專利名稱：分光模塊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)光進(jìn)行分光并進(jìn)行檢測(cè)的分光模塊。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的分光模塊，已知有一種分光模塊，其具備雙凸透鏡，即塊 狀的支撐體，并且在支撐體的一個(gè)凸面上設(shè)有衍射光柵等的分光部， 在支撐體另一個(gè)凸面?zhèn)壬?，設(shè)有光電二極管等的光檢測(cè)元件(例如， 參照專利文獻(xiàn)1)。在這種分光模塊中，從另一凸面?zhèn)热肷涞墓庠诜止?部被分光，分光后的光在光檢測(cè)元件被檢測(cè)。
專利文獻(xiàn)1:日本特開平第4-294223號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
然而，近年來(lái)，謀求分光模塊的小型化，要求能夠容易地大量生 產(chǎn)。但是，在上述的分光模塊中，由于使用雙凸透鏡，即塊狀的支撐 體，以作為本體部，因而難以小型化及大量生產(chǎn)。
因此， 本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠謀求小型化，并且能夠 容易地大量生產(chǎn)的分光模塊。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的分光模塊的特征在于，具備板狀 的本體部，使從一個(gè)面入射的光透過；分光部，設(shè)在本體部的另一個(gè) 面?zhèn)?，?duì)透過本體部的光進(jìn)行分光，并向一個(gè)面?zhèn)确瓷?；以及光檢測(cè) 元件，設(shè)在一個(gè)面?zhèn)?，檢測(cè)被分光部分光并反射的光。
在該分光模塊中，由于本體部為板狀，因而能夠通過本體部的薄 型化來(lái)謀求小型化。并且，由于本體部為板狀，因而例如能夠利用晶 圓工藝來(lái)制造分光模塊。即，通過對(duì)作為多個(gè)本體部的晶圓，以矩陣 狀設(shè)置分光部和光檢測(cè)元件，并切割該晶圓，能夠制造多個(gè)分光模塊。 如此，能夠容易地大量生產(chǎn)分光模塊。
另外，在本發(fā)明的分光模塊中，優(yōu)選在一個(gè)面?zhèn)仍O(shè)有與光檢測(cè)元件電連接的配線。依照這種構(gòu)成，不直接連接外部的配線和光檢測(cè)元 件，而能夠經(jīng)由設(shè)在本體部的配線將外部的配線和光檢測(cè)元件電連接。 于是，在處理分光模塊時(shí)和與外部裝置連接時(shí)，抑制了局部的應(yīng)力施 加于光檢測(cè)元件，因而即使在謀求分光模塊的小型化的情況下，也能 夠防止光檢測(cè)元件的剝離和分光模塊的破損。另外，通過將光檢測(cè)元 件直接連接于設(shè)在本體部的配線，能夠縮短本體部與光檢測(cè)元件的距 離，因而能夠防止被分光部分光并反射的光的衰減和雜散光的入射。
另外，在本發(fā)明的分光模塊中，優(yōu)選在一個(gè)面和配線之間，設(shè)有 艱收光的吸光層。依照這種構(gòu)成，能夠防止被分光部分光并反射的光 在配線和本體部之間漫反射，入射于光檢測(cè)元件。
另外，在本發(fā)明的分光模塊中，優(yōu)選吸光層的表面(配線側(cè)的面) 為粗糙面。依照這種構(gòu)成，能夠進(jìn)一步防止配線和本體部之間的漫反 射光入射于光檢測(cè)元件。
另外，在本發(fā)明的分光模塊中，優(yōu)選在一個(gè)面?zhèn)仍O(shè)有與配線電連 接的柔性基板。如果將柔性基板直接連接于光檢測(cè)元件，則尤其在謀 求分光模塊的小型化的情況下，局部的應(yīng)力容易施加于光檢測(cè)元件。 但是，依照這種構(gòu)成，由于經(jīng)由設(shè)在本體部的配線將柔性基板和光檢 測(cè)元件電連接，因而能夠抑制應(yīng)力施加于光檢測(cè)元件。于是，即使在 謀求分光模塊的小型化的情況下，也能夠防止光檢測(cè)元件的剝離和分 光模塊的破損。
