專利名稱：超高精度全自動(dòng)影像坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及測(cè)量產(chǎn)品技術(shù)領(lǐng)域，特指ー種高性能、高精度、高速度的超高精度全自動(dòng)影像坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。
技術(shù)背景影像測(cè)量儀又名精密影像式測(cè)繪儀，它克服了傳統(tǒng)投影儀的不足，是集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)圖像技術(shù)于一體的新型高精度、高科技測(cè)量儀器。由光學(xué)顯微鏡對(duì)待測(cè)物體進(jìn)行高倍率光學(xué)放大成像，經(jīng)過CCD攝像系統(tǒng)將放大后的物體影像送入計(jì)算機(jī)后，能高效地檢測(cè)各種復(fù)雜エ件的輪廓和表面形狀尺寸、角度及位置，特別是精密零部件的微觀檢測(cè)與質(zhì)量控制。影像測(cè)量儀具備非接觸、放大倍率高、測(cè)量測(cè)量可編程、自動(dòng)化等優(yōu)點(diǎn)，影像測(cè)量儀的應(yīng)用面越來越廣，市場(chǎng)接受程度越來越高，為企業(yè)的產(chǎn)品質(zhì)量作出了巨大的貢獻(xiàn)。 傳統(tǒng)的影像測(cè)量儀一般為手動(dòng)操作方式，其定位不準(zhǔn)確、測(cè)量精度低下，隨時(shí)存在被淘汰的風(fēng)險(xiǎn)。隨著社會(huì)的進(jìn)步，科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，出現(xiàn)了自動(dòng)化的影像測(cè)量儀，該影像測(cè)量儀包括一底座、活動(dòng)安裝于底座上雙層移動(dòng)平臺(tái)以及用于測(cè)量的探測(cè)裝置；其中雙層移動(dòng)平臺(tái)采用氣缸推動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)X、Y軸方向運(yùn)動(dòng)，這種移動(dòng)方式的定位不夠準(zhǔn)確，降低了影像測(cè)量儀的測(cè)量精度。另外，探測(cè)裝置上的光源采用鹵素?zé)艄庠?，其亮度不高，?yán)重影響影像測(cè)量儀的測(cè)量精度
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供ー種高性能、高精度、高速度的超高精度全自動(dòng)影像坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用了下述技術(shù)方案該超高精度全自動(dòng)影像坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，包括一大底座，該底座作為整個(gè)測(cè)量機(jī)的承置座以安裝于ー機(jī)臺(tái)上；所述底座向上一體成型有一支撐臂，干支撐臂頂端固定有一滑軌；三軸控制系統(tǒng)，其包括活動(dòng)安裝于所述滑軌上的Z軸移動(dòng)平臺(tái)以及位于底座上的雙層移動(dòng)平臺(tái)，其中該雙層移動(dòng)平臺(tái)包括活動(dòng)安裝于所述底座上的X軸移動(dòng)平臺(tái)以及活動(dòng)安裝于X軸移動(dòng)平臺(tái)上的Y軸移動(dòng)平臺(tái)；所述的Y軸移動(dòng)平臺(tái)上安裝有一玻璃板以及位于玻璃板下方的下光源；一探測(cè)裝置，該探測(cè)裝置包括安裝于Z軸移動(dòng)平臺(tái)上的CXD攝像機(jī)、安裝于CXD攝像機(jī)旁側(cè)的探針以及位于(XD攝像機(jī)末端的上光源。進(jìn)ー步而言，上述技術(shù)方案中，所述的底座上安裝有一 X軸滑軌以及ー驅(qū)動(dòng)裝置；該驅(qū)動(dòng)裝置包括固定安裝于底座上的兩個(gè)角接觸球軸承和安裝于兩個(gè)角接觸球軸承之間的絲桿以及用于驅(qū)動(dòng)絲桿的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)。