專利名稱：基板檢查裝置、基板檢查方法和存儲介質的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及例如對半導體晶片或LCD基板(液晶顯示器用玻璃基板)等的基板進行攝像、進行檢查的基板檢查裝置、基板檢查方法和存儲介質。
背景技術：
在半導體器件的制造中的光蝕刻法エ序中，例如依次進行在半導體晶片(以下稱為晶片)上涂敷抗蝕劑形成抗蝕劑膜的抗蝕劑涂敷處理、在該抗蝕劑膜上曝光規(guī)定的圖案的曝光處理、和對已曝光的抗蝕劑膜進行顯影的顯影處理等，在晶片上形成規(guī)定的抗蝕劑圖案。而且，對于進行了一系列的光蝕刻法的晶片，例如搬入在進行上述抗蝕劑涂敷處理和顯影處理的涂敷、顯影裝置內設置的檢查裝置，并通過設置于檢查裝置內的照相機對 其表面進行攝像。該被攝像的晶片的圖像顯示于輸出畫面，并基于該顯示檢查是否在晶片的表面形成有規(guī)定的抗蝕劑膜，另外是否在其表面有傷、異物的附著等。在該攝像時，晶片被設置于檢查裝置的照明部照射，但該照明部的照度因時效劣化而逐漸降低，若在照度降低了的環(huán)境下進行攝像，則檢查的精度降低。因此，作為檢查裝置的定期維護，有時將在其表面未形成有抗蝕劑膜等各種膜的調整用晶片輸送到該檢查裝置，根據對該調整用晶片進行攝像獲得的圖像來確認照明部的明亮度。而且，在根據上述圖像判定照明部的照度比基準降低的情況下，進行照明部的更換和/或圖像的亮度的放大率的調整。此外，以后為了與調整用晶片區(qū)別，単獨記載為晶片時，表示用于制造半導體的晶片。使用涂敷、顯影裝置的輸送機構，將調整用晶片從輸送到涂敷、顯影裝置的裝載ロ的專用的載體輸送到檢查裝置。這樣，將專用的載體輸送到裝載ロ需要勞カ和時間，而且在該載體和檢查裝置之間輸送調整用晶片的期間，必須使上述輸送機構的晶片的輸送停止，所以在這樣的檢查中，不能在涂敷、顯影裝置進行晶片的處理。所以，通過進行這樣的維護，具有呑吐量的降低變大的問題。另外，由于這樣進行維護需要勞カ和時間，因此具有若抑制進行維護的次數，則即使照明部的照度比基準高也更換該照明部，或在與基準相比照明部的照度比基準低的狀態(tài)下也繼續(xù)檢查的問題。在專利文獻I中雖然記載有對于從燈(lamp)放射的光的發(fā)光強度、光譜分布等，與目標值進行比較，基于其結果報知是否需要進行該燈的更換的照明裝置，但關于對上述的晶片進行攝像時的問題并未記載，不能解決該問題?，F有技術文獻專利文獻I :日本特開2001-201431 (段落0041等)

發(fā)明內容
發(fā)明要解決的問題本發(fā)明是在這樣的情況下完成的，其目的是提供不向裝置輸送調整用基板、能夠防止產生由照明部的照度的降低引起的基板的檢查的不順利的技術。用于解決問題的方法本發(fā)明的基板檢查裝置，從照明部對載置于設置在機箱內的載置臺的基板照射光，通過包括攝像元件的攝像部進行攝像，基于其攝像結果進行基板的檢查，所述基板檢查裝置的特征在于，包括模式選擇部，用于在檢查模式和維護模式之間選擇模式，所述檢查模式以載置于上述載置臺的基板為被攝體進行攝像來進行檢查，所述維護模式用于確認照明部的照度；導光部件，設置于上述機箱內，用于將上述照明部的光導向上述攝像元件；判定部，對在維護模式執(zhí)行時經由上述導光部件通過攝像元件取得的照明部的光的亮度是否在預先設定的容許范圍內進行判定；和
報知部，用于當由上述判定部判定為上述亮度在上述容許范圍外時，報知需要進行照明部的更換。本發(fā)明的其它的基板檢查裝置，從照明部對載置于設置在機箱內的載置臺的基板照射光，通過包括攝像元件的攝像部進行攝像，基于其攝像結果進行基板的檢查，所述基板檢查裝置的特征在于，包括模式選擇部，用于在檢查模式和維護模式之間選擇模式，所述檢查模式以載置于上述載置臺的基板為被攝體進行攝像來進行檢查，所述維護模式用于確認照明部的照度；導光部件，設置于上述機箱內，用于在上述維護模式執(zhí)行時將上述照明部的光導向上述攝像元件；放大部，為了即使在上述照明部的照度降低時也使檢查結果穩(wěn)定，對從攝像元件輸出的亮度信號進行放大，并且其放大率可變；和放大率調整部，在維護模式執(zhí)行時，基于經由上述導光部件、攝像元件和上述放大部取得的照明部的光的亮度和預先設定的亮度，對所述放大率進行調整。本發(fā)明的具體的方式，例如如下所述。(I)具有判定部，對上述放大率是否超過預先設定的容許值進行判定；和報知部，用于當由上述判定部判定為放大率超過上述容許值時，報知需要進行照明部的更換。(2)具有存儲部，存儲上述已被調整的放大率和從更換上述照明部到決定上述放大率的期間；和顯示部，相關聯地顯示存儲于上述存儲部的放大率和上述期間。(3)導光部件，在上述維護模式執(zhí)行時將照明部的光導向上述攝像元件，在檢查模式執(zhí)行時不將照明部的光導向攝像元件。