一種光電探測器光譜響應分析系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種光電探測器光譜響應分析系統(tǒng)。所述光電探測器光譜響應分析系統(tǒng)包括：可控單色光源，用于在一定波段內(nèi)以連續(xù)可調(diào)的方式輸出固定頻率的單色光波；探測器室，用于取得參考光電探測器和待測光電探測器對所述單色光波的光譜響應信號；以及控制裝置，用于控制所述可控單色光源以及探測器室，并接收光譜響應信號，以生成待測光電探測器的相對光譜響應曲線。本發(fā)明的光電探測器光譜響應分析系統(tǒng)改進光源設計，實現(xiàn)一定波段內(nèi)出射光波的連續(xù)、窄帶輸出。從而解決現(xiàn)有技術方案中，因透射光波帶寬較寬，造成累積效應從而測試精度低的技術問題。
【專利說明】一種光電探測器光譜響應分析系統(tǒng)

【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及光電探測器【技術領域】，特別是涉及一種光電探測器光譜響應分析系 統(tǒng)。

【背景技術】
[0002] 光譜響應（SpectralResponse)反應光電探測器與福照波長λ之間的關系，是光 電探測器件一項基本性能參數(shù)。光電探測器作為一種感光傳感器件，其對于不同波長λ的 輻照光波，同樣具有不同的響應特性。
[0003] 對于圖像傳感器的光譜響應，目前多采用寬帶濾光片法進行測試。從輻照光源出 射的光波，經(jīng)濾光片后投射到被測光電探測器上。由于濾光片的波長選擇性，僅該濾光片中 心波長及附近一定帶寬內(nèi)的光波可以透過。檢測上述波長光波照射下，探測器的輸出值，并 對比標準探測器輸出值，從而獲得受試探測器在該波長下的光譜響應度。連續(xù)選取不同中 心波長的濾光片，從而可獲得在一個光譜波段內(nèi)，探測器的光譜響應曲線。
[0004] 現(xiàn)有技術最大缺點是濾光片帶寬較寬，當輻照光波透過濾光片后，透射的光波中 既包含了濾光片的中心波長光波，又包括其附近的其他波長光波。例如，常用的中心波長 550nm的可見光濾光片，其波長范圍常在±20nm?±100nm。因此，檢測獲得的探測器輸出 是該微小波段光波的累積效果，故檢測精度較低。
[0005] 另外，為獲得光譜響應曲線，需要連續(xù)更換濾光片，并不斷切換照射標準探測器和 受試探測器進行對比。操作差異往往造成光斑對準的機械精度誤差，從而也會對測試結(jié)果 帶來誤差。
[0006] 因此希望有一種光電探測器光譜響應分析系統(tǒng)來克服或至少減輕現(xiàn)有技術的上 述缺陷中的一個或多個。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007] 本發(fā)明的目的在于提供一種光電探測器光譜響應分析系統(tǒng)來克服或至少減輕現(xiàn) 有技術的上述缺陷中的一個或多個。
[0008] 為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種光電探測器光譜響應分析系統(tǒng)，所述光電探測 器光譜響應分析系統(tǒng)包括：
[0009] 可控單色光源，用于在一定波段以內(nèi)連續(xù)可調(diào)的方式輸出固定頻率的單色光波；
[0010] 探測器室，其包括至少一個參考光電探測器和待測光電探測器，所述至少一個參 考光電探測器和待測光電探測器用于探測所述單色光波的光譜響應信號并輸出；以及
[0011] 控制裝置，用于提供系統(tǒng)電源，并控制所述可控單色光源以及探測器室，并接收光 譜響應信號，以生成待測光電探測器的相對光譜響應曲線。
[0012] 優(yōu)選地，所述光電探測器光譜響應分析系統(tǒng)進一步包括準直光路，所述準直光路 設置在可控單色光源和探測器室之間，用于對所述可控單色光源輸出的單色光波的發(fā)散角 進行調(diào)整。
[0013] 優(yōu)選地，所述光電探測器光譜響應分析系統(tǒng)進一步包括阻尼隔振平臺，作為光電 探測器光譜響應分析系統(tǒng)的水平基臺。
[0014] 優(yōu)選地，所述可控單色光源包括一個溴鎢燈和一個氘燈。
[0015] 優(yōu)選地，所述可控單色光源包括光學斬波器，所述光學斬波器與控制裝置相連，并 按照設定頻率對入射光波進行斬波調(diào)制，將連續(xù)光波調(diào)制為固定頻率的單色光波，并將所 述固定頻率輸出至控制裝置，用于與所述控制裝置內(nèi)的鎖相放大器配合使用。
[0016] 優(yōu)選地，所述可控單色光源進一步包括濾光輪片，在光路上，濾光輪片位于光學斬 波器的下游，用于消除多級光譜。
[0017] 優(yōu)選地，所述濾光輪片與控制裝置相連，能夠根據(jù)設定的光源工作波段，自動更換 濾光片。
[0018] 優(yōu)選地，所述探測器室包括光闌和光學衰減器，用于進行入射光光強控制。
[0019] 優(yōu)選地，所述探測器室包括步進電機，所述步進電機由所述控制裝置控制，而自動 驅(qū)動執(zhí)行機構切換被照射樣品。
[0020] 本發(fā)明的光電探測器光譜響應分析系統(tǒng)改進光源設計，實現(xiàn)一定波段內(nèi)出射光波 的連續(xù)輸出。從而解決現(xiàn)有技術方案中，因透射光波帶寬較寬，造成累積效應從而測試精度 低的技術問題。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0021] 圖1是根據(jù)本發(fā)明一實施例的光電探測器光譜響應分析系統(tǒng)的結(jié)構示意圖。
[0022] 圖2是圖1所示光電探測器光譜響應分析系統(tǒng)中的原理示意圖。
[0023] 附圖標記：
[0024]

