夾具的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明的夾具包含一端與基板的電路圖案接觸，另一端與判斷所述電路圖案有無(wú)異常的檢查部連接的探針及導(dǎo)引所述探針，設(shè)置在基臺(tái)且所述基臺(tái)在固定的狀態(tài)下與所述探針垂直的方向改變位置，以所述改變位置將所述導(dǎo)引的所述探針位置改變成所述電路圖案的目標(biāo)位置的塊體單位，因此根據(jù)基板電路圖案的公差可容易改變探針的位置。
【專利說(shuō)明】夾具
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及用于電路圖案通電檢查的夾具。
【背景技術(shù)】
[0002]在印刷電路板制造領(lǐng)域或半導(dǎo)體制造領(lǐng)域通常采用對(duì)基板進(jìn)行測(cè)定、處理或檢查
坐坐寸寸ο
[0003]對(duì)基板表面形成的電路圖案進(jìn)行精密的測(cè)定、處理、檢查等時(shí)，要求基板電路圖案的公差最小化。
[0004]然而，實(shí)際上很難完全排除治具的公差，基板材料的公差，圖案的公差。由于這些公差，利用夾具對(duì)基板電路圖案可能無(wú)法進(jìn)行可靠的通電檢查。
[0005]在韓國(guó)注冊(cè)專利公報(bào)第0809648號(hào)揭示維持基板的平坦對(duì)電路圖案進(jìn)行檢查的基板夾具。但并沒有揭示由于公差使電路圖案檢查受限的相應(yīng)對(duì)策。
[0006]先行技術(shù)文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)
[0008]韓國(guó)注冊(cè)專利公報(bào)第0809648號(hào)
【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]發(fā)明需要解決的技術(shù)課題
[0010]本發(fā)明的目的是提供可靠地進(jìn)行電路圖案通電檢查的夾具。
[0011]本發(fā)明的目的是達(dá)成如上所述的技術(shù)課題，但并不受限于所述技術(shù)課題，對(duì)沒有提過(guò)的其它技術(shù)課題通過(guò)以下的記載可由在本發(fā)明【技術(shù)領(lǐng)域】具有通常知識(shí)的技術(shù)人員應(yīng)該明確理解。
[0012]解決課題的技術(shù)方案
[0013]本發(fā)明的夾具可以包含其一端與基板的電路圖案接觸，另一端與判斷所述電路圖案有無(wú)異常的檢查部連接的探針及導(dǎo)引所述探針，設(shè)置在基臺(tái)且所述基臺(tái)在固定的狀態(tài)下與所述探針垂直的方向改變位置，以所述改變位置將所述導(dǎo)引的所述探針位置改變成所述電路圖案的目標(biāo)位置的塊體單位。
[0014]本發(fā)明的效果如下。
[0015]本發(fā)明的夾具在固定基臺(tái)的狀態(tài)下改變塊體單位的位置，根據(jù)基板電路圖案的公差可容易改變探針的位置。
[0016]因此，可以可靠地防止跟著公差不能完成電路圖案檢查的問(wèn)題。這種效果通過(guò)將導(dǎo)引探針的塊體單位分成復(fù)數(shù)個(gè)塊體并使各塊體分別獨(dú)立地改變位置可更加改進(jìn)。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1是本發(fā)明夾具的示意圖。
[0018]圖2是本發(fā)明夾具的鎖塊體和底板塊體的拆裝結(jié)構(gòu)示意圖。[0019]圖3是構(gòu)成本發(fā)明夾具的探針的截面示意圖。
[0020]圖中:
[0021]100-探針，111-第I探針，112-第2探針，113-彈性部，130-塊體單位，131-鎖塊體，132-底板塊體，133-第I槽，135-第2槽，139-連接部，150-基臺(tái)，170-支持部，190-信號(hào)線，210-基板。