另外，在本發(fā)明的分光模塊中，優(yōu)選本體部具有層疊的至少兩片 透光性板。依照這種構(gòu)成，通過將光檢測(cè)元件安裝于一個(gè)透光性板的 工藝、將分光部安裝于另一個(gè)透光性板的工藝、以及將這些透光性板 貼合的工藝，能夠制造分光模塊。g卩，例如不從晶圓的兩面?zhèn)冗M(jìn)行將 光檢測(cè)元件和分光部安裝于晶圓的工藝，而是能夠分為僅從單面?zhèn)冗M(jìn) 行的工藝。于是，能夠使分光模塊的制造工藝成為最適于晶圓工藝的 工藝，能夠更加容易地大量生產(chǎn)。
另外，在本發(fā)明的分光模塊中，優(yōu)選在相鄰的透光性板彼此(層 疊后的透光性板彼此)之間的規(guī)定區(qū)域，設(shè)有吸收光的吸光膜。依照 這種構(gòu)成，能夠用吸光膜來(lái)吸收在本體部?jī)?nèi)行進(jìn)的雜散光，因而能夠 減少入射于光檢測(cè)元件的雜散光，能夠減小噪聲。依照本發(fā)明，能夠謀求分光模塊的小型化，并且能夠容易地大量 生產(chǎn)分光模塊。


圖1是第1實(shí)施方式的分光模塊的平面圖。 圖2是沿著圖1所示的II-II線的截面圖。
圖3是顯示衍射光柵的形狀的圖，(a)顯示閃耀光柵的形狀，(b) 顯示二元光柵的形狀，(c)顯示全息光柵的形狀。
圖4是顯示制造透光性板時(shí)所使用的玻璃晶圓的圖，(a)顯示平 面圖，(b)顯示側(cè)面圖。
圖5是顯示形成于透光性板的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置的圖，(a)顯示上 側(cè)的透光性板的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，(b)顯示下側(cè)的透光性板的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
圖6是用于說明在透光性板上形成透鏡部、衍射層以及反射層的 制造工藝的圖。
圖7是用于說明在透光性板上形成透鏡部、衍射層以及反射層的 制造工藝的圖。
圖8是用于說明在透光性上板形成透鏡部、衍射層以及反射層的 制造工藝的圖。
圖9是顯示以對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記為基準(zhǔn)，將上側(cè)的透光性板和下側(cè)的透光
性板貼合的工藝的圖。
圖10是顯示第2實(shí)施方式的分光模塊的對(duì)應(yīng)于圖2的截面圖。 圖11是用于說明在透光性板上形成光柵透鏡部和反射層的制造工
藝的圖。
圖12是用于說明在透光性板上形成光柵透鏡部和反射層的制造工 藝的圖。
圖13是顯示第3實(shí)施方式的分光模塊的對(duì)應(yīng)于圖2的截面圖。 圖14是顯示第4實(shí)施方式的分光模塊的對(duì)應(yīng)于圖2的截面圖。 圖15是顯示第5實(shí)施方式的分光模塊的對(duì)應(yīng)于圖2的截面圖。
符號(hào)說明
1、 31、 41、 51、 61:分光模塊；2、 52:本體部；2a、 52b、 65a:表面(一個(gè)面)；2b:背面(另一個(gè)面)；2c、 2d:透光性板；3、 23b: 透鏡部(分光部)；4、 23a:衍射層、衍射層部(分光部)；6:反射層 (分光部)；7:光檢測(cè)元件；7b:光檢測(cè)面；8:柔性基板；11:吸光 層；12、 63:配線；16、 64:吸光膜；23:光柵透鏡部(分光部)。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖，詳細(xì)地說明本發(fā)明的分光模塊的優(yōu)選實(shí)施方式。 另外，在各圖中，對(duì)于同一或相當(dāng)?shù)牟糠仲x予相同的符號(hào)，省略重復(fù) 的說明。
