù)GHz的帶通濾波器后進行包絡(luò)線檢波以檢測檢波信號，再根據(jù)電壓相位-信號強度特性確認是否發(fā)生了局部放電。
在電磁波檢測方法中，如工作時產(chǎn)生較大振動的氣體絕緣母線或氣體絕緣斷路器之類，因SF6的分解而產(chǎn)生分解產(chǎn)物的設(shè)備中往往設(shè)置檢測電極。在這種場合，如專利文獻1所述，由于過去的檢測電極通常用不銹鋼或鋁等金屬板制成，因而為了保證耐振動的機械強度，就將板厚做得較厚，板厚變厚則重量增大，用于支撐它的支撐結(jié)構(gòu)件也大型化，其結(jié)果，傳感器也大型化。另外，用于固定檢測電極的零部件數(shù)量也必然增多，由于尺寸公差等有可能出現(xiàn)性能的參差不齊。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是減少用于構(gòu)成傳感器的零部件數(shù)目，實現(xiàn)局部放電檢測傳感器、局部放電檢測裝置和氣體絕緣電氣設(shè)備的小型輕量化。
本發(fā)明提供一種局部放電檢測傳感器，其特征在于，具有絕緣性基板，通過結(jié)合或粘結(jié)與該絕緣性基板成為一體的導電性薄膜，與該導電性薄膜電連接的端子，將該端子和上述導電性薄膜電連接的導體以及支承上述絕緣性基板的支承部件。
另外，本發(fā)明提供一種局部放電檢測裝置，其特征在于，具有絕緣性基板，通過結(jié)合或粘結(jié)與該絕緣性基板的表面成為一體的導電性薄膜，支承上述絕緣性基板的支承機構(gòu)，連接上述支承機構(gòu)的法蘭，傳輸由導電性薄膜接收到的電信號的端子，將信號傳輸給上述端子的同軸電纜以及連接同軸電纜和上述端子的連接器。
進而，本發(fā)明提供一種氣體絕緣電氣設(shè)備，包括具備在封裝有絕緣性氣體的金屬容器內(nèi)用絕緣性支承件支承的高壓導體和設(shè)置在該金屬容器內(nèi)、帶有凹部的探孔的絕緣母線；與該絕緣母線電連接的氣體絕緣電氣裝置；設(shè)置在上述凹部檢測高次諧波電磁波的傳感器；其特征在于，該傳感器具有通過結(jié)合或粘結(jié)與上述絕緣性基板的單面或兩面成為一體的導電性薄膜；與上述導電性薄膜電連接的端子以及將該絕緣性基板固定在探孔部的法蘭上的裝置。
采用本發(fā)明，與原有的金屬板電極相比，能夠使檢測電極輕量化，并能夠減少安裝傳感器電極的零部件數(shù)目。


圖1是包含局部放電檢測裝置的氣體絕緣電氣設(shè)備的正視圖。
圖2是圖1的檢測傳感器的剖圖面。
圖3是從側(cè)面見到的圖1所示的氣體絕緣電氣設(shè)備圖。
圖4是表示本發(fā)明的一個實施例的檢測電極的形狀的立體圖。
圖5是表示本發(fā)明的另一個實施例的檢測電極的形狀的立體圖。
圖6是表示檢測電極的其它實施例的剖面圖。
圖7是表示具備有多個金屬膜的檢測電極的場合的結(jié)構(gòu)例子的剖面圖。
圖8是表示具備在絕緣板的兩面具有金屬膜的檢測電極的場合的結(jié)構(gòu)例子的剖面圖。
圖9是用于說明專利文獻2記載的傳感器的具體結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖中1-金屬容器，2-高壓導體，3-絕緣支承體，4-探頭，5-蓋板，6-密封端子，7-導體，8-連接器，9-同軸電纜，10-檢測電極，11-金屬薄膜，12-絕緣性基板，13-螺釘，14-電極支承件，15-保護層，16-芯線，17-屏蔽線，20-測定器。
