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      一種基于石墨烯的表面增強(qiáng)拉曼基底及其制備方法與流程

      文檔序號:12466175閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種基于石墨烯的表面增強(qiáng)拉曼基底,其特征在于:所述基底為表面覆有多孔結(jié)構(gòu)石墨烯的絕緣襯底,金屬顆粒修飾于多孔結(jié)構(gòu)石墨烯表面;其中,多孔結(jié)構(gòu)石墨烯為多孔洞石墨烯膜或不連續(xù)的石墨烯晶疇。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于石墨烯的表面增強(qiáng)拉曼基底,其特征在于:所述多孔洞石墨烯膜由等離子體轟擊絕緣襯底上的石墨烯膜而成;不連續(xù)的石墨烯晶疇由化學(xué)氣相沉積CVD法在過渡金屬襯底上生長分立的石墨烯晶疇,再轉(zhuǎn)移到絕緣襯底上而成。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種基于石墨烯的表面增強(qiáng)拉曼基底,其特征在于:所述石墨烯薄膜為單層或少層。

      4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于石墨烯的表面增強(qiáng)拉曼基底,其特征在于:所述等離子體為氧氣、氬氣或氮?dú)獾牡入x子體。

      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于石墨烯的表面增強(qiáng)拉曼基底,其特征在于:所述多孔洞石墨烯膜孔洞的孔徑為1nm~20μm;不連續(xù)的石墨烯晶疇大小為10nm~2μm,石墨烯晶疇之間的距離小于2μm。

      6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于石墨烯的表面增強(qiáng)拉曼基底,其特征在于:所述絕緣襯底為SiO2/Si襯底或玻璃襯底。

      7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于石墨烯的表面增強(qiáng)拉曼基底,其特征在于:所述金屬顆粒為金、銀或銅,金屬顆粒直徑為20nm~500nm,金屬顆粒之間的距離為20nm~2μm。

      8.一種基于石墨烯的表面增強(qiáng)拉曼基底的制備方法,包括:

      (1)通過CVD法在過渡金屬襯底上生長石墨烯膜,通過干法或濕法轉(zhuǎn)移到絕緣襯底上,再用等離子體轟擊石墨烯膜,得到表面覆有多孔結(jié)構(gòu)石墨烯的絕緣襯底;

      或者通過PECVD法直接在絕緣襯底上生長石墨烯膜,再用等離子體轟擊石墨烯膜,得到表面覆有多孔結(jié)構(gòu)石墨烯的絕緣襯底;

      或者將石墨烯粉體溶液旋涂到絕緣襯底上形成石墨烯膜,再用等離子體轟擊石墨烯膜,得到表面覆有多孔結(jié)構(gòu)石墨烯的絕緣襯底;

      或者通過PECVD法直接在絕緣襯底上生長分立的石墨烯晶疇,得到表面覆有多孔結(jié)構(gòu)石墨烯的絕緣襯底;

      或者通過CVD法直接在過渡金屬襯底上生長分立的石墨烯晶疇,通過干法或濕法轉(zhuǎn)移到絕緣襯底上,得到表面覆有多孔結(jié)構(gòu)石墨烯的絕緣襯底;

      (2)將金屬顆粒溶于乙醇溶液中,通過勻膠機(jī)旋涂于多孔結(jié)構(gòu)石墨烯表面,再干燥,即得基于石墨烯的表面增強(qiáng)拉曼基底。

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