通過帶為10300-11300nm的自然環(huán)境普查的紅外成像濾光片的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明所設(shè)計(jì)的一種峰值透過率高,能極大的提高信噪比的通過帶為10300-11300nm的自然環(huán)境普查的紅外成像濾光片,包括以Ge為原材料的基板,以Ge、ZnS為第一鍍膜層和以Ge、ZnS為第二鍍膜層,且所述基板位于第一鍍膜層和第二鍍膜層之間,該通過帶為10300-11300nm的自然環(huán)境普查的紅外成像濾光片,其Ge材質(zhì)的基板配合表面ZnS、Ge材質(zhì)的鍍膜層,大大提高了信噪比,配合紅外熱成像儀使用,提升紅外熱成像儀的成像結(jié)果。該濾光片7000~9900nm、11800~12500nm?T≤1.0%;10300~11300nm?Tavg≥85%;波紋深度≤10%Tp。
【專利說明】通過帶為10300-11300nm的自然環(huán)境普查的紅外成像濾光片
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及紅外濾光片領(lǐng)域,尤其是一種通過帶為10300-11300nm的自然環(huán)境普查的紅外成像濾光片。
【背景技術(shù)】
[0002]紅外熱成像儀(熱成像儀或紅外熱成像儀)是通過非接觸探測(cè)紅外能量(熱量),并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào),進(jìn)而在顯示器上生成熱圖像和溫度值,并可以對(duì)溫度值進(jìn)行計(jì)算的一種檢測(cè)設(shè)備。紅外熱成像儀(熱成像儀或紅外熱成像儀)能夠?qū)⑻綔y(cè)到的熱量精確量化,或測(cè)量,使您不僅能夠觀察熱圖像,還能夠?qū)Πl(fā)熱的故障區(qū)域進(jìn)行準(zhǔn)確識(shí)別和嚴(yán)格分析。
[0003]紅外熱成像儀的探測(cè)器是實(shí)現(xiàn)紅外能量(熱能)轉(zhuǎn)換電信號(hào)的關(guān)鍵,由于各種生物所發(fā)出來的紅外能量(熱量)是不同的,所以在日常使用中為了觀察某種特定生物的熱圖像,人們往往會(huì)在探測(cè)器中添加紅外濾光片,通過紅外濾光片可以使探測(cè)器只接受特定波段的紅外能量(熱能),保證紅外熱成像儀的成像結(jié)果。
[0004]但是,目前用于紅外熱成像的10300到11300納米帶通紅外濾光片,其信噪比低,精度差,不能滿足市場(chǎng)發(fā)展的需要。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]本發(fā)明的目的是為了解決上述技術(shù)的不足而提供一種峰值透過率高,能極大的提高信噪比的通過帶為10300-11300nm的自然環(huán)境普查的紅外成像濾光片。
[0006]為了達(dá)到上述目的,本發(fā)明所設(shè)計(jì)的通過帶為10300_11300nm的自然環(huán)境普查的紅外成像濾光片,包括以Ge為原材料的基板,以Ge、ZnS為第一鍍膜層和以Ge、ZnS為第二鍍膜層,且所述基板位于第一鍍膜層和第二鍍膜層之間,所述第一鍍膜層由內(nèi)向外依次排列包含有:190nm厚度的Ge層、129 lnm厚度的ZnS層、1269nm厚度的Ge層、1232nm厚度的ZnS層、61 lnm厚度的Ge層、1345nm厚度的ZnS層、1387nm厚度的Ge層、880nm厚度的ZnS層、497nm厚度的Ge層、130 lnm厚度的ZnS層、652nm厚度的Ge層、2746nm厚度的ZnS層、282nm厚度的Ge層、1346nm厚度的ZnS層、636nm厚度的Ge層、1715nm厚度的ZnS層、2316nm厚度的Ge層、1614nm厚度的ZnS層、634nm厚度的Ge層、1369nm厚度的ZnS層、1125nm厚度的Ge層和400nm厚度的ZnS層;所述第二鍍膜層由內(nèi)向外依次排列包含有:180nm厚度的Ge層、484nm厚度的ZnS層、389nm厚度的Ge層、872nm厚度的ZnS層、476nm厚度的Ge層、884nm厚度的ZnS層、436nm厚度的Ge層、84lnm厚度的ZnS層、466nm厚度的Ge層、998nm厚度的ZnS層、459nm厚度的Ge層、866nm厚度的ZnS層、388nm厚度的Ge層、814nm厚度的ZnS層、630nm厚度的Ge層和1486nm厚度的ZnS層。
[0007]上述各材料對(duì)應(yīng)的厚度,其允許在公差范圍內(nèi)變化,其變化的范圍屬于本專利保護(hù)的范圍,為等同關(guān)系。通常厚度的公差在10nm左右。