具體實施例方式
本發(fā)明中，所謂氣體絕緣電氣設(shè)備是指具有1條以上的氣體絕緣母線和1個以上的氣體絕緣電氣裝置，例如氣體斷路器，氣體絕緣斷路器，氣體絕緣變壓器等的設(shè)備，包括例如將它們多種集合使用的GIS(氣體絕緣開關(guān)裝置等)。此外，本發(fā)明的氣體絕緣電氣設(shè)備還指氣體絕緣電氣裝置和上述絕緣母線的探孔的凹處內(nèi)設(shè)置的局部放電檢測傳感器。另外，上述局部放電檢測傳感器既可以是一直與同軸電纜連接，也可以是只在必要時通過連接器連接。同軸電纜將由導電性薄膜檢測出的電磁波感應(yīng)產(chǎn)生的電壓經(jīng)放大器放大后傳輸?shù)綔y定器。
本發(fā)明中，局部放電檢測裝置具有包括絕緣性基板，與該基板結(jié)合或粘結(jié)成一體的導電性薄膜，與該導電性薄膜電連接的端子和支承上述絕緣性基板的支承部件的局部放電檢測傳感器以及經(jīng)連接器與上述端子連接的同軸電纜。
另外，本發(fā)明中，所謂局部放電檢測傳感器，如上所述，是指具有絕緣性基板，與該基板結(jié)合或粘結(jié)成一體的導電性薄膜，與該導電性薄膜電連接的端子及支承上述絕緣基板的支承部件的這些部分。
該傳感器的導電性薄膜的厚度為5-500μm，優(yōu)選10-50μm。上述導電性薄膜使用真空蒸鍍金屬膜，涂布導電性涂料的薄膜或金屬箔任何一種，從制造上的難易度、成本、尺寸精度等方面考慮，優(yōu)選將金屬箔粘結(jié)在粘結(jié)基板上的方案。此外，優(yōu)選上述導電性薄膜用保護層覆蓋，以保護薄膜不受氣體的分解產(chǎn)物或水分的腐蝕。
上述端子和同軸電纜可以具有電連接的連接器。測定由電磁波感應(yīng)產(chǎn)生的電壓的測定裝置既可以一直與同軸電纜連接，也可以僅在測定有無局部放電時予以連接。
既可以在絕緣性基板的單面上形成2個導電性薄膜，也可以在絕緣性基板的兩面上各形成1個導電性薄膜。在形成2個導電性薄膜時，一個導電性薄膜與上述同軸電纜的芯線連接，另一個導電性薄膜與上述同軸電纜的屏蔽線連接。
在上述絕緣性基板的表里兩面上分別形成導電性薄膜，一個導電性薄膜與上述同軸電纜的芯線連接，另一個導電性薄膜與上述同軸電纜的屏蔽線連接。
在上述絕緣性基板的表面上形成2個導電性薄膜，一個導電性薄膜與上述同軸電纜的芯線連接，另一個導電性薄膜與上述同軸電纜的屏蔽線連接。
2個導電性薄膜之中的一個形成在上述絕緣性基板的表面，另一個形成在上述絕緣性基板的背面，一個導電性薄膜與上述同軸電纜的芯線連接，另一個導電性薄膜與上述同軸電纜的屏蔽線連接。局部放電傳感器中也可采用上述結(jié)構(gòu)。2個導電性薄膜之中的一個形成在上述絕緣性基板的表面，另一個形成在上述絕緣性基板的背面。
作為絕緣性基板的材料只要是具有絕緣性，具有普通的機械強度和對SF6氣體的分解產(chǎn)物具有耐蝕性者，均能任意地選擇。例如，有聚烯烴、聚碳酸酯等熱塑性樹脂，環(huán)氧樹脂及聚酯樹脂等熱硬化性樹脂，纖維強化塑料，疊層板等。另外，氧化鋁或氧化鋯等陶瓷雖也可使用，但由于陶瓷多孔，在燒結(jié)中含有空氣等，由于在氣體絕緣性環(huán)境內(nèi)會放出空氣，因而，與陶瓷相比仍以樹脂類絕緣板為佳。在樹脂板的單面或兩面上能夠以粘結(jié)劑粘結(jié)銅箔等金屬箔形成加壓疊層體并以蝕刻技術(shù)對其形成預定形狀的金屬圖案。采用真空蒸鍍技術(shù)，導電性涂料涂布法并與上述蝕刻技術(shù)相結(jié)合可以很容易地制成尺寸精度高的電極圖案。絕緣性基板的厚度無特別限制，只要能平滑地支承導電性薄膜即可。例如其厚度可以是1-10mm左右。