(第1實(shí)施方式)
如圖1及圖2所示，分光模塊1具備長(zhǎng)方形板狀的本體部2、設(shè) 在本體部2的背面2b上的透鏡部(分光部)3、沿著透鏡部3的曲面 形成的衍射層(分光部)4、形成于衍射層4的表面的反射層(分光部) 6、設(shè)在本體部2的表面2a側(cè)的大致中央部上的光檢測(cè)元件7、以及固 定于表面2a的長(zhǎng)邊方向的端部的柔性基板8。該分光模塊1，通過在 衍射層4使從表面2a側(cè)入射的入射光Ll衍射，并分光為多個(gè)衍射光 L2，在反射層6使衍射光L2向光檢測(cè)元件7反射，在光檢測(cè)元件7檢 測(cè)衍射光L2，從而測(cè)量入射光Ll的波長(zhǎng)分布和特定波長(zhǎng)成分的強(qiáng)度 等。
本體部2通過分別貼合長(zhǎng)方形薄板狀的透光性板2c及透光性板2d 而形成。在本體部2的表面2a，形成有吸光層ll，在該吸光層ll的表 面，形成有配線12。另外，在吸光層ll的表面，形成有用于制造時(shí)的 對(duì)位的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(alignment mark) 13、 14，在背面2b的對(duì)應(yīng)于對(duì)準(zhǔn)標(biāo) 記13的位置，形成有對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記17 (后述)。
透光性板2c、 2d由BK7、派熱克斯(注冊(cè)商標(biāo))玻璃、或者石英 等光透過性材料形成，具有使入射光Ll和衍射光L2在其內(nèi)部行進(jìn)的 性質(zhì)。另外，由于用與晶圓工藝相同的配線形成工藝來(lái)形成吸光層11 和配線12，因而優(yōu)選表面2a側(cè)的透光性板2c的厚度為2 mm以下。
在透光性板2c和透光性板2d之間的規(guī)定區(qū)域，形成有吸光膜16， 該吸光膜16具有吸收光的性質(zhì)。吸光膜16由黑抗蝕劑、CK)、含CrO 的層疊膜形成，具有用于使入射光Ll通過的狹縫16a、以及用于使衍射光L2通過的開口部16b。
吸光層11具有吸收光的性質(zhì)，由與吸光膜16相同的材質(zhì)形成。 該吸光層11的表面(配線12側(cè)的面)形成為粗糙面。另外，吸光層 11具有用于使來(lái)自外部的入射光L1通過的狹縫lla、以及用于使從透 光性板2c、 2d向光檢測(cè)元件7行進(jìn)的衍射光L2通過的開口部llb。
狹縫lla在本體部2的長(zhǎng)邊方向上的與光檢測(cè)元件7鄰接的位置 沿著與長(zhǎng)邊方向大致正交的方向延伸。另外，開口部lib形成在本體 部2的大致中央部，與光檢測(cè)元件7的光檢測(cè)面相對(duì)。
另外，吸光膜16的狹縫16a和開口部16b分別與狹縫lla和開口 部llb相對(duì)。另外，從表面2a側(cè)看時(shí)，狹縫16a為包圍狹縫lla的程 度的大小，開口部16b為包圍開口部lib的程度的大小。利用狹縫16a， 能夠?qū)⑷肷涔釲l限制于向衍射層4入射的范圍。另外，即使入射光 Ll向不必要的地方行進(jìn)并在不必要的地方產(chǎn)生反射光(雜散光)，也能 夠利用開口部16b來(lái)限制光通過的范圍，因而能夠防止雜散光向光檢 測(cè)元件7入射。于是，能夠提高分光模塊1的精度。
配線12，由與光檢測(cè)元件7電連接的多個(gè)端子部12a、與柔性基 板8電連接的多個(gè)端子部12b、以及將對(duì)應(yīng)的端子部12a和端子部12b 電連接的配線部12c構(gòu)成。另外，端子部12a、端子部12b、以及配線 部12c由鋁或金的單層膜，或者Ti-Pt-Au、 Ti-Ni-Au、 Cr-Au等的層疊 膜構(gòu)成。端子部12a以包圍開口部lib的緣部的方式配置，端子部12b 以沿著表面2a的長(zhǎng)邊方向上的端部的方式配置。