進(jìn)ー步而言，上述技術(shù)方案中，所述的X軸移動(dòng)平臺(tái)落入所述底座的X軸滑軌上，該X軸移動(dòng)平臺(tái)側(cè)邊安裝有ー驅(qū)動(dòng)滑塊；所述的絲桿穿過該驅(qū)動(dòng)塊并與該驅(qū)動(dòng)塊形成干涉O[0009]進(jìn)ー步而言，上述技術(shù)方案中，所述的X軸移動(dòng)平臺(tái)上安裝有一 Y軸滑軌以及ー驅(qū)動(dòng)裝置；該驅(qū)動(dòng)裝置包括固定安裝于X軸移動(dòng)平臺(tái)上的兩個(gè)角接觸球軸承和安裝于兩個(gè)角接觸球軸承之間的絲桿以及用于驅(qū)動(dòng)絲桿的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)。進(jìn)ー步而言，上述技術(shù)方案中，所述的Y軸移動(dòng)平臺(tái)落入所述X軸移動(dòng)平臺(tái)的Y軸滑軌上，該Y軸移動(dòng)平臺(tái)側(cè)邊安裝有ー驅(qū)動(dòng)滑塊；所述的絲桿穿過該驅(qū)動(dòng)塊并與該驅(qū)動(dòng)塊形成干渉。進(jìn)ー步而言，上述技術(shù)方案中，所述的滑軌上還設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)Z軸移動(dòng)平臺(tái)的驅(qū)動(dòng)裝置；該驅(qū)動(dòng)裝置包括固定安裝于滑軌兩端的角接觸球軸承和安裝于兩個(gè)角接觸球軸承之間的絲桿以及用于驅(qū)動(dòng)絲桿的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，其中活動(dòng)安裝于滑軌的Z軸移動(dòng)平臺(tái)與絲桿形成干涉以驅(qū)動(dòng)所述的探測(cè)裝置于Z軸運(yùn)動(dòng)。進(jìn)ー步而言，上述技術(shù)方案中，所述的驅(qū)動(dòng)裝置旁側(cè)安裝有一與其配合運(yùn)動(dòng)的光柵尺，并通過該光柵尺以精確控制X、Y、Z軸移動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)。
進(jìn)ー步而言，上述技術(shù)方案中，所述的上光源包括多個(gè)均勻包圍于所述C⑶攝像機(jī)末端外表面的LED光源,該LED光源朝下安裝；所述的下光源由多個(gè)均勻分布的LED光源構(gòu)成，該LED光源朝上安裝。進(jìn)ー步而言，上述技術(shù)方案中，所述的CXD攝像機(jī)安裝有全自動(dòng)變倍鏡頭，該CXD攝像機(jī)(32)旁側(cè)安裝RENISHAW測(cè)頭或點(diǎn)激光掃描頭，以實(shí)現(xiàn)三維測(cè)量。采用上述技術(shù)方案后，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比較具有如下有益效果I、本實(shí)用新型中用于驅(qū)動(dòng)X、Y、Z軸移動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置采用驅(qū)動(dòng)馬達(dá)、絲桿配合成對(duì)安裝于絲桿兩端的接觸軸承實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)動(dòng)作，同時(shí)位于驅(qū)動(dòng)裝置旁側(cè)的光柵尺配合驅(qū)動(dòng)裝置控制X、Y、Z軸移動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)，大大提高了機(jī)臺(tái)剛性以及穩(wěn)定性，使X、Y、Z軸移動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)靈敏可靠、運(yùn)動(dòng)精度高、定位準(zhǔn)確，大大提高了本實(shí)用新型的測(cè)量精度。2、本實(shí)用新型中的光柵尺采用O. 5UM進(jìn)ロ金屬光柵尺，這種結(jié)構(gòu)的光柵尺具有良好的溫度穩(wěn)定性、抗實(shí)效變形能力。3、本實(shí)用新型中底座采用超大型底座，以及支撐臂一體成型于該底座上，這樣的結(jié)構(gòu)可以減小阿倍誤差，以致提高本實(shí)用新型的移動(dòng)準(zhǔn)確度以及測(cè)量精度。