(4)在維護模式執(zhí)行時，用于當在載置臺未載置基板時進行通過導光部件向攝像元件的導光的光路，在檢查模式執(zhí)行時被載置于載置臺的基板遮斷。(5)設置有驅動機構，使導光部件相對于上述照明部在用來將來自該照明部的光導向攝像元件的第一位置和不將來自該照明部的光導向攝像元件導光的第二位置之間相對移動。(6)導光部件由用于反射照明部的光將其照射到攝像元件的反射部件構成。(7)上述維護模式，在基板未位于上述照明部的光的照射區(qū)域時執(zhí)行。本發(fā)明的基板檢查方法，其特征在于，包括從照明部對載置于設置在機箱內的載置臺的基板照射光，通過包括攝像元件的攝像部進行攝像，基于其攝像結果進行基板的檢查的工序；通過設置于上述機箱內的導光部件，為了確認照明部的照度而將上述照明部的光導向上述攝像元件的工序；對經由上述導光部件被攝像元件取得的照明部的光的亮度是否在預先設定的容許范圍內的工序；和在由上述判定部判定上述亮度在上述容許范圍外時，通過報知部報知需要進行照明部的更換的工序。本發(fā)明的其它的基板檢查方法，其特征在于，包括從照明部對載置于設置于機箱內的載置臺的基板照射光，通過包括攝像元件的攝像部進行攝像，基于其攝像結果進行基板的檢查的工序；通過設置于上述機箱內的導光部件，為了確認照明部的照度而將上述照明部的光 導向上述攝像元件的工序；通過以其放大率能夠變化的方式構成的放大部，為了即使在來自上述照明部的光的亮度降低時也使檢查結果穩(wěn)定，對從攝像元件輸出的亮度信號進行放大的工序；和基于經由上述導光部件、攝像元件和上述放大部取得的照明部的光的亮度和預先設定的亮度，通過放大率調整部對上述放大率進行調整的工序。本發(fā)明的存儲介質，存儲有在檢查基板的檢查裝置中使用的計算機程序，上述存儲介質的特征在于上述計算機程序用于實施上述的基板檢查方法。發(fā)明效果根據本發(fā)明，對在通過設置于機箱內的導光部件將照明部的光導向攝像元件的狀態(tài)下取得的照明部的光的亮度是否在預先設定的容許范圍內進行判定，根據該判定結果能夠報知需要進行上述照明部的更換，因此不將照度調整用的基板搬入檢查裝置，就能夠防止產生由照明的照度的降低引起的檢查的不順利。作為結果，能夠抑制確認該照明的照度的維護所需要的勞力和時間。另外，在其它的發(fā)明中，設置有放大部，其基于在從上述導光部件向攝像元件導光的狀態(tài)下取得的上述照明部的光的亮度和預先設定的亮度，對從攝像元件輸出的亮度信號進行放大。因而，不將調整用的基板搬入檢查裝置就能夠防止產生由照明的照度的降低引起的檢查的不順利。作為結果，能夠抑制調整圖像的亮度的放大率的維護所需要的時間。


圖I是本發(fā)明的基板檢查裝置的縱截面?zhèn)纫晥D。圖2是上述基板檢查裝置的橫截面俯視圖。圖3是上述基板檢查裝置的控制部和攝像照相機的塊圖。圖4是表不指不值和補正值的相關關系的一個例子的圖表。圖5是表示補正圖像的工序的說明圖。圖6是表示通過反射板導光到上述攝像照相機的樣子的說明圖。圖7是表不顯不部的增益(gain)和照明使用期間的關系的圖表。圖8是維護模式的流程圖。圖9是另外的基板檢查裝置的縱截面?zhèn)纫晥D。
圖10是上述基板檢查裝置的反射板的側視圖。圖11是另外的反射板的側視圖。圖12是上述反射板的側視圖。圖13是上述反射板的側視圖。圖14是另外的反射板的側視圖。圖15是上述反射板的側視圖。圖16是另外的基板檢查裝置的橫截面俯視圖。圖17是另外的基板檢查裝置的橫截面俯視圖。
符號說明W 晶片I 基板檢查裝置10 機箱11 載置臺22 照明部30 攝像元件31 攝像照相機35 輸出補正部4 控制部51 檢查模式執(zhí)行用程序52 維護模式執(zhí)行用程序
具體實施例方式對本發(fā)明的基板檢查裝置I進行說明。圖I、圖2分別表示基板檢查裝置I的縱截面、橫截面。基板檢查裝置I具有載置臺11，所述載置臺11在該機箱10內吸附晶片W的背面?zhèn)戎醒氩浚⑺奖３志琖。圖中12是用于向機箱10內搬入晶片W和從機箱10內搬出晶片W的輸送口。該晶片W進行光蝕刻，在其表面的抗蝕劑膜形成有規(guī)定的圖案。載置臺11被水平驅動部13支承。若在機箱10內以輸送口 12開口的一側為跟前一側，則在基板檢查裝置I的地面(底面)從跟前一側朝向里側地敷設有導軌14，水平驅動部13沿該導軌14自由地水平移動。以從該水平驅動部13向機箱10的里側延伸的方式設置有覆蓋導軌14的上側的覆蓋件15。該覆蓋件15具有防止在進行晶片W的攝像時由導軌14引起的光的反射、并防止該光朝向攝像照相機31的作用。在覆蓋件15的表面設置有反射板16，隨著水平驅動部13的移動與載置臺11 一起在機箱10內的跟前一側和里側之間移動。圖中16a是反射板的反射面。關于該反射板16在后文進一步述說。在導軌14上設置有在機箱10的左右延伸的橫寬的半透半反鏡21，該半透半反鏡21設置為相對該導軌14的伸長方向傾斜。