光檢測(cè)元件7形成為長(zhǎng)方形薄板狀，配置于本體部2的表面2a的 與開口部llb相對(duì)的位置。光檢測(cè)元件7通過倒裝芯片接合(flip chip bonding)而安裝于本體部2的表面2a側(cè)，形成于光檢測(cè)元件7的表面 7a的端子部(圖中未顯示)和端子部12a電連接。在表面7a的大致中 央部，形成有用于接受通過幵口部lib的衍射光L2的光檢測(cè)面7b。另 外，光檢測(cè)元件7，例如使用光電二極管陣列或C-MOS影像傳感器、 CCD影像傳感器。而且，在光檢測(cè)元件7和本體部2的表面2a之間， 填充有底填充樹脂5。
柔性基板8是具有柔軟性的印刷基板，通過引線接合(wire bonding)而與端子部12b連接。透鏡部3設(shè)在本體部2的背面2b的與狹縫lla相對(duì)的位置。透鏡 部3是接近于半球的形狀的透鏡，其表面為具有規(guī)定的曲率的凸曲面 3a。另外，透鏡部3以凸曲面3a的透鏡中心和狹縫lla的中央部大致 重疊的方式配置。此外，凸曲面3a也可以為非球面。
衍射層4沿著透鏡部3的凸曲面3a形成。在該衍射層4，例如使 用圖3 (a)所示的截面為鋸齒狀的閃耀光柵(blazed grating)、圖(b) 所示的截面為矩形狀的二元光柵(binary grating)、或者圖(c)所示的 截面為正弦波狀的全息光柵(holographic grating)等類型的光柵。光檢 測(cè)元件7的光檢測(cè)面沿著因該衍射層4而產(chǎn)生的衍射光L2的分散方向 延伸。另外，通過蒸鍍鋁及金等，從而在衍射層4的表面，形成有反 射層6。
對(duì)上述的分光模塊1的制造方法進(jìn)行說明。
首先，在透光性板2c的表面，以形成有狹縫lla和開口部llb的 圖案的方式圖案化形成(patterning)吸光層11，同時(shí)，在其表面圖案 化形成配線12和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記13、 14。通過與晶圓工藝相同的配線形成工 藝來(lái)進(jìn)行這些圖案化。
在透光性板2c的表面，通過倒裝芯片接合來(lái)安裝光檢測(cè)元件7。 這時(shí)，以對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記14為基準(zhǔn)進(jìn)行定位。如此，由于以在與狹縫lla相 同的工藝中形成的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記14為基準(zhǔn)，因而能夠高精度地將狹縫lla 和光檢測(cè)元件7的光檢測(cè)面7b定位。
其次，在透光性板2d的背面，形成透鏡部3、衍射層4、以及反 射層6。由于該工藝使大量生產(chǎn)成為可能，因而能夠通過晶圓工藝進(jìn)行。 即，如圖4 (a)和(b)所示，在玻璃晶圓上設(shè)有按照透光性板2d的 大小進(jìn)行區(qū)分的切割線(dicing line)。而且，如圖5 (b)所示，在各 個(gè)區(qū)域，通過光蝕刻工藝，同時(shí)形成透鏡安裝部15和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記17。
透鏡安裝部15通過在透光性板2d設(shè)置圓形的凹部而形成。另外， 對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記17，在貼合透光性板2c和透光性板2d的情況下，設(shè)于在厚 度方向上與圖5 (a)所示的表面2a側(cè)的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記13相對(duì)的位置。