4、本實(shí)用新型中的CXD攝像機(jī)末端外表面包圍有ー圈LED光源，其配合由LED光源構(gòu)成構(gòu)成的下光源形成強(qiáng)大的燈光照明系統(tǒng)，在面對(duì)某些特殊的被測(cè)エ件時(shí)，可利用不同的光線效果以凸顯被測(cè)エ件的特性以更精確地抓取尺寸。5、本實(shí)用新型中的CXD攝像機(jī)采用高分辨率彩色CXD以及全自動(dòng)變倍鏡頭，可形成高清晰度影像效果，提供高品質(zhì)的畫面，以致提高本實(shí)用新型的測(cè)量精度。另外，CCD攝像機(jī)還可外接各種RENISHAW測(cè)頭、點(diǎn)激光掃描頭，以實(shí)現(xiàn)三維測(cè)量。6、本實(shí)用新型應(yīng)用領(lǐng)域廣，可廣泛應(yīng)用于航天、航空、汽車、軍エ、電子、緊密測(cè)量
坐寸ο

圖I是本實(shí)用新型的立體圖；圖2是本實(shí)用新型內(nèi)部結(jié)構(gòu)的立體圖；附圖標(biāo)記說明[0025]I底座10機(jī)臺(tái)11支撐臂12滑軌2雙層移動(dòng)平臺(tái)20玻璃板21X軸移動(dòng)平臺(tái)22Y軸移動(dòng)平臺(tái)221驅(qū)動(dòng)滑塊3探測(cè)裝置31上光源32CCD攝像機(jī)33探針41驅(qū)動(dòng)裝置42驅(qū)動(dòng)裝置421角接觸球軸承422角接觸球軸承423絲桿424驅(qū)動(dòng)馬達(dá)43驅(qū)動(dòng)裝置
5Z軸移動(dòng)平臺(tái)
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體實(shí)施例和附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)ー步說明。見圖1-2所示，為超高精度全自動(dòng)影像坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，其包括一底座I、活動(dòng)安裝于底座I上的雙層移動(dòng)平臺(tái)2、Z軸移動(dòng)平臺(tái)5以及用于測(cè)量的探測(cè)裝置3。所述的底座I作為整個(gè)測(cè)量機(jī)的承置座以安裝于ー機(jī)臺(tái)10上；所述底座I向上一體成型有一支撐臂11，干支撐臂11頂端固定有ー滑軌12 ;其中該底座I采用超大型底座，以及支撐臂11 一體成型于該底座I上，這樣的結(jié)構(gòu)可以減小阿倍誤差，以致提高本實(shí)用新型的移動(dòng)準(zhǔn)確度以及測(cè)量精度。三軸控制系統(tǒng)，其包括活動(dòng)安裝于所述滑軌12上的Z軸移動(dòng)平臺(tái)5以及位于底座I上的雙層移動(dòng)平臺(tái)2，其中該雙層移動(dòng)平臺(tái)2包括活動(dòng)安裝于所述底座I上的X軸移動(dòng)平臺(tái)21以及活動(dòng)安裝于X軸移動(dòng)平臺(tái)21上的Y軸移動(dòng)平臺(tái)22 ;所述的Y軸移動(dòng)平臺(tái)22上安裝有一玻璃板20以及位于玻璃板20下方的下光源；所述的底座I上安裝有一 X軸滑軌以及ー驅(qū)動(dòng)裝置41 ;該驅(qū)動(dòng)裝置41包括固定安裝于底座I上的兩個(gè)角接觸球軸承和安裝于兩個(gè)角接觸球軸承之間的絲桿以及用于驅(qū)動(dòng)絲桿的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)。所述的X軸移動(dòng)平臺(tái)21落入所述底座I的X軸滑軌上，該X軸移動(dòng)平臺(tái)21側(cè)邊安裝有ー驅(qū)動(dòng)滑塊；所述的絲桿穿過該驅(qū)動(dòng)塊并與該驅(qū)動(dòng)塊形成干渉。所述的X軸移動(dòng)平臺(tái)21上安裝有一 Y軸滑軌以及ー驅(qū)動(dòng)裝置42 ;該驅(qū)動(dòng)裝置42包括固定安裝于X軸移動(dòng)平臺(tái)21上的兩個(gè)角接觸球軸承421、422和安裝于兩個(gè)角接觸球軸承421、422之間的絲桿423以及用于驅(qū)動(dòng)絲桿423的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)424。