另外，在半透半反鏡21的上方設置有隔著該半透半反鏡21向下方照射光的照明部22。該照明部22例如由發(fā)光二極管構成，可自由更換。在半透半反鏡21的里側設置有攝像照相機31。該攝像照相機31具有透鏡32和映現在透鏡32的像進行成像的攝像元件群33。攝像元件群33由在橫向排列為一列的例如2048個作為CXD元件(像素)的攝像元件30構成。攝像照相機31以當晶片W移動時能夠對該晶片W整體進行攝像的方式安裝。還邊參照圖3的塊圖邊進行說明。在該圖3中，為了容易理解圖，對攝像元件30添加I 2048的號碼。攝像元件30與A/D (模擬/數字)轉換器34連接，在A/D轉換器34的后級連接成為放大部的輸出補正部35，在其后級連接信號處理部36。入射到攝像元件群33的光，被該攝像元件群33光電轉換成為模擬信號，來自各攝像元件30的模擬信號以規(guī)定的順序輸出到A/D轉換器34，在該A/D轉換器34轉換為與O 255的數值對應的數字信號，輸出到輸出補正部35。該O 255的數值表示入射到攝像元件30的光量即被攝像的被攝體的亮度。在此，亮度是二次光源、即從晶片W和反射板16朝向攝像照相機31發(fā)出的光的強度，是以圖像的明亮度(灰度級)表現的無單位的值。然后，在輸出補正部35中，對來自各攝像元件30的表示上述亮度的數值乘以預先設定的補正值，作為與O 255的數值對應的數字信號被輸出。即，該輸出補正部35具有以相同的補正值對從各攝像元件30輸出的圖像的亮度同樣地進行補正來調整攝像照相機31的感度的作用，補正值越大被補正后的圖像越具有高的亮度。在信號處理部36中，對從輸出補正部35輸出的信號按以下順序進行圖像斑點調 整(shading補正)、Y補正。通過該圖像斑點調整，來自各攝像元件30的亮度按各攝像元件30以預先設定的放大率分別地被放大。而且，通過Y補正，來自各攝像元件30的圖像的亮度以用預先設定的值同樣地進行增加的方式被補正，作為與O 255的數值對應的數字信號被輸出。在該攝像照相機31設置有轉換部37，輸出用于如上述方式在輸出補正部35進行補正的補正值。為了補正圖像的亮度，從后述的控制部4向該轉換部37發(fā)送指示值，但在轉換部37中具有例如存儲圖4所示那樣的上述指示值和上述補正值的對應關系的存儲部，根據上述指示值和該對應關系由該轉換部37決定補正值，該補正值輸出到輸出補正部35。這樣在轉換部37進行從指示值向補正值的轉換，是因為在通過攝像照相機31的方法按每個攝像照相機31從A/D轉換器34的輸出產生偏差時，能夠抑制從輸出補正部35的輸出的偏差。即，上述相關關系按每個攝像照相機31設定。而且，由于來自A/D轉換器34的數字(digital)值通常是比較低的值，因此以作為上述補正值關于I以上的值也被輸出的方式設定上述相關關系。圖5是表示這種亮度被放大且圖像被補正的樣子的圖。在圖5的上層表示攝入有被攝體的像的攝像元件群33，在各攝像元件30之上表示被A/D轉換而獲得的亮度。而且，圖5中層表示從圖5上層的各攝像元件30被輸出補正部35放大生成的圖像，圖中的數值表示其亮度。在該例中，利用補正值將各攝像元件30的亮度放大至10倍。圖5下層表示進行圖像斑點調整并且來自規(guī)定的攝像元件30的亮度被進行加10的加法計算地補正而獲得的圖像。此后進行Y補正，從各攝像元件30獲得的圖像存儲于控制部4。 返回圖I的說明。來自照明部22的照明通過半透半反鏡21，到達在圖中用r所示的半透半反鏡21的下方的照射區(qū)域。然后，該照射區(qū)域r中的物體的反射光被半透半反鏡21反射，被攝像照相機31獲取。即攝像照相機31能夠對位于照射區(qū)域r的物體進行攝像。而且，在晶片W沿導軌14在半透半反鏡21的下方從跟前一側朝向里側移動時，攝像照相機31按照控制部4的控制信號間歇性地進行攝像，晶片W的表面整體被攝像。該基板檢查裝置1，選擇以下的模式執(zhí)行如上述方式對晶片W進行攝像用于進行其表面的檢查的檢查模式；和確認在該裝置I未搬入晶片W的狀態(tài)下是否需要由攝像照相機31獲得的圖像的亮度的調整和照明部22的更換的維護模式。具體來講，在維護模式中，根據對反射板16進行攝像獲得的圖像的亮度，設定輸出補正部35的信號的放大率、即上述補正值和與該補正值對應的指示值，將圖像的亮度控制為適合的值。而且，當指示值超過容許值時，為了防止信號中的噪音(干擾noise)被放大而導致的圖像的劣化，向用戶報知進行照明部22的更換。在此，關于反射板16進一步詳細說明。反射板16在執(zhí)行上述維護模式時使用，當位于照射區(qū)域r時如圖6所示對照明部22的光進行反射。在反射板16反射的光如圖中箭頭所示被半透半反鏡21反射，照射到攝像照相機31的攝像元件群33。在檢查模式執(zhí)行時，如圖I所示反射板16位于載置于載置臺11的晶片W的下方。