而且，在玻璃晶圓的各透鏡安裝部15，通過用光學(xué)樹脂等進(jìn)行貼 附而安裝小型透鏡，從而形成透鏡部3。而且，在透鏡部3形成衍射層 4和反射層6后，通過沿著切割線進(jìn)行切割而分割成各個(gè)透光性板2d。在此，參照?qǐng)D6至圖8，說明在玻璃晶圓安裝透鏡部3等的工藝。
如圖6 (a) (c)所示，通過在玻璃晶圓18的表面形成感光性樹 脂圖案19，從而設(shè)置透鏡安裝部15和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記17。另外，這時(shí)，透 鏡安裝部15可以通過對(duì)玻璃晶圓18本身進(jìn)行蝕刻加工或者通過圖案 化形成金屬膜而形成。在如此形成的透鏡安裝部15，涂布有用于貼附 透鏡的光學(xué)樹脂21。
其次，如圖7 (a)和(b)所示，通過在透鏡安裝部15安裝透鏡 22而形成透鏡部3。在安裝的透鏡22的曲面，涂布用于形成衍射層部 4的光硬化性樹脂25。
如圖8 (a)和(b)所示，使由石英等形成的光透過性模具24接 觸于涂布的光硬化性樹脂25。通過在該狀態(tài)下從光透過性模具24的上 方向光硬化性樹脂25照射紫外線，從而進(jìn)行UV硬化處理，在透鏡22 的曲面形成衍射層4。另外，優(yōu)選通過在UV硬化處理之后進(jìn)行加熱固 化，從而使衍射層4穩(wěn)定化。形成衍射層4后，通過向其外面蒸鍍鋁 或金，從而形成反射層6。另外，衍射層4能夠由感光性的樹脂或玻璃、 有機(jī)和無(wú)機(jī)的混合素材，或者遇熱變形的樹脂或玻璃、有機(jī)和無(wú)機(jī)的 混合素材等形成。
在此，透鏡22的曲面的曲率半徑大于衍射層4的曲率半徑，衍射 層4的曲率半徑反映了光透過性模具24的曲率半徑。另外，衍射層4 的形成位置反映了接觸于光透過性模具24的位置。
所以，即使在透鏡22的曲率半徑有公差的情況下，或者在透鏡22 對(duì)玻璃晶圓18的安裝位置發(fā)生誤差的情況下，也能夠使衍射層4的形 成位置(XYZ方向)為一定。
如上所述，將設(shè)有各構(gòu)成構(gòu)件的透光性板2c和透光性板2d貼合。 通過在透光性板2c、 2d之間夾入吸光膜16，涂布光學(xué)樹脂并使其硬化， 從而進(jìn)行貼合。吸光膜16，通過光蝕刻等而形成于透光性板2c、 2d的 某一個(gè)的面上。另外，貼合時(shí)，如圖9所示，以透光性板2c的對(duì)準(zhǔn)標(biāo) 記13和透光性板2d的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記17為基準(zhǔn)而進(jìn)行。于是，能夠精度良 好地將狹縫lla、衍射層4以及光檢測(cè)元件7定位。
對(duì)上述的分光模塊1的作用效果進(jìn)行說明。
在該分光模塊l中，由于本體部2為板狀，因而能夠通過本體部2的薄型化來(lái)謀求小型化。并且，由于本體部2為板狀，因而例如能夠
利用晶圓工藝，制造分光模塊。即，對(duì)于作為多個(gè)本體部2的玻璃晶 圓，通過以矩陣狀設(shè)置透鏡部3、衍射層4、反射層6以及光檢測(cè)元件 7，并切割該玻璃晶圓，從而能夠制造多個(gè)分光模塊1。如此，能夠容 易地大量生產(chǎn)分光模塊1。
另外，由于在本體部2的表面2a形成有配線12，因而不直接連接 外部的配線和光檢測(cè)元件7，而能夠經(jīng)由設(shè)在本體部2的配線12將外 部的配線和光檢測(cè)元件7電連接。于是，在處理分光模塊1時(shí)和與外 部裝置連接時(shí)，抑制了局部的應(yīng)力施加于光檢測(cè)元件7，因而即使在謀 求分光模塊1的小型化的情況下，也能夠防止光檢測(cè)元件7的剝離和 分光模塊1的破損。另外，通過將光檢測(cè)元件7直接連接于設(shè)在本體 部2的配線12，從而能夠縮短本體部2和光檢測(cè)元件7的光檢測(cè)面7b 的距離，因而能夠防止衍射光L2的衰減和雜散光的入射。
另外，在配線12和本體部2之間，形成有吸收光的吸光層11，因 而能夠防止從反射層6反射的衍射光L2在配線12和本體部2之間漫 反射。
