本發(fā)明涉及探針卡，更詳細(xì)而言，涉及具備柔性布線板的探針卡的改進(jìn)。

背景技術(shù)：

1、探針卡是在檢查形成于半導(dǎo)體晶片上的半導(dǎo)體器件的電特性時(shí)使用的檢查裝置，在布線基板上設(shè)置有與形成于半導(dǎo)體晶片上的兩個(gè)以上的電極分別接觸的兩個(gè)以上的探針。半導(dǎo)體器件的檢查如下進(jìn)行：使半導(dǎo)體晶片接近探針卡，使探針的前端與半導(dǎo)體晶片上的電極接觸，經(jīng)由探針以及布線基板使測(cè)試器裝置與半導(dǎo)體器件導(dǎo)通。

2、以往已知有將探針安裝于柔性布線板的探針卡(例如，專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。專(zhuān)利文獻(xiàn)1所記載的探針卡的探針安裝于柔性布線板的下表面中央部。該柔性布線板的周緣部通過(guò)環(huán)狀的壓板固定，上表面中央部粘接在裝配于板簧的由截頭四棱錐形構(gòu)成的臺(tái)的頂部。

3、在先技術(shù)文獻(xiàn)

4、專(zhuān)利文獻(xiàn)

5、專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2002-311049號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、-發(fā)明所要解決的課題-

2、在將探針安裝于柔性布線板、并將柔性布線板粘接于基材的平坦面的探針卡的情況下，如果粘接力不充分，則柔性布線板可能從基材剝離。例如，在將具有懸臂梁構(gòu)造的探針的前端按壓于檢查對(duì)象物時(shí)，對(duì)探針的根部施加使探針傾斜的力。因此，在探針的安裝位置處，柔性布線板可能從基材剝離。

3、此外，由于粘接劑的厚度偏差，兩個(gè)以上的探針的高度產(chǎn)生偏差，有可能降低對(duì)檢查對(duì)象物的接觸性。進(jìn)而，在粘接柔性布線板時(shí)，存在如下問(wèn)題：粘接劑內(nèi)產(chǎn)生的氣泡在高溫檢查時(shí)熱膨脹，在低溫檢查時(shí)收縮，由此柔性布線板的平坦性受損，與檢查對(duì)象物的接觸性降低。

4、本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的，其目的在于，在將柔性布線板粘接于基材的探針卡中，防止柔性布線板從基材剝離。此外，其目的在于提高在基材上粘接有柔性布線板的探針卡與檢查對(duì)象物的接觸性。特別是，其目的在于抑制探針的高度的偏差。此外，其目的在于防止配置探針的電極墊的平坦性受損。

5、-用于解決課題的手段-

6、第一本發(fā)明的實(shí)施方式的探針卡具備：基材，具有與檢查對(duì)象物對(duì)置的平坦面；柔性布線板，由絕緣性膜構(gòu)成，具有隔著粘接劑粘接于所述基材的粘接面和將兩個(gè)以上的電極墊隔開(kāi)給定的間隔排列配置的探針安裝面；以及，兩個(gè)以上的探針，分別配置于所述兩個(gè)以上的電極墊上，在所述粘接面上的與所述兩個(gè)以上的電極墊對(duì)應(yīng)的位置分別形成有兩個(gè)以上的第一錨固墊。

7、通過(guò)采用這樣的結(jié)構(gòu)，第一錨固墊隔開(kāi)給定的間隔排列配置。第一錨固墊是設(shè)置于柔性布線板的粘接面上的凸部，相鄰的第一錨固墊之間成為凹部。因此，在柔性布線板的粘接面上形成凸部以及凹部交替出現(xiàn)的凹凸，表面積增大，從而能夠?qū)⑷嵝圆季€板牢固地粘接于基材。此外，由于第一錨固墊形成在與電極墊對(duì)應(yīng)的位置，因此在檢查時(shí)探針彈性變形，由此能夠防止在電極墊的形成區(qū)域中柔性布線板從基材剝離。

8、此外，第一錨固墊上的多余的粘接劑收容于凹部，能夠抑制介于第一錨固墊與基材之間的粘接劑的厚度。因此，也抑制了粘接劑的厚度的偏差，抑制了兩個(gè)以上的電極墊的高度的偏差。其結(jié)果是，能夠抑制兩個(gè)以上的探針的高度的偏差，提高與檢查對(duì)象物的接觸性。此外，通過(guò)抑制粘接劑的厚度，能夠抑制因粘接劑內(nèi)產(chǎn)生的氣泡的熱膨脹而損害電極墊的平坦性，能夠提高與檢查對(duì)象物的接觸性。

9、第二本發(fā)明的實(shí)施方式的探針卡在上述結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上，所述基材由陶瓷基板構(gòu)成。陶瓷基板的熱膨脹率接近硅晶片，不易產(chǎn)生翹曲，平坦性高。因此，通過(guò)在陶瓷基板上粘接柔性印刷基板，能夠提高對(duì)檢查對(duì)象物的接觸性。

10、第三本發(fā)明的實(shí)施方式的探針卡在上述結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上構(gòu)成為，所述電極墊以及所述第一錨固墊經(jīng)由所述絕緣性膜的第一貫通孔一體地形成，所述第一貫通孔內(nèi)含于所述電極墊的外緣以及所述第一錨固墊的外緣。