【權利要求】
1. 一種待測光電探測器光譜響應分析系統(tǒng)，其特征在于，包括： 可控單色光源（1)，用于在一定波段內(nèi)以連續(xù)可調(diào)的方式輸出固定頻率的單色光波； 探測器室（3)，其包括至少一個參考光電探測器和待測光電探測器，所述至少一個參考 光電探測器和待測光電探測器用于探測所述單色光波的光譜響應信號并輸出；以及 控制裝置（4)，用于控制所述可控單色光源（1)以及探測器室（3)，并接收所述光譜響 應信號，以生成待測光電探測器的相對光譜響應曲線。
2. 如權利要求1所述的光電探測器光譜響應分析系統(tǒng)，其特征在于，進一步包括準直 光路（2)，所述準直光路（2)設置在可控單色光源（1)和探測器室（3)之間，用于對所述可 控單色光源（1)輸出的單色光波的發(fā)散角進行調(diào)整。
3. 如權利要求1所述的光電探測器光譜響應分析系統(tǒng)，其特征在于，進一步包括阻尼 隔振平臺（5)，其作為水平基臺，用于承載所述可控單色光源（1)和探測器室（3)。
4. 如權利要求1所述的光電探測器光譜響應分析系統(tǒng)，其特征在于，所述可控單色光 源（1)包括至少一個光源。
5. 如權利要求4所述的光電探測器光譜響應分析系統(tǒng)，其特征在于，所述可控單色光 源（1)包括光學斬波器（15)，所述光學斬波器（15)與控制裝置（4)相連，并按照所述控制 裝置（4)輸出的設定頻率對所述至少一個光源輸出的光波進行斬波調(diào)制，將連續(xù)光波調(diào)制 為固定頻率的單色光波，并將所述固定頻率輸出至控制裝置（4)，用于與所述控制裝置（4) 內(nèi)的鎖相放大器配合使用。
6. 如權利要求5所述的光電探測器光譜響應分析系統(tǒng)，其特征在于，所述可控單色光 源（1)進一步包括濾光輪片（16)，在光路上，濾光輪片（16)位于光學斬波器（15)的下游， 用于消除多級光譜；其能夠在控制裝置（4)輸出的設定的光源工作波段，自動更換濾光片。
7. 如權利要求6所述的光電探測器光譜響應分析系統(tǒng)，其特征在于，所述可控單色光 源（1)進一步包括分光裝置，其用于將光源所發(fā)射出的光波，分解成不同波長的單色光波， 并形成一定波段內(nèi)的連續(xù)光譜。
8. 如權利要求1所述的光電探測器光譜響應分析系統(tǒng)，其特征在于，所述探測器室（3) 還包括光闌（31)和光學衰減器（32)，用于進行入射光光強控制。
9. 如權利要求8所述的光電探測器光譜響應分析系統(tǒng)，其特征在于，所述探測器室（3) 還包括步進電機，所述步進電機由所述控制裝置（4)控制，而自動驅(qū)動執(zhí)行機構切換被照 射樣品。
10. 如權利要求1所述的光電探測器光譜響應分析系統(tǒng)，其特征在于，在測試時，所述 控制裝置（4)控制所述探測器室（3)獲取無光照情況下參考光電探測器和待測光電探測器 的電流輸出值和所述單色光波光照情況下參考光電探測器和待測光電探測器的電流輸出 值。
【文檔編號】G01M11/02GK104483104SQ201410820514
【公開日】2015年4月1日 申請日期:2014年12月25日 優(yōu)先權日:2014年12月25日
【發(fā)明者】秦琦, 吳南健 申請人:中國科學院半導體研究所