鏡200的光拍攝基板S的邊緣部分的上表面的圖像以及下表面的圖像。拍攝部件400還由通過第一直角棱鏡100與第二直角棱鏡200之間的空間直接入射到端表面上的光拍攝端表面的圖像。為此，優(yōu)選地，拍攝部件400被設(shè)置在面對基板S的邊緣部分的位置。
[0042]優(yōu)選地，從基板S縱向延伸的線通過拍攝部件400的中心。
[0043]拍攝部件400可包括鏡頭和照相機。照相機可被實現(xiàn)為線掃描照相機。
[0044]由于根據(jù)本發(fā)明的基板邊緣檢測設(shè)備如上那樣被構(gòu)造，所以能夠使用單個光學(xué)裝置檢測基板的倒角邊緣部分的上表面、下表面和端表面。
[0045]另外，根據(jù)本發(fā)明的基板邊緣檢測設(shè)備分別利用入射到第一直角棱鏡100和第二直角棱鏡200的相對于基板的邊緣部分的上表面和下表面以預(yù)定角度指向的傾斜表面上的光從基板的邊緣部分的上表面和下表面獲得圖像，而不使用同軸照明。這因此防止待檢測的各個表面受到在相反表面上產(chǎn)生的倒角參考線的后像影響，由此可精確地測量倒角寬度。由于基板的邊緣部分的上表面和下表面在它們以預(yù)定角度傾斜的狀態(tài)下被檢測，所以在基板的邊緣部分的上表面或下表面的倒角寬度的測量中可能存在誤差。然而，該誤差可以被校正。具體地，實際倒角寬度可通過補償對應(yīng)于角度的值而由具有誤差的測量值計算而得到。
[0046]圖4例示在同軸照明下使用顯微鏡拍攝的基板的倒角邊緣部分的上表面和下表面的圖片。如圖4中所例示的，在同軸照明下使用顯微鏡拍攝的基板的邊緣部分的上表面或下表面的圖像包含相反表面的倒角參考線。這在倒角寬度計算中可能引起誤差。
[0047]圖5例示使用根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的基板邊緣檢測設(shè)備拍攝的基板的倒角邊緣部分的上表面和下表面的圖片。如圖5中所例示的，使用根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的基板邊緣檢測設(shè)備從倒角基板的上表面和下表面拍攝的圖像不包含相反表面的倒角參考線。因此，在倒角寬度計算中不產(chǎn)生誤差，并且倒角寬度的計算值可等于或非常接近于倒角寬度的實際值。
[0048]圖6例示使用光學(xué)顯微鏡以及根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的基板邊緣檢測設(shè)備測量的根據(jù)位置而定的玻璃基板的倒角寬度的圖表。
[0049]如圖6中所例示的，可以意識到，使用光學(xué)顯微鏡測量的倒角寬度與使用根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的基板邊緣檢測設(shè)備測量的倒角寬度基本相同。
[0050]返回到圖2，根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的基板邊緣檢測設(shè)備包括第一校正板500和第二校正板600。第一校正板500被設(shè)置在第一直角棱鏡100與拍攝部件400之間以減少已經(jīng)通過第一直角棱鏡100的光的路程。第二校正板600被設(shè)置在第二直角棱鏡200與拍攝部件400之間以減少已經(jīng)通過第二直角棱鏡200的光的路程。
[0051]如圖3中所例示的，基板S的邊緣部分的上表面或下表面的圖像由已經(jīng)通過第一直角棱鏡100或第二直角棱鏡200的光獲得，而基板S的邊緣部分的端表面的圖像由基板S的邊緣部分的端表面直接獲得。因此，從基板S的邊緣部分的上表面或下表面通過第一直角棱鏡100或第二直角棱鏡200進入拍攝部件400的光的路程比從基板S的邊緣部分的端表面進入拍攝部件400的光的路程長。因此，這可能引起拍攝部件400的焦點不匹配的問題。
[0052]為了克服該問題，根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例，第一校正板500和第二校正板600被分別設(shè)置在第一直角棱鏡100與拍攝部件400之間以及第二直角棱鏡200與拍攝部件400之間。因此，這減少了從第一直角棱鏡100和第二直角棱鏡200進入拍攝部件400的光的路程，由此使由拍攝部件400獲取的基板S的邊緣部分的上表面、下表面以及端表面的焦點相匹配。具體地，通過調(diào)節(jié)第一校正板500或第二校正板600的材料、厚度和長度，以使從基板S的邊緣部分的上表面通過第一直角棱鏡100和第一校正板500進入拍攝部件400的光的路程的長度、從基板S的邊緣部分的下表面通過第二直角棱鏡200和第二校正板600進入拍攝部件400的光的路程的長度、以及從基板S的邊緣部分的端表面進入拍攝部件400的光的路程的長度相同，能夠使得由拍攝部件400獲取的基板S的邊緣部分的上表面、下表面和端表面的焦點相匹配。
[0053]優(yōu)選地，第一校正板500和第二校正板600由BK7 (硼硅酸鹽冕玻璃)形成。