11、通過(guò)采用這樣的結(jié)構(gòu)，第一錨固墊以及電極墊一體地形成，并且形成為將絕緣性膜夾入，因此能夠防止由于第一錨固墊從絕緣性膜剝離而柔性布線板從基材剝離。

12、第四本發(fā)明的實(shí)施方式的探針卡在上述結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上構(gòu)成為，所述第一錨固墊具有與所述電極墊對(duì)應(yīng)的形狀。

13、通過(guò)采用這樣的結(jié)構(gòu)，能夠抑制與電極墊對(duì)應(yīng)的區(qū)域中的粘接劑的厚度。因此，能夠防止電極墊的高度的偏差，并且能夠防止由于粘接劑中的氣泡的熱膨脹而損害電極墊的平坦性。

14、第五本發(fā)明的實(shí)施方式的探針卡在上述結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上構(gòu)成為，具備兩個(gè)以上的連接銷(xiāo)，所述基材隔開(kāi)給定的間隔排列配置有用于分別插通所述兩個(gè)以上的連接銷(xiāo)的兩個(gè)以上的貫通孔，所述柔性布線板在比所述電極墊更靠周緣部側(cè)具有用于分別插通所述兩個(gè)以上的連接銷(xiāo)的兩個(gè)以上的第二貫通孔，所述電極墊與所述連接銷(xiāo)導(dǎo)通。

15、通過(guò)將連接銷(xiāo)插通于基材的貫通孔以及柔性布線板的第二貫通孔，并使該連接銷(xiāo)與探針導(dǎo)通，能夠容易地進(jìn)行柔性布線板相對(duì)于基材的對(duì)位，并且能夠提高探針用布線的高頻特性。

16、第六本發(fā)明的實(shí)施方式的探針卡在上述結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，所述柔性布線板形成有分別包圍所述兩個(gè)以上的第二貫通孔的所述探針安裝面上的開(kāi)口的兩個(gè)以上的電極端子，所述連接銷(xiāo)與所述電極端子連接，所述電極端子在所述柔性布線板上與所述電極墊連接，在所述粘接面上的與所述電極端子對(duì)應(yīng)的位置形成有第二錨固墊。

17、通過(guò)采用這樣的結(jié)構(gòu)，第二錨固墊隔開(kāi)給定的間隔排列配置。第二錨固墊是設(shè)置于柔性布線板的粘接面上的凸部，相鄰的第二錨固墊之間成為凹部。因此，在柔性布線板的粘接面上形成有凸部以及凹部交替地出現(xiàn)的凹凸，表面積增大，從而能夠?qū)⑷嵝圆季€板牢固地粘接于基材。

18、第七本發(fā)明的實(shí)施方式的探針卡在上述結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上構(gòu)成為，所述電極端子以及所述第二錨固墊經(jīng)由所述第二貫通孔一體地形成，所述第二貫通孔內(nèi)含于所述電極端子的外緣以及所述第二錨固墊的外緣。

19、通過(guò)采用這樣的結(jié)構(gòu)，第二錨固墊以及電極端子一體地形成，并且形成為將絕緣性膜夾入，因此能夠防止由于第二錨固墊從絕緣性膜剝離而柔性布線板從基材剝離。

20、第八本發(fā)明的實(shí)施方式的探針卡在上述結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，所述柔性布線板中，將與所述電極墊以及所述連接端子均不對(duì)應(yīng)的兩個(gè)以上的第三錨固墊隔開(kāi)給定的間隔排列配置在所述粘接面上。

21、通過(guò)采用這樣的結(jié)構(gòu)，對(duì)于電極墊以及連接端子均未形成的區(qū)域，也在柔性布線板的粘接面上形成有凹凸，能夠?qū)⑷嵝圆季€板牢固地粘接于基材。

22、-發(fā)明效果-

23、根據(jù)本發(fā)明，在將柔性布線板粘接于基材的探針卡中，能夠防止柔性布線板從基材剝離。此外，能夠提高在基材上粘接有柔性布線板的探針卡與檢查對(duì)象物的接觸性。特別是，能夠抑制探針的高度的偏差。此外，能夠防止配置探針的電極墊的平坦性受損。

技術(shù)特征：

1.一種探針卡，其特征在于，具備：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其中，

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其中，

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其中，

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的探針卡，其中，

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的探針卡，其中，

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的探針卡，其中，

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的探針卡，其中，

技術(shù)總結(jié)
目的在于防止柔性布線板從基材剝離。具備：基材(30)，具有與檢查對(duì)象物(20)對(duì)置的平坦面；柔性布線板(50)，由絕緣性膜(51)構(gòu)成，具有隔著粘接劑(40)粘接于基材(30)的粘接面和將兩個(gè)以上的電極墊(520)隔開(kāi)給定的間隔排列配置的探針安裝面；以及兩個(gè)以上的探針(70)，分別配置于電極墊(520)上，在粘接面上的與電極墊(70)對(duì)應(yīng)的位置分別形成有兩個(gè)以上的第一錨固墊(521)。

技術(shù)研發(fā)人員：松岡敬二,佐藤新吾,井上知晃
受保護(hù)的技術(shù)使用者：日本電子材料株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/10