因而，圖6中箭頭所示的反射板16和攝像元件群33之間的光路被該晶片W遮斷，反射板16不被攝像照相機31攝像。 在這樣的位置設置反射板16，是為了防止當檢查模式執(zhí)行時來自反射板16的光被供給到攝像照相機31引起光飽和，即在攝像元件群33產生的電荷飽和，取得的晶片W的圖像變得不清楚。接著，參照圖3對由計算機構成的控制部4進行說明?？刂撇?具有總線41，在總線41連接有進行各種計算的CPU42、程序收納部43、存儲器44、顯示部45和輸入部46連接。在程序收納部43收納有檢查模式執(zhí)行用的程序51和維護模式執(zhí)行用的程序52。程序51、52從控制部4向基板檢查裝置I的各部發(fā)送控制信號，以使后述的各模式的處理進行的方式編入有命令(各步驟)。程序收納部43由計算機存儲介質例如軟盤、光盤、硬盤、MO(光磁盤)等構成。存儲器44具有補正值設定用數據存儲區(qū)域53，其存儲用于設定輸出補正部35的補正值的各種數據；圖像數據存儲區(qū)域54，其存儲從攝像照相機31取得的圖像的亮度；指示值存儲區(qū)域55，其存儲設定的指示值；和基準數據存儲區(qū)域56，其用于在檢查模式下進行晶片W的適當與否的判定。對存儲器44的各區(qū)域進一步詳細說明，在補正值設定用數據存儲區(qū)域53存儲有在執(zhí)行維護模式時，反射板16被攝像時存儲于圖像數據存儲區(qū)域54的亮度的目標值；從其目標值偏離的容許范圍；和指示值的上限值。上述容許范圍是上述目標值以下且比目標值低若干的值以上的范圍。在圖像數據存儲區(qū)域54，通過從構成上述攝像元件群33的各攝像元件30依次輸出模擬信號，從各攝像元件30輸出的圖像的亮度被收納于各個規(guī)定的地址。執(zhí)行維護模式時決定的指示值和決定該指示值的日期和時間相互關聯地存儲在指示值存儲區(qū)域55。該指示值和日期時間每次進行指示值的變更時被存儲。另外，在該指示值存儲領域55存儲有更換照明部22的日期時間。該日期時間通過用戶從輸入部46進行規(guī)定的設定而被存儲。在基準數據存儲區(qū)域56存儲有無缺陷的晶片(基準晶片)的圖像，相互比較該基準晶片的圖像的亮度和檢查模式執(zhí)行時存儲于圖像數據存儲區(qū)域54的晶片W的圖像的亮度，對晶片W的缺陷的有無進行判定。接著，對構成報知部的顯示部45進行說明。顯示部45具有晶片顯示區(qū)域61、指示值顯示區(qū)域62和警報顯示區(qū)域63。晶片顯示區(qū)域61是顯示存儲于圖像數據存儲區(qū)域54的圖像數據的區(qū)域。即，在檢查模式執(zhí)行時，在該晶片顯示區(qū)域61顯示從攝像照相機31取得的晶片W的圖像。指示值顯示區(qū)域62基于存儲于存儲器44的指示值存儲區(qū)域55的數據，表示更換照明部22后的指示值的時效變化。圖7是表示該指示值顯示區(qū)域62的顯示的一個例子的圖表。圖表的橫軸是從更換照明部22后的經過期間(單位時間)，這是存儲于指示值存儲區(qū)域55的照明更換日期時間和各指示.值的設定日期時間的差分。圖中的縱軸表示決定的指示值。存儲于指示值存儲區(qū)域55的指示值，根據其設定日期時間繪圖于圖表中。圖表中也顯示存儲于補正值設定用數據存儲區(qū)域53的指示值的上限值。圖表中的上限值到達預測時間是設最新設定的指示值為α 、設剛在其之前設定的指示值為β、設指示值α的被設定的日期時間為tl、設指示值β的被設定的日期時間為t2，并且在設定了指示值α后設指示值的上升率為(α_β)/ (tl_t2)地來計算直到上限值的到達時間所顯示的時間。而且，作為指示值顯示區(qū)域62的顯示并不限于這樣的顯示，例如也可以顯示從更換照明至設定各指示值的時間和設定的各指示值相關聯的表。也可以代替指示值顯示補正值。警報顯示區(qū)域63是用于顯示基于設定的指示值是否需要進行照明的更換并向用戶報知的區(qū)域。另外，在該警報顯示區(qū)域63也顯示是否進行了指示值的變更。而且，作為用于報知用戶需要照明的更換和指示值被變更了的警報，并不限于這樣進行畫面顯示，也可以通過發(fā)出警告音進行。輸入部46例如由多個按鈕等構成。如已述方式，用戶在從輸入部46更換了照明部22時進行規(guī)定的操作。另外，通過從該輸入部46進行操作，能夠切換在維護模式和檢查模式之間執(zhí)行的模式。接著，說明以維護模式、檢查模式的順序進行各模式的步驟。圖8的流程圖表示維護模式的流程，也參照該流程進行說明。(維護模式)用戶從輸入部46進行規(guī)定的操作時，在進行了照明部22的光照射的狀態(tài)下，通過水平驅動部13載置臺11從用于接收機箱10的跟前一側的晶片W的接收位置前進，反射板16隨其前進，如圖6所示，位于照明部22的照射區(qū)域r。由此，照明部22的光被反射板16反射，經由半透半反鏡21被導向攝像照相機31。