[0054]第一校正板500或第二校正板600的厚度和長度可根據(jù)諸如基板與直角棱鏡之間的角度以及直角棱鏡與拍攝部件之間的長度之類的預(yù)定條件被適當?shù)乜刂啤?br>[0055]另外，根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的基板邊緣檢測設(shè)備進一步包括用于顯示由拍攝部件400拍攝的圖像的顯示部件(未示出)。
[0056]顯示部件(未示出)可通過處理由拍攝部件400拍攝的圖像來計算倒角邊緣部分的缺陷或倒角寬度，并將計算結(jié)果顯示在顯示裝置上。
[0057]另外，根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的基板邊緣檢測設(shè)備進一步包括空氣噴嘴(未示出)，該空氣噴嘴通過將空氣噴射到邊緣部分上而將雜質(zhì)從基板的邊緣部分移除。
[0058]空氣噴嘴(未示出)通過將由空氣源(未示出)供給的空氣噴射到基板的邊緣部分上而將雜質(zhì)從基板的邊緣部分移除，從而防止雜質(zhì)出現(xiàn)在由拍攝部件400從基板的邊緣部分的上表面、下表面和端表面中的任一個拍攝的圖像上。
[0059]而且，根據(jù)本發(fā)明示例性實施例的基板邊緣檢測設(shè)備進一步包括輸送基板的輸送部件(未示出)。
[0060]如上所提出的，根據(jù)本發(fā)明，基板邊緣檢測設(shè)備，即用于檢測基板的邊緣部分的設(shè)備，可連續(xù)檢測由輸送部件(未示出)輸送的基板的邊緣部分，從而提高對基板的邊緣部分的檢測效率。
[0061]已經(jīng)參照附圖給出了本發(fā)明的具體示例性實施例的前述描述。它們不旨在窮盡或?qū)⒈景l(fā)明限制到所公開的精確形式，并且顯然，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說，可以按照上述教導(dǎo)進行許多更改和變化。
[0062]因此，其旨在本發(fā)明的范圍并不限于前述實施例，而是由所附權(quán)利要求書及其等同物限定。
【主權(quán)項】
1.一種用于檢測基板的邊緣部分的設(shè)備，包括: 第一直角棱鏡，被設(shè)置在基板的邊緣部分的上方，使得該第一直角棱鏡的傾斜表面朝向所述基板的邊緣部分的上表面； 第二直角棱鏡，被設(shè)置在所述基板的邊緣部分的下方，使得該第二直角棱鏡的傾斜表面朝向所述基板的邊緣部分的下表面； 發(fā)光部件，用光照射所述基板的邊緣部分；和 拍攝部件，被設(shè)置為鄰近所述基板的邊緣部分，其中所述拍攝部件由已經(jīng)通過所述第一直角棱鏡的光拍攝所述基板的邊緣部分的上表面的圖像，由已經(jīng)通過所述第二直角棱鏡的光拍攝所述基板的邊緣部分的下表面的圖像，并拍攝所述基板的邊緣部分的端表面的圖像。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，進一步包括: 第一校正板，被設(shè)置在所述第一直角棱鏡與所述拍攝部件之間以減少已經(jīng)通過所述第一直角棱鏡的光的路程；以及 第二校正板，被設(shè)置在所述第二直角棱鏡與所述拍攝部件之間以減少已經(jīng)通過所述第二直角棱鏡的光的路程。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其中所述第一校正板與所述第二校正板由BK7形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述第一直角棱鏡的上表面與傾斜表面之間的角度以及所述第二直角棱鏡的下表面與傾斜表面之間的角度為小于45°的銳角。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，進一步包括顯示由所述拍攝部件拍攝的圖像的顯示部件。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，進一步包括用于通過將空氣噴射到所述基板的邊緣部分上而將雜質(zhì)從所述基板的邊緣部分移除的空氣噴嘴。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，進一步包括輸送所述基板的輸送部件。
【專利摘要】一種用于檢測基板的邊緣的設(shè)備可以檢測基板的邊緣部分的缺陷或倒角寬度。第一直角棱鏡和第二直角棱鏡被設(shè)置在所述邊緣部分的上方和下方，使得該第一直角棱鏡的傾斜表面和該第二直角棱鏡的傾斜表面朝向所述邊緣部分的上表面和下表面。發(fā)光部件用光照射所述基板的邊緣部分。拍攝部件被設(shè)置為鄰近所述邊緣部分。所述拍攝部件由已經(jīng)通過所述第一直角棱鏡的光拍攝所述邊緣部分的上表面的圖像，由已經(jīng)通過所述第二直角棱鏡的光拍攝所述邊緣部分的下表面的圖像，并拍攝所述邊緣部分的端表面的圖像。
【IPC分類】G01N21-88, G01B11-02
【公開號】CN104777168
【申請?zhí)枴緾N201510020858
【發(fā)明人】成始澔
【申請人】康寧精密素材株式會社
【公開日】2015年7月15日
【申請日】2015年1月15日
【公告號】US20150198539