所述的Y軸移動(dòng)平臺(tái)22落入所述X軸移動(dòng)平臺(tái)21的Y軸滑軌上，該Y軸移動(dòng)平臺(tái)22側(cè)邊安裝有ー驅(qū)動(dòng)滑塊221 ;所述的絲桿423穿過該驅(qū)動(dòng)塊221并與該驅(qū)動(dòng)塊221形成干渉。所述的滑軌12上還設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)Z軸移動(dòng)平臺(tái)5的驅(qū)動(dòng)裝置43 ;該驅(qū)動(dòng)裝置43包括固定安裝于滑軌12兩端的角接觸球軸承和安裝于兩個(gè)角接觸球軸承之間的絲桿以及用于驅(qū)動(dòng)絲桿的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，其中活動(dòng)安裝于滑軌12的Z軸移動(dòng)平臺(tái)5與絲桿形成干涉以驅(qū)動(dòng)所述的探測(cè)裝置3于Z軸運(yùn)動(dòng)。所述的驅(qū)動(dòng)裝置41、42、43旁側(cè)安裝有一與其配合運(yùn)動(dòng)的光柵尺，并通過該光柵尺以精確控制X、Y、Z軸移動(dòng)平臺(tái)21、22、5運(yùn)動(dòng)。本實(shí)用新型中的光柵尺采用O. 5UM進(jìn)口金屬光柵尺，這種結(jié)構(gòu)的光柵尺具有良好的溫度穩(wěn)定性、抗實(shí)效變形能力。所述的探測(cè)裝置3包括安裝于Z軸移動(dòng)平臺(tái)4上的CXD攝像機(jī)32、安裝于CXD攝像機(jī)32旁側(cè)的探針33以及位于CXD攝像機(jī)32末端的上光源31。所述的CXD攝像機(jī)32安裝有全自動(dòng)變倍鏡頭以及高分辨率彩色CCD，可形成高清晰度影像效果，提供高品質(zhì)的畫面，以致提高本實(shí)用新型的測(cè)量精度。另外，CXD攝像機(jī)32還可外接各種RENISHAW測(cè)頭、點(diǎn)激光掃描頭，以實(shí)現(xiàn)三維測(cè)量。所述的上光源31包括多個(gè)均勻包圍于所述CXD攝像機(jī)32末端外表面的LED光源，該LED光源朝下安裝；所述的下光源由多個(gè)均勻分布的LED光源構(gòu)成，該LED光源朝上安裝。所述的上光源31和下光源配合形成強(qiáng)大的燈光照明系統(tǒng)，在面對(duì)某些特殊的被測(cè)エ件時(shí)，可利用不同的光線效果以凸顯被測(cè)エ件的特性以更精確地抓取尺寸。本實(shí)用新型使用時(shí)，連接電腦；打開位于C⑶攝像機(jī)32末端的上光源31以及位于玻璃板20下方的下光源。通過控制驅(qū)動(dòng)裝置41和驅(qū)動(dòng)裝置42、驅(qū)動(dòng)裝置43以實(shí)現(xiàn)X軸移動(dòng)平臺(tái)21、Y軸移動(dòng)平臺(tái)22以及探測(cè)裝置3分別于Χ、Υ、Ζ方向的運(yùn)動(dòng)，最終實(shí)現(xiàn)對(duì)探測(cè)裝置3的相對(duì)移動(dòng)，以對(duì)被測(cè)物實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量。另外，本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)三維測(cè)量。由于Χ、Υ、Ζ軸移動(dòng)平臺(tái)21、22、5移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置采用驅(qū)動(dòng)馬達(dá)、絲桿配合成對(duì)安裝于絲桿兩端的接觸軸承實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)動(dòng)作，同時(shí)位于驅(qū)動(dòng)裝置旁側(cè)的光柵尺配合驅(qū)動(dòng)裝置控制X、Y、Z軸移動(dòng)平臺(tái)