另外，吸光層11的表面(配線12側(cè)的面)為粗糙面，因而，即 使在從本體部2側(cè)入射于吸光層11的雜散光透過吸光層11并被配線 12向本體部2側(cè)反射的情況下，也能夠吸收雜散光，進(jìn)一步防止配線 12和本體部2之間的漫反射。
而且，通過使吸光層11的表面(配線12側(cè)的面)為粗糙面，能 夠防止形成于吸光層11的表面上的配線12的剝離。
另外，由于不將柔性基板8和光檢測(cè)元件7直接連接，而能夠經(jīng) 由設(shè)在本體部2的配線12進(jìn)行電連接，因而能夠抑制應(yīng)力施加于光檢 測(cè)元件7。于是，即使在謀求分光模塊1的小型化的情況下，也能夠防 止光檢測(cè)元件7的剝離和分光模塊1的破損。
另外，由于本體部2具有層疊的透光性板2c和2d，因而通過將光 檢測(cè)元件7安裝于透光性板2c的表面的工藝，將透鏡部3、衍射層4 及反射層6等的分光部安裝于透光性板2d的背面的工藝，以及貼合這 些透光性板2c和2d的工藝，能夠制造分光模塊l。 g卩，例如不從玻璃 晶圓的兩面?zhèn)冗M(jìn)行將光檢測(cè)元件7和分光部安裝于玻璃晶圓的工藝，而是能夠分為僅從各單面?zhèn)冗M(jìn)行的工藝。于是，能夠使分光模塊1的 制造工藝成為最適于晶圓工藝的工藝，能夠更加容易地大量生產(chǎn)。
另外，通過設(shè)在透光性板2c和2d之間的吸收光的吸光膜16，能 夠吸收在本體部2內(nèi)行進(jìn)的雜散光，因而能夠減少入射于光檢測(cè)元件7 的雜散光，能夠減小噪聲。
(第2實(shí)施方式)
第2實(shí)施方式的分光模塊31與第1實(shí)施方式的分光模塊1的主要 不同點(diǎn)在于，以一體型形成透鏡部3和衍射層4。
艮P，在第2實(shí)施方式的分光模塊31中，如圖10所示，在本體部2 的背面2b的與狹縫lla相對(duì)的位置，設(shè)有在透鏡部23b的凸曲面23c 上一體地具有衍射層部23a的光柵透鏡部23。
其次，參照?qǐng)D11及圖12，對(duì)光柵透鏡部23的制造方法進(jìn)行說明。
如圖11 (a) ~ (c)所示，通過在玻璃晶圓18的表面形成感光性 樹脂圖案29，從而設(shè)置光柵透鏡安裝部26和對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記17。另外，這 時(shí)，光柵透鏡安裝部26也可以通過對(duì)玻璃晶圓18本身進(jìn)行蝕刻加工 或者通過圖案化形成金屬膜而形成。在該光柵透鏡安裝部26，涂布用 于形成光柵透鏡部23的光硬化性樹脂33。
如圖12 (a)、 (b)所示，使由石英等形成的光透過性模具34接觸 于涂布的光硬化性樹脂33。通過在該狀態(tài)下從光透過性模具34的上方 向光硬化性樹脂33照射紫外線，從而進(jìn)行UV硬化處理，形成光柵透 鏡部23。另外，優(yōu)選通過在UV硬化處理后進(jìn)行加熱固化，從而使光 柵透鏡部23穩(wěn)定化。形成光柵透鏡部23后，通過向其外面蒸鍍鋁或 金，從而形成反射層6。另外，光柵透鏡部23能夠由感光性的樹脂或 玻璃、有機(jī)和無(wú)機(jī)的混合素材，或者遇熱變形的樹脂或玻璃、有機(jī)和 無(wú)機(jī)的混合素材等形成。
關(guān)于這種第2實(shí)施方式的分光模塊31，由于能夠用一體型的模具 來(lái)形成透鏡部和衍射層，因而能夠位置精度良好地形成透鏡部和衍射 層，并且能夠縮短制造工序。
(第3實(shí)施方式)
第3實(shí)施方式的分光模塊41與第1實(shí)施方式的分光模塊1的主要 不同點(diǎn)在于，在透光性板2c和透光性板2d之間未形成有吸光膜16。艮P，在第3實(shí)施方式的分光模塊41中，如圖13所示，通過光學(xué) 樹脂和直接接合(direct bonding),將透光性板2c和透光性板2d直接接合。
(第4實(shí)施方式)