攝像照相機31的未圖示的快門打開，來自上述反射板16的光入射到透鏡32，在攝像元件群33成像(步驟SI)。如已述那樣，從攝像元件群33的各攝像元件30，以與各攝像元件受光的光量對應的輸出產生模擬信號，該模擬信號在A/D轉換器34被轉換為數字信號。從控制部4向攝像照相機31輸出最新存儲于指示值存儲區(qū)域55的指示值(設為a)，從轉換部37輸出與該指示值a對應的補正值，在輸出補正部35對來自A/D轉換器34的數字值和該補正值進行乘法計算，輸出O 255的亮度的數字值。而且，如上述方式通過信號處理部36進一步補正該亮度，每個來自各攝像元件30的輸出都存儲于存儲器44的圖像數據存儲區(qū)域54的不同的地址。接著，對于存儲于該圖像數據存儲區(qū)域54的亮度的數據之中、來自從上述反射板16來的光射入的多個攝像元件30的亮度，計算平均值，判定該亮度的平均值是否包含于來自存儲于補正值設定用數據存儲區(qū)域53的目標值的容許范圍(步驟S2)。預先設定根據從哪個攝像元件30輸出的亮度算出平均。
在步驟S2判定為亮度的平均值包含于容許范圍的情況下，在顯示部45的警報顯示區(qū)域63顯示不需要進行照明更換的意思的記號(sign)和沒有進行指示值的變更的意思的記號。在步驟S2中判定為亮度的平均值在容許范圍外的情況下，指示值設定為a+Ι (步驟S3)，再次與步驟SI同樣地對反射板16進行攝像(步驟S4)。以與指示值a+Ι對應的補正值進行輸出補正部35的放大，來自各攝像元件30的圖像的亮度存儲于圖像數據存儲區(qū)域54。然后，與步驟S2同樣地計算多個攝像元件30的亮度的平均值，并判定是否為存儲于補正值設定用數據存儲區(qū)域53的目標值以上(步驟S5)。然后，在步驟S5中判定為不是目標值以上的情況下，將指示值設定為a+2，再次進行反射板16的攝像、亮度是否為目標值以上的判定。在該判定結果為不是目標值以上的情況下，將指示值設定為a+3，再次進行反射板16的攝像、亮度是否為目標值以上的判定。也就是，反復執(zhí)行步驟S3 S5，每次在步驟S5中判定為亮度不為目標值以上時，在步驟S3中每次都使指示值+1地進行設定。在步驟S5中判定為是目標值以上的情況下，判定設定的指示值是否比存儲于補正值設定用數據存儲區(qū)域53的指示值的上限值高(步驟S6)。在步驟S6中判定為不比上限 值高的情況下，將這樣進行判定的日期時間和設定的指示值相關聯地存儲于指示值存儲區(qū)域55 (步驟S7)，在警報顯示區(qū)域63顯示指示值已被變更的意思的記號。而且，更新指示值顯示區(qū)域62的圖表，在新存儲的指示值和與其設定日期時間相關聯的地方追加圖表，劃圖表線。另外，計算上限值到達預測時間，更新圖表內的顯示。在判定為比上限值高的情況下，在警報顯示區(qū)域63輸出需要進行照明更換的意思的警報(步驟S8)。上述的流程通過成為判定部和放大率調整部的維護模式用程序52執(zhí)行。當這樣輸出警報時，用戶進入基板檢查裝置I更換照明部22，在更換結束后從輸入部46進行規(guī)定的操作。由此，存儲于指示值存儲區(qū)域55的數據被復位(重置)，由此顯示部45的指示值顯示區(qū)域62的圖表也被復位。作為照明部22的更換日期時間重新存儲進行輸入部46的上述操作的日期時間。而且，這樣進行照明部22的更換時例如使用預先設定的指示值(初始值)，進行上述的維護模式，重新設定指示值。(檢查模式)在維護模式結束后，從輸入部46進行規(guī)定的操作時檢查模式開始。晶片W通過未圖示的輸送機構被輸送至基板檢查裝置1，其背面一側中央部被位于圖I中用實線所示的接收位置的載置臺11保持。然后，該載置臺11在保持有晶片W的狀態(tài)下向機箱10的里側(攝像照相機31 —側)前進。當位于照明部22的下方的照射區(qū)域r時，通過攝像照相機31進行攝像。如已述方式，晶片W邊前進邊間歇地被攝像，由此對晶片W整體進行攝像。此時，從控制部4向攝像照相機31輸出最新設定的指示值，利用與其指示值對應的補正值對來自A/D轉換器34的輸出進行補正，放大圖像的亮度。而且，與在執(zhí)行維護模式時同樣地，圖像的亮度在信號處理部36被補正后，存儲于存儲器44的圖像數據存儲區(qū)域54?；谒鎯Φ牧炼?，在顯示部45的晶片顯示區(qū)域61顯示晶片W的圖像，并且將該圖像與基準晶片的圖像進行比較，來對被攝像的晶片W的缺陷的有無進行判定。上述的一系列的處理通過檢查模式用程序51來執(zhí)行。采用該基板檢查裝置1，攝像照相機31攝像被反射板16反射的照明部22的光，基于被攝像的圖像數據的亮度，判定是否需要照明的更換。因而，因為不需要向該基板檢查裝置I輸送用于確認照明部22的照度的夾具(調整用晶片)，所以能夠通過該照度的確認來抑制晶片W的吞吐量降低。