X射線分析用試樣板以及熒光x射線分析裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及在進(jìn)行能檢測(cè)出有害物質(zhì)等且在產(chǎn)品的篩選等中使用的熒光X射線分析時(shí)可用于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)等的試樣的測(cè)定的X射線分析用試樣板以及熒光X射線分析裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]熒光X射線分析是，對(duì)試樣照射從X射線管球射出的X射線，利用X射線檢測(cè)器檢測(cè)從試樣放出的熒光X射線，并根據(jù)它們的強(qiáng)度關(guān)系進(jìn)行關(guān)于試樣組成的定性分析或者濃度、膜厚等的定量分析。因?yàn)樵摕晒釾射線分析可非破壞地對(duì)試樣迅速進(jìn)行分析，所以在工序品質(zhì)管理等中能夠被廣泛應(yīng)用。近年來，作為能夠?qū)崿F(xiàn)高精度化/高靈敏度化進(jìn)行微量測(cè)定，尤其能進(jìn)行對(duì)材料或復(fù)合電子部件等所包含的有害物質(zhì)的檢測(cè)的分析方法，期待得到普及。
[0003]通常，在利用熒光X射線分析裝置進(jìn)行元素的定量分析時(shí)，需要測(cè)定多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，并利用檢量線來校正熒光X射線強(qiáng)度與元素濃度之間的關(guān)系(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。即使是相同的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，其強(qiáng)度也根據(jù)裝置的經(jīng)時(shí)變化而發(fā)生變化，所以需要定期重新測(cè)定標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，并更新檢量線，以使未知試樣的定量濃度不變化。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特開2008-8856號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]發(fā)明所要解決的課題
[0008]在上述現(xiàn)有的技術(shù)中還存在以下的課題。
[0009]為了如上所述地更新檢量線，用戶定期地進(jìn)行測(cè)定多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的作業(yè)，但具有如下這樣的問題，該作業(yè)在標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)多的情況下負(fù)載較大，容易誘發(fā)試樣誤取的差錯(cuò)。另夕卜，在標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的制作時(shí)，由于發(fā)生濃度值的偏差，并不能完全實(shí)現(xiàn)期望的濃度。例如，即使期望制作lOOppm的濃度，也有可能得到lOlppm或99ppm的濃度。雖然在制造時(shí)對(duì)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)標(biāo)記了該實(shí)際測(cè)量出的值，但為了在裝置的軟件上作為檢量線成立，而不得不由用戶手動(dòng)地輸入具有偏差的結(jié)果的濃度。此外，根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的不同，還具有在多個(gè)檢量線中使用相同的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的情況，在這樣的情況下，當(dāng)未輸入兩次以上的相同值時(shí)，不能更新全部的檢量線。在更新檢量線時(shí)所測(cè)定的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)幾乎是一定的，且為單調(diào)的作業(yè)，除此之外在輸入存在差錯(cuò)時(shí)，裝置不具有在當(dāng)場(chǎng)能自動(dòng)進(jìn)行檢測(cè)的單元，從而有可能作成輸出錯(cuò)誤分析值這樣的檢量線并進(jìn)行運(yùn)用，所以期望既能夠減輕作業(yè)者的負(fù)擔(dān)又能夠減少差錯(cuò)的方法。
[0010]本發(fā)明是鑒于上述課題而作出的，其目的是提供在熒光X射線分析中能夠提高試樣測(cè)定的作業(yè)性并且能夠抑制差錯(cuò)的發(fā)生的X射線分析用試樣板以及熒光X射線分析裝置。
[0011]解決問題的單元
[0012]本發(fā)明為了解決上述課題而采用了以下的結(jié)構(gòu)。S卩，第1發(fā)明的X射線分析用試樣板固定有利用熒光X射線分析裝置進(jìn)行分析時(shí)的試樣，該X射線分析用試樣板的特征是具備支承所述試樣的板狀主體，所述板狀主體具有代碼顯示部，該代碼顯示部是至少對(duì)關(guān)于所述試樣的信息進(jìn)行編碼后顯示的。
[0013]S卩，在該X射線分析用試樣板中，板狀主體具有代碼顯示部，該代碼顯示部至少對(duì)關(guān)于試樣的信息進(jìn)行編碼后進(jìn)行顯示，因此可通過利用裝置側(cè)的照相機(jī)等對(duì)代碼顯示部進(jìn)行攝影并在裝置等中進(jìn)行解碼，以自動(dòng)讀入關(guān)于試樣的信息。