第4實(shí)施方式的分光模塊51與第1實(shí)施方式的分光模塊1的主要 不同點(diǎn)在于，本體部52由一片透光性板形成。
艮P，在第4實(shí)施方式的分光模塊51中，如圖14所示，本體部52 由透光性板52a、形成于其表面52b的吸光層11以及配線12構(gòu)成。
(第5實(shí)施方式)
第5實(shí)施方式的分光模塊61與第4實(shí)施方式的主要不同點(diǎn)在于， 在配線63之上形成有吸光層64。
艮口，在第5實(shí)施方式的分光模塊61中，如圖15所示，在透光性 板65的表面65a形成配線63，從其上形成吸光層64。另外，在吸光 層64除了形成狹縫64a和開口部64b以外，還形成用于使配線層63 的端子部63a和端子部63b從吸光層64露出的開口部64c。
關(guān)于這種第5實(shí)施方式的分光模塊61，由于與透光構(gòu)件的緊密結(jié) 合性高的配線63直接形成于透光性板65，因而能夠提高配線63的強(qiáng) 度。
本發(fā)明并不限于上述的實(shí)施方式。例如，在本實(shí)施方式中，狹縫 形成于吸光層，但是，也可以在光檢測(cè)元件形成狹縫。于是，由于狹 縫和光檢測(cè)元件由同一工藝制作，因而能夠提高狹縫和光檢測(cè)面的位 置精度。另外，光檢測(cè)元件的狹縫能夠通過使用堿液的濕法蝕刻或硅 深干法蝕刻或者其復(fù)合技術(shù)而形成。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性
依照本發(fā)明，能夠謀求分光模塊的小型化，并且能夠容易地大量 生產(chǎn)分光模塊。
權(quán)利要求
1.一種分光模塊，其特征在于，具備板狀的本體部，使從一個(gè)面入射的光透過；分光部，設(shè)在所述本體部的另一個(gè)面?zhèn)?，?duì)透過所述本體部的光進(jìn)行分光，并向所述一個(gè)面?zhèn)确瓷?；以及光檢測(cè)元件，設(shè)在所述一個(gè)面?zhèn)?，檢測(cè)被所述分光部分光并反射的光。
2. 如權(quán)利要求1所述的分光模塊，其特征在于， 在所述一個(gè)面?zhèn)仍O(shè)有與所述光檢測(cè)元件電連接的配線。
3. 如權(quán)利要求2所述的分光模塊，其特征在于， 在所述一個(gè)面和所述配線之間設(shè)有吸收光的吸光層。
4. 如權(quán)利要求3所述的分光模塊，其特征在于， 所述吸光層的表面為粗糙面。
5. 如權(quán)利要求2所述的分光模塊，其特征在于， 在所述一個(gè)面?zhèn)仍O(shè)有與所述配線電連接的柔性基板。
6. 如權(quán)利要求1所述的分光模塊，其特征在于， 所述本體部具有層疊的至少兩片透光性板。
7. 如權(quán)利要求6所述的分光模塊，其特征在于， 在相鄰的所述透光性板彼此之間的規(guī)定區(qū)域，設(shè)有吸收光的吸光膜。
全文摘要
分光模塊(1)中，由于本體部(2)為板狀，因而能夠通過本體部(2)的薄型化來(lái)謀求小型化。并且，由于本體部(2)為板狀，因而例如能夠利用晶圓工藝來(lái)制造分光模塊(1)。即，通過對(duì)作為多個(gè)本體部(2)的玻璃晶圓，以矩陣狀設(shè)置透鏡部(3)、衍射層(4)、反射層(6)以及光檢測(cè)元件(7)設(shè)置成矩陣狀，并切割該玻璃晶圓，能夠制造多個(gè)分光模塊(1)。如此，能夠容易地大量生產(chǎn)分光模塊(1)。
文檔編號(hào)G01J3/02GK101542246SQ20088000050
公開日2009年9月23日 申請(qǐng)日期2008年6月5日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月8日
發(fā)明者D·希勒, H·泰希曼, U·施塔克, 柴山勝己, 能野隆文, 鈴木智史 申請(qǐng)人:浜松光子學(xué)株式會(huì)社