【具體實(shí)施方式】
[0022]以下，結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。在此過(guò)程中附圖上顯示的構(gòu)成因素的大小或形象等為了說(shuō)明的明確性和方便性可以擴(kuò)大顯示。另外，考量本發(fā)明的構(gòu)成及作用，特別定義的術(shù)語(yǔ)根據(jù)使用者、運(yùn)行者的意圖或慣例可以改變。對(duì)這些術(shù)語(yǔ)的定義必須根據(jù)本說(shuō)明書全盤的內(nèi)容下定義。
[0023]圖1是本發(fā)明夾具的示意圖。
[0024]在圖1顯示的夾具可以包含探針110和塊體單位130。
[0025]探針110的一端與基板210的電路圖案接觸,另一端可與判斷電路圖案有無(wú)異常的檢查部連接。在圖1揭示將檢查部和探針I(yè)io以電氣連接的電線等的信號(hào)線190與探針110的另一端連接的狀態(tài)。
[0026]例如檢查部為了判斷電路圖案有無(wú)異常，通過(guò)與測(cè)定的電路圖案接觸的探針可以施加信號(hào)且獲得信號(hào)。若獲得的信號(hào)在期待的范圍之內(nèi)判斷狀態(tài)正常，否則可以判斷電路圖案有異常。
[0027]探針I(yè)lO(Probe)是測(cè)定檢測(cè)對(duì)象電路圖案狀態(tài)的檢測(cè)器具。探針100根據(jù)電路圖案可以具有電氣特性好的形象。例如一端具有尖銳的形態(tài)且根據(jù)電路圖案的大小可以具有從數(shù)十微米單位到數(shù)百微米單位的粗細(xì)。近來(lái)根據(jù)各種電子器具小型化、高集成化的趨勢(shì)基板210的電路圖案也微細(xì)化的趨勢(shì)很強(qiáng)。由此探針100的大小也具有像頭發(fā)一樣的粗細(xì)或更細(xì)的粗細(xì)。
[0028]電路基板210即使在同一系統(tǒng)生產(chǎn)由于多種因素會(huì)具有公差。這種公差在微細(xì)的電路基板亦然產(chǎn)生。在微細(xì)的電路基板210存在公差時(shí)探針110可能接觸不了初期設(shè)計(jì)位置的電路圖案。這種問(wèn)題隨著電路圖案持續(xù)的小型化/微細(xì)化的趨勢(shì)以后可能會(huì)出現(xiàn)更大的問(wèn)題。
[0029]塊體單位130導(dǎo)引探針110。為了使具有多種粗細(xì)的復(fù)數(shù)個(gè)探針110接觸電路圖案利用塊體130。在塊體單位130上在對(duì)應(yīng)電路圖案的位置形成可以放置探針的槽、孔等。在塊體單位130形成的槽或孔可以收容探針110。
[0030]為了反復(fù)的檢查復(fù)數(shù)個(gè)基板210，塊體單位130設(shè)置在固定的基臺(tái)150上。設(shè)置在基臺(tái)150的塊體單位130也固定在同一位置。但是由于塊體單位被固定很難對(duì)付基板210電路圖案的公差。因此，構(gòu)成本發(fā)明夾具的塊體單位130在基臺(tái)150被固定的情況下以垂直于探針的方向可以改變位置。以塊體單位130的位置改變將塊體單位130導(dǎo)引的探針110位置可以改變成電路圖案的目標(biāo)位置。
[0031]探針110以垂直電路圖案的方向或是幾乎垂直電路圖案的方向可與電路圖案接觸。探針110是直接接觸電路圖案的因素，所以為了檢查必須形成可靠的接觸，同時(shí)在檢查過(guò)程中不致使損傷電路圖案的形成接觸較好。為此探針I(yè)io可以包含彈簧等的彈性部113。[0032]彈性部113可以具有多種形態(tài)。例如在探針110可以設(shè)置彈簧，或探針110本身為彈性體。后者的情形可以利用直線或曲線形態(tài)的線(wire)探針110。