下面，參照附圖對本發(fā)明的實施例進行說明。
圖9是表示專利文獻2的圖2的具體結(jié)構(gòu)圖，金屬電極板20用螺釘21固定在絕緣性支承件27上(實際上用4根以上螺釘固定)。另外，絕緣性支承件27用螺釘22固定在法蘭24上(實際上這也必須4根螺釘以上)。此外，對金屬電極板20的承載部的角部25進行倒角以防止放電。這樣，考慮到電極角部的加工及金屬電極板20的機械加工時，其厚度必須數(shù)mm。因此，金屬電極板20不得不如圖示那樣要用多根螺釘固定。
另外，在專利文獻1中，局部放電檢測裝置的導電性圓板的厚度也為數(shù)mm，例如為2mm。因此，雖在專利文獻1中未予記載，但與專利文獻2同樣，實際上可以認為需要用多根螺釘將圓盤固定在導體性支承件上。
本發(fā)明的傳感器的電極由于是薄膜，可以通過例如蒸鍍、金屬箔的疊層或涂布導電性涂料等，與絕緣性基板結(jié)合、連接或粘結(jié)而成為一體，因而不必使用螺釘?shù)裙潭C構(gòu)，對減少零件數(shù)量、減小重量、實現(xiàn)結(jié)構(gòu)的小型化等具有顯著的實用效果。
此外，利用印刷電路板的制造技術(shù)，通過用粘結(jié)劑將銅箔等粘貼在絕緣性基板的單面或兩面上，利用蝕刻技術(shù)使該金屬膜形成預定形狀的圖案，則能以低成本形成尺寸精度高的電極膜。
圖1是由在金屬容器內(nèi)部設(shè)置了用于檢測絕緣異常的檢測電極的氣體絕緣母線和氣體絕緣斷路器等氣體絕緣電氣裝置構(gòu)成的氣體絕緣電氣設(shè)備的局部剖的示意圖。圖3是從側(cè)面見到的圖1的氣體絕緣電氣設(shè)備的截面圖。此外，圖1中雖省略了測定器，但在圖3中圖示了測定器20。測定器20內(nèi)裝有放大器29。
圖2是放大表示局部放電檢測傳感器的圖。通過蒸鍍、涂布或蝕刻將2個金屬薄膜11結(jié)合或粘結(jié)在絕緣性基板12上而成為一體，用螺絲13擰入導體7從而將絕緣性基板12固定在導體7上。導體7與端子6電連接，端子部固定在探孔部的法蘭(蓋)5上。若有必要可設(shè)置1個或多個支承件14以增強絕緣性基板的支承結(jié)構(gòu)。此外，支承件14可以是導體，這種情況下，與金屬薄膜11電連接。并且，可以與后述的同軸電纜的芯線或屏蔽線連接。本發(fā)明中，在所謂局部放電檢測裝置的情況下，除圖2所示的傳感器外，是指具有同軸電纜和連接同軸電纜和端子的連接器的裝置。
圖1和圖3的實施例表示的是將絕緣異常檢測裝置用到作為氣體絕緣電氣設(shè)備的氣體絕緣母線的一相中的情況。本實施例的金屬容器1是管狀，具有接地電位。在金屬容器1的內(nèi)部封裝有SF6之類的絕緣性氣體，高壓導體2利用以環(huán)氧樹脂等絕緣材料制成的絕緣性支承件3絕緣地支承在該金屬容器1中。
金屬容器1中設(shè)有探孔4，在該探孔4中配置有包含絕緣異常檢測裝置的檢測電極10的檢測傳感器。檢測傳感器由檢測電極10，傳輸由該檢測電極10接收的信號的導體7和穿過探孔4的蓋板(法蘭)5的密封端子6構(gòu)成。