另外，在該基板檢查裝置I中，攝像照相機31攝像被上述反射板16反射的照明部22的光，使補正值增加使得被攝像的圖像的亮度成為目標值以上。因而，不需要為了設定該補正值向該基板檢查裝置I輸送夾具，所以能夠抑制每當設定該補正值時晶片W的處理的吞吐量降低。另外，通過這樣使補正值上升，能夠抑制照明部22的更換的頻率，因此能夠進一步可靠地抑制吞吐量的降低。另外，采用該基板檢查裝置1，將從更換照明部22至指示值被變更的各時間和被變更的各指示值相關聯地顯示。由此，用戶根據指示值的時效變化把握照明部22的照度的降低程度，能夠預測照明部22的照度降低到規(guī)定的基準以下的時刻。因而，能夠防止在未從照明部22照射充足的光的狀態(tài)下檢查晶片W而不能檢出存在的缺陷的問題，并且能夠抑制與從照明部22獲得充足的照度無關浪費地執(zhí)行維護模式而吞吐量降低的問題，能夠防止更換新的照明部22的問題。而且，該基板檢查裝置I以在檢查模式執(zhí)行時來自反射板16的光被晶片W遮蔽的方式設置有該反射板16。因而，在進行晶片W的檢查時，從晶片W反射的光和從反射板16 反射的光一起供給到攝像照相機31，從攝像元件群33產生的電荷飽和，成為所謂光飽和的狀態(tài)，能夠防止不能獲得適合的圖像數據。由此，能夠高精度地進行晶片W的檢查。但是，實際上基板檢查裝置I的照明部22的照度被設定為多個等級，亮度的下限值和目標值按其等級設定。在照明部22的更換時進行該照度的設定，在維護模式執(zhí)行時讀出與該照度對應的上述亮度的目標值和容許范圍，執(zhí)行上述各步驟S。在上述的實施方式中，也可以不將指示值轉換為補正值地輸出，而從控制部4直接輸出補正值，并乘以從A/D轉換器34輸出的數字值使其放大。另外，也可以替代這樣在A/D轉換器34的后級進行信號的放大，而使用補正值對從各攝像元件30輸出的模擬信號進行放大，然后進行A/D轉換。另外，在上述的各實施方式中，也可以用戶監(jiān)視指示值顯示于顯示部45的指示值，并且該用戶基于該顯示判定照明部22的更換的時刻。另外，在上述的實施方式中，每當以維護模式設定補正值時，使指示值每次增加1，但并不限于這樣設定。例如為了使圖像數據增加規(guī)定的值例如5，求出需要的指示值的增加量C。然后，在維護模式執(zhí)行時，在亮度的目標值為200、測定的亮度為180時，計算(200-180)/5Xc，將該計算值加到指示值，再次測定亮度。而且，也可以按照以下方式來調整亮度若測定的亮度比作為目標值的200小，則與上述的實施方式同樣地使指示值每次增加I直到成為目標值，相反若測定的亮度比作為目標值的200大，則使指示值每次降低I直到成為目標值。另外，替代將在上述的步驟S2、S5中從各攝像元件30獲得的亮度的平均與亮度的容許范圍進行比較，也可以將從多個攝像元件30獲得的亮度分別地與亮度的容許范圍進行比較，在規(guī)定的個數的攝像元件30的亮度從容許范圍偏離時，進行步驟S3的補正值的上升。接著，對另外的基板檢查裝置的實施方式進行說明。圖9是基板檢查裝置8，與基板檢查裝置I大致相同地構成。對與基板檢查裝置I不同的點進行說明，在該基板檢查裝置8中，反射板16以在半透半反鏡21的跟前一側立起的狀態(tài)設置于機箱10的頂部，反射面16a朝向機箱10的里側。圖中71是用于使反射板16升降的升降機構。在檢查模式執(zhí)行時，反射板16退避至圖9所示的攝像照相機31進行攝像的攝像區(qū)域rl的外側的退避位置。在維護模式執(zhí)行時，如圖10所示反射板16通過升降機構71下降，位于上述攝像區(qū)域rl內。此時，如圖中虛線所示，從照明部22被反射板16反射的光入射到攝像照相機31的攝像元件群33。即，攝像反射板16。通過采用這樣的結構，能夠與基板檢查裝置I同樣地防止在檢查模式執(zhí)行時對攝像元件群33照射過剩的光引起光飽和的問題。而且，也可以通過利用升降機構71使照明部22和半透半反鏡21相對反射板16升降，來切換向攝像兀件群33的導光狀態(tài)和非導光狀態(tài)。這樣，為了不引起光飽和，也可以如圖11所示的方式構成反射板16。在該圖11中，在半透半反鏡21的跟前一側(輸送口一側)設置有支承板72，支承板72通過設置于機箱10的側壁的轉動機構73如圖12、圖13所示圍繞水平軸轉動。在支承板72設置有反射板16。于是，在檢查模式執(zhí)行時，如圖11所示通過反射板16朝向跟前一側，照明部22的光 不反射，反射板16不被攝像照相機31攝像。而且，在維護模式執(zhí)行時，反射面16a朝向里偵牝能夠與基板檢查裝置7的反射板16同樣地位于攝像照相機31的攝像區(qū)域rl。圖14表示用于防止光飽和的又另外的反射板的結構例。在該例中，反射板16以反射面16a朝向里側(攝像照相機31 —側)的方式設置于半透半反鏡21的跟前一側，以與反射面16a重合的方式設置有調光玻璃74。