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      基于微流控芯片的場(chǎng)效應(yīng)晶體管

      文檔序號(hào):40375690發(fā)布日期:2024-12-20 11:58閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種基于微流控芯片的場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其包括:襯底、半導(dǎo)體材料層和微流控芯片;所述襯底上設(shè)置有所述半導(dǎo)體材料層;所述微流控芯片覆蓋在所述半導(dǎo)體材料層上,其特征在于,

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于微流控芯片的場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于,所述襯底包括具有絕緣層的硅片。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于微流控芯片的場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于,所述半導(dǎo)體材料層是由半導(dǎo)體材料形成的層。

      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于微流控芯片的場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于,所述半導(dǎo)體材料包括石墨烯、黑磷、碳納米管、二硫化鉬或有機(jī)半導(dǎo)體材料。

      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基于微流控芯片的場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于,所述半導(dǎo)體材料為石墨烯。

      6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于微流控芯片的場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于,所述第一電極通道和所述第二電極通道以所述中央流道為對(duì)稱軸呈對(duì)稱分布。

      7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于微流控芯片的場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于,所述第一電極通道和所述第二電極通道的端部各自分別進(jìn)一步設(shè)置有低熔點(diǎn)金屬入口。

      8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于微流控芯片的場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于,所述低熔點(diǎn)金屬層是由低熔點(diǎn)金屬形成的層。

      9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基于微流控芯片的場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于,所述低熔點(diǎn)金屬為錫銦合金。

      10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于微流控芯片的場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于,所述基于微流控芯片的場(chǎng)效應(yīng)晶體管進(jìn)一步包括:若干電線,所述電線的一端分別設(shè)置于所述第一電極通道和所述第二電極通道的電線插口內(nèi),并且至少部分位于所述低熔點(diǎn)金屬層之中。

      11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于微流控芯片的場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于,所述半導(dǎo)體材料層與所述中央流道接觸的區(qū)域覆蓋有離子液體,且所述離子液體與所述金屬電極接觸;所述金屬電極和所述離子液體形成離子液體柵極。

      12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于微流控芯片的場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于,所述基于微流控芯片的場(chǎng)效應(yīng)晶體管進(jìn)一步包括:夾具,所述夾具用于固定并夾緊所述襯底和所述微流控芯片。


      技術(shù)總結(jié)
      本技術(shù)提供了基于微流控芯片的場(chǎng)效應(yīng)晶體管。該基于微流控芯片的場(chǎng)效應(yīng)晶體管包括:襯底、半導(dǎo)體材料層和微流控芯片;襯底上設(shè)置有半導(dǎo)體材料層;微流控芯片覆蓋在半導(dǎo)體材料層上;微流控芯片上設(shè)置有中央流道和電極通道;電極通道內(nèi)設(shè)置有低熔點(diǎn)金屬層,以形成源極和漏極;半導(dǎo)體材料層被電極通道覆蓋的部分設(shè)置有低熔點(diǎn)金屬層。本技術(shù)的基于微流控芯片的場(chǎng)效應(yīng)晶體管能夠識(shí)別生物標(biāo)記物,具有優(yōu)異的靈敏度和特異性識(shí)別能力。

      技術(shù)研發(fā)人員:周文華,曾通華,舒?zhèn)チ?張瓊珶,喻學(xué)鋒
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:中國(guó)科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院
      技術(shù)研發(fā)日:20240326
      技術(shù)公布日:2024/12/19
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