[0014]第2發(fā)明的X射線分析用試樣板在第1發(fā)明中的特征是，上述代碼顯示部是按二維碼顯示的。
[0015]S卩，在該X射線分析用試樣板中，代碼顯示部以二維碼進(jìn)行顯示，因此可包含比一維碼的條型碼等多的信息。
[0016]第3發(fā)明的X射線分析用試樣板在第1或第2發(fā)明中的特征是，在上述試樣是為了進(jìn)行元素的定量分析而采用的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)時(shí)，上述代碼顯示部包含上述標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的元素濃度信息。
[0017]S卩，在該X射線分析用試樣板中，代碼顯示部包含標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的元素濃度信息，因此能夠?qū)⒁褜?shí)際測(cè)量出的、標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的制造時(shí)的濃度偏差的元素濃度信息自動(dòng)讀入到裝置，并能夠容易地進(jìn)行檢量線的作成以及更新。
[0018]第4發(fā)明的X射線分析用試樣板在第1或第2發(fā)明中的特征是，在上述試樣是為了進(jìn)行膜厚的測(cè)定而采用的膜厚標(biāo)準(zhǔn)箔時(shí)，上述代碼顯示部包含上述膜厚標(biāo)準(zhǔn)箔的厚度信息。
[0019]S卩，在該X射線分析用試樣板中，代碼顯示部包含實(shí)際測(cè)量出的膜厚標(biāo)準(zhǔn)箔的厚度信息，所以可將膜厚標(biāo)準(zhǔn)膜的厚度信息自動(dòng)讀入到裝置。
[0020]第5發(fā)明的X射線分析用試樣板在第1至第4發(fā)明的任意一個(gè)中的特征是，上述代碼顯示部被顯示于上述板狀主體的正面與背面這兩方。
[0021]S卩，在該X射線分析用試樣板中，代碼顯示部在板狀主體的正面與背面這兩方進(jìn)行顯示，因此能夠在上表面照射型的熒光X射線分析裝置與下表面照射型的熒光X射線分析裝置這兩方讀取代碼顯示部所包含的信息。
[0022]第6發(fā)明的熒光X射線分析裝置的特征是，具備:X射線管球，其對(duì)試樣照射一次X射線；檢測(cè)器，其檢測(cè)由被照射了所述一次X射線的所述試樣產(chǎn)生的熒光X射線；試樣臺(tái)，其設(shè)置權(quán)利要求1至5中任意一項(xiàng)所述的X射線分析用試樣板；攝像單元，其對(duì)所述代碼顯示部進(jìn)行攝像；以及代碼處理部，其根據(jù)所述攝像單元所攝像的所述代碼顯示部，對(duì)編碼了的所述代碼顯示部的信息進(jìn)行解碼。
[0023]S卩，在該熒光X射線分析裝置中具備代碼處理部，其對(duì)攝像單元所攝像的、基于代碼顯示部編碼的代碼顯示部的信息進(jìn)行解碼，因此可將關(guān)于X射線分析用試樣板的試樣的信息自動(dòng)讀入到裝置。
[0024]第7發(fā)明的熒光X射線分析裝置在第6發(fā)明中的特征是，具備:試樣臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其能使所述試樣臺(tái)進(jìn)行移動(dòng)；以及控制部，其控制所述試樣臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述控制部根據(jù)所述攝像單元進(jìn)行攝像時(shí)的所述代碼顯示部的位置利用所述試樣臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述試樣臺(tái)進(jìn)行移動(dòng)，并使所述X射線分析用試樣板的所述試樣移動(dòng)到所述一次X射線的X射線照射區(qū)域。
[0025]S卩，在該熒光X射線分析裝置中，控制部根據(jù)攝像單元進(jìn)行攝像時(shí)的代碼顯示部的位置利用試樣臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)使試樣臺(tái)進(jìn)行移動(dòng)，并使X射線分析用試樣板的試樣移動(dòng)到一次X射線的X射線照射區(qū)域，因此可通過將代碼顯示部用作線向標(biāo)(alignment marker)，來使試樣自動(dòng)移動(dòng)到X射線照射區(qū)域進(jìn)行對(duì)位。
[0026]第8發(fā)明的熒光X射線分析裝置在第6或第7發(fā)明中的特征是，具備能顯示各種信息的顯示器部，在所述試樣是為了進(jìn)行元素的定量分析而采用的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)時(shí)，所述代碼顯示部包含表示是標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的信息，所述控制部在測(cè)定標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的元素濃度時(shí)，在由所述代碼處理部解碼的信息中沒有表示是所述標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的信息的情況下，在所述顯示器部中顯示警告。