檢測電極10的結(jié)構(gòu)是如圖2所示在絕緣性基板12的表面上將2個金屬薄膜11做成電極圖案形狀。該檢測電極10可以通過例如對印刷基板進行蝕刻以形成電極圖案來制作。此外，也可以通過在絕緣性基板12上蒸鍍金屬薄膜11來制作，或者，也可以通過在絕緣性基板12上涂布導電性涂料以做成電極圖案形狀。在使用了印刷基板的情況下，可以高精度地形成電極圖案。在用蒸鍍形成電極圖案的情況下，由于各個傳感器的檢測靈敏度幾乎沒有偏差，因而，可簡化制作零件時的質(zhì)量管理。
金屬薄膜11的材料以導電性能好的銅或鋁為佳，其膜厚為5-500μm，優(yōu)選20-30μm，再厚也不要超過1000μm。在使用過去的金屬電極板的情況下，由于其厚度一般為2-3mm，因而，采用本發(fā)明可使厚度顯著變薄，使重量顯著減輕。
如本實施例那樣，在絕緣性基板12上形成電極圖案而作為檢測電極10的情況下，由于重量大幅度地減輕，因而可顯著地簡化電極的支承結(jié)構(gòu)。如圖2所示，只要用螺絲13將絕緣性基板12固定在導體7上則已足夠。若要更穩(wěn)定地支承檢測電極10，只要設(shè)置用絕緣材料制成的筒狀支承件14即可。也可以不用螺絲而用軟釬焊將檢測電極10固定在導體7上。在像過去那樣用厚度為數(shù)mm的金屬電極板的情況下，為了支承板狀的電極，由于要用大的支承主體或用大型的天線支承座，固而，采用本發(fā)明可大大簡化支承結(jié)構(gòu)。若采用本發(fā)明，與過去的電極結(jié)構(gòu)比較，可大幅度地減少零部件數(shù)量。另外，有關(guān)過去那樣源于金屬電極板的制造公差及電極的裝配引起的尺寸誤差導致的各個傳感器的檢測靈敏度的參差不齊，也可通過采用本發(fā)明而減少。除上述效果外，還可以實現(xiàn)檢測傳感器的小型化，輕量化，其結(jié)果，可以廉價地制作檢測傳感器。
如上所述，檢測電極10與穿過螺孔4的蓋板(法蘭)5的密封端子6連接的導體7予以電連接。另外密封端子6進而與連接器8連接。而連接器8與同軸電纜9電連接，同軸電纜9又與測定器20連接。檢測電極10與金屬容器1予以電絕緣。由檢測傳感器和連接器8、同軸電纜9及測定器20構(gòu)成本發(fā)明的絕緣異常檢測裝置。
本發(fā)明的檢測傳感器不限于如本實施例那樣配置在氣體絕緣電氣設(shè)備內(nèi)部的探孔4中使用的這種情況，也可以配置在氣體絕緣電氣設(shè)備內(nèi)的探孔以外的地方或設(shè)備的外部使用。
檢測電極10的形狀可以是如圖4所示的在圓形的絕緣性基板上蒸鍍金屬薄膜11a、11b或者形成導電性膜的圓盤狀，也可以是如圖5所示的在矩形的絕緣性基板12上形成圓形的金屬薄膜11a、11b的形狀。
將本發(fā)明的檢測傳感器用于斷路開關(guān)或斷路器的情況下，因SF6等絕緣性氣體分解所產(chǎn)生的分解氣體有可能腐蝕檢測電極10而使性能降低。這種情況下，可以如圖6所示，在金屬薄膜11的表面設(shè)置保護層15。該保護層15可通過涂覆絕緣材料或設(shè)置以絕緣材料制成的薄板形成。
當在金屬容器1內(nèi)產(chǎn)生局部放電時，產(chǎn)生達數(shù)GHz的高頻脈沖，電磁波在金屬容器1中傳播。這種傳播的電磁波一旦由作為天線接收部分的金屬薄膜11接收到時，則在金屬薄膜11上感生電壓。感應(yīng)生成的電壓通過導體7和密封端子6取出到外部經(jīng)同軸電纜9傳輸?shù)綔y定器20。通過以同軸電纜傳輸來自天線接收部分的信號，可以使接收到的1000MHz以上的信號不衰減地傳輸?shù)綔y定器20。