[0033]如前所述根據(jù)高集成化、小型化/微細(xì)化的電路圖案的趨勢(shì)，探針110要接觸的電路圖案的寬等以非常小的方向被設(shè)計(jì)生產(chǎn)。這種小型化/微細(xì)化使得在基板210的生產(chǎn)過(guò)程中無(wú)法控制地產(chǎn)生的公差達(dá)到在檢查過(guò)程中成問(wèn)題的水準(zhǔn)。這種趨勢(shì)往后更加加速化，因此考量公差需要配置探針110以便可靠地接觸電路圖案。探針110的配置可由導(dǎo)引探針110的塊體單位130來(lái)決定。
[0034]尤其由于公差成為問(wèn)題的部分是電路圖案對(duì)探針110的軸方向具有垂直方向(圖1的Xy平面方向)公差的情形。因此，構(gòu)成本發(fā)明夾具的塊體單位130在與探針110的軸方向垂直的方向可以改變位置。作為以垂直于探針110的方向改變塊體單位130位置的方案，可以改變?cè)O(shè)置塊體單位130的基臺(tái)150位置或直接改變塊體單位130的位置。連接齒輪、皮帶的基臺(tái)150的位置改變由于齒輪、皮帶等的連接具有公差不符合本發(fā)明的目的。
[0035]因此，探針110的位置改變通過(guò)塊體單位130的位置改變來(lái)進(jìn)行較好。塊體單位130也可能具有公差，但相較于基臺(tái)150可以進(jìn)行更可靠的位置改變。
[0036]公差不會(huì)在電路基板210的所有電路以同樣的方向、同樣的數(shù)值產(chǎn)生。例如部分區(qū)段在原來(lái)的探針110位置檢查較好，其它區(qū)段則考量公差在變更的探針110位置檢查較好。由此，整個(gè)探針I(yè)io以同一方向改變位置根據(jù)電路基板210的情況可能不太合適。為了對(duì)付這種情況將塊體單位130分成復(fù)數(shù)個(gè)塊體且各塊體可以相互獨(dú)立地改變位置。圖1揭示塊體單位130分成3個(gè)塊體的狀態(tài)。
[0037]探針110可以包含一端接觸基板210的第I探針111、一端與第I探針111的另一端接觸且另一端連接檢查部的第2探針112。
[0038]塊體單位130可以包含由第I探針111貫穿且以垂直第I探針111的方向能改變位置的鎖塊體131、收容第2探針且相對(duì)鎖塊體131固定的底板塊體132。
[0039]在鎖塊體131形成由第I探針111貫穿的穿孔，在底板塊體132形成由第2探針112貫穿的穿孔。這些穿孔決定相關(guān)電路圖案的探針110位置。
[0040]在圖1配置第I探針111或第2探針112的位置范圍以領(lǐng)域@的范圍來(lái)表示。第I探針111或第2探針112以多種粗細(xì)和位置可以形成在領(lǐng)域@的范圍之內(nèi)。
[0041]為了對(duì)付多種電路圖案分成第I探針111和第2探針112的，例如第2探針112配置在整個(gè)領(lǐng)域丨則與第I探針111的個(gè)數(shù)、位置無(wú)關(guān)的進(jìn)行檢查。即，只是交換設(shè)置有第I探針111的鎖塊體131就可以檢查多種電路圖案。
[0042]分別交換第I探針111比較困難，所以交換設(shè)置有第I探針111的鎖塊體131整個(gè)較好。為此鎖塊體131可以在底板塊體132拆裝。此時(shí)，底板塊體132固定在基臺(tái)150。在圖1揭示底板塊體132由支柱或棒形狀的支持部170固定在基臺(tái)150的狀態(tài)。
[0043]鎖塊體131在固定于基臺(tái)150的底板塊體132以多種方法可以拆裝。