21、22、5移動(dòng)，大大提高了機(jī)臺(tái)剛性以及穩(wěn)定性，使Χ、Υ、Ζ軸移動(dòng)平臺(tái)21、22、5移動(dòng)靈敏可 靠、運(yùn)動(dòng)精度高、定位準(zhǔn)確，大大提高了本實(shí)用新型的測(cè)量精度。另外，本實(shí)用新型可可廣泛應(yīng)用于航天、航空、汽車、軍エ、電子、緊密測(cè)量等。當(dāng)然，以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例而已，并非來限制本實(shí)用新型實(shí)施范圍，凡依本實(shí)用新型申請(qǐng)專利范圍所述構(gòu)造、特征及原理所做的等效變化或修飾，均應(yīng)包括于本實(shí)用新型申請(qǐng)專利范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.超高精度全自動(dòng)影像坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，其特征在于包括 一大底座(I)，該底座(I)作為整個(gè)測(cè)量機(jī)的承置座以安裝于一機(jī)臺(tái)(10)上；所述底座(I)向上一體成型有一弧形支撐臂(11)，該支撐臂(11)頂端固定有一滑軌(12); 三軸控制系統(tǒng)，其包括活動(dòng)安裝于所述滑軌(12)上的Z軸移動(dòng)平臺(tái)(5)以及位于底座(I)上的雙層移動(dòng)平臺(tái)(2)，其中該雙層移動(dòng)平臺(tái)(2)包括活動(dòng)安裝于所述底座(I)上的X軸移動(dòng)平臺(tái)(21)以及活動(dòng)安裝于X軸移動(dòng)平臺(tái)(21)上的Y軸移動(dòng)平臺(tái)(22);所述的Y軸移動(dòng)平臺(tái)(22)上安裝有一玻璃板(20)以及位于玻璃板(20)下方的下光源； 一探測(cè)裝置(3)，該探測(cè)裝置(3)包括安裝于Z軸移動(dòng)平臺(tái)(4)上的CXD攝像機(jī)(32)、安裝于CXD攝像機(jī)(32)旁側(cè)的探針(33)以及位于CXD攝像機(jī)(32)末端的上光源(31)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的超高精度全自動(dòng)影像坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，其特征在于所述的底座(I)上安裝有一 X軸滑軌以及一驅(qū)動(dòng)裝置(41);該驅(qū)動(dòng)裝置(41)包括固定安裝于底座(I)上的兩個(gè)角接觸球軸承和安裝于兩個(gè)角接觸球軸承之間的絲桿以及用于驅(qū)動(dòng)絲桿的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的超高精度全自動(dòng)影像坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，其特征在于所述的X軸移動(dòng)平臺(tái)(21)落入所述底座(I)的X軸滑軌上，該X軸移動(dòng)平臺(tái)(21)側(cè)邊安裝有一驅(qū)動(dòng)滑塊；所述的絲桿穿過該驅(qū)動(dòng)塊并與該驅(qū)動(dòng)塊形成干涉。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的超高精度全自動(dòng)影像坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，其特征在于所述的X軸移動(dòng)平臺(tái)(21)上安裝有一 Y軸滑軌以及一驅(qū)動(dòng)裝置(42);該驅(qū)動(dòng)裝置(42)包括固定安裝于X軸移動(dòng)平臺(tái)(21)上的兩個(gè)角接觸球軸承(421、422 )和安裝于兩個(gè)角接觸球軸承(421、422)之間的絲桿(423)以及用于驅(qū)動(dòng)絲桿(423)的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)(424)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的超高精度全自動(dòng)影像坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，其特征在于所述的Y軸移動(dòng)平臺(tái)(22)落入所述X軸移動(dòng)平臺(tái)(21)的Y軸滑軌上，該Y軸移動(dòng)平臺(tái)(22)側(cè)邊安裝有一驅(qū)動(dòng)滑塊(221);所述的絲桿(423)穿過該驅(qū)動(dòng)塊(221)并與該驅(qū)動(dòng)塊(221)形成干涉。