作為檢測電極10通過使用如圖7及圖8所示的具有相互不電連接的多個金屬薄膜11a、11b的電極，可進一步提高天線特性。這時，做成形成一個金屬電極圖案的金屬薄膜11a與同軸電纜9的芯線16電連接，而另一個金屬薄膜11b則與同軸電纜9的屏蔽線17電連接。如圖8所示，若將形成電極圖案的金屬薄膜形成在絕緣性基板12的兩面，則能進一步提高電極間的絕緣性能及檢測靈敏度。另外，也可做成將兩面電連接的電極。此外，對于同軸電纜，也可以用絕緣材料覆蓋芯線16及屏蔽線17的周圍。
采用本發(fā)明，可提高檢測電極10的尺寸精度，這樣，除了測定因電磁波產(chǎn)生的局部放電外，也可用于檢測氣體絕緣設(shè)備的絕緣性能的降低。就氣體絕緣設(shè)備而言，其絕緣性能因絕緣氣體中的含水量或絕緣氣體的分解產(chǎn)物而降低。對于過去的金屬電極板，檢測電極間的電氣特性例如絕緣電阻等有時對于各個傳感器是不同的，難于高精度地進行測定，因此，不能用于測定絕緣性能降低。因而，過去是將封裝到氣體絕緣電氣設(shè)備內(nèi)的絕緣氣體取出少量對其特殊的化學成分進行測定，或者利用水分測定儀或露點儀測定氣體中的含水量。采用本發(fā)明，由于能容易地制作尺寸精度高的檢測電極，因而還能用于測定絕緣性能的降低。本發(fā)明對絕緣性能降低的測定例如，通過對圖7中的2個檢測電極施加直流電壓，測定流過檢測電極間的漏電流來進行。
這樣，采用本發(fā)明，可以用1個傳感器進行以下兩種絕緣異常的監(jiān)視，即通過測定電磁波進行局部放電的測定和測定因絕緣氣體中的含水量引起的絕緣性能的降低。
權(quán)利要求
1.一種局部放電檢測傳感器，其特征在于，具有絕緣性基板，通過結(jié)合或粘結(jié)與該絕緣性基板成為一體的導電性薄膜，與該導電性薄膜電連接的端子，將該端子和上述導電性薄膜電連接的導體以及支承上述絕緣性基板的支承部件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的局部放電檢測傳感器，其特征在于在上述絕緣性基板的表面形成2個導電性薄膜。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的局部放電檢測傳感器，其特征在于上述2個導電性薄膜中的一個形成在上述絕緣性基板的表面，而另一個形成在上述絕緣性基板的背面。
4.一種局部放電檢測裝置，其特征在于，具有絕緣性基板，通過結(jié)合或粘結(jié)與該絕緣性基板的表面成為一體的導電性薄膜，支承上述絕緣性基板的支承機構(gòu)，連接上述支承機構(gòu)的法蘭，傳輸由導電性薄膜接收到的電信號的端子，將信號傳輸給上述端子的同軸電纜以及連接同軸電纜和上述端子的連接器。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的局部放電檢測裝置，其特征在于還具有測定由上述同軸電纜傳輸?shù)碾娦盘柕臏y定器。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的局部放電檢測裝置，其特征在于在上述絕緣性基板的表面上形成2個導電性薄膜，一個導電性薄膜與上述同軸電纜的芯線連接，另一個導電性薄膜與上述同軸電纜的屏蔽線連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的局部放電檢測裝置，其特征在于二個上述導電性薄膜之中的一個形成在上述絕緣性基板的表面，另一個形成在絕緣性基板的背面，一個導電性薄膜與上述同軸電纜的芯線連接，另一個導電性薄膜與上述同軸電纜的屏蔽線連接。