該調光玻璃74,通過在面方向上夾持于由液晶構成的板狀體成對的透明的導電膜，還從外側在面方向上通過成對的板玻璃夾持該導電膜構成。在該調光玻璃74中，在未對導電膜施加電壓時構成上述液晶的分子不規(guī)則地配列，因此透明度低，照明部22的光不被反射板16反射。在對導電膜施加有電壓時，上述分子的配列變得規(guī)則，由此調光玻璃74的透明度變高，照明部22的光透過。由此，如圖15所示，反射板16反射照明部22的光，該光入射到攝像照相機31的攝像元件群33。而且，也可以構成為在載置臺11的表面設置反射板16，在維護模式的執(zhí)行時該載置臺11移動到照明部22的光的照射區(qū)域r。這樣，反射板16通過升降機構71和轉動機構73移動、或者設置有調光玻璃74的情況，在維護模式執(zhí)行時，為了防止來自反射板的光和從晶片W反射的光入射到攝像元件群33，優(yōu)選在晶片W未被輸送到機箱10內的狀態(tài)下進行。但是，也可以在晶片W位于機箱10內從照明部22的照射區(qū)域!■偏離的位置的狀態(tài)下進行維護模式。設置有反射板16的位置并不限于這些例子，例如如圖16所示，也可以以不妨礙由水平驅動部13引起的載置臺11的移動的方式設置在照明部22的下方的地面(底面)。但是，在該情況下例如設置為相對水平面傾斜若干，使得在檢查模式執(zhí)行時，反射板16的光反射到晶片W，并不入射到攝像照相機31的攝像元件群33。圖17是基板檢查裝置I的另外的變形例，在該例中在覆蓋件15設置有橫寬的反射板16，來自反射板16的光照射到攝像元件群33的橫向配列的全部的攝像元件30。在該基板檢查裝置9中，與基板檢查裝置I相比對從更多的各種位置的攝像元件30獲得的亮度進行采樣求出平均值，由于能夠與容許范圍比較或者單獨地與容許范圍比較，因此即使在照明部22的照度的降低情況在照明部22的長度方向產生偏差時，也能夠更加可靠地抑制圖像的亮度變得比容許值低。在上述的各實施方式中，還可以在維護模式執(zhí)行時，在圖像的亮度變得比下限值低時不變更補正值，輸出警報。也就是，也可以在上述的流程中執(zhí)行完步驟S2后，不進行步驟S3 S6而進行步驟S8。另外，作為將照明部22的光導向攝像元件群33的導光部件，并不限于反射板，例如也可以在照明部22的下方，將光纖的一端配置于照明部22的下方，將另一端朝向攝像照相機31地配置，照明部22的光被導向攝像元件群33。另外，對存儲于補正值設定用數據存儲區(qū)域53的亮度的目標值的設定方法進行說明。將未預先在表面形成抗蝕劑等膜的晶片輸送到裝置，由攝像照相機31進行攝像。用戶邊參照在顯示部45顯示的晶片的圖像，邊通過輸入部46手動使輸出補正部35的指示值變化，特別指定能得到適合的亮度的圖像的指示值。然后，快速將上述晶片從基板檢查裝置I搬出，對反射板16進行攝像。然后，以與特別指定的指示值對應的補正值對亮度進行放大，以從上述反射板16的光入射的攝像元件30輸出到控制部4的亮度為目標值。在上述的各實施方式中，維護模式也可以例如在從基板檢查裝置I的上游側的裝置輸送來的一批(lot)晶片W和后續(xù)一批晶片W的間隔隔開較大的情況下，如上述方式用 戶從輸入部46進行操作來執(zhí)行。 另外，從控制各晶片W的輸送的上位計算機向控制部4發(fā)送一批和下一批被輸送到基板檢查裝置I的預測時刻。在控制部4的存儲器44存儲有閾值，在一批和下一批的輸送的間隔比該閾值長的情況下，也可以組合各程序51、52，使得在一批的檢查結束后，自動進行維護模式，在維護模式結束后，自動返回檢查模式，對下一批進行檢查。而且，本發(fā)明也能夠適用于晶片以外的LCD基板等基板的檢查。
權利要求
1.一種基板檢查裝置，從照明部對載置于設置在機箱內的載置臺的基板照射光，通過包括攝像元件的攝像部進行攝像，基于其攝像結果進行基板的檢查，所述基板檢查裝置的特征在于，包括 模式選擇部，用于在檢查模式和維護模式之間選擇模式，所述檢查模式以載置于所述載置臺的基板為被攝體進行攝像來進行檢查，所述維護模式用于確認照明部的照度； 導光部件，設置于所述機箱內，用于將所述照明部的光導向所述攝像元件； 判定部，對在維護模式執(zhí)行時經由所述導光部件通過攝像元件取得的照明部的光的亮度是否在預先設定的容許范圍內進行判定；和 報知部，用于當由所述判定部判定為所述亮度在所述容許范圍外時，報知需要進行照明部的更換。
2.一種基板檢查裝置，從照明部對載置于設置在機箱內的載置臺的基板照射光，通過包括攝像元件的攝像部進行攝像，基于其攝像結果進行基板的檢查，所述基板檢查裝置的特征在于，包括 模式選擇部，用于在檢查模式和維護模式之間選擇模式，所述檢查模式以載置于所述載置臺的基板為被攝體進行攝像來進行檢查，所述維護模式用于確認照明部的照度；； 導光部件，設置于所述機箱內，用于在所述維護模式執(zhí)行時將所述照明部的光導向所述攝像元件； 放大部，為了即使在所述照明部的照度降低時也使檢查結果穩(wěn)定，對從攝像元件輸出的亮度信號進行放大，并且其放大率可變；和 放大率調整部，在維護模式執(zhí)行時，基于經由所述導光部件、攝像元件和所述放大部取得的照明部的光的亮度和預先設定的亮度，對所述放大率進行調整。