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的復(fù)合式全自動(dòng)影像坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，其特征在于所述的滑軌(12)上還設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)Z軸移動(dòng)平臺(tái)(5)的驅(qū)動(dòng)裝置(43);該驅(qū)動(dòng)裝置(43)包括固定安裝于滑軌(12)兩端的角接觸球軸承和安裝于兩個(gè)角接觸球軸承之間的絲桿以及用于驅(qū)動(dòng)絲桿的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，其中活動(dòng)安裝于滑軌(12)的Z軸移動(dòng)平臺(tái)(5)與絲桿形成干涉以驅(qū)動(dòng)所述的探測(cè)裝置(3)于Z軸運(yùn)動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的超高精度全自動(dòng)影像坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，其特征在于所述的驅(qū)動(dòng)裝置(41、42、43)旁側(cè)安裝有一與其配合運(yùn)動(dòng)的光柵尺，并通過該光柵尺以精確控制X、Y、Z軸移動(dòng)平臺(tái)(21、22、5)運(yùn)動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的超高精度全自動(dòng)影像坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，其特征在于所述的上光源(31)包括多個(gè)均勻包圍于所述CXD攝像機(jī)(32)末端外表面的LED光源，該LED光源朝下安裝；所述的下光源由多個(gè)均勻分布的LED光源構(gòu)成，該LED光源朝上安裝。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任意一項(xiàng)所述的超高精度全自動(dòng)影像坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，其特征在于所述的CXD攝像機(jī)(32)安裝有全自動(dòng)變倍鏡頭；該CXD攝像機(jī)(32)旁側(cè)安裝RENISHAW測(cè)頭或點(diǎn)激光掃描頭，以實(shí)現(xiàn)三維測(cè)量。
專利摘要本實(shí)用新型公開一種超高精度全自動(dòng)影像坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，其包括大底座，該底座作為整個(gè)測(cè)量機(jī)的承置座以安裝于機(jī)臺(tái)上；底座向上成型有支撐臂，于支撐臂頂端固定有滑軌；三軸控制系統(tǒng)，其包括活動(dòng)安裝于滑軌上的Z軸移動(dòng)平臺(tái)以及位于底座上的雙層移動(dòng)平臺(tái)，該雙層移動(dòng)平臺(tái)包括活動(dòng)安裝于底座上的X軸移動(dòng)平臺(tái)以及活動(dòng)安裝于X軸移動(dòng)平臺(tái)上的Y軸移動(dòng)平臺(tái)；Y軸移動(dòng)平臺(tái)上安裝有玻璃板以及位于玻璃板下方的下光源；探測(cè)裝置，該探測(cè)裝置包括安裝于Z軸移動(dòng)平臺(tái)上的CCD攝像機(jī)、安裝于CCD攝像機(jī)旁側(cè)的探針以及位于CCD攝像機(jī)末端的上光源。本實(shí)用新型具有高性能、高精度、高速度、靈敏可靠、運(yùn)動(dòng)精度高、定位準(zhǔn)確、測(cè)量精度高等諸多優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01B11/00GK202614184SQ20122022800
公開日2012年12月19日 申請(qǐng)日期2012年5月18日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月18日
發(fā)明者周滿意 申請(qǐng)人:東莞市德鑫光學(xué)儀器有限公司