8.一種氣體絕緣電氣設(shè)備，包括具有在封裝有絕緣性氣體的金屬容器內(nèi)用絕緣性支承件支承的高壓導體和設(shè)置在該金屬容器內(nèi)帶有凹部的探孔的絕緣母線；與該絕緣母線電連接的氣體絕緣裝置；設(shè)置在上述凹部檢測高次諧波電磁波的傳感器，其特征在于，該傳感器具有通過結(jié)合或粘結(jié)與上述絕緣性基板的單面或兩面成為一體的導電性薄膜；與上述導電性薄膜電連接的端子以及將該絕緣性基板固定在探孔的法蘭上的機構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的氣體絕緣電氣設(shè)備，其特征在于上述傳感器的導電性薄膜具有5-500μm的厚度。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的氣體絕緣電氣設(shè)備，其特征在于上述導電性薄膜為真空蒸鍍金屬膜。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的氣體絕緣電氣設(shè)備，其特征在于上述導電性薄膜為涂布導電性涂料的薄膜。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的氣體絕緣電氣設(shè)備，其特征在于上述導電性薄膜為金屬箔。
13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的氣體絕緣電氣設(shè)備，其特征在于上述導電性薄膜以保護層覆蓋。
14.根據(jù)權(quán)利要求8所述的氣體絕緣電氣設(shè)備，其特征在于還具有電連接上述端子和同軸電纜的連接器。
15.根據(jù)權(quán)利要求8所述的氣體絕緣電氣設(shè)備，其特征在于在上述絕緣性基板的單面上形成2個導電性薄膜。
16.根據(jù)權(quán)利要求8所述的氣體絕緣電氣設(shè)備，其特征在于一個導電性薄膜與同軸電纜的芯線連接，另一個導電性薄膜與上述同軸電纜的屏蔽線連接。
17.根據(jù)權(quán)利要求8所述的氣體絕緣電氣設(shè)備，其特征在于在上述絕緣性基板的表里兩面上分別形成導電性薄膜，一個導電性薄膜與同軸電纜的芯線連接，另一個導電性薄膜與上述同軸電纜的屏蔽線連接。
全文摘要
本發(fā)明涉及局部放電檢測傳感器和局部放電檢測裝置及具有局部放電檢測傳感器的氣體絕緣電氣設(shè)備。提供一種實現(xiàn)了結(jié)構(gòu)簡化并且體積小、重量輕的局部放電檢測傳感器及裝有這種傳感器的氣體絕緣電氣設(shè)備。局部放電檢測傳感器的特征是具有絕緣性基板，通過結(jié)合或粘結(jié)與該絕緣基板成為一體的導電性薄膜，與該導電性薄膜電連接的端子，將該端子和上述導電性薄膜電連接的導體以及支承上述絕緣性基板的法蘭。氣體絕緣電氣設(shè)備的特征是具有氣體絕緣母線和上述傳感器。該氣體絕緣性母線具有利用絕緣性支承件支承在封裝有絕緣性氣體的金屬容器內(nèi)的高壓導體和設(shè)置在該金屬容器內(nèi)帶有凹部的探孔部。
文檔編號G01N27/00GK1715939SQ200510076759
公開日2006年1月4日 申請日期2005年6月10日 優(yōu)先權(quán)日2004年6月29日
發(fā)明者筱原亮一, 加藤達朗 申請人:日本Ae帕瓦株式會社