[0044]例如，鎖塊體131可以包含在底板塊體132相對(duì)的面形成的復(fù)數(shù)個(gè)第I拆裝部。底板塊體132可以包含在鎖塊體131相對(duì)的面形成的復(fù)數(shù)個(gè)第2拆裝部。此時(shí)，第2拆裝部與第I拆裝部拆裝。拆裝鎖塊體131和底板塊體132時(shí)不盡拆裝所有第I拆裝部和所有第2拆裝部也無(wú)妨。例如在第I拆裝部和第2拆裝部分別選擇相互對(duì)應(yīng)的2個(gè)可以進(jìn)行可靠的拆裝。被選擇的第I拆裝部和第2拆裝部的個(gè)數(shù)超過(guò)3個(gè)以上也無(wú)妨。只用I個(gè)拆裝部時(shí)根據(jù)拆裝結(jié)構(gòu)以拆裝部為軸鎖塊體131和底板塊體132會(huì)在水平方向轉(zhuǎn)動(dòng)，故必須留意。
[0045]以選擇的第I拆裝部和選擇的第2拆裝部的位置可以決定鎖塊體131的改變位置。
[0046]圖2是本發(fā)明夾具的鎖塊體131和底板塊體132的拆裝結(jié)構(gòu)示意圖。
[0047]如圖2所示，鎖塊體131可以包含在底板塊體132相對(duì)的面形成的復(fù)數(shù)個(gè)第I槽133，底板塊體132可以包含在鎖塊體131相對(duì)的面形成的復(fù)數(shù)個(gè)第2槽135。
[0048]此時(shí)，第I槽133相當(dāng)于第I拆裝部，第2槽135相當(dāng)于第2拆裝部。由于夾入在第I槽133和第2槽135中選擇的槽的連接部139，鎖塊體131在底板塊體132可以安裝或可以拆開。另外，根據(jù)夾入連接部139的槽的選擇可以完成鎖塊體131的位置改變。
[0049]例如在圖2在鎖塊體131和底板塊體132的右側(cè)有形成復(fù)數(shù)個(gè)槽。此時(shí)，以塊體單位130的長(zhǎng)度方向(圖1的X軸方向)第I槽133之間的間隔是xl，第2槽135之間的間隔是x2時(shí)，xl和x2可以不相等。分別比較連接部139夾入于形成xl的左側(cè)槽和右側(cè)槽時(shí)，鎖塊體131以塊體單位130的長(zhǎng)度方向如xl和x2相差值的大小會(huì)完成位置改變。
[0050]同樣的，以與塊體單位130長(zhǎng)度方向垂直的方向(圖1的y軸方向)第I槽133之間的間隔是yl，第2槽135之間的間隔是y2時(shí)，yl和y2可以不相等。分別比較連接部139夾入于形成yl的上側(cè)槽和下側(cè)槽時(shí)，鎖塊體131以與塊體單位130長(zhǎng)度方向垂直的方向如yl和y2相差值的大小會(huì)完成位置改變。
[0051]以上在xl和x2相差值，yl和y2相差值中使至少一個(gè)對(duì)應(yīng)公差形成第I槽133和第2槽135時(shí)可以解除由公差引起的問(wèn)題。
[0052]鎖塊體131安裝在底板塊體132時(shí)，第I探針111和第2探針112會(huì)相互接觸，若鎖塊體131的位置改變時(shí)第I探針111和第2探針112的位置錯(cuò)開不能相互接觸。此種問(wèn)題以下面的方案可以消除。
[0053]圖3是構(gòu)成本發(fā)明夾具的探針110的截面示意圖。
[0054]圖3的探針110可以包含設(shè)置在鎖塊體131的第I探針111和設(shè)置在底板塊體132的第2探針112。
[0055]第I探針111是直接接觸電路圖案的因素。第2探針112是連接檢查部的因素。為了電路圖案的檢查鎖塊體131和底板塊體132在安裝的狀態(tài)下第I探針111的一端和第
2探針112的一端要接觸。但是，由于形成在各塊體單位130的各個(gè)拆裝部第I探針111和第2探針112中的一個(gè)可能會(huì)改變位置，即使位置改變必須準(zhǔn)備第I探針111和第2探針112相互能接觸的手段。
[0056]例如在圖3與第I探針111端部接觸的第2探針112端部的截面積大于第I探針111端部的截面積。
[0057]具體地說(shuō)，第I探針111端部的粗細(xì)是wl，第2探針112端部的粗細(xì)是w2時(shí)，w2的形成大于wl。當(dāng)然這兩個(gè)可以相互交換。
[0058]wl和w2的相差如前所述可以根據(jù)xl和x2的相差，yl和y2的相差等來(lái)決定。