[0008]本發(fā)明所得到的通過帶為10300-11300nm的自然環(huán)境普查的紅外成像濾光片,其Ge材質(zhì)的基板配合表面ZnS、Ge材質(zhì)的鍍膜層,大大提高了信噪比,配合紅外熱成像儀使用,提升紅外熱成像儀的成像結(jié)果。該濾光片7000~9900nm、11800~12500nm T ^ 1.0% ;10300 ~11300nm Tavg ≥ 85% ;波紋深度≤ 10%Tp。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0009]圖1是實(shí)施例整體結(jié)構(gòu)示意圖;
[0010]圖2是實(shí)施例提供的紅外光譜透過率實(shí)測(cè)曲線圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面通過實(shí)施例結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的描述。
[0012]實(shí)施例1:
[0013]如圖1、圖2所示,本實(shí)施例描述的通過帶為10300-11300nm的自然環(huán)境普查的紅外成像濾光片,包括以Ge為原材料的基板2,以Ge、ZnS為第一鍍膜層1和以Ge、ZnS為第二鍍膜層3,且所述基板2位于第一鍍膜層1和第二鍍膜層3之間,所述第一鍍膜層1由內(nèi)向外依次排列包含有:190nm厚度的Ge層、129 lnm厚度的ZnS層、1269nm厚度的Ge層、1232nm厚度的ZnS層、611nm厚度的Ge層、1345nm厚度的ZnS層、1387nm厚度的Ge層、880nm厚度的ZnS層、497nm厚度的Ge層、1301nm厚度的ZnS層、652nm厚度的Ge層、2746nm厚度的ZnS層、282nm厚度的Ge層、1346nm厚度的ZnS層、636nm厚度的Ge層、1715nm厚度的ZnS層、2316nm厚度的Ge層、1614nm厚度的ZnS層、634nm厚度的Ge層、1369nm厚度的ZnS層、1125nm厚度的Ge層和400nm厚度的ZnS層;所述第二鍍膜層3由內(nèi)向外依次排列包含有:180nm厚度的Ge層、484nm厚度的ZnS層、389nm厚度的Ge層、872nm厚度的ZnS層、476nm厚度的Ge層、884nm厚度的ZnS層、436nm厚度的Ge層、84lnm厚度的ZnS層、466nm厚度的Ge層、998nm厚度的ZnS層、459nm厚度的Ge層、866nm厚度的ZnS層、388nm厚度的Ge層、814nm厚度的ZnS層、630nm厚度的Ge層和1486nm厚度的ZnS層。
【權(quán)利要求】
1.一種通過帶為10300-11300nm的自然環(huán)境普查的紅外成像濾光片,包括以Ge為原材料的基板,以Ge、ZnS為第一鍍膜層和以Ge、ZnS為第二鍍膜層,且所述基板位于第一鍍膜層和第二鍍膜層之間,其特征是:所述第一鍍膜層由內(nèi)向外依次排列包含有:190nm厚度的Ge層、129 lnm厚度的ZnS層、1269nm厚度的Ge層、1232nm厚度的ZnS層、61 lnm厚度的Ge層、1345nm厚度的ZnS層、1387nm厚度的Ge層、880nm厚度的ZnS層、497nm厚度的Ge層、130 lnm厚度的ZnS層、652nm厚度的Ge層、2746nm厚度的ZnS層、282nm厚度的Ge層、1346nm厚度的ZnS層、636nm厚度的Ge層、1715nm厚度的ZnS層、2316nm厚度的Ge層、1614nm厚度的ZnS層、634nm厚度的Ge層、1369nm厚度的ZnS層、1125nm厚度的Ge層和400nm厚度的ZnS層;所述第二鍍膜層由內(nèi)向外依次排列包含有:180nm厚度的Ge層、484nm厚度的ZnS層、389nm厚度的Ge層、872nm厚度的ZnS層、476nm厚度的Ge層、884nm厚度的ZnS層、436nm厚度的Ge層、84lnm厚度的ZnS層、466nm厚度的Ge層、998nm厚度的ZnS層、459nm厚度的Ge層、866nm厚度的ZnS層、388nm厚度的Ge層、814nm厚度的ZnS層、630nm厚度的Ge層和1486nm厚度的ZnS層。
【文檔編號(hào)】G01J5/08GK103713343SQ201310631356
【公開日】2014年4月9日 申請(qǐng)日期:2013年11月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月29日
【發(fā)明者】呂晶, 王繼平, 胡偉琴 申請(qǐng)人:杭州麥樂克電子科技有限公司