[0027]S卩，在該熒光X射線分析裝置中，控制部在測(cè)定標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的元素濃度時(shí)，在由代碼處理部解碼的信息中沒有表示是標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的信息的情況下，在顯示器部中顯示警告，因此即使在不是標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的X射線分析用試樣板而是錯(cuò)誤地放置其它X射線分析用試樣板進(jìn)行分析的情況下，也能夠通過控制部顯示警告來預(yù)先防止差錯(cuò)。
[0028]發(fā)明的效果
[0029]根據(jù)本發(fā)明，實(shí)現(xiàn)以下的效果。
[0030]即，根據(jù)本發(fā)明的X射線分析用試樣板以及熒光X射線分析裝置，板狀主體具有至少對(duì)關(guān)于試樣的信息進(jìn)行編碼后進(jìn)行顯示的代碼顯示部，所以可通過利用裝置側(cè)的照相機(jī)等對(duì)代碼顯示部進(jìn)行攝影并在裝置等中進(jìn)行解碼，以自動(dòng)讀入關(guān)于試樣的信息。因此，關(guān)于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)等試樣，既能夠減輕新購入時(shí)的濃度值輸入或檢量線更新時(shí)的作業(yè)者的負(fù)擔(dān)，又能夠防止差錯(cuò)的發(fā)生。此外，即使不反復(fù)地測(cè)定重復(fù)的檢量線的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也可以，從而能夠?qū)崿F(xiàn)作業(yè)時(shí)間的縮短。
【附圖說明】
[0031]圖1是示出本發(fā)明的X射線分析用試樣板以及熒光X射線分析裝置的一實(shí)施方式的俯視圖(a)以及仰視圖(b)。
[0032]圖2是在本實(shí)施方式中示出熒光X射線分析裝置的整體構(gòu)成圖。
[0033]圖3是在本實(shí)施方式中示出照相機(jī)的視野范圍和X射線束的照射范圍的說明圖。
【具體實(shí)施方式】
[0034]以下，參照?qǐng)D1至圖3來說明本發(fā)明的X射線分析用試樣板以及熒光X射線分析裝置的一實(shí)施方式。
[0035]本實(shí)施方式的X射線分析用試樣板1是如圖2所示地固定有利用熒光X射線分析裝置10進(jìn)行分析時(shí)的試樣S的X射線分析用試樣板，如圖1所示具備試樣S和支承試樣S的板狀主體2。
[0036]上述板狀主體2具有至少對(duì)關(guān)于試樣S的信息進(jìn)行編碼后顯示的代碼顯示部3。
[0037]上述代碼顯示部3在板狀主體2的正面?zhèn)纫约氨趁鎮(zhèn)冗@兩方進(jìn)行顯示。另外，正面?zhèn)鹊拇a顯示部3在板狀主體2的信息記載區(qū)域4內(nèi)進(jìn)行顯示。在信息記載區(qū)域4內(nèi)顯示試樣S是標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)(Standard Sample)的情況以及其元素名和樣本編號(hào)等識(shí)別字符串。
[0038]對(duì)信息記載區(qū)域4的識(shí)別字符串以及代碼顯示部3進(jìn)行標(biāo)記印刷，并粘貼在板狀主體2上。
[0039]使上述試樣S呈嵌入呈長(zhǎng)方形狀的板狀主體2的上部的圓形孔中的圓板狀。
[0040]上述代碼顯示部3利用被稱為所謂QR代碼(注冊(cè)商標(biāo))的二維碼進(jìn)行顯示。此夕卜，作為代碼顯示部3優(yōu)選采用二維碼，但即使采用作為一維碼的條型碼也可以。
[0041]該代碼顯示部3相對(duì)于嵌入板狀主體2的試樣S的位置在保持固定的距離以及角度的位置上進(jìn)行顯示。
[0042]在上述試樣S是為了進(jìn)行元素的定量分析而采用的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)時(shí)，代碼顯示部3包含標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的元素濃度信息。另外，在試樣S是為了進(jìn)行元素的定量分析而采用的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)時(shí)，代碼顯示部3包含表示是標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的信息。
[0043]另外，在上述試樣S是為了進(jìn)行膜厚的測(cè)定而采用的膜厚標(biāo)準(zhǔn)箔時(shí)，代碼顯示部3包含膜厚標(biāo)準(zhǔn)箔的厚度信息。
[0044]此外，代碼顯示部3除了包含上述濃度信息或膜厚信息之外，即使包含編碼后的表示是標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、試樣S的元素名、樣本編號(hào)(序號(hào))等識(shí)別字符串、制作日期、有效期限、元素的組成比等多個(gè)信息也可以。
[0045]另外，本實(shí)施方式的熒光X射線分析裝置10如圖2所示具備:X射線管球11，其對(duì)試樣S照射一次X射線XI ;檢測(cè)器12，其檢測(cè)由被照射了一次X射線XI的試樣S產(chǎn)生的熒光X射線X2 ;試樣臺(tái)13，其設(shè)置上述X射線分析用試樣板1 ;攝像單元14，其對(duì)代碼顯示部3進(jìn)行攝像；代碼處理部15，其對(duì)根據(jù)由攝像單元14攝像的