[0059]另外，在圖3彈性部113雖然形成在第2探針112上，但形成在第I探針111或在第I探針111和第2探針112都形成也無(wú)妨。或是作為彈性部113不利用額外的彈簧可以利用探針111本身的彈性或探針112本身的彈性。
[0060]綜合而言，接觸第2探針112的第I探針111端部的截面積和接觸第I探針111的第2探針112端部的截面積可以相互不相等。各截面積的相差必須考量電路圖案的公差，所以各截面積相差可能與改變位置的探針110的改變距離有關(guān)。
[0061]以上對(duì)根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行了說(shuō)明，但這只不過(guò)是例示而已，在本領(lǐng)域具有通常知識(shí)的技術(shù)人員應(yīng)該理解由此可以實(shí)施多種變形及均等范圍的實(shí)施例。因此，本發(fā)明的真正技術(shù)保護(hù)范圍必須根據(jù)權(quán)利要求書來(lái)限定。
【權(quán)利要求】
1.一種夾具，其特征是包含: 一端與基板的電路圖案接觸，另一端與判斷所述電路圖案有無(wú)異常的檢查部連接的探針；及 導(dǎo)引所述探針，設(shè)置在基臺(tái)上且所述基臺(tái)在固定的狀態(tài)下，與所述探針垂直的方向改變位置，且以所述改變位置將所述導(dǎo)引的所述探針位置改變成所述電路圖案的目標(biāo)位置的塊體單位。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于， 所述塊體單位分成復(fù)數(shù)個(gè)塊體，所述各塊體分別獨(dú)立地改變位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于， 所述探針包含一端接觸所述基板的第I探針，一端與所述第I探針的另一端接觸且另一端連接所述檢查部的第2探針， 所述塊體單位包含由所述第I探針貫穿且以垂直所述第I探針的方向能改變位置的鎖塊體，收容所述第2探針且相對(duì)所述鎖塊體固定的底板塊體。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的夾具，其特征在于， 所述鎖塊體在所述底板塊體拆裝。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的夾具，其特征在于， 所述鎖塊體包含在所述底板塊體相對(duì)的面形成的復(fù)數(shù)個(gè)第I拆裝部， 所述底板塊體包含形成在所述鎖塊體相對(duì)的面且在所述第I拆裝部拆裝的復(fù)數(shù)個(gè)第2拆裝部， 被選擇的第I拆裝部的位置和被選擇的第2拆裝部的位置來(lái)決定所述鎖塊體的位置改變。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的夾具，其特征在于， 所述鎖塊體包含在所述底板塊體相對(duì)的面形成的復(fù)數(shù)個(gè)第I槽， 所述底板塊體包含在所述鎖塊體相對(duì)的面形成的復(fù)數(shù)個(gè)第2槽， 由于夾入在所述第I槽和所述第2槽中選擇的槽的連接部，所述鎖塊體安裝在所述底板塊體，決定所述鎖塊體的位置改變。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的夾具，其特征在于， 接觸所述第2探針的所述第I探針端部的截面積和接觸所述第I探針的所述第2探針端部的截面積相互不相等。
【文檔編號(hào)】G01R1/04GK103837715SQ201310589686
【公開日】2014年6月4日 申請(qǐng)日期:2013年11月20日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月20日
【發(fā)明者】李彩甲 申請(qǐng)人:里諾精密有限公司