3.如權利要求2所述的基板檢查裝置，其特征在于，具有 判定部，對所述放大率是否超過預先設定的容許值進行判定；和 報知部，用于當由所述判定部判定為放大率超過所述容許值時，報知需要進行照明部的更換。
4.如權利要求2或3所述的基板檢查裝置，其特征在于，具有 存儲部，存儲所述已被調整的放大率和從更換所述照明部到決定所述放大率的期間；和 顯示部，相關聯地顯示存儲于所述存儲部的放大率和所述期間。
5.如權利要求I 4中任一項所述的基板檢查裝置，其特征在于 導光部件，在所述維護模式執(zhí)行時將照明部的光導向所述攝像元件，在檢查模式執(zhí)行時不將照明部的光導向攝像元件。
6.如權利要求5所述的基板檢查裝置，其特征在于 用于在維護模式執(zhí)行時在載置臺未載置基板時，進行通過導光部件向攝像元件的導光的光路，在檢查模式執(zhí)行時被載置于載置臺的基板遮斷。
7.如權利要求5所述的基板檢查裝置，其特征在于 設置有驅動機構，其使導光部件相對于所述照明部在用于將來自該照明部的光導向攝像元件的第一位置和不將來自該照明部的光導向攝像元件的第二位置之間相對移動。
8.如權利要求I 7中任一項所述的基板檢查裝置，其特征在于所述導光部件由用于反射照明部的光將其照射到攝像元件的反射部件構成。
9.如權利要求I 8中任一項所述的基板檢查裝置，其特征在于 所述維護模式在基板未位于所述照明部的光的照射區(qū)域時執(zhí)行。
10.一種基板檢查方法，其特征在于，包括 從照明部對載置于設置在機箱內的載置臺的基板照射光，通過包括攝像元件的攝像部進行攝像，基于其攝像結果進行基板的檢查的工序； 通過設置于所述機箱內的導光部件，為了確認照明部的照度而將所述照明部的光導向所述攝像元件的工序； 對經由所述導光部件被攝像元件取得的照明部的光的亮度是否在預先設定的容許范圍內進行判定的工序；和 當由所述判定部判定為所述亮度在所述容許范圍外時，由報知部報知需要進行照明部的更換的工序。
11.一種基板檢查方法，其特征在于，包括 從照明部對載置于設置在機箱內的載置臺的基板照射光，通過包括攝像元件的攝像部進行攝像，基于其攝像結果進行基板的檢查的工序； 通過設置于所述機箱內的導光部件，為了確認照明部的照度而將所述照明部的光導向所述攝像元件的工序； 利用以其放大率能夠變化的方式構成的放大部，為了即使在所述照明部的照度的降低時也使檢查結果穩(wěn)定，對從攝像元件輸出的亮度信號進行放大的工序；和 基于經由所述導光部件、攝像元件和所述放大部取得的照明部的光的亮度和預先設定的亮度，通過放大率調整部對所述放大率進行調整的工序。
12.如權利要求11所述的基板檢查方法，其特征在于，包括 通過判定部對所述放大率是否超過預先設定的容許值進行判定的工序；和 在判定為所述放大率超過所述容許值時，利用報知部報知需要進行照明部的更換的工序。
13.如權利要求12或13所述的基板檢查方法，其特征在于 包括將所述已被調整的放大率和從更換所述照明部到決定所述放大率的期間相關聯地在顯示部顯示的工序。
14.如權利要求11 13中任一項所述的基板檢查方法，其特征在于 所述導光部件，在從照明部對基板照射光并通過攝像部進行攝像時，不將照明部的光導向攝像元件。
15.一種存儲介質，其存儲有在檢查基板的檢查裝置中使用的計算機程序，所述存儲介質的特征在于 所述計算機程序用于實施權利要求10 14中任一項所述的基板檢查方法。
全文摘要
本發(fā)明提供不使用檢查用基板、能夠防止產生由照明部的照度的降低引起的檢查的不順利的問題的技術。本發(fā)明的基板檢查裝置，具有模式選擇部，用于在檢查模式和維護模式之間選擇模式，所述檢查模式以載置于設置在機箱內的載置臺的基板為被攝體進行攝像來進行檢查，所述維護模式用于確認照明部的照度；導光部件，設置于上述機箱內，用于將上述照明部的光導向攝像部的攝像元件；判定部，對在維護模式執(zhí)行時經由上述導光部件被攝像元件取得的照明部的光的亮度是否在預先設定的容許范圍內進行判定；和報知部，當由上述判定部判定為上述亮度在上述容許范圍外時，用于報知需要進行照明部的更換。
文檔編號G01N21/956GK102809570SQ20121013546
公開日2012年12月5日 申請日期2012年5月3日 優(yōu)先權日2011年5月30日
發(fā)明者久野和哉, 富田浩, 古閑法